JPH07144179A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】脱フロン脱エタン洗浄液を用いる洗浄装置にお
いて、装置の洗浄機能の改善によって高洗浄度および均
一洗浄性を確保するとともに、装置構成を簡素化して省
スペースおよびコストの低減を図ることを目的とする。 【構成】モータ２０によって被洗浄物２５を回転させて
液流を発生させながら超音波を照射して複合洗浄を行う
洗浄装置であって、各貯液タンク１０１，１０２には、
ヒータ６４，６５直下にエアの吹き出し口１０３，１０
４を設け、エアの吹き出しによる撹拌作用で液温を均一
に保っている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板、樹脂成
型部品、及び金属加工部品などの被洗浄物から汚れを除
去し、極めて清浄な状態にする洗浄装置に関し、より詳
しくは脱フロン脱エタンの洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から用いられている洗浄液であるＣ
ＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタンには、
化学的、熱的安定性が高い適当な溶解性がある不燃
性で火災の危険性がない適当な沸点を有し、蒸発熱が
小さく蒸気洗浄に適している表面張力、粘度が小さく
狭い隙間にも浸透性を有する毒性が低く、作業環境へ
の配慮が容易である揮発性が高く乾燥が容易である
洗浄液の使用済液（汚染液）は蒸留により再生利用が容
易である等々の特長があり、これらの洗浄液の洗浄度は
洗浄液そのものの洗浄性によるところが大きく、洗浄装
置の洗浄機能によるところは少なかった。

【０００３】地球環境保護の目的でＣＦＣ−１１３や
１，１，１−トリクロロエタンなどの特定フロンの全廃
（１９９５年末）が決定され、脱フロン脱エタン洗浄に
ついて高性能な代替洗浄装置の必要性が高まってきた。
前記の状況下にあって代替洗浄剤も各種のものが市販さ
れるようになってきているが、前記の〜の特長を全
て備えているものは出現しておらず、今後においても出
現は期待できないと言われている。

【０００４】一方技術の高度化は年々着実に進み、その
背景にはＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタ
ンによる高洗浄度によることころが大であった。脱フロ
ン脱エタン時代の代替洗浄剤で従来の高洗浄度を確保す
るためには脱フロン脱エタン洗浄装置の洗浄機能の改善
に頼らざるを得ない現状にある。

【０００５】従来の洗浄装置においては、洗浄液（ＣＦ
Ｃ−１１３や１，１，１−トリクロロエタン）を収容す
る洗浄槽の側壁に超音波振動子を装着するか、槽内に投
げ込み型の超音波振動子ユニットを装備し、被洗浄物を
静かに揺動させ、超音波の照射効果を被洗浄物に一様に
与え、洗浄液の洗浄性とともに超音波による洗浄性によ
って洗浄工程を進行させていた。

【０００６】従来の超音波洗浄においては、超音波洗浄
時に液流がない方が洗浄性がよいとされ、被洗浄物の揺
動は静かに行うのが原則とされており、各種の洗浄装置
においてこの原則が忠実に守られてきた。

【０００７】洗浄後の被洗浄物は、洗浄液中から静かに
引き上げ、被洗浄物上に液滴を残さず（乾燥後液中の汚
れが残る）に洗浄液の比熱が低く蒸発しやすいことを利
用して、引き上げ途中で乾燥し蒸気は冷却器により槽内
に回収される。

【０００８】この場合、洗浄液の付着液被膜中に含有さ
れた汚れが、洗浄液の蒸発によって洗浄後に被洗浄物の
表面に残留することになる。このようにして第１槽目で
洗浄された被洗浄物は第２槽目（例えば、すすぎ槽）に
移されることになるが、液付着量（液被膜が少ないた
め）汚れの第２槽目への持ち込み量は極めて少ない。汚
れた洗浄液が、そのまま第２槽目に汚れを一緒に持ち込
むことがなく、洗浄槽から引き上げられるときに被洗浄
物が濡れていた洗浄液の被膜中に含まれた汚れだけが移
動するのみである。

【０００９】このため、第２槽目の汚れの進行は充分に
遅く、第２槽目の洗浄（またはすすぎ）が汚れの少ない
液によって極めて効果的に行える。

【００１０】第３槽目以降においては、更に汚れの少な
い液中ですすぎ（または洗浄）が行われることになる。

【００１１】洗浄槽中で被洗浄物から汚れを落とし、第
２槽目へ移動する汚れの量を最小限に抑えるのが第２槽
目以降の洗浄度を高くするポイントであり、ＣＦＣ−１
１３や１，１，１−トリクロロエタンであればこそ可能
であった。

【００１２】脱フロン脱エタン洗浄液、例えば炭化水素
系洗浄剤や水系洗浄剤においては、沸点が高く蒸発熱も
大きいため揮発性が低い。従って、汚れた洗浄液を確実
に液きりして第２槽目へ被洗浄物を移さないと、第２槽
目の液は持ち込まれた液によって洗浄度が容易に低下す
ることになり、第２槽目以降の汚れも順次進行する。洗
浄後の乾燥槽へも多くの液滴が持ち込まれる結果、乾燥
後の高洗浄度が得られにくい。

【００１３】ＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロ
エタンは溶解性および浸透性が高いために、被洗浄物の
汚れを容易に液中へ溶解し、そして液中への分散化を図
る性質を有するので、被洗浄物から離脱した汚れは液中
に容易に分散し、次から次へと被洗浄物より汚れを離脱
させ液中分散を図るから、洗浄が効果的に進行する。す
なわち洗浄理論の原則である、被洗浄物から汚れを離
脱させる離脱した汚れを分散させる汚れの分散によ
って被洗浄物周辺に汚れ度の高い液層を作らず、被洗浄
物が液中汚れにより再汚染されることなく洗浄度を低下
させない等が極めて有利に作用するために、物理的な洗
浄機能としては静止液中で超音波を照射することで十分
であった。

【００１４】脱フロン脱エタン洗浄剤では、溶解性、分
散性を同時に備えたものはなく、特に多量に付着した汚
れに対しては被洗浄物の被膜汚れが露出され、超音波洗
浄効果が現れるまでに長い時間を要する。離脱した汚れ
は、汚れ濃度の高い液層を被洗浄物周辺に形成し、汚れ
濃度が分散しないまま浮遊するため被洗浄物の表面洗浄
の進行が緩やかになる。

【００１５】脱フロン脱エタン洗浄剤は、前述の通り洗
浄性はＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタン
に比べはるかに劣るものである。液の性状も異なるため
に従来の洗浄装置で洗浄を行うことは不可能である。従
来レベルの洗浄度を確保するためには洗浄装置の洗浄機
能の改善によって洗浄度を補う必要がある。

【００１６】また、洗浄槽（またはすすぎ槽）の構造
は、第１槽（洗浄）より第２槽（洗浄またはすすぎ槽）
を多くの場合高位置にし、第３槽は第２槽より高く、第
４槽は第３槽より高くというようにして複数個の洗浄又
はすすぎ槽を隣接させ、最終槽へ新液を補給すると順次
隣接槽へオーバーフロー流入する構造を有している。第
１槽目の洗浄液は被洗浄物に付着して次槽へ持ち込まれ
る液量や被洗浄物を洗浄後に引き上げるときに揮発する
液量が順次減量される。第２槽、第３槽・・・において
も同様の液の減量が起こるが、最終槽に供給された新液
が順次第１槽までオーバーフローして供給されるから後
の槽ほど液の清浄度は高く保たれる。

【００１７】かかる洗浄槽（またはすすぎ槽）の構造で
は、被洗浄物は槽の数に等しい回数だけ移送工程が伴う
ことになる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】従来、万能洗浄剤とい
われたＣＦＣ−１１３や１，１，１−トリクロロエタン
は地球環境保護の立場から全廃が決定されることになっ
たのは当然の成り行きとして、受け止められている。脱
フロン脱エタン洗浄剤の低洗浄性を洗浄装置の洗浄機能
の改善で補って、従来の洗浄度を維持し、かつ洗浄のイ
ニシャルコスト及びランニングコストの高騰を防ぐ新た
な洗浄装置の開発が望まれている。

【００１９】その開発にあたっての課題として、従来
の洗浄剤プラス超音波洗浄に相当する洗浄性が確保でき
る新洗浄方式の開発超音波の照射効果を被洗浄物に一
様に与えて、超音波洗浄効果を確保すること・・等があ
り、このように洗浄機能の改善によって代替洗浄液その
ものがもつ洗浄性の低さを補う必要がある。

【００２０】さらに、複数個の洗浄又はすすぎ槽を並設
して被洗浄物を槽の数に等しい回数移送するといった工
程を不要とし、装置を簡略化してイニシャルコストおよ
びランニングコスト（消費電力等）の低減を図ることも
求められている。

【００２１】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたもので、高洗浄度および均一洗浄性を確保するとと
もに、装置構成を簡素化して省スペースおよびコストの
低減を図った洗浄装置を提供することを目的とする。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。

【００２３】すなわち、本発明は、超音波振動子が取り
付けられた液槽と、この液槽へ供給される液体が貯えら
れた複数の貯液タンクとを備え、前記液槽内に収納され
た被洗浄物を回転させて液流を発生させながら、超音波
を照射して洗浄を行う洗浄装置であって、前記貯液タン
クには、該タンク内にエアを吹き出して液体を撹拌する
エアの吹き出し口が設けられている。

【００２４】

【作用】上記構成によれば、被洗浄物が回転されること
と、その回転よって生じる液流に被洗浄物がさらされる
こととによって、被洗浄物に付着している汚れを液流と
いう物理力で離脱させる。しかも、超音波を照射するこ
とにより汚れの離脱作用を隅々までわたらせるととも
に、離脱した汚れを分散させて被洗浄物への汚れの再付
着を防止する。表面液流の作用により被洗浄物上の汚れ
と液流との界面が活性化されて汚れが液中に溶出し、溶
出した汚れは直ちに液流により分散し、界面の汚れの濃
度を高めることがないために継続的に汚れが離脱する。
被洗浄物の界面の汚れ濃度が局部的に高まることがない
ので、再汚染によって洗浄度が低くなるという不都合な
結果を避けることができる。また、小さな加工穴やスリ
ットの内部など液流が届きにくく液流のみでは充分な洗
浄性を発揮しにくい部分に対しては、超音波振動が作用
することとなって良好に汚れを離脱させることができ、
離脱した汚れは液流によって直ちに分散させることがで
きる。

【００２５】ところで、液流なしの超音波のみを、層状
に堆積した汚れに物理作用させた場合には、汚れを離脱
させるのに時間を要するし、離脱した汚れが分散されな
いので界面の汚れ濃度が高まって離脱効果が低下し、局
部的な再汚染現象も起きるといったことから洗浄度が上
がらない。また、目視的には滑らかな金属表面でもミク
ロ的には多くの凹凸があって液流だけでは洗浄度が充分
でない。これに対して、上記のように液流と超音波振動
という全く異なった物理作用を同時に与える複合洗浄に
より、高い洗浄度を確保できるとともに、均一な洗浄性
を確保することができるようになる。

【００２６】さらに、本発明の洗浄装置では、液槽に対
して、複数の貯液タンクから、例えば、洗浄液あるいは
すすぎ液を給液できるので、従来のように、洗浄槽、す
すぎ槽というように、複数の液槽を並設して被洗浄物を
各液槽に移送するといった工程が不要になる。

【００２７】しかも、貯液タンク内の洗浄液などの液体
の温度を、エアを吹き込むことによる撹拌作用によって
均一にすることができ、しかも、撹拌のためのポンプや
液体の配管系が不要であるので、イニシャルコストの低
減および省スペース化を図ることができる。

【００２８】

【実施例】以下、図面によって本発明の実施例につい
て、詳細に説明する。

【００２９】図１は、本発明の一実施例の正面図であ
り、この実施例の洗浄装置では、外装ケーシング１に洗
浄槽２が内蔵されるとともに、２つの貯液タンク１０
１，１０２が並設されている。洗浄槽２は有底の４角筒
形をなしており、その上部４隅に連設されたフック３が
防振用スプリング４を介して外装ケーシング１の上部に
吊り下げられている。洗浄槽２の底部の４隅と外装ケー
シング１の底部との間にショックアブソーバー５が掛け
わたされている。洗浄槽２には液が収容されてその液中
で被洗浄物が回転するために、洗浄槽２に振動が生ずる
が、防振用スプリング４とショックアブソーバー５とが
洗浄槽２に生じる振動を吸収して緩衝する。

【００３０】洗浄槽２の上方空間を角筒状に囲むファイ
バー入りラバーなどからなる可撓伸縮性カーテン６の下
部が洗浄槽２の上部に外嵌され、リング状コイルスプリ
ング７によって締め付け固定され、その上部は外装ケー
シング１の上面板８における洗浄槽口部９下部に外嵌さ
れている。可撓伸縮性カーテン６は洗浄槽２の振動が外
装ケーシング１に伝わるのを避けながら、洗浄液が飛散
することや洗浄液の蒸気が外部に流出するのを防止す
る。洗浄槽口部９は、２つの把手１１が固設された洗浄
槽蓋体１２によって着脱開閉自在に閉塞されるようにな
っている。

【００３１】４角筒状の洗浄槽２の１つの側壁の中央か
ら下側にかけて開口部１３が形成され、開口部１３の外
側に対向させて振動板１４が配置され、開口部１３の周
囲において洗浄槽２と振動板１４との間にパッキングが
狭着された状態で振動板１４が洗浄槽２にボルトナット
で液密的に取り付けられている。

【００３２】振動板１４には複数個の超音波振動子１６
が固定され、超音波振動ユニット１７を構成している。
この超音波振動ユニット１７は、外装ケーシング１の内
壁面に設けられた発振ユニット１８にリード線を介して
接続され、例えば３８ｋＨｚの超音波周波数で駆動制御
される。駆動された振動板１４は洗浄槽２内の液に対し
てほぼ水平方向に超音波を照射する。

【００３３】洗浄槽２の底部下面に取り付け板１９が固
定され、この取り付け板１９にインバータ制御モータ２
０が固定されている。モータ２０は外装ケーシング１内
に設けられたインバータ制御装置２１にリード線を介し
て接続され、低速から高速まで回転速度が設定できるよ
うになっている。モータ２０の回転軸２２が洗浄層２の
底部中央から洗浄槽２の内部へ貫通されている。ターン
テーブル２３の下面中央に固定されたボス２４がモータ
２０の回転軸２２に対して嵌合されている。この嵌合は
セレーションを介して行われており、周方向においては
一体回転するように結合され、軸方向においては挿抜自
在となっている。洗浄槽２は洗浄液を供給したときや、
被洗浄物２５を投入したときに重力によって下降し、ま
たモータ２０を駆動したときに上下左右に振動するが、
防振動用スプリング４、ショックアブソーバー５及び可
撓伸縮性カーテン６はこれらを吸収する。

【００３４】ターンテーブル２３は単数または複数の被
洗浄物２５を収納するバスケット２６を載置した状態で
回転するものであり、ターンテーブル２３の外周部には
複数の脱落防止ガード２７が立ちあげられている。２８
はバスケット２６の把手である。バスケット２６は、洗
浄槽蓋体１２を開けた洗浄槽口部９を通して洗浄槽２の
内部に挿入可能であり、また取り出し可能である。ター
ンテーブル２３は、それに設置したバスケット２６が振
動板１４の横側部に位置するように位置設定されてい
る。ターンテーブル２３は、洗浄槽２内に洗浄液が収容
された状態で回転自在であるとともに、洗浄液がない状
態でも回転可能となっている。

【００３５】モータ回転軸２２の周囲近傍において、洗
浄槽２の底部が絞り加工等によって膨出され、上向き円
周突起部２９が形成されている。この上向き突起部２９
に液密的に嵌合されたオイルシール３０が上向き円周突
起部２９とモータ回転軸２２との間の環状スペース３１
内に延出され、その内端部がモータ回転軸２２の外周面
に液密的に圧接されている。上向き円周突起部２９は汚
れのうちの固形分（切り粉）などが環状スペース３１内
に侵入することを防止し、オイルシール３０の摩耗を抑
制している。また、洗浄槽２の底部の外周側に排液口３
２、３３が設けられている。

【００３６】外装ケーシング１内に並設された洗浄液用
およびすすぎ液用の各貯液タンク１０１，１０２の内部
には、温度センサ６６，６７が設けられるとともに、ヒ
ータ６４，６５が設けられており、図示しない制御装置
は、各温度センサ６６，６７からの検出信号によってそ
れぞれヒータ６４，６５への通電制御を行う。また、各
貯液タンク１０１，１０２の上部には、蒸発した蒸気や
後述のエアなどを排出するエア抜き口６８，６９が設け
られている。

【００３７】この実施例では、ポンプや配管系を設ける
ことなく、貯液タンク１０１，１０２内の洗浄液やすす
ぎ液を撹拌してその温度を均一にするために、各貯液タ
ンク１０１，１０２内の下部には、エアを噴出する吹き
出し口１０３，１０４が設けられており、貯液時には、
装置の駆動に用いられる汎用のエアを、前記吹き出し口
１０３，１０４から噴出させている。

【００３８】図２は、かかる貯液タンク１０１，１０２
の構成および撹拌作用を説明するための図である。ヒー
タ６４，６５の直下に配置された吹き出し口１０３，１
０４からのエアは、ヒータ６４，６５によって加熱され
た洗浄液あるいはすすぎ液中の加熱部分を通過し、比重
差によって急速に貯液タンク１０１，１０２上部へ上昇
する。その際に、矢符Ａで示されるような液流を作り出
して洗浄液あるいはすすぎ液を撹拌し、液温を均一にす
ることができる。なお、その後のエアは、エア抜き口６
８，６９から放出される。

【００３９】表１は、かかるエアの吹き出しによる撹拌
を行わなかった場合と、エアの吹き出し量を変えた場合
の貯液タンクの上下の温度差を示すものであり、この例
では、貯液タンクの大きさが７０ｌ、吹き出し口の直径
が８ｍｍの場合を示している。

【００４０】

【表１】

【００４１】この表１から明らかなように、エアの吹き
出しによる撹拌によって温度が均一となっており、特
に、エア流量が、０.５ｎ−ｌ／ｍｉｎ程度が最も望ま
しい。このため、この実施例では、エアを貯液タンク１
０１，１０２内に導入するエア配管の途中に、調圧弁１
０５および流量計１０６を設置してエアの流量を調整す
るようにしている。

【００４２】このように、貯液タンク１０１，１０２内
の洗浄液やすすぎ液の温度を、エアを吹き込むことによ
る撹拌作用によって均一にすることができ、しかも、撹
拌のためのポンプや液体の配管系が不要であるので、イ
ニシャルコストの低減および省スペース化を図ることが
できるものである。

【００４３】図３は、この実施例の配管系統図であり、
図１，図２に対応する部分には、同一の参照符号を付
す。

【００４４】各貯液タンク１０１，１０２には、後述の
ようにして、洗浄液およびすすぎ液が給液されており、
ヒータ６４，６５によって加熱されるとともに、エア吹
き出し口１０３，１０４からエアが吹き出されて撹拌さ
れており、液温が均一に保たれている。

【００４５】ここで、正逆転式のポンプ１０７を正転駆
動すると、洗浄液用貯液タンク１０１で加温された洗浄
液が配管１０８を介して、電磁弁１０９，逆止弁１１
０，給液系フィルタ１１１を通り、給液口１１２から洗
浄槽２に供給される。所定量の洗浄液が供給されると、
液流と超音波による複合洗浄が開始される。すなわち、
発振ユニット１８の制御によって超音波振動子ユニット
１７が駆動されるとともに、インバータ制御装置２１の
制御によってインバータ制御モータ２０が駆動されター
ンテーブル２３が極低速の５〜１５ｒｐｍで回転駆動さ
れる。ターンテーブル２３上に載置されたバスケット２
６に収納の被洗浄物２５が洗浄液中で低速回転されて弱
い液流が発生する。液流は付着力の弱い流れ（表面に付
着したほこりや油など）を離脱させ、直ちに液中に分散
化させたりエマルジョンにして汚れ表面から持ち去るか
ら、超音波振動によるキャビテーション効果が高まる。
低速の液流は狭いスリットや貫通穴などの汚れには作用
しにくいが、超音波振動は効果的に作用する。

【００４６】洗浄液での一定時間に亘る複合洗浄が終了
すると、モータ２０および超音波振動ユニット１７が停
止され、電磁弁１１３が開弁するとともに、ポンプ１０
７が逆転駆動され、洗浄槽２内の洗浄液が回収系フィル
タ（サクションフィルタ）１１４，逆止弁１１５，電磁
弁１０９を介して洗浄液用貯液タンク１０１に還流回収
される。回収系フィルタ１１４を通過するときに洗浄液
に含まれていた汚れが除去され、洗浄液が濾過される。

【００４７】洗浄液の回収が完了すると、すすぎ工程に
進む。正逆転式のポンプ１１６を正転駆動すると、すす
ぎ液用貯液タンク１０２で加温されたすすぎ液が配管１
１７を介して、電磁弁１１８，逆止弁１１９，給液系フ
ィルタ１２０を通り、給液口１２１から洗浄槽２に供給
される。所定量のすすぎ液が供給されると、液流と超音
波とによる複合洗浄が前述同様に行われ、被洗浄物２５
に対する洗浄度が高められる。すすぎ液での一定時間に
亘る複合洗浄が終了すると、モータ２０および超音波振
動ユニット１７が停止され、電磁弁１２２が開弁すると
ともに、ポンプ１１６が逆転駆動され、洗浄槽２内の洗
浄液が回収系フィルタ（サクションフィルタ）１２３，
逆止弁１２４，電磁弁１１８を介してすすぎ液用貯液タ
ンク１０２に還流回収される。回収系フィルタ１２３を
通過するときに、すすぎ液に含まれていた汚れが除去さ
れ、すすぎ液が濾過される。

【００４８】すすぎ液が回収されると、被洗浄物２５が
高速回転されて液切りが行われる。

【００４９】なお、手動バルブ１２５，１２６は洗浄
液，すすぎ液を給廃液ホース１２７，１２８を介して外
部から各貯液タンク１０１，１０２に給液するときに手
動で開弁するもので、このときポンプ１０７，１１６を
逆転方向に駆動する。また、洗浄液，すすぎ液の汚れの
度合いが大きくなり廃液する必要が生じたとき、手動バ
ルブ１２６，１２６を開き、電磁弁１０９，１１８を閉
弁し、ポンプ１０７，１１６を正転駆動することによ
り、貯液タンク１０１，１０２から液を外部に排出し、
その後、前述した方法で新液を給液する。

【００５０】このように、洗浄液中で被洗浄物２５を回
転させて液流を生じさせるとともに、超音波を回転する
被洗浄物２５に照射するようにし、液流と超音波振動と
いう異なった物理作用を同時に与える複合洗浄を行うの
で、高い洗浄度と均一な洗浄性を確保することができ
る。

【００５１】また、１つの洗浄槽２内で洗浄、すすぎ、
液切りが行えるので、従来のように、洗浄槽、すすぎ槽
というように、複数の液槽を並設して被洗浄物を各液槽
に移送するといった工程が不要になり、全体としての能
率が向上し、また、スペース効率もよい。

【００５２】さらに、貯液タンク１０１，１０２内の洗
浄液やすすぎ液の温度を、エアを吹き込むことによる撹
拌作用によって均一にして洗浄効果を高めることがで
き、しかも、撹拌のためのポンプや液体の配管系が不要
であるので、イニシャルコストの低減および省スペース
化を図ることができるものである。

【００５３】上述の実施例では、単一の洗浄槽２に対し
て、２つの貯液タンク１０１，１０２を設けたけれど
も、本発明の他の実施例として、貯液タンク１０１，１
０２および対応するエアの吹き出し口１０３，１０４の
数を増加させてもよいのは勿論である。

【００５４】また、本発明の他の実施例として、洗浄液
中での複合洗浄を行う給液段階において、ターンテーブ
ル２３を回転させながら、ターンテーブル２３上のバス
ケット２６内の被洗浄物２５に対して、洗浄液をシャワ
ーリングし、回転する被洗浄物２５へのシャワーリング
の衝撃力により被洗浄物２５の洗浄を行い、このシャワ
ーリングに供されて初期汚れを含んだ洗浄液を洗浄槽２
外へ排出した後に、洗浄液中での複合洗浄を行うように
してもよい。

【００５５】上述の実施例では、エアの吹き出し口１０
３，１０４を、各貯液タンク１０１，１０２のヒータ６
４，６５直下に、一箇所だけ設けたけれども、本発明の
エア吹き出し口は、その数およびその位置を任意に設定
してもよいのは勿論である。

【００５６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、被洗浄物
が回転されて生じる液流と超音波とによる複合洗浄が行
われるので、高洗浄度と均一洗浄性を確保することがで
き、また、液槽に対して、複数の貯液タンクから給液で
きるので、従来のように、洗浄槽、すすぎ槽というよう
に、複数の液槽を並設して被洗浄物を各液槽に移送する
といった工程が不要になり、全体としての能率が向上す
るとともに、スペース効率もよい。

【００５７】しかも、貯液タンク内の洗浄液などの液体
の温度を、エアを吹き込むことによる撹拌作用によって
均一にすることができ、しかも、撹拌のためのポンプや
液体の配管系が不要であるので、イニシャルコストの低
減および省スペース化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の洗浄装置の正面図である。

【図２】図１の貯液タンクの構成および撹拌作用を説明
するための図である。

【図３】図１の実施例の配管系統図である。

【符号の説明】

２ 洗浄槽 １６ 超音波振動子 １７ 超音波振動子ユニット ２０ インバータ制御モータ ２３ ターンテーブル ２５ 被洗浄物 ６４，６５ ヒータ １０１，１０２ 貯液タンク １０３，１０４ 吹き出し口

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波振動子が取り付けられた液槽と、
   この液槽へ供給される液体が貯えられた複数の貯液タン
   クとを備え、前記液槽内に収納された被洗浄物を回転さ
   せて液流を発生させながら、超音波を照射して洗浄を行
   う洗浄装置であって、 前記貯液タンクには、該タンク内にエアを吹き出して液
   体を撹拌するエアの吹き出し口が設けられたことを特徴
   とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記エアの吹き出し口が、前記貯液タン
   ク内の液体を加熱するヒータ直下に配置される前記請求
   項第１項記載の洗浄装置。