JP3010460B2 - 洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板、樹脂成
型部品、及び金属加工部品などの被洗浄物から汚れを除
去し、極めて清浄な状態にする洗浄装置に関し、より詳
しくは脱フロン脱エタンの洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から用いられている洗浄液であるＣ
ＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタンには、
化学的、熱的安定性が高い適当な溶解性がある不燃
性で火災の危険性がない適当な沸点を有し、蒸発熱が
小さく蒸気洗浄に適している表面張力、粘度が小さく
狭い隙間にも浸透性を有する毒性が低く、作業環境へ
の配慮が容易である揮発性が高く乾燥が容易である
洗浄液の使用済液（汚染液）は蒸留により再生利用が容
易である等々の特長があり、これらの洗浄液の洗浄度は
洗浄液そのものの洗浄性によるところが大きく、洗浄装
置の洗浄機能によるところは少なかった。

【０００３】地球環境保護の目的でＣＦＣ−１１３や
１，１，１−トリクロロエタンなどの特定フロンの全廃
（１９９５年末）が決定され、脱フロン脱エタン洗浄に
ついて高性能な代替洗浄装置の必要性が高まってきた。
前記の状況下にあって代替洗浄剤も各種のものが市販さ
れるようになってきているが、前記の〜の特長を全
て備えているものは出現しておらず、今後においても出
現は期待できないと言われている。

【０００４】一方技術の高度化は年々着実に進み、その
背景にはＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタ
ンによる高洗浄度によることころが大であった。脱フロ
ン脱エタン時代の代替洗浄剤で従来の高洗浄度を確保す
るためには脱フロン脱エタン洗浄装置の洗浄機能の改善
に頼らざるを得ない現状にある。

【０００５】従来の洗浄装置においては、洗浄液（ＣＦ
Ｃ−１１３や１，１，１−トリクロロエタン）を収容す
る洗浄槽の側壁に超音波振動子を装着するか、槽内に投
げ込み型の超音波振動子ユニットを装備し、被洗浄物を
静かに揺動させ、超音波の照射効果を被洗浄物に一様に
与え、洗浄液の洗浄性とともに超音波による洗浄性によ
って洗浄工程を進行させていた。

【０００６】従来の超音波洗浄においては、超音波洗浄
時に液流がない方が洗浄性がよいとされ、被洗浄物の揺
動は静かに行うのが原則とされており、各種の洗浄装置
においてこの原則が忠実に守られてきた。

【０００７】洗浄後の被洗浄物は、洗浄液中から静かに
引き上げ、被洗浄物上に液滴を残さず（乾燥後液中の汚
れが残る）に洗浄液の比熱が低く蒸発しやすいことを利
用して、引き上げ途中で乾燥し蒸気は冷却器により槽内
に回収される。

【０００８】この場合、洗浄液の付着液被膜中に含有さ
れた汚れが、洗浄液の蒸発によって洗浄後に被洗浄物の
表面に残留することになる。このようにして第１槽目で
洗浄された被洗浄物は第２槽目（例えば、すすぎ槽）に
移されることになるが、液付着量（液被膜が少ないた
め）汚れの第２槽目への持ち込み量は極めて少ない。汚
れた洗浄液が、そのまま第２槽目に汚れを一緒に持ち込
むことがなく、洗浄槽から引き上げられるときに被洗浄
物が濡れていた洗浄液の被膜中に含まれた汚れだけが移
動するのみである。

【０００９】このため、第２槽目の汚れの進行は充分に
遅く、第２槽目の洗浄（またはすすぎ）が汚れの少ない
液によって極めて効果的に行える。

【００１０】第３槽目以降においては、更に汚れの少な
い液中ですすぎ（または洗浄）が行われることになる。

【００１１】洗浄槽中で被洗浄物から汚れを落とし、第
２槽目へ移動する汚れの量を最小限に抑えるのが第２槽
目以降の洗浄度を高くするポイントであり、ＣＦＣ−１
１３や１，１，１−トリクロロエタンであればこそ可能
であった。

【００１２】脱フロン脱エタン洗浄液、例えば炭化水素
系洗浄剤や水系洗浄剤においては、沸点が高く蒸発熱も
大きいため揮発性が低い。従って、汚れた洗浄液を確実
に液きりして第２槽目へ被洗浄物を移さないと、第２槽
目の液は持ち込まれた液によって洗浄度が容易に低下す
ることになり、第２槽目以降の汚れも順次進行する。洗
浄後の乾燥槽へも多くの液滴が持ち込まれる結果、乾燥
後の高洗浄度が得られにくい。

【００１３】ＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロ
エタンは溶解性および浸透性が高いために、被洗浄物の
汚れを容易に液中へ溶解し、そして液中への分散化を図
る性質を有するので、被洗浄物から離脱した汚れは液中
に容易に分散し、次から次へと被洗浄物より汚れを離脱
させ液中分散を図るから、洗浄が効果的に進行する。す
なわち洗浄理論の原則である、被洗浄物から汚れを離
脱させる離脱した汚れを分散させる汚れの分散によ
って被洗浄物周辺に汚れ度の高い液層を作らず、被洗浄
物が液中汚れにより再汚染されることなく洗浄度を低下
させない等が極めて有利に作用するために、物理的な洗
浄機能としては静止液中で超音波を照射することで十分
であった。

【００１４】脱フロン脱エタン洗浄剤では、溶解性、分
散性を同時に備えたものはなく、特に多量に付着した汚
れに対しては被洗浄物の被膜汚れが露出され、超音波洗
浄効果が現れるまでに長い時間を要する。離脱した汚れ
は、汚れ濃度の高い液層を被洗浄物周辺に形成し、汚れ
濃度が分散しないまま浮遊するため被洗浄物の表面洗浄
の進行が緩やかになる。

【００１５】脱フロン脱エタン洗浄剤は、前述の通り洗
浄性はＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタン
に比べはるかに劣るものである。液の性状も異なるため
に従来の洗浄装置で洗浄を行うことは不可能である。従
来レベルの洗浄度を確保するためには洗浄装置の洗浄機
能の改善によって洗浄度を補う必要がある。

【００１６】また、洗浄槽（またはすすぎ槽）の構造
は、第１槽（洗浄）より第２槽（洗浄またはすすぎ槽）
を多くの場合高位置にし、第３槽は第２槽より高く、第
４槽は第３槽より高くというようにして複数個の洗浄又
はすすぎ槽を隣接させ、最終槽へ新液を補給すると順次
隣接槽へオーバーフロー流入する構造を有している。第
１槽目の洗浄液は被洗浄物に付着して次槽へ持ち込まれ
る液量や被洗浄物を洗浄後に引き上げるときに揮発する
液量が順次減量される。第２槽、第３槽・・・において
も同様の液の減量が起こるが、最終槽に供給された新液
が順次第１槽までオーバーフローして供給されるから後
の槽ほど液の清浄度は高く保たれる。

【００１７】かかる洗浄槽（またはすすぎ槽）の構造で
は、被洗浄物は槽の数に等しい回数だけ移送工程が伴う
ことになる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従来、万能洗浄剤とい
われたＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタン
は地球環境保護の立場から全廃が決定されることになっ
たのは当然の成り行きとして、受け止められている。脱
フロン脱エタン洗浄剤の低洗浄性を洗浄装置の洗浄機能
の改善で補って、従来の洗浄度を維持し、かつ洗浄のイ
ニシャルコスト及びランニングコストの高騰を防ぐ新た
な洗浄装置の開発が望まれている。

【００１９】その開発にあたっての課題として、従来
の洗浄剤プラス超音波洗浄に相当する洗浄性が確保でき
る新洗浄方式の開発超音波の照射効果を被洗浄物に一
様に与えて、超音波洗浄効果を確保すること・・等があ
り、このように洗浄機能の改善によって代替洗浄液その
ものがもつ洗浄性の低さを補う必要がある。

【００２０】さらに、複数個の洗浄又はすすぎ槽を並設
して被洗浄物を槽の数に等しい回数移送するといった工
程を不要とし、装置を簡略化してイニシャルコストおよ
びランニングコスト（消費電力等）の低減を図ることも
求められている。

【００２１】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたもので、高洗浄度および均一洗浄性を確保するとと
もに、装置構成を簡素化して省スペースおよびコストの
低減を図った洗浄装置を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。

【００２３】（１）請求項第１項に記載の本発明の洗浄
装置は、超音波振動子が取り付けられた液槽と、この液
槽へ供給される液体が貯えられた複数の貯液タンクとを
備え、前記液槽内に収納された被洗浄物を回転させて液
流を発生させながら、超音波を照射して洗浄を行う洗浄
装置であって、前記液槽と前記複数の貯液タンクとが、
高低差をもって配置され、高位置の液槽（または複数の
貯液タンク）から低位置の複数の貯液タンク（または液
槽）へ液体をそれぞれ移送する複数の第１管路には、開
閉弁がそれぞれ設けられるとともに、低位置の複数の貯
液タンク（または液槽）から高位置の液槽（または複数
の貯液タンク）へ液体をそれぞれ移送する複数の第２管
路には、複数の貯液タンクに対応したいずれの液体も移
送される共通な管路部分に、移送方向を反転できる正逆
回転可能なポンプが設けられ、前記第１管路による高位
置から低位置への液体の移送は、重力を利用した自然落
下によって行い、前記第２管路による低位置から高位置
への液体の移送は、前記ポンプの回転によって行うよう
にしている。

【００２４】（２）請求項第２項に記載の本発明の洗浄
装置は、請求項第１項記載の構成に加え、重力を利用し
た自然落下によって液体を移送する第１管路の配管径
を、前記ポンプの回転によって液体を移送する第２管路
の配管径よりも大きくしている。

【００２５】（３）請求項第３項に記載の本発明の洗浄
装置は、請求項第１項または第２項記載の構成に加え、
第２管路には、前記ポンプに近接して逆止弁を設け、前
記共通な管路部分を短くしている。

【００２６】

【作用】（１）請求項第１項記載の洗浄装置によれば、
被洗浄物が回転されることと、その回転よって生じる液
流に被洗浄物がさらされることとによって、被洗浄物に
付着している汚れを液流という物理力で離脱させる。し
かも、超音波を照射することにより汚れの離脱作用を隅
々までわたらせるとともに、離脱した汚れを分散させて
被洗浄物への汚れの再付着を防止する。表面液流の作用
により被洗浄物上の汚れと液流との界面が活性化されて
汚れが液中に溶出し、溶出した汚れは直ちに液流により
分散し、界面の汚れの濃度を高めることがないために継
続的に汚れが離脱する。被洗浄物の界面の汚れ濃度が局
部的に高まることがないので、再汚染によって洗浄度が
低くなるという不都合な結果を避けることができる。ま
た、小さな加工穴やスリットの内部など液流が届きにく
く液流のみでは充分な洗浄性を発揮しにくい部分に対し
ては、超音波振動が作用することとなって良好に汚れを
離脱させることができ、離脱した汚れは液流によって直
ちに分散させることができる。

【００２７】ところで、液流なしの超音波のみを、層状
に堆積した汚れに物理作用させた場合には、汚れを離脱
させるのに時間を要するし、離脱した汚れが分散されな
いので界面の汚れ濃度が高まって離脱効果が低下し、局
部的な再汚染現象も起きるといったことから洗浄度が上
がらない。また、目視的には滑らかな金属表面でもミク
ロ的には多くの凹凸があって液流だけでは洗浄度が充分
でない。これに対して、上記のように液流と超音波振動
という全く異なった物理作用を同時に与える複合洗浄に
より、高い洗浄度を確保できるとともに、均一な洗浄性
を確保することができるようになる。

【００２８】さらに、請求項第１項に記載の洗浄装置で
は、液槽に対して、複数の貯液タンクから、例えば、洗
浄液あるいはすすぎ液を給液できるので、従来のよう
に、洗浄槽、すすぎ槽というように、複数の液槽を並設
して被洗浄物を各液槽に移送するといった工程が不要に
なる。

【００２９】しかも、液槽と複数の貯液タンクとを高低
差をもって配置し、高位置から低位置への給液は、重力
を利用した自然落下にて行い、低位置から高位置へは、
正逆回転可能なポンプによって移送方向を反転させるこ
とにより、異なる液体の給液を行うようにしているの
で、ポンプの数および配管系を簡素化できることにな
り、省スペース化が図れるとともに、イニシャルコスト
およびランニングコストの低減を図ることができる。

【００３０】（２）請求項第２項に記載の洗浄装置で
は、重力を利用した自然落下によって液体を移送する第
１管路の配管径を、前記ポンプの回転によって液体を移
送する第２管路の配管径よりも大きくしているので、液
体の移送に要する時間を短くすることができる。

【００３１】（３）請求項第３項に記載の洗浄装置で
は、前記ポンプに近接して逆止弁を設け、前記共通な管
路部分を短くしているので、異なる液体が混合するのを
極力抑制することができる。

【００３２】

【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。

【００３３】図１は、本発明の一実施例の正面図であ
り、図２はその側面図である。

【００３４】この実施例の洗浄装置では、外装ケーシン
グ１に洗浄槽２が内蔵されるとともに、２つの貯液タン
ク１０１，１０２が内蔵されており、しかも、２つの貯
液タンク１０１，１０２を、洗浄槽の下方の低位置に配
置している。洗浄槽２は有底の４角筒形をなしており、
その上部４隅に連設されたフック３が防振用スプリング
４を介して外装ケーシング１の上部に吊り下げられてい
る。洗浄槽２の底部の４隅と外装ケーシング１の底部と
の間にショックアブソーバー５が掛けわたされている。
洗浄槽２には液が収容されてその液中で被洗浄物が回転
するため、洗浄槽２に振動が生ずるが、防振用スプリン
グ４とショックアブソーバー５とが洗浄槽２に生じる振
動を吸収して緩衝する。

【００３５】洗浄槽２の上方空間を角筒状に囲むファイ
バー入りラバーなどからなる可撓伸縮性カーテン６の下
部が洗浄槽２の上部に外嵌されリング状コイルスプリン
グ７によって締め付け固定され、その上部は外装ケーシ
ング１の上面板８における洗浄槽口部９下部に外嵌さ
れ、リング状コイルスプリング１０によって締め付け固
定されている。可撓伸縮性カーテン６は洗浄槽２の振動
が外装ケーシング１に伝わるのを避けながら、洗浄液が
飛散することや洗浄液の蒸気が外部に流出するのを防止
する。洗浄槽口部９は、２つの把手１１が固設された洗
浄槽蓋体１２によって着脱開閉自在に閉塞されるように
なっている。

【００３６】４角筒状の洗浄槽２の１つの側壁の中央か
ら下側にかけて開口部１３が形成され、開口部１３の外
側に対向させて振動板１４が配置され、開口部１３の周
囲において洗浄槽２と振動板１４との間にパッキング１
５が狭着された状態で振動板１４が洗浄槽２にボルトナ
ットで液密的に取り付けられている。

【００３７】振動板１４には複数個の超音波振動子１６
が固定され、超音波振動ユニット１７を構成している。
この超音波振動ユニット１７は、外装ケーシング１の内
壁面に設けられた発振ユニット１８にリード線を介して
接続され、例えば３８ｋＨｚの超音波周波数で駆動制御
される。駆動された振動板１４は洗浄槽２内の液に対し
てほぼ水平方向に超音波を照射する。

【００３８】洗浄槽２の底部下面に取り付け板１９が固
定され、この取り付け板１９にインバータ制御モータ２
０が固定されている。モータ２０は外装ケーシング１内
に設けられたインバータ制御装置２１にリード線を介し
て接続され、低速から高速まで回転速度が設定できるよ
うになっている。モータ２０の回転軸２２が洗浄層２の
底部中央から洗浄槽２の内部へ貫通されている。ターン
テーブル２３の下面中央に固定されたボス２４がモータ
２０の回転軸２２に対して嵌合されている。この嵌合は
セレーションを介して行われており、周方向においては
一体回転するように結合され、軸方向においては挿抜自
在となっている。洗浄槽２は洗浄液を供給したときや、
被洗浄物２５を投入したときに重力によって下降し、ま
たモータ２０を駆動したときに上下左右に振動するが、
防振動用スプリング４、ショックアブソーバー５及び可
撓伸縮性カーテン６はこれらを吸収する。

【００３９】ターンテーブル２３は単数または複数の被
洗浄物２５を収納するバスケット２６を載置した状態で
回転するものであり、ターンテーブル２３の外周部には
複数の脱落防止ガード２７が立ちあげられている。２８
はバスケット２６の把手である。バスケット２６は、洗
浄槽蓋体１２を開けた洗浄槽口部９を通して洗浄槽２の
内部に挿入可能であり、また取り出し可能である。ター
ンテーブル２３は、それに設置したバスケット２６が振
動板１４の横側部に位置するように位置設定されてい
る。ターンテーブル２３は、洗浄槽２内に洗浄液が収容
された状態で回転自在であるとともに、洗浄液がない状
態でも回転可能となっている。

【００４０】モータ回転軸２２の周囲近傍において、洗
浄槽２の底部が絞り加工等によって膨出され、上向き円
周突起部２９が形成されている。この上向き突起部２９
に液密的に嵌合されたオイルシール３０が上向き円周突
起部２９とモータ回転軸２２との間の環状スペース３１
内に延出され、その内端部がモータ回転軸２２の外周面
に液密的に圧接されている。上向き円周突起部２９は汚
れのうちの固形分（切り粉）などが環状スペース３１内
に侵入することを防止し、オイルシール３０の摩耗を抑
制している。洗浄槽２の底部の外周側に排液口３２、３
３が設けられ、さらに、各排液口３２，３３に連通した
排液ホース３４、３５が設けられている。排液口３２、
３３と排液ホース３４，３５との間には、後述する排液
弁３６、３７が介在している。３８はドレンパンで、３
９はドレンコックである。

【００４１】図３は、この実施例の配管系統図であり、
図１，図２に対応する部分には、同一の参照符号を付
す。

【００４２】この実施例では、洗浄槽２は、２つの貯液
タンク１０１，１０２の上方位置に配置されており、洗
浄槽２内のすすぎ液あるいは洗浄液を、各貯液タンク１
０１，１０２にそれぞれ重力による自然落下を利用して
回収するための第１管路として上述の排液ホース３４，
３５が設けられるとともに、その途中に開閉弁としての
排液弁３６，３７がそれぞれ介装されている。

【００４３】この排液弁３６，３７は、図４に示される
ように、Ｏリング１０３付き弁体１０４を、マグネット
１０５、１０６によってコイルスプリング１０７の付勢
力に抗して、開弁方向（マグネット１０５，１０６側）
にシャフト１０８を介して吸引し、矢符で示される液路
を形成し、重力によって貯液タンク１０１、１０２に液
回収を行い、液回収が完了すると、マグネット１０５、
１０６への通電を解除して液路を遮断するものである。
なお、この排液弁３６，３７では、シャフト１０８は、
シャフト支持ボス１０９によって支持されるとともに、
弁体Ｏリング１１０及びスピンドルＯリング１１１によ
って液密が図られており、支持ボス１０９は、ネジ１１
２によって排液弁３６、３７に固定されている。

【００４４】再び、図３を参照して、この実施例では、
洗浄槽２よりも下方位置の各貯液タンク１０１，１０２
から前記洗浄槽２へすすぎ液あるいは洗浄液をそれぞれ
給液するための第２管路の共通管路部分に、正逆回転可
能なリバーシブル機能を有するポンプ１１７を設けてお
り、このポンプ１１７は、装置外からすすぎ液および洗
浄液を、貯液タンク１０１，１０２にそれぞれ給液する
ときにも駆動される。１１５，１１５’，１１６，１１
６’は、装置外から各貯液タンク１０１，１０２に給液
するか、あるいは、各貯液タンク１０１，１０２から洗
浄槽２に給液するかに応じて流路を切換える手動の三方
弁、１１９〜１２２は、共通管路部分を短くして洗浄液
とすすぎ液との混合を極力抑制するための逆止弁、１５
０〜１５２は、各貯液タンク１０１，１０２および洗浄
槽２の液量を検知するフロートスイッチ、１２３，１２
４は不純物や汚れを除去するフィルタ、１１３，１１４
は貯液タンク１０１，１０２の液を排出するためのドレ
ンバルブである。

【００４５】次に、以上の構成を有する洗浄装置の動作
を説明する。

【００４６】先ず、三方弁１１５，１１６を、手動操作
してすすぎ液の給液口１６０からポンプ１１７を介して
貯液タンク１０１に至る流路を形成し、ポンプ１１７を
正転駆動させることにより、すすぎ液を、前記給液口１
６０から三方弁１１５，逆止弁１１９，ポンプ１１７，
逆止弁１２０，三方弁１１６を介して貯液タンク１０１
に給液し、フロートスイッチ１５０にて所定の液量にな
ったときに、ポンプ１１７を停止して給液を終了する。

【００４７】同様に、三方弁１１５’，１１６’を手動
操作して洗浄液の給液口１６１からポンプ１１７を介し
て貯液タンク１０２に至る流路を形成し、ポンプ１１７
を逆転駆動させることにより、洗浄液を、給液口１６１
から三方弁１１５’，逆止弁１２１，ポンプ１１７，逆
止弁１２２，三方弁１１６’を介して貯液タンク１０２
に給液し、フロートスイッチ１５１にて所定の液量にな
ったときに、ポンプ１１７を停止して給液を終了する。

【００４８】次に、貯液タンク１０２から洗浄槽２に洗
浄液を給液するときには、三方弁１１５，１１６を手動
操作して貯液タンク１０２の給液口１６２からポンプ１
１７を介して洗浄槽２の給液口１２５に至る第２管路に
よる流路を形成し、ポンプ１１７を正転駆動させること
により、貯液タンク１０２から三方弁１１５，逆止弁１
１９，ポンプ１１７，逆止弁１２０，三方弁１１６，フ
ィルタ１２３を介して矢符Ａで示されるように洗浄槽２
へ洗浄液が給液されて被洗浄物２５が洗浄液に没し、フ
ロートスイッチ１５２により所定の液量になったとき
に、ポンプ１１７を停止して給液を終了する。

【００４９】その後、モータ２０が回転し、これに応じ
てターンテーブル２３が、例えば、１０ｒｐｍ程度の低
速で回転しながら超音波振動子ユニット１７から被洗浄
物２５に超音波が照射されて洗浄が行われる。すなわ
ち、被洗浄物２５を収納したバスケット２６およびター
ンテーブル２３の低速回転により洗浄液中に弱い液流が
発生する。これにより、液流洗浄と超音波洗浄との複合
洗浄が行われ、汚れの離脱，分散，再付着阻止によって
高洗浄度での洗浄が行われる。所定の超音波洗浄時間が
経過すると、モータ２０および超音波振動子ユニット１
７の駆動を停止して洗浄を完了し、排液弁３７を開弁し
て洗浄液を、下方の貯液タンク１０２に重力による自然
落下を利用して回収する。

【００５０】次に、貯液タンク１０１から洗浄槽２にす
すぎ液を給液するときには、三方弁１１５’，１１６’
を手動操作して貯液タンク１０１の給液口１６３からポ
ンプ１１７を介して洗浄槽２の給液口１２６に至る第２
管路による流路を形成し、ポンプ１１７を逆転駆動させ
ることにより、貯液タンク１０１から三方弁１１５’，
逆止弁１２１，ポンプ１１７，逆止弁１２２，三方弁１
１６’，フィルタ１２４を介して矢符Ｂで示されるよう
に洗浄槽２へすすぎ液が給液されて被洗浄物２５がすす
ぎ液に没し、フロートスイッチ１５２により所定の液量
になったときに、ポンプ１１７を停止して給液を終了す
る。

【００５１】その後、モータ２０が回転し、これに応じ
てターンテーブル２３が、低速で回転しながら超音波振
動子ユニット１７から被洗浄物２５に超音波が照射され
て液流と超音波振動との複合すすぎが行われる。所定の
すすぎ時間が経過すると、モータ２０および超音波振動
子ユニット１７の駆動を停止してすすぎを完了し、排液
弁３６を開弁してすすぎ液を、下方の貯液タンク１０１
に重力による自然落下を利用して回収する。

【００５２】すすぎ液が回収されると、被洗浄物２５が
高速回転されて液きりが行われる。

【００５３】このように、洗浄液中で被洗浄物２５を回
転させて液流を生じさせるとともに、超音波を回転する
被洗浄物２５に照射するようにし、液流と超音波振動と
いう異なった物理作用を同時に与える複合洗浄を行うの
で、高い洗浄度と均一な洗浄性を確保することができ
る。

【００５４】さらに、１つの洗浄槽２内で洗浄、すす
ぎ、液切りが行えるので、従来のように、洗浄槽、すす
ぎ槽というように、複数の液槽を並設して被洗浄物を各
液槽に移送するといった工程が不要になり、全体として
の能率が向上し、また、スペース効率もよい。

【００５５】しかも、洗浄槽２と貯液タンク１０１，１
０２とを高低差をもって配置し、洗浄槽２から各貯液タ
ンク１０１，１０２への液回収を重力を利用した自然落
下にて行い、各貯液タンク１０１，１０２から洗浄槽２
への給液は、正逆回転可能な単一のポンプ１１７によっ
て移送方向を反転させることにより行うので、ポンプの
数を少なくできるとともに、配管系を簡素化できること
になり、設置スペース、イニシャルコストおよびランニ
ングコストの大幅な削減が可能となる。

【００５６】また、この実施例では、重力を利用した液
回収の配管を、ポンプ１１７による供給系の配管よりも
太くしているので、液回収の時間を短縮することができ
る。

【００５７】さらに、この実施例では、逆止弁１１９〜
１２２を、ポンプ１１７にできる限り近接して配置して
おり、洗浄液とすすぎ液との共通な管路部分は、ポンプ
１１７内と逆止弁１１９、１２０、１２１、１２２で囲
まれた配管内に限られることになり、２つの液の混合を
抑制することができる。これによって、すすぎ液の清浄
度を長く保持できるため高清浄度が得られ、かつ液の長
期使用が可能となってランニングコストの低減が図れ
る。

【００５８】上述の実施例では、洗浄槽２を２つの貯液
タンク１０１，１０２よりも高位置に配置するようにし
たけれども、本発明の他の実施例として、２つの貯液タ
ンク１０１，１０２を、洗浄槽２よりも高位置に配置
し、上述の実施例とは逆に、各タンク１０１，１０２か
ら洗浄槽２への給液を重力による自然落下を利用して行
うようにしてもよい。

【００５９】また、上述の実施例では、単一の洗浄槽２
に対して、２つの貯液タンク１０１，１０２を設けたけ
れども、本発明の他の実施例として、貯液タンク１０
１，１０２およびポンプ１１７の数を増加させてもよい
のは勿論である。

【００６０】また、本発明の他の実施例として、洗浄液
中での複合洗浄を行う給液段階において、ターンテーブ
ル２３を回転させながら、ターンテーブル２３上のバス
ケット２６内の被洗浄物２５に対して、洗浄液をシャワ
ーリングし、回転する被洗浄物２５へのシャワーリング
の衝撃力により被洗浄物２５の洗浄を行い、このシャワ
ーリングに供されて初期汚れを含んだ洗浄液を洗浄槽２
外へ排出した後に、洗浄液中での複合洗浄を行うように
してもよい。

【００６１】さらに、本発明の他の実施例として、各貯
液タンク１０１，１０２に、温度センサとヒータとをそ
れぞれ設置するとともに、各タンク１０１，１０２内の
液をポンプによって循環させる管路を形成し、洗浄槽２
に給液しない貯液時には、各液を循環させながら所定温
度に保持するように構成してもよく、かかる構成によれ
ば、一層高い洗浄性が得られる。

【００６２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、被洗浄物
が回転されて生じる液流と超音波とによる複合洗浄が行
われるので、高洗浄度と均一洗浄性を確保することがで
き、また、液槽に対して、複数の貯液タンクから給液で
きるので、従来のように、洗浄槽、すすぎ槽というよう
に、複数の液槽を並設して被洗浄物を各液槽に移送する
といった工程が不要になり、全体としての能率が向上す
るとともに、スペース効率もよい。

【００６３】しかも、液槽と複数の貯液タンクとを高低
差をもって配置し、高位置から低位置への給液は、重力
を利用した自然落下にて行い、低位置から高位置へは、
正逆回転可能なポンプによって移送方向を反転させるこ
とにより、異なる液体の給液を行うようにしているの
で、ポンプの数および配管系を簡素化できることにな
り、省スペース化が図れるとともに、イニシャルコスト
およびランニングコストの低減を図ることができる。

【００６４】さらに、自然落下を利用した配管径を大き
くしているので、液の移送に要する時間の短縮化を図る
ことができる。

【００６５】しかも、逆止弁をポンプに近接して配置し
て異なる液体が流れる共通の管路部分を短くしているの
で、異なる液体が混合するのを極力抑制することがで
き、液体の清浄度を高く保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の洗浄装置の正面図である。

【図２】図１の実施例の側面図である。

【図３】図１の実施例の配管系統図である。

【図４】図１の実施例の排液弁の断面図である。

【符号の説明】

２ 洗浄槽 １６ 超音波振動子 １７ 超音波振動子ユニット ２０ インバータ制御モータ ２３ ターンテーブル ２５ 被洗浄物 ３６，３７ 排液バルブ １０１，１０２ 貯液タンク １１７ ポンプ １１９〜１２２ 逆止弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−51643（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−103786（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 B08B 3/00 - 3/14

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波振動子が取り付けられた液槽と、
   この液槽へ供給される液体が貯えられた複数の貯液タン
   クとを備え、前記液槽内に収納された被洗浄物を回転さ
   せて液流を発生させながら、超音波を照射して洗浄を行
   う洗浄装置であって、 前記液槽と前記複数の貯液タンクとが、高低差をもって
   配置され、高位置の液槽（または複数の貯液タンク）か
   ら低位置の複数の貯液タンク（または液槽）へ液体をそ
   れぞれ移送する複数の第１管路には、開閉弁がそれぞれ
   設けられるとともに、低位置の複数の貯液タンク（また
   は液槽）から高位置の液槽（または複数の貯液タンク）
   へ液体をそれぞれ移送する複数の第２管路には、複数の
   貯液タンクに対応したいずれの液体も移送される共通な
   管路部分に、移送方向を反転できる正逆回転可能なポン
   プが設けられ、 前記第１管路による高位置から低位置への液体の移送
   は、重力を利用した自然落下によって行い、前記第２管
   路による低位置から高位置への液体の移送は、前記ポン
   プの回転によって行うことを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 重力を利用した自然落下によって液体を
   移送する第１管路の配管径を、前記ポンプの回転によっ
   て液体を移送する第２管路の配管径よりも大きくした前
   記請求項第１項に記載の洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記第２管路には、前記ポンプに近接し
   て逆止弁を設け、前記共通な管路部分を短くした請求項
   第１項または第２項に記載の洗浄装置。