JPH09220542A

JPH09220542A - 洗浄装置及びその方法

Info

Publication number: JPH09220542A
Application number: JP2904296A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Ichikawa; 昌宏市川; Toshio Kida; 俊雄木田; Toshimitsu Iwata; 俊光岩田; Junichi Fukahori; 純一深堀; Masahiro Mori; 正裕森; Yuki Usui; 由紀臼井; Kazuto Onodera; 和人小野寺; Kenji Murai; 健二村井; Kazunori Koba; 和則木場; Kazuyuki Miyake; 一幸三宅
Original assignee: Hitachi Zosen Corp; Showa Electric Wire and Cable Co
Current assignee: Hitachi Zosen Corp; SWCC Corp
Priority date: 1996-02-16
Filing date: 1996-02-16
Publication date: 1997-08-26
Anticipated expiration: 2016-02-16
Also published as: JP3329646B2

Abstract

(57)【要約】【課題】被洗浄物の洗浄を短時間で行ない、而も簡便な
機構で達成する。【解決手段】洗浄液５２が貯留された第１の洗浄部２の
洗浄槽４において、芯軸５０が所定間隔で複数収納され
た搬送籠５１を第１の上下揺動手段５によって洗浄液５
２及び大気間で上下揺動させ、さらに洗浄槽４で洗浄さ
れた芯軸５０が納置される搬送籠５１を洗浄液５２が貯
留された第２の洗浄部３の洗浄槽８に移動させ、この第
２の洗浄部３の洗浄槽８において、搬送籠５１を第２の
上下揺動手段９によって洗浄液５２及び大気間で上下揺
動させ、且つ洗浄槽８から引き上げられた搬送籠５１内
の芯軸５０を洗浄槽８内でシャワー洗浄する。洗浄液及
び大気間で上下揺動させることにより、気液界面通過に
よるせん断力が発生し、このせん断力で芯軸を洗浄させ
ることができるので、１回の上下揺動で芯軸全体を均一
に洗浄することができ、而も短時間で芯軸の油分等の汚
れを除去できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、機械工業、半導体
工業等で使用される機能部品を洗浄する洗浄装置及びそ
の方法に係り、特に、機能部品に付着した油分、金属粉
等を除去する洗浄装置及びその方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、精密加工部品、半導体、Ｉ
Ｃ、レンズ、医療器具など（以下、「被洗浄物」とい
う。）の表面に付着した油分等を除去するためにフロ
ン、エタン、塩化メチレン等の溶剤が用いられていた
が、最近、環境問題等の理由によりこれら溶剤の代替と
して界面活性剤等の洗剤水溶液が用いられている。しか
し、この洗剤水溶液の油分に対する溶解力はフロン、エ
タン、塩化メチレン等の溶剤と比較して劣っているの
で、超音波、噴流、回転、揺動及び気泡放出などの物理
的作用によって洗浄効果を高めている。

【０００３】超音波洗浄は、超音波により洗浄液内に真
空の空洞を発生させ、この空洞を加圧時の半周期の音波
で押し潰して破裂させるキャビテーション効果を利用す
るものである。即ち、洗浄槽内の洗浄液中に超音波を放
射すると、液分子の振動とキャビテーションとにより、
被洗浄物の表面に強固に付着している汚れの付着力を解
きほぐす剥離作用、また洗浄液の化学作用を促進する相
乗効果によって洗浄を行なうものである。

【０００４】噴流洗浄は、洗浄槽内に吊着された被洗浄
物に対して高圧の洗浄液を噴出ノズルから噴出させて洗
浄面に物理力を与えることによって洗浄を行なうもので
ある。回転洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内におい
てバレル状の籠内に被洗浄物を入れて回転させることに
より、物理力を籠内の被洗浄物に効率的に働かせること
によって洗浄を行なうものである。

【０００５】揺動洗浄は、洗浄液が貯留された洗浄槽内
において被洗浄物を上下、左右等に揺動させることによ
って洗浄を行なうものである。この際、超音波を併用し
て波が均一に当るようにしている。気泡放出洗浄は、洗
浄液が貯留された洗浄槽内において気泡を放出させ、ま
た洗浄液の攪拌など２次的効果を利用することによって
洗浄を行なうものである。

【０００６】このような物理的作用による洗浄装置を単
独ないし組合わせて用いることにより洗浄効果を促進さ
せている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、超音波
洗浄や噴流洗浄では被洗浄物の洗浄面に対して直進性が
あるので、超音波や噴流に対して陰になる部分に関して
は洗浄効果が低くなっていた。したがって、洗浄効果が
促進されるのは、被洗浄物の局所的な部分に限られるこ
とが多かった。このため、被洗浄物全体を満遍なく洗浄
するためには、被洗浄物或いは噴流を噴出させる噴出ノ
ズルの何れかを移動させなければならないので、被洗浄
物の形状や大きさによって洗浄時間が長くなっていた。

【０００８】また、回転洗浄においても物理力が作用す
る方向が回転の外側方向に限られるので、陰になる部分
に関しては洗浄効果が低くなっていた。さらに、水系洗
浄液の油分に対する溶解力がフロン、エタン、塩化メチ
レン等の溶剤に比べて小さいので、超音波などの物理力
を被洗浄物の洗浄面全体に働かせるには洗浄時間を長く
する必要があった。

【０００９】また、洗浄効果を促進させるために洗浄、
乾燥の各工程の多槽化が進んでいるので、洗浄装置が大
型化される傾向にある。本発明は、このような従来の難
点を解決するためになされたもので、被洗浄物全体の洗
浄を短時間で行なうことができ、而も簡便な機構で達成
できる洗浄装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明の洗浄装置は、被洗浄物を収納させることがで
きる搬送籠と、搬送籠に収納された被洗浄物を洗浄する
ための洗浄液が貯留された洗浄槽と、被洗浄物を収納し
た搬送籠を洗浄液及び大気間で上下揺動させて気液界面
を通過させる上下揺動手段とを備えたものである。

【００１１】また、本発明の洗浄装置においては、洗浄
液を洗浄槽内にジェット噴射させるジェット噴流手段を
備えたものである。さらに、本発明の洗浄装置において
は、洗浄液が貯留された洗浄槽の底部から気泡を放出さ
せる気泡放出手段を備えたものである。また、本発明の
洗浄装置は、搬送籠に収納された被洗浄物を洗浄するた
めの洗浄液が貯留された洗浄槽、被洗浄物を収納した搬
送籠を洗浄液及び大気間で上下揺動させて気液界面を通
過させる上下揺動手段、洗浄液を洗浄槽内にジェット噴
射させるジェット噴流手段及び洗浄液が貯留された洗浄
槽の底部から気泡を放出させる気泡放出手段を有する第
１の洗浄部と、第１の洗浄部と同様の洗浄槽、上下揺動
手段、ジェット噴流手段、気泡放出手段及び被洗浄物を
洗浄後、搬送籠が引き上げられた時に被洗浄物をシャワ
ー洗浄するシャワー洗浄手段を有する第２の洗浄部とか
らなるなるものである。

【００１２】また、本発明の洗浄装置においては、上下
揺動手段の上下揺動速度は５〜５０ｍ／ｍｉｎである。
また、本発明の洗浄装置においては、洗浄液は水又は温
水であり、このような水又は温水には防錆剤を含ませて
もよい。さらに、本発明の洗浄装置においては、洗浄液
を薬品処理して再生し再度洗浄槽内に循環させる洗浄液
再処理装置を備えたものである。

【００１３】本発明の洗浄方法は、洗浄液が貯留された
第１の洗浄部の洗浄槽において、被洗浄物が収納された
搬送籠を第１の上下揺動手段によって洗浄液及び大気間
で複数回上下揺動させて気液界面を通過させ、さらに第
１の洗浄部の洗浄槽で洗浄された被洗浄物が収納される
搬送籠を洗浄液が貯留された第２の洗浄部の洗浄槽に移
動させ、第２の洗浄部の洗浄槽において、搬送籠を第２
の上下揺動手段によって洗浄液及び大気間で複数回上下
揺動させて気液界面を通過させ、且つ第２の洗浄槽から
引き上げられた搬送籠内の被洗浄物を第２の洗浄槽内で
シャワー洗浄するものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の洗浄装置の実施の
一形態について、図面を参照して説明する。本発明の洗
浄装置の実施の一形態は図１に示すように、搬送籠５１
に収納された被洗浄物であるアルミニウム芯軸（以下、
「芯軸」という。）５０を洗浄するための洗浄液５２が
貯留された洗浄槽４と、芯軸５０が収納された搬送籠５
１を洗浄液５２及び大気間で複数回上下揺動させる第１
の上下揺動手段５と、洗浄液を洗浄槽４内にジェット噴
射させるジェット噴流手段６と、洗浄液５２が貯留され
た洗浄槽４の底部から気泡を放出させる気泡放出手段７
とを有する第１の洗浄部２を備え、また第１の洗浄部２
で洗浄された芯軸５０を再洗浄するために、該第１の洗
浄部２と同様に芯軸５０を洗浄するための洗浄液５２が
貯留された洗浄槽８と、芯軸５０が収納された搬送籠５
１を洗浄液５２及び大気間で複数回上下揺動させる第２
の上下揺動手段９と、洗浄液を洗浄槽８内にジェット噴
射させるジェット噴流手段１０と、洗浄液５２が貯留さ
れた洗浄槽８の底部から気泡を放出させる気泡放出手段
１１とを有し、さらに第２の上下揺動手段９によって搬
送籠５１が引き上げられた時に芯軸５０をシャワー洗浄
するシャワー洗浄手段１２を有した第２の洗浄部３を備
えている。なお、洗浄槽４、８に貯留される洗浄液５２
には、水又は温水が使用されている。

【００１５】芯軸５０は所定間隔で区切られた搬送籠５
１に対して軸芯が鉛直方向を向くように２４ケ収納され
ている。このような芯軸５０は、電子複写機やレーザー
プリンタの定着部ローラなどに用いられるものである。
第１の上下揺動手段５及び第２の上下揺動手段９は、芯
軸５０が収納された搬送籠５１を洗浄槽４、８内の洗浄
液５２及び大気間で気液界面を通過するように上下揺動
させることができるもので、例えばエアシリンダ、油圧
シリンダなどが用いられる。この第１の上下揺動手段５
及び第２の上下揺動手段９の上下揺動回数、上下揺動速
度、上下揺動ストロークは、芯軸５０の汚染度に応じて
決定される。このように気液界面を通過させることによ
り、芯軸５０に付着した油分、金属粉等に対してせん断
力を発生させることができる。この気液界面によるせん
断効果は芯軸５０全体に対して均一に働くので、芯軸５
０の内側に付着している油分、金属粉等も除去すること
ができる。

【００１６】また、搬送籠５１を第１の洗浄部２から第
２の洗浄部３に移動させるために水平移動手段１３が備
えられ、この水平移動手段１３は例えばエアシリンダ、
油圧シリンダなどが用いられる。この水平移動手段１３
は後述する水切部１４及び乾燥部１５にも、搬送籠５１
を移動させることができる。ジェット噴流手段６、１０
は、洗浄槽４、８の底部や側壁に設けられた多数の噴射
ノズルによって、洗浄液をジェット噴射させるものであ
る。また、気泡放出手段７、１１は、洗浄槽４、８の底
部に設けられた多数のノズルによって、洗浄液５２に気
泡を放出させるものである。これら、ジェット噴流手段
６、１０及び気泡放出手段７、１１によって、洗浄液５
２に浸漬されている時の芯軸５０の油分、金属粉等を除
去することができる。また、ジェット噴流、気泡放出に
よる洗浄液５２の乱流化により、剥ぎ取った油分の分散
効果及び油分の再付着防止効果が期待される。

【００１７】第２の洗浄部３にのみ有するシャワー洗浄
手段１２は、シャワーノズルが複数設けられ、洗浄槽８
の上部に位置するようになっている。このシャワー洗浄
手段１２は搬送籠５１が第２の上下揺動手段９によって
上下揺動されている時に、洗浄槽８の上部の位置から待
避させることができる機構になっている。これにより、
第２の上下揺動手段９による気液界面通過作用によって
油分が除去された芯軸５０を、さらにシャワー洗浄する
ことができるので、芯軸５０から完全に油分を除去する
ことができる。

【００１８】また、第１の洗浄部２及び第２の洗浄部３
には、洗浄液５２を薬品処理して清澄化し、再度洗浄槽
４、８内に循環させる洗浄液再処理装置が配管接続され
ている。この洗浄液再処理装置は図２に示すように、攪
拌用ファン１７が槽底に設けられた攪拌槽１８と、この
攪拌槽１８に洗浄液５２の油分を凝集分離するための薬
剤を供給する薬剤供給部１９と、攪拌槽１８内において
油分が凝集分離された洗浄液から油分のみを吸着するフ
ィルタ２０を有する油分分離部２１とからなる。なお、
洗浄液の油分を凝集分離するための薬剤は、硫酸アルミ
ニウム、カリミョウバンなどの凝集剤や、水酸化カルシ
ウム、無水炭酸ナトリウム、石灰石などのアルカリ剤が
用いられる。

【００１９】このような洗浄液再処理装置１６は、第１
の洗浄部２の洗浄槽４に貯留された洗浄液５２が攪拌槽
１８に移動し、この攪拌槽１８において薬品とともに攪
拌された洗浄液５２′が油分分離部２１に移動し、この
油分分離部２１において油分が除去された洗浄液５２″
が第２の洗浄部３の洗浄槽８に移動するように配管接続
されている。したがって、ほぼ水道水に近い処理水を得
ることができるので、洗浄液を下水道に廃水する回数を
減らすことができる。

【００２０】水切部１４は図１に示すように、水切槽２
２内に圧縮空気を噴出するための噴出ノズル２３が複数
設けられている。これにより、第１の洗浄部２及び第２
の洗浄部３で洗浄された芯軸５０に付着している洗浄液
を払拭させることができる。また、乾燥部１５は、真空
乾燥を行なうために密閉構造になっており、真空ポンプ
によって真空状態にする。これにより、芯軸５０に付着
している洗浄液は確実に除去される。

【００２１】なお、第１の洗浄部２、第２の洗浄部３、
水切部１４及び乾燥部１５はプログラマブル・コントロ
ーラなどの制御装置によって制御される。このように構
成された洗浄装置１の洗浄動作について説明する。芯軸
５０が収納された搬送籠５１を水平移動手段１３によっ
て第１の洗浄部２の洗浄槽４の上部まで移動させる。洗
浄槽４の上部まで移動された搬送籠５１を、第１の上下
揺動手段５によって洗浄液５２及び大気間を上下揺動速
度５〜５０ｍ／ｍｉｎで３０〜５０回上下揺動させる。
これにより、芯軸５０の油分を９割ぐらい除去させるこ
とができるが、上下揺動時間や油分の除去率を考慮する
と、上下揺動速度３０ｍ／ｍｉｎ程度で上下揺動回数を
４０回にするのが好ましい。また、ジェット噴流手段６
や気泡放出手段７を併用させているので、せん断力の
増加、気液界面への接触回数の増加、分離した油分
を洗浄槽から溢れ出させ油分の再付着を防止などの効果
を得ることが可能となる。

【００２２】第１の洗浄部２による洗浄が終了すると、
第１の上下揺動手段５によって洗浄籠５１を所定位置
（水平移動手段１３によって洗浄籠５１を移動させるこ
とができる位置）にまで戻し、先程の水平移動手段１３
によって第１の洗浄部２の洗浄槽４から第２の洗浄部３
の洗浄槽８の上部へと移動させる。洗浄槽８の上部まで
移動された搬送籠５１を、第２の上下揺動手段９によっ
て洗浄液５２及び大気間を上下揺動速度５〜５０ｍ／ｍ
ｉｎで１５〜２５回上下揺動させる。これにより、芯軸
５０の油分をほとんど除去させることができるが、上下
揺動時間や油分の除去率を考慮すると、上下揺動速度３
０ｍ／ｍｉｎ程度で上下揺動回数を２０回にするのが好
ましい。また、ジェット噴流手段１０や気泡放出手段１
１を併用させているので、上述のせん断力の増加等の効
果を得ることが可能となる。この上下揺動による洗浄が
終了後、搬送籠５１を洗浄槽８の上部まで移動させ、予
め洗浄槽８の上部の位置から待避させていたシャワー洗
浄手段１２を洗浄槽８内の洗浄籠５１の上部に位置さ
せ、洗浄液によるシャワー洗浄を所定時間だけ行なう。

【００２３】なお、第１の洗浄部２及び第２の洗浄部３
は、水平移動手段１３に対する搬送籠５１の脱着位置か
ら搬送籠５１を上下揺動させる揺動位置まで往復移動さ
せるための移動手段を別個に設けてもよい。第２の洗浄
部３による洗浄が終了すると、第２の上下揺動手段９に
よって洗浄籠５１を所定位置（水平移動手段１３によっ
て洗浄籠５１を移動させることができる位置）にまで戻
し、水平移動手段１３によって第２の洗浄部３の洗浄槽
８から水切部１４の水切槽２２の上部へと移動させる。
水切槽２２の上部へと移動された搬送籠５１を、水切部
１４に設けられた上下移動手段２４によって水切槽２２
内の所定位置に移動させる。そして、噴出ノズル２３か
ら圧縮空気を噴出させて搬送籠５１に収納された複数の
芯軸５０に付着した洗浄液を払拭させる。

【００２４】洗浄液を払拭後、搬送籠５１を水切部１４
の上下移動手段２４によって所定位置（水平移動手段１
３によって洗浄籠５１を移動させることができる位置）
にまで戻し、更に水平移動手段１３によって乾燥部１５
の上部へと移動させる。乾燥部１５の上部へと移動され
た搬送籠５１を予め蓋の開いている乾燥部１５内の所定
位置に、乾燥部１５に設けられた上下移動手段２５によ
って収納させる。そして、蓋を閉めて乾燥部１５内を密
閉状態にし、この乾燥部１５内を真空ポンプによって真
空状態にして、芯軸５０に付着している洗浄液を確実に
除去させる。

【００２５】なお、水切部１４及び乾燥部１５にそれぞ
れ設けられた上下移動手段２４、２５には、エアシリン
ダ、油圧シリンダなどが用いられる。油分や洗浄液が確
実に除去された芯軸５０が収納された搬送籠５１は、乾
燥部１５の上下移動手段２５によって所定位置（水平移
動手段１３によって洗浄籠５１を移動させることができ
る位置）にまで戻し、更に水平移動手段１３によって所
定位置まで移動させることにより、洗浄装置１による洗
浄作業が終了する。

【００２６】なお、洗浄後の洗浄水は第１の洗浄部２か
ら洗浄液再処理装置１６に送られ、この洗浄液再処理装
置１６によって油分等不純物を凝集分離し、これにより
得られた処理水を第２の洗浄部３の洗浄槽８に戻すこと
により、廃水の再利用を図っている。

【００２７】

【実施例】上述した洗浄装置１を使用して、以下のよう
な実験を行なった。この実験による洗浄条件は、洗浄液
５２を６０°の温水とし、また第１の洗浄部２の第１の
上下揺動手段５の上下揺動回数を４０回／９０秒、上下
揺動ストローク５００ｍｍ（上下揺動速度２７ｍ／ｍｉ
ｎ）とし、第２の洗浄部３の第２の上下揺動手段９の上
下揺動回数を２０回／４５秒、上下揺動ストローク５０
０ｍｍ（上下揺動速度２７ｍ／ｍｉｎ）とする。上下揺
動ストロークを５００ｍｍにすることにより、芯軸５０
全体を洗浄液５２に浸漬でき、また大気中に出すことが
できる。また、第２の洗浄部３のシャワー洗浄手段１２
による洗浄液５２も６０°の温水とし、洗浄時間を２０
秒とする。さらに、第１の洗浄部２及び第２の洗浄部３
のジェット噴流手段６及び１０と気泡放出手段７及び１
１とは常時駆動させておく。なお、芯軸５０には切削油
が４０ｍｇ／１本程度付着しており、このような芯軸５
０を縦４列、横６列の所定間隔で区切られた搬送籠５１
に満遍なく納置する。

【００２８】このような条件の下で洗浄された芯軸の油
分付着量を、従来の洗浄装置で洗浄された芯軸と同一洗
浄時間において比較した。なお、従来の洗浄装置は、第
１の洗浄部及び第２の洗浄部のそれぞれの洗浄槽にジェ
ット噴流手段及び気泡放出手段が設けられている。芯軸
に付着した油分量は、非分散赤外線吸収法の油分濃度計
（商品名：ＯＣＭＡ−３００、堀場製作所製）を用いて
測定した。この非分散赤外線吸収法の油分濃度計は、抽
出溶媒であるクロロフロロカーボンに芯軸５０に付着し
た油を抽出し、その抽出液に赤外線を照射することによ
ってあらわれる赤外線吸収スペクトルを分析することに
より油分付着量が測定できるものである。

【００２９】測定結果は図３に示すように、第１の洗浄
部２において、従来の洗浄装置では７割ぐらいの油分が
残存しているのに対して、本実施の一形態である洗浄装
置１では油分を９割ぐらい除去させることができた。ま
た、第２の洗浄部３において、従来の洗浄装置では４割
ぐらいの油分が残存しているのに対して、本実施の一形
態である洗浄装置１では油分を検出下限以下まで除去さ
せることができた。

【００３０】なお、本実施の一形態においては洗浄液と
して水又は温水を使用したが、これに限らず、被洗浄物
等の錆に対して、水又は温水に防錆剤を添加してもよ
く、また、水系洗浄液を使用してもよい。さらには、炭
化水素、塩素系等の溶剤系洗浄液を使用してもよい。ま
た、本実施の一形態においては被洗浄物としてアルミニ
ウム芯軸を使用していたが、本発明はこれに限定される
ものではなく、防振ゴムの金具、歯車類など、機械工
業、半導体工業等で使用される機能部品に付着した油
分、金属粉、研掃材、その他の粉塵等を除去する場合に
も適用できる。

【００３１】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明の洗浄装
置及びその方法によれば、被洗浄物を収納した搬送籠を
駆動手段によって洗浄液及び大気間で上下揺動させるこ
とにより、気液界面通過によるせん断力が発生し、この
せん断力で被洗浄物を洗浄させることができるので、１
回の上下揺動で被洗浄物の全体を均一に洗浄することが
でき、而も従来の洗浄装置より短時間で被洗浄物の油分
等の汚れを除去することができる。

【００３２】また、気液界面通過によるせん断力によっ
て被洗浄物を洗浄するので、洗浄液は水や温水でも油分
等の汚れを除去することができる。したがって、環境汚
染などの問題に対し対処することができ、また、洗浄コ
ストを下げることができる。さらに、１つの洗浄槽だけ
で洗浄効果を促進させることができるので、洗浄装置の
小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄装置の実施の一形態を示す全体説
明図。

【図２】図１の洗浄装置の要部である洗浄液再処理装置
を示す説明図。

【図３】芯軸の付着油分量の推移について、本発明の洗
浄装置と従来の洗浄装置とを比較したグラフ。

【符号の説明】

１…洗浄装置２…第１の洗浄部３…第２の洗浄部４、８…洗浄槽５…第１の上下揺動手段６、１０…ジェット噴流手段７、１１…気泡放出手段９…第２の上下揺動手段１２…シャワー洗浄手段５０…芯軸（被洗浄物）５１…搬送籠５２…洗浄液

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者木田俊雄神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者岩田俊光神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者深堀純一神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者森正裕神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者臼井由紀神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者小野寺和人神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)発明者村井健二大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号日立造船株式会社内 (72)発明者木場和則大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号日立造船株式会社内 (72)発明者三宅一幸大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号日立造船株式会社内 (72)発明者村山智正大阪府大阪市此花区西九条５丁目３番28号日立造船株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被洗浄物を収納させることができる搬送籠
と、前記搬送籠に収納された前記被洗浄物を洗浄するた
めの洗浄液が貯留された洗浄槽と、前記被洗浄物を収納
した前記搬送籠を前記洗浄液及び大気間で上下揺動させ
て気液界面を通過させる上下揺動手段とを備えたことを
特徴とする洗浄装置。
【請求項２】前記洗浄液を前記洗浄槽内にジェット噴射
させるジェット噴流手段を備えたことを特徴とする請求
項１記載の洗浄装置。
【請求項３】前記洗浄液が貯留された前記洗浄槽の底部
から気泡を放出させる気泡放出手段を備えたことを特徴
とする請求項１記載の洗浄装置。
【請求項４】搬送籠に収納された被洗浄物を洗浄するた
めの洗浄液が貯留された洗浄槽、前記被洗浄物を収納し
た前記搬送籠を前記洗浄液及び大気間で上下揺動させて
気液界面を通過させる上下揺動手段、前記洗浄液を前記
洗浄槽内にジェット噴射させるジェット噴流手段及び前
記洗浄液が貯留された前記洗浄槽の底部から気泡を放出
させる気泡放出手段を有する第１の洗浄部と、前記第１
の洗浄部と同様の洗浄槽、上下揺動手段、ジェット噴流
手段、気泡放出手段及び前記被洗浄物を洗浄後、前記搬
送籠が引き上げられた時に前記被洗浄物をシャワー洗浄
するシャワー洗浄手段を有する第２の洗浄部とからなる
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】前記上下揺動手段の上下揺動速度は５〜５
０ｍ／ｍｉｎであることを特徴とする請求項１又は４記
載の洗浄装置。
【請求項６】前記洗浄液は水又は温水であることを特徴
とする請求項１又は４記載の洗浄装置。
【請求項７】前記水又は前記温水は防錆剤を含むことを
特徴とする請求項５記載の洗浄装置。
【請求項８】前記洗浄液を薬品処理して再生し再度前記
洗浄槽内に循環させる洗浄液再処理装置を備えたことを
特徴とする請求項１又は４記載の洗浄装置。
【請求項９】洗浄液が貯留された第１の洗浄部の洗浄槽
において、被洗浄物が収納された搬送籠を第１の上下揺
動手段によって前記洗浄液及び大気間で複数回上下揺動
させて気液界面を通過させ、さらに前記第１の洗浄部の
洗浄槽で洗浄された前記被洗浄物が収納される前記搬送
籠を前記洗浄液が貯留された第２の洗浄部の洗浄槽に移
動させ、前記第２の洗浄部の前記洗浄槽において、前記
搬送籠を第２の上下揺動手段によって前記洗浄液及び前
記大気間で複数回上下揺動させて気液界面を通過させ、
且つ前記第２の洗浄槽から引き上げられた前記搬送籠内
の前記被洗浄物を前記第２の洗浄槽内でシャワー洗浄す
ることを特徴とする洗浄方法。