JP2973772B2 - 減圧洗浄装置 - Google Patents
減圧洗浄装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、減圧洗浄装置に係り、
精密装置の構成部品等のように高い清浄度を必要とする
物品の洗浄であって、特に、微小袋穴等の狭窄部を有す
る物品を洗浄する減圧洗浄装置に関する。
精密装置の構成部品等のように高い清浄度を必要とする
物品の洗浄であって、特に、微小袋穴等の狭窄部を有す
る物品を洗浄する減圧洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に磁気ディスク装置のような精密装
置の構成部品は、付着塵埃等による障害を防止するた
め、高い清浄度で洗浄処理されて付着塵埃や油等の汚れ
を取り除いてから組立られている。従来、上記した部品
のような物品を洗浄するには、物品の微小径な袋穴等の
狭窄部への浸透性及び排出性の良いフロンを洗浄液とし
て用いたフロン洗浄が行われていた。
置の構成部品は、付着塵埃等による障害を防止するた
め、高い清浄度で洗浄処理されて付着塵埃や油等の汚れ
を取り除いてから組立られている。従来、上記した部品
のような物品を洗浄するには、物品の微小径な袋穴等の
狭窄部への浸透性及び排出性の良いフロンを洗浄液とし
て用いたフロン洗浄が行われていた。
【０００３】しかし、フロン洗浄はフロンの使用を禁止
する国際的了解のもとに行えなくなった。この為、フロ
ン洗浄に変わる代替洗浄の一方法として、水溶性界面活
性剤や純粋を洗浄液として用いる水系洗浄があるが、水
はフロンに比べて袋穴等への浸透性、排出性で劣る。特
に、超音波や噴流で一旦袋穴等に侵入した洗浄液は、袋
穴から殆ど出ない為、袋穴の中の汚れは洗浄液とともに
袋穴に滞留したまま乾燥工程まで残留するので、物品の
清浄度が悪くなるという問題があった。
する国際的了解のもとに行えなくなった。この為、フロ
ン洗浄に変わる代替洗浄の一方法として、水溶性界面活
性剤や純粋を洗浄液として用いる水系洗浄があるが、水
はフロンに比べて袋穴等への浸透性、排出性で劣る。特
に、超音波や噴流で一旦袋穴等に侵入した洗浄液は、袋
穴から殆ど出ない為、袋穴の中の汚れは洗浄液とともに
袋穴に滞留したまま乾燥工程まで残留するので、物品の
清浄度が悪くなるという問題があった。
【０００４】この対策として、洗浄槽に貯留された洗浄
液に物品を浸漬して、物品の外面洗浄を行うと共に、物
品の袋穴に洗浄液を浸透させる。次に、物品を真空槽に
移し、真空槽内を洗浄液が沸騰する減圧度まで減圧させ
て袋穴内に残留する洗浄液を突沸させることにより、袋
穴内の汚れを洗浄液とともに袋穴外に排出する装置が提
案されている。
液に物品を浸漬して、物品の外面洗浄を行うと共に、物
品の袋穴に洗浄液を浸透させる。次に、物品を真空槽に
移し、真空槽内を洗浄液が沸騰する減圧度まで減圧させ
て袋穴内に残留する洗浄液を突沸させることにより、袋
穴内の汚れを洗浄液とともに袋穴外に排出する装置が提
案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
減圧洗浄装置は、洗浄槽の洗浄液に物品を浸漬させる操
作と、真空槽で袋穴内に残留する洗浄液を突沸させる操
作を繰り返して行う場合、その繰り返し回数に見合う洗
浄槽、真空槽を設けて、順番に物品を移動させていく
か、又は、洗浄槽と真空槽を一対設けて、その間を繰り
返し回数だけ、物品を往復させて行う必要がある。
減圧洗浄装置は、洗浄槽の洗浄液に物品を浸漬させる操
作と、真空槽で袋穴内に残留する洗浄液を突沸させる操
作を繰り返して行う場合、その繰り返し回数に見合う洗
浄槽、真空槽を設けて、順番に物品を移動させていく
か、又は、洗浄槽と真空槽を一対設けて、その間を繰り
返し回数だけ、物品を往復させて行う必要がある。
【０００６】この為、従来の減圧洗浄装置はいずれの場
合にも、槽間での物品の移動があるので、移動中に物品
が再び汚れる等の問題を生じる。特に、重い物品を洗浄
する場合には、槽間を移動させる移動装置の清浄度等も
必要になると共に、槽間の移動をともなう為、取扱が煩
雑になる問題がある。本発明はこのような事情に鑑みて
なされたもので、袋穴等の狭窄部を有する物品を洗浄槽
に固定したまま洗浄することができ、物品を槽間で移動
させる必要がないので、移動中の再汚染がなくなると共
に、重い物品の取扱が容易になる減圧洗浄装置を提供す
る。
合にも、槽間での物品の移動があるので、移動中に物品
が再び汚れる等の問題を生じる。特に、重い物品を洗浄
する場合には、槽間を移動させる移動装置の清浄度等も
必要になると共に、槽間の移動をともなう為、取扱が煩
雑になる問題がある。本発明はこのような事情に鑑みて
なされたもので、袋穴等の狭窄部を有する物品を洗浄槽
に固定したまま洗浄することができ、物品を槽間で移動
させる必要がないので、移動中の再汚染がなくなると共
に、重い物品の取扱が容易になる減圧洗浄装置を提供す
る。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を解決す
る為に、洗浄液に浸漬してその袋穴等の狭窄部に洗浄液
を侵入させた物品を、減圧下で前記狭窄部内に残留する
洗浄液を突沸させることにより、狭窄部内の汚れを前記
狭窄部内の洗浄液とともに狭窄部外に排出する減圧洗浄
装置において、前記物品を搬入・搬出する密閉可能な搬
出入口を有し、前記物品を洗浄する洗浄槽と、前記洗浄
液を貯留する密閉可能な貯留槽と、前記洗浄槽と前記貯
留槽との洗浄液連通系路に設けられ、前記連通系路を開
閉する弁部材と、前記洗浄槽内を減圧する第１の減圧手
段と、前記貯留槽内を減圧する第２の減圧手段と、前記
洗浄槽内の圧力を大気圧に戻す第１の給気手段と、前記
貯留槽内の圧力を大気圧に戻す第２の給気手段と、から
成り、洗浄槽と貯留槽との圧力差を利用して洗浄槽と貯
留槽との間で前記洗浄液のやり取りを行うことを特徴と
する。
る為に、洗浄液に浸漬してその袋穴等の狭窄部に洗浄液
を侵入させた物品を、減圧下で前記狭窄部内に残留する
洗浄液を突沸させることにより、狭窄部内の汚れを前記
狭窄部内の洗浄液とともに狭窄部外に排出する減圧洗浄
装置において、前記物品を搬入・搬出する密閉可能な搬
出入口を有し、前記物品を洗浄する洗浄槽と、前記洗浄
液を貯留する密閉可能な貯留槽と、前記洗浄槽と前記貯
留槽との洗浄液連通系路に設けられ、前記連通系路を開
閉する弁部材と、前記洗浄槽内を減圧する第１の減圧手
段と、前記貯留槽内を減圧する第２の減圧手段と、前記
洗浄槽内の圧力を大気圧に戻す第１の給気手段と、前記
貯留槽内の圧力を大気圧に戻す第２の給気手段と、から
成り、洗浄槽と貯留槽との圧力差を利用して洗浄槽と貯
留槽との間で前記洗浄液のやり取りを行うことを特徴と
する。
【０００８】
【作用】本発明によれば、物品を搬入・搬出する密閉可
能な搬出入口を有し、物品を洗浄する洗浄槽と、洗浄液
を貯留する貯留槽と、の間を弁部材を介して連通系路で
連通させた。また、洗浄槽及び貯留槽に排気手段を夫々
設けて洗浄槽、貯留槽を減圧できるようにすると共に、
洗浄槽及び貯留槽に給気手段を夫々設けて、減圧された
洗浄槽、貯留槽を大気圧に戻せるようにした。これによ
り、洗浄槽及び貯留槽を大気圧から所定の減圧度まで自
由に制御できるので、洗浄槽と貯留槽との間に圧力差を
生じさせて、弁部材を開いたり、閉じたりすることによ
り、洗浄槽と貯留槽との間で洗浄液をやり取りすること
ができる。従って、従来の減圧洗浄装置のように物品を
洗浄槽から出し入れすることなく、物品を洗浄槽に固定
したままで、物品の狭窄部を確実に洗浄することがき
る。
能な搬出入口を有し、物品を洗浄する洗浄槽と、洗浄液
を貯留する貯留槽と、の間を弁部材を介して連通系路で
連通させた。また、洗浄槽及び貯留槽に排気手段を夫々
設けて洗浄槽、貯留槽を減圧できるようにすると共に、
洗浄槽及び貯留槽に給気手段を夫々設けて、減圧された
洗浄槽、貯留槽を大気圧に戻せるようにした。これによ
り、洗浄槽及び貯留槽を大気圧から所定の減圧度まで自
由に制御できるので、洗浄槽と貯留槽との間に圧力差を
生じさせて、弁部材を開いたり、閉じたりすることによ
り、洗浄槽と貯留槽との間で洗浄液をやり取りすること
ができる。従って、従来の減圧洗浄装置のように物品を
洗浄槽から出し入れすることなく、物品を洗浄槽に固定
したままで、物品の狭窄部を確実に洗浄することがき
る。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る減圧洗浄
装置の好ましい実施例について詳説する。図１に示すよ
うに本発明の減圧洗浄装置は、主として、箱形状の洗浄
槽１０と、洗浄槽１０と略同容量の箱形状に形成された
貯留槽１２とから構成されている。洗浄槽１０は、その
天板が開閉可能な扉１４になっており、被洗浄物である
袋穴１６Ａ等の狭窄部を有する物品１６を搬出入できる
ようになっている。尚、図中では被洗浄物である物品１
６の袋穴１６Ａの形状を、分かり易いように大きく、簡
略化して描いたが、実際には洗浄液２０が侵入・排出さ
れにくい狭窄形状になっている。また、洗浄槽１０は、
扉１４を閉じた状態では完全密閉され、減圧可能な耐圧
構造になっている。また、洗浄槽１０の底部外側には超
音波振動子１８が設置され、洗浄槽１０内の洗浄液２０
を振動させることにより物品１６の洗浄効果を高めるよ
うになっている。一方、貯留槽１２は、完全な密閉容器
になっており、洗浄槽１０と同様に減圧可能な耐圧構造
になっている。
装置の好ましい実施例について詳説する。図１に示すよ
うに本発明の減圧洗浄装置は、主として、箱形状の洗浄
槽１０と、洗浄槽１０と略同容量の箱形状に形成された
貯留槽１２とから構成されている。洗浄槽１０は、その
天板が開閉可能な扉１４になっており、被洗浄物である
袋穴１６Ａ等の狭窄部を有する物品１６を搬出入できる
ようになっている。尚、図中では被洗浄物である物品１
６の袋穴１６Ａの形状を、分かり易いように大きく、簡
略化して描いたが、実際には洗浄液２０が侵入・排出さ
れにくい狭窄形状になっている。また、洗浄槽１０は、
扉１４を閉じた状態では完全密閉され、減圧可能な耐圧
構造になっている。また、洗浄槽１０の底部外側には超
音波振動子１８が設置され、洗浄槽１０内の洗浄液２０
を振動させることにより物品１６の洗浄効果を高めるよ
うになっている。一方、貯留槽１２は、完全な密閉容器
になっており、洗浄槽１０と同様に減圧可能な耐圧構造
になっている。
【００１０】また、洗浄槽１０の側板底部から延びた連
通管２４は、濾過器２６、遮断弁２８を介して貯留槽１
２の側板底部に繋がり、洗浄液２０の連通系路を形成し
ている。これにより、連通管２４の連通・遮断を遮断弁
２８で行うことができ、洗浄液２０の濾過を濾過器２６
で行うことができるようになっている。また、洗浄槽１
０の側板上部から延びた排気管３０は第１の排気弁３２
を介して図示しない真空発生装置に接続されている。ま
た、貯留槽１２の側板上部から延びた排気管３４は第２
の排気弁３６を介して前記排気管３０に合流し、前記し
た真空発生装置に接続されている。また、洗浄槽１０の
側板上部から延びた給気管３８は第１の給気弁４０を介
して外気に開放され、同様に貯留槽１２の側板上部から
延びた給気管４２は第２の給気弁４４を介して前記給気
管３８に合流し、外気に開放されている。これにより、
洗浄槽１０内及び貯留槽１２内の圧力を大気圧から所定
の減圧度まで自由に制御できるようになっている。
通管２４は、濾過器２６、遮断弁２８を介して貯留槽１
２の側板底部に繋がり、洗浄液２０の連通系路を形成し
ている。これにより、連通管２４の連通・遮断を遮断弁
２８で行うことができ、洗浄液２０の濾過を濾過器２６
で行うことができるようになっている。また、洗浄槽１
０の側板上部から延びた排気管３０は第１の排気弁３２
を介して図示しない真空発生装置に接続されている。ま
た、貯留槽１２の側板上部から延びた排気管３４は第２
の排気弁３６を介して前記排気管３０に合流し、前記し
た真空発生装置に接続されている。また、洗浄槽１０の
側板上部から延びた給気管３８は第１の給気弁４０を介
して外気に開放され、同様に貯留槽１２の側板上部から
延びた給気管４２は第２の給気弁４４を介して前記給気
管３８に合流し、外気に開放されている。これにより、
洗浄槽１０内及び貯留槽１２内の圧力を大気圧から所定
の減圧度まで自由に制御できるようになっている。
【００１１】次に、上記の如く構成された減圧洗浄装置
の作用について説明する。 （１）先ず、 図２に示すように、洗浄液２０が入って
いない空の洗浄槽１０に物品１６を搬入して配置し、扉
１４を閉じて密封状態にする。一方、貯留槽１２には洗
浄液２０が貯留されており、連通管２４の遮断弁２８が
閉状態で貯留槽１２の洗浄液２０は洗浄槽１０に行かな
いようになっている。 （２）次に、図３に示すように、第１の排気弁３２を開
にすると共に第１の給気弁４０を閉じて、洗浄槽１０を
排気可能に設定する。また、第２の排気弁３６を閉じる
と共に第２の給気弁４４を開いて貯留槽１２を外気に開
放して貯留槽１２を給気可能に設定する。そして、図示
しない真空発生装置を作動させて洗浄槽１０内を所定の
減圧度まで減圧したら連通管２４の遮断弁２８を開け
る。これにより、洗浄槽１０と貯留槽１２との間の圧力
差により、貯留槽１２内に貯留されている洗浄液２０は
減圧された洗浄槽１０に吸引されるので、貯留槽１２の
洗浄液２０を洗浄槽１０に移し替えることができる。ま
た、洗浄槽１０内に配置された物品１６の袋穴１６Ａ内
も減圧状態にあるので、洗浄槽１０に移動した洗浄液２
０を袋穴１６Ａ内に容易に侵入させることができる。こ
の洗浄液２０の流れにおいて、第２の給気弁４４の開度
を調節して洗浄槽１０と貯留槽１２との圧力差を一定に
維持するようにすると、洗浄液２０の流れがスムーズに
なる。そして、貯留槽１２の洗浄液２０を洗浄槽１０に
全量移し終えたら、遮断弁２８を閉じると共に第１の排
気弁３２を閉じて真空発生装置を停止させる。 （３）次に、図４に示すように、第１の給気弁４０を開
いて外気を洗浄槽１０内に給気して洗浄槽１０を大気圧
に戻す。そして、超音波振動子１８を作動させながら物
品１６を洗浄液２０に所定時間浸漬させ、物品１６の外
面及び袋穴１６Ａ内を洗浄液２０で洗浄する。 （４）次に、図５に示すように、浸漬が終了したら、洗
浄槽２０を給気可能に設定したままで、第２の排気弁３
６を開くと共に第２の給気弁４４を閉じて貯留槽１２を
排気可能に設定する。そして、真空発生装置を作動させ
て貯留槽１２内を所定の減圧度まで減圧したら連通管２
４の遮断弁２８を開ける。これにより、洗浄槽１０と貯
留槽１２との圧力差により、洗浄槽１０内の洗浄液２０
は減圧された貯留槽１２に吸引されるので、洗浄槽１０
の洗浄液２０を貯留槽１２に移し替えることができる。
この洗浄液２０の流れにおいて、第１の給気弁４０の開
度を調節して洗浄槽１０と貯留槽１２との圧力差を一定
に維持するようにすると、洗浄液２０の流れがスムーズ
になる。そして、洗浄槽１０の洗浄液２０を貯留槽１２
に全量移し終えたら、遮断弁２８を閉じると共に第２の
排気弁３６を閉じて真空発生装置を停止させる。 （５）次に、図６に示すように、第２の給気弁４４を開
いて大気開放して貯留槽１２内を大気圧に戻しておく一
方、第１の排気弁３２を開くと共に第１の給気弁４０を
閉じて洗浄槽１０を排気可能に設定し、真空発生装置を
作動させて洗浄槽１０内を洗浄液２０が沸騰する減圧度
まで減圧する。これにより、物品１６の袋穴１６Ａ内に
残留していた洗浄液２０は突沸して袋穴１６Ａ外に飛び
出す。従って、袋穴１６Ａ内の洗浄液２０中に滞留して
いた袋穴１６Ａの汚れも洗浄液２０とともに袋穴１６Ａ
外に排出されるので、袋穴１６Ａ内を確実に洗浄するこ
とができる。
の作用について説明する。 （１）先ず、 図２に示すように、洗浄液２０が入って
いない空の洗浄槽１０に物品１６を搬入して配置し、扉
１４を閉じて密封状態にする。一方、貯留槽１２には洗
浄液２０が貯留されており、連通管２４の遮断弁２８が
閉状態で貯留槽１２の洗浄液２０は洗浄槽１０に行かな
いようになっている。 （２）次に、図３に示すように、第１の排気弁３２を開
にすると共に第１の給気弁４０を閉じて、洗浄槽１０を
排気可能に設定する。また、第２の排気弁３６を閉じる
と共に第２の給気弁４４を開いて貯留槽１２を外気に開
放して貯留槽１２を給気可能に設定する。そして、図示
しない真空発生装置を作動させて洗浄槽１０内を所定の
減圧度まで減圧したら連通管２４の遮断弁２８を開け
る。これにより、洗浄槽１０と貯留槽１２との間の圧力
差により、貯留槽１２内に貯留されている洗浄液２０は
減圧された洗浄槽１０に吸引されるので、貯留槽１２の
洗浄液２０を洗浄槽１０に移し替えることができる。ま
た、洗浄槽１０内に配置された物品１６の袋穴１６Ａ内
も減圧状態にあるので、洗浄槽１０に移動した洗浄液２
０を袋穴１６Ａ内に容易に侵入させることができる。こ
の洗浄液２０の流れにおいて、第２の給気弁４４の開度
を調節して洗浄槽１０と貯留槽１２との圧力差を一定に
維持するようにすると、洗浄液２０の流れがスムーズに
なる。そして、貯留槽１２の洗浄液２０を洗浄槽１０に
全量移し終えたら、遮断弁２８を閉じると共に第１の排
気弁３２を閉じて真空発生装置を停止させる。 （３）次に、図４に示すように、第１の給気弁４０を開
いて外気を洗浄槽１０内に給気して洗浄槽１０を大気圧
に戻す。そして、超音波振動子１８を作動させながら物
品１６を洗浄液２０に所定時間浸漬させ、物品１６の外
面及び袋穴１６Ａ内を洗浄液２０で洗浄する。 （４）次に、図５に示すように、浸漬が終了したら、洗
浄槽２０を給気可能に設定したままで、第２の排気弁３
６を開くと共に第２の給気弁４４を閉じて貯留槽１２を
排気可能に設定する。そして、真空発生装置を作動させ
て貯留槽１２内を所定の減圧度まで減圧したら連通管２
４の遮断弁２８を開ける。これにより、洗浄槽１０と貯
留槽１２との圧力差により、洗浄槽１０内の洗浄液２０
は減圧された貯留槽１２に吸引されるので、洗浄槽１０
の洗浄液２０を貯留槽１２に移し替えることができる。
この洗浄液２０の流れにおいて、第１の給気弁４０の開
度を調節して洗浄槽１０と貯留槽１２との圧力差を一定
に維持するようにすると、洗浄液２０の流れがスムーズ
になる。そして、洗浄槽１０の洗浄液２０を貯留槽１２
に全量移し終えたら、遮断弁２８を閉じると共に第２の
排気弁３６を閉じて真空発生装置を停止させる。 （５）次に、図６に示すように、第２の給気弁４４を開
いて大気開放して貯留槽１２内を大気圧に戻しておく一
方、第１の排気弁３２を開くと共に第１の給気弁４０を
閉じて洗浄槽１０を排気可能に設定し、真空発生装置を
作動させて洗浄槽１０内を洗浄液２０が沸騰する減圧度
まで減圧する。これにより、物品１６の袋穴１６Ａ内に
残留していた洗浄液２０は突沸して袋穴１６Ａ外に飛び
出す。従って、袋穴１６Ａ内の洗浄液２０中に滞留して
いた袋穴１６Ａの汚れも洗浄液２０とともに袋穴１６Ａ
外に排出されるので、袋穴１６Ａ内を確実に洗浄するこ
とができる。
【００１２】以上までの洗浄操作により物品１６の洗浄
が終了していれば、第１の排気弁３２を閉じて真空発生
装置を停止した後、図７に示すように、第１の給気弁４
０を開いて洗浄槽１０に外気を供給して洗浄槽１０を大
気圧に戻し、洗浄槽１０の扉１４を開けて次に洗浄する
物品１６との入替えを行う。また、１回の洗浄操作では
洗浄が終了せず繰返し洗浄が必要な場合は、操作（５）
から操作（２）に戻り、操作（２）から操作（５）を必
要な回数だけ繰り返す。
が終了していれば、第１の排気弁３２を閉じて真空発生
装置を停止した後、図７に示すように、第１の給気弁４
０を開いて洗浄槽１０に外気を供給して洗浄槽１０を大
気圧に戻し、洗浄槽１０の扉１４を開けて次に洗浄する
物品１６との入替えを行う。また、１回の洗浄操作では
洗浄が終了せず繰返し洗浄が必要な場合は、操作（５）
から操作（２）に戻り、操作（２）から操作（５）を必
要な回数だけ繰り返す。
【００１３】このように、本発明の減圧洗浄装置は、洗
浄槽１０と貯留槽１２との間で洗浄液２０をやり取りで
きるようにした。これにより、被洗浄物である物品１６
を洗浄槽１０から出し入れすることなく、物品１６の袋
穴１６Ａ等の狭窄部内の汚れを確実に洗浄することがで
きる。従って、従来の減圧洗浄装置のように、洗浄槽か
ら真空槽への移動中に物品が再汚染されなくすることが
できると共に、重い物品１６を洗浄する際も容易に行う
ことができる。
浄槽１０と貯留槽１２との間で洗浄液２０をやり取りで
きるようにした。これにより、被洗浄物である物品１６
を洗浄槽１０から出し入れすることなく、物品１６の袋
穴１６Ａ等の狭窄部内の汚れを確実に洗浄することがで
きる。従って、従来の減圧洗浄装置のように、洗浄槽か
ら真空槽への移動中に物品が再汚染されなくすることが
できると共に、重い物品１６を洗浄する際も容易に行う
ことができる。
【００１４】また、本発明の減圧洗浄装置は、洗浄槽１
０と貯留槽１２との間に圧力差を生じさせて洗浄液２０
を移し替えるのに、物品１６の袋穴１６Ａ内の洗浄液２
０の突沸させるのに必要な真空発生装置をそのまま利用
できるので、洗浄液２０の移し替えの為の特別な装置を
必要としない。また、連通管２４に濾過器２６を設けた
ことにより、洗浄液２０が連通管２４を流れる時に洗浄
液２０中の汚れを濾過することがでるので、洗浄液２０
中に懸濁した物品１６の汚れが、再び物品１６を再汚染
することを防止することができる。
０と貯留槽１２との間に圧力差を生じさせて洗浄液２０
を移し替えるのに、物品１６の袋穴１６Ａ内の洗浄液２
０の突沸させるのに必要な真空発生装置をそのまま利用
できるので、洗浄液２０の移し替えの為の特別な装置を
必要としない。また、連通管２４に濾過器２６を設けた
ことにより、洗浄液２０が連通管２４を流れる時に洗浄
液２０中の汚れを濾過することがでるので、洗浄液２０
中に懸濁した物品１６の汚れが、再び物品１６を再汚染
することを防止することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上、説明したように本発明に係る減圧
洗浄装置によれば、洗浄槽と貯留槽との圧力差を利用し
て洗浄槽と貯留槽との間で洗浄液をやり取りできるよう
にした。これにより、被洗浄物である物品を洗浄槽から
出し入れすることなく、物品の袋穴等の狭窄物内の汚れ
を確実に洗浄することができる。従って、従来の減圧洗
浄装置のように、洗浄槽から真空槽への移動中に物品へ
の再汚染がなくなると共に、重い物品を洗浄する際も容
易に行うことができる。
洗浄装置によれば、洗浄槽と貯留槽との圧力差を利用し
て洗浄槽と貯留槽との間で洗浄液をやり取りできるよう
にした。これにより、被洗浄物である物品を洗浄槽から
出し入れすることなく、物品の袋穴等の狭窄物内の汚れ
を確実に洗浄することができる。従って、従来の減圧洗
浄装置のように、洗浄槽から真空槽への移動中に物品へ
の再汚染がなくなると共に、重い物品を洗浄する際も容
易に行うことができる。
【００１６】また、本発明の減圧洗浄装置は、洗浄槽と
貯留槽との間で洗浄液を移し替えるのに、物品の袋穴内
の洗浄液の突沸させるのに必要な減圧手段をそのまま利
用できるので、洗浄液の移し替えの為の特別な装置を必
要としない。
貯留槽との間で洗浄液を移し替えるのに、物品の袋穴内
の洗浄液の突沸させるのに必要な減圧手段をそのまま利
用できるので、洗浄液の移し替えの為の特別な装置を必
要としない。
【図１】本発明に係る減圧洗浄装置の構成を示す構成図
【図２】本発明に係る減圧洗浄装置において物品を洗浄
槽内に搬入配置する説明図
槽内に搬入配置する説明図
【図３】本発明に係る減圧洗浄装置において貯留槽から
洗浄槽への洗浄液の移し替えを説明する説明図
洗浄槽への洗浄液の移し替えを説明する説明図
【図４】本発明に係る減圧洗浄装置において洗浄槽に物
品を浸漬した状態を説明する説明図
品を浸漬した状態を説明する説明図
【図５】本発明の係る減圧洗浄装置において洗浄槽から
貯留槽への洗浄液の移し替えを説明する説明図
貯留槽への洗浄液の移し替えを説明する説明図
【図６】本発明の係る減圧洗浄装置において物品の袋穴
内の洗浄液を突沸させた状態を説明する説明図
内の洗浄液を突沸させた状態を説明する説明図
【図７】本発明の係る減圧洗浄装置において物品を洗浄
槽から搬出する説明図
槽から搬出する説明図
１０…洗浄槽 １２…貯留槽 １６…物品 １６Ａ…物品の袋穴 １８…超音波振動子 ２０…洗浄液 ２４…連通管 ２８…遮断弁 ３２…第１の排気弁 ３６…第２の排気弁 ４０…第１の給気弁 ４４…第２の給気弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−212360（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−200327（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−23620（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−30329（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−108817（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−163487（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B08B 3/00 - 3/14
Claims (1)
- 【請求項１】洗浄液に浸漬してその袋穴等の狭窄部に洗
浄液を侵入させた物品を、減圧下で前記狭窄部内に残留
する洗浄液を突沸させることにより、狭窄部内の汚れを
前記狭窄部内の洗浄液とともに狭窄部外に排出する減圧
洗浄装置において、 前記物品を搬入・搬出する密閉可能な搬出入口を有し、
前記物品を洗浄する洗浄槽と、 前記洗浄液を貯留する密閉可能な貯留槽と、 前記洗浄槽と前記貯留槽との洗浄液連通系路に設けら
れ、前記連通系路を開閉する弁部材と、 前記洗浄槽内を減圧する第１の減圧手段と、 前記貯留槽内を減圧する第２の減圧手段と、 前記洗浄槽内の圧力を大気圧に戻す第１の給気手段と、 前記貯留槽内の圧力を大気圧に戻す第２の給気手段と、
から成り、洗浄槽と貯留槽との圧力差を利用して洗浄槽
と貯留槽との間で前記洗浄液のやり取りを行うことを特
徴とする減圧洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5082761A JP2973772B2 (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 減圧洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5082761A JP2973772B2 (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 減圧洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06269750A JPH06269750A (ja) | 1994-09-27 |
| JP2973772B2 true JP2973772B2 (ja) | 1999-11-08 |
Family
ID=13783434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5082761A Expired - Fee Related JP2973772B2 (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 減圧洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2973772B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006039715A1 (de) * | 2006-08-24 | 2008-02-28 | Dürr Ecoclean GmbH | Reinigungsvorrichtung mit einer Flutkammer |
| JP2009202216A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Manii Kk | 洗浄方法及び洗浄装置 |
| JP2012077350A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | World Kiko:Kk | 密閉型洗浄装置及び洗浄方法 |
-
1993
- 1993-03-17 JP JP5082761A patent/JP2973772B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06269750A (ja) | 1994-09-27 |
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