JP3836603B2 - 配向膜印刷版剥離洗浄装置と剥離方法 - Google Patents
配向膜印刷版剥離洗浄装置と剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3836603B2 JP3836603B2 JP19730898A JP19730898A JP3836603B2 JP 3836603 B2 JP3836603 B2 JP 3836603B2 JP 19730898 A JP19730898 A JP 19730898A JP 19730898 A JP19730898 A JP 19730898A JP 3836603 B2 JP3836603 B2 JP 3836603B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- printing plate
- tank
- cleaning
- alignment film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ガラス基板にポリイミド樹脂からなる配向膜を印刷作業した後、配向膜印刷版を洗浄処理する剥離洗浄装置と、ポリイミド樹脂の剥離方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶の製造においては、ガラス基板にインジウムティンオキサイド（ＩＴＯ）膜をパターンニングして電極部を形成後、同ガラス基板にポリイミド樹脂からなる配向膜をフレキソ印刷等により印刷し、印刷されたポリイミド樹脂を加熱することにより硬化させている。
【０００３】
配向膜の印刷作業後、印刷に用いた印刷版は再使用されるため、同印刷版に付着したポリイミド樹脂を除去した後、保管されている。
【０００４】
印刷版からポリイミド樹脂を取り除く除去作業は、以下の手順で手作業にて行われている。
【０００５】
▲１▼ ピロリドンを染込ませた無塵布で印刷版を拭き、ポリイミド樹脂を溶融させる。
【０００６】
▲２▼ アセトンを染込ませた無塵布で印刷版を拭き、ピロドリンにより溶融したポリイミド樹脂を拭き取る。
【０００７】
▲３▼ エタノールを染込ませた無塵布で印刷版を拭くことにより、エタノール洗浄を行う。
【０００８】
▲４▼ 印刷版をエアーブローし、エアー洗浄を行う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記洗浄方法では、拭き取りによる作業となっているために洗浄不良が生じやすく、発塵を生起したり、あるいは、突起した印刷面の側縁の洗浄不足による印刷不良を生起しやすく、工程内不良の原因となっていた。
【００１０】
また、本洗浄方法では３種類の有機溶剤を使用するので、自動洗浄装置を導入するには、換気及び防爆等の作業環境の整備が必要であり、高コストとなっていた。
【００１１】
さらに、環境問題の観点から有機溶剤の使用は好ましくなかった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の本発明は、無機塩を溶解させた水溶液を洗浄液とする洗浄槽に超音波発振子を配設し、配向膜印刷版を洗浄槽に浸漬し、ポリイミド樹脂を固化膜化するとともに、配向膜印刷版を超音波の発振面と略平行に揺動させ、超音波によりポリイミド固化膜を配向膜印刷版から剥離させる配向膜印刷版剥離洗浄装置を提供せんとするものである。
【００１３】
また、請求項２記載の本発明は、無機塩を溶解させた水溶液に配向膜印刷版を浸漬してポリイミド樹脂を固化膜化し、かつ、超音波により配向膜印刷版からポリイミド樹脂の固化膜を剥離させる剥離方法を提供せんとするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の剥離洗浄装置では、液晶のガラス基板に配向膜を印刷するために使用した印刷版を洗浄する方法において、はじめに、配向膜となる液体状のポリイミド樹脂が付着した印刷版を、無機塩を水に溶解させて作成した水溶液に浸漬させることにより、液体状のポリイミド樹脂を固化膜化させ、その後、固化膜化したポリイミド樹脂に超音波をあてることにより、印刷版からポリイミド樹脂を除去するものである。
【００１５】
このとき、固化膜化したポリイミド樹脂は、固化膜のきわ部分が最も剥離されやすいので、印刷版に超音波をあてる際、印刷版を超音波発振子の発振面前方に位置させるとともに、印刷版を発振面と略平行に大きく揺動させ、印刷版が発振面を完全に横切るようにすることにより、固化膜のきわ部分に超音波があたる状態と、超音波があたらない状態とを交互につくりだすことにより、剥離の効果を高めることができる。
【００１６】
従って、液体状であったポリイミド樹脂を、無機塩を溶解させた水溶液によって固化させたことにより、除去作業を容易とするとともに、超音波を用いて印刷版より剥離させるため、印刷版の細部まで確実な除去作業の実施することができる。
【００１７】
さらに、有機溶剤を使用せずに洗浄作業を行うことができるので、作業環境及び使用装置に制約がなく、安価な自動洗浄装置を導入することができる。
【００１８】
【実施例】
本発明の実施例を図１を用いて詳説する。図１は本発明の剥離洗浄装置Ａである。
【００１９】
剥離洗浄装置Ａは、固化剥離槽１と、剥離槽２と、洗浄槽３とからなり、各槽１，２，３の上部には斜め下方向にエアーを送気して水切り乾燥を行う水切り乾燥装置４を配設している。
【００２０】
固化剥離槽１には、超音波発振子１１とオーバーフロー１２とフィルター部１３と循環ポンプ１４と循環配管１５とが配設されており、循環ポンプ１４は、オバーフロー１２に流れ込んだ洗浄槽内の洗浄水１６をフィルター部１３に通して異物を除去した後、再度固化剥離槽１内に循環すべく循環配管１５を介して連設されている。
【００２１】
固化剥離槽１には無機塩を水に溶解させた水溶液による洗浄液１６が入っており、無機塩の濃度は５〜２０ｗ％としている。
【００２２】
同洗浄液１６に印刷版５を浸漬させることにより、２０〜３０秒程度でポリイミド樹脂を固化させることができる。
【００２３】
固化剥離槽１の水面近傍には横長に略矩形となった発振面をもつ超音波発振子１１が配設されており、超音波発振子１１の発振面の長手方向が水面と略平行となるように固化剥離槽１壁に取付けられている。
【００２４】
固化膜化したポリイミド樹脂は、固化膜化する際に、収縮により固化膜のきわ部分が若干反り上がりぎみになり、同きわ部分が最も剥離しやすい状態となっているので、固化膜のきわ部分に超音波をあてることにより、剥離状態を生起するとともに、きわ部分から内側方向に剥離状態を進行させることにより固化膜全体の剥離を行うことができる。
【００２５】
印刷版５から剥離され、固化剥離槽１の水面に浮遊した遊離固化膜は、オーバーフロー１２に洗浄液１６とともに流れ込み、循環ポンプ１４により洗浄液１６が吸引されることにより、洗浄液１６とともに遊離固化膜がフィルター部１３に達し、フィルターにより遊離固化膜の除去を行った後、洗浄液１６のみが固化剥離槽１内へ送り返される。
【００２６】
超音波によって印刷版５からポリイミドの固化膜を剥離させる際には、印刷版５全体に超音波があたりつづける状態を維持するよりも、超音波があたっている状態とあたっていない状態とを交互に繰り返す方が剥離が早く進むので、固化剥離槽１内において印刷版５が超音波発振子１１の発振面を完全に横切るように、印刷版５を発振面と略平行に大きな振幅で揺動させる。
【００２７】
固化剥離槽１内において、大きな振幅による印刷版５の揺動が行えるほどの空間的余裕がない場合には、印刷版５の大きさと同程度の発振面をもつ超音波発振子を固化剥離槽１内に配設し、印刷版５を小さい振幅で揺動させるとともに、超音波の発振を定期的に停止させることにより、同様の状態を創出してもよい。
【００２８】
固化剥離槽１において、はじめに、印刷版５を洗浄液１６に２０秒〜３０秒浸漬させてポリイミド樹脂の固化膜化を行い、次いで、印刷版５を２分〜３分程度揺動して固化膜の剥離を行った後、印刷版５を固化剥離槽１から引き上げ、剥離槽２による処理を行う。
【００２９】
剥離槽２では、固化剥離槽１での洗浄液１６の洗い落としと、固化膜の印刷版５からの完全な除去を行うべく超音波洗浄が行われる。
【００３０】
剥離槽２には固化剥離槽１と同様にオーバーフロー２２と、横長の略矩形である超音波発振子２１が配設されており、剥離槽２内には洗浄液として純水２６が入れられている。
【００３１】
固化剥離槽１と異なり、剥離槽２のオーバーフロー２２に流れ込んだ純水２６は排水として、工場の排水施設へまわされる。
【００３２】
剥離槽２での超音波による洗浄は、固化剥離槽１での超音波洗浄と同様に行われ、印刷版５が超音波発振子２１の発振面を完全に横切るべく大きく揺動させるか、印刷版５の外寸と同程度の発振面をもつ超音波発振子を配設し、印刷版５を小さい振幅で揺動させるとともに、超音波発振子を定期的に停止させることにより、印刷版５に残った固化膜の剥離を行う。
【００３３】
剥離槽２での処理時間は２分〜３分である。剥離槽２の処理後、洗浄槽３での洗浄処理を行う。
【００３４】
洗浄槽３にはオーバーフロー３２が配設されており、さらに、図示していないが、洗浄槽３の底部近傍には純水３６の給水口を設けており、洗浄槽３に純水３６を常時給水している。
【００３５】
洗浄槽３のオーバーフロー３２に流れ込んだ純水３６は、図示していないが、剥離槽２に給水すべく構成されており、剥離槽２において再利用されている。
【００３６】
洗浄槽３においては、印刷版５を揺動させながら印刷版５を純水３６により洗浄し、印刷版５に固化剥離槽１の洗浄液１６の残りがないようにした後、印刷版５を乾燥させることにより洗浄作業が完了する。
【００３７】
洗浄槽３での作業時間は、印刷版５を十数回程度の揺動させる程度の短時間でもよく、長時間の洗浄の必要はない。
【００３８】
また、洗浄槽３においては、上記の純水３６の溜め水による洗浄とせず、単に純水のシャワーによる洗浄としてもよい。
【００３９】
本実施例では、固化剥離槽１と、剥離槽２、及び、洗浄槽３をそれぞれ１槽づつ配設した剥離洗浄装置Ａについて説明したが、剥離槽２、及び、洗浄槽３は複数槽づつ配設してもよく、また、洗浄槽３を配設せず、剥離槽２を２槽以上配設し洗浄効果を向上させてもよい
さらに、各槽１，２，３での処理時間は上記の処理時間に限定するものではなく、印刷版５の大きさや、印刷版５の揺動の速度などに応じて適宜選択してよい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、配向膜印刷版に付着したポリイミド樹脂を、無機塩を水に溶解させた水溶液中に浸漬させることにより、ポリイミド樹脂を固化膜化することができ、さらに、超音波を用いて、固化膜化したポリイミド樹脂を印刷版から剥離させることにより、印刷版の完全な洗浄を行うことができ、印刷版の洗浄不良にともなう不良の発生を皆無とすることができる。
【００４１】
また、本発明では有機溶剤を使用しないため、環境にやさしく、かつ、作業環境の制約を受けないので、低コストで洗浄装置を作成することができ、手軽で完全な洗浄をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る洗浄装置の説明図である。
【符号の説明】
Ａ 剥離洗浄装置
１ 固化剥離槽
２ 剥離槽
３ 洗浄槽
４ 水切り乾燥装置
５ 印刷版
１１ 超音波発振子
１３ フィルター部
１４ 循環ポンプ
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ガラス基板にポリイミド樹脂からなる配向膜を印刷作業した後、配向膜印刷版を洗浄処理する剥離洗浄装置と、ポリイミド樹脂の剥離方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶の製造においては、ガラス基板にインジウムティンオキサイド（ＩＴＯ）膜をパターンニングして電極部を形成後、同ガラス基板にポリイミド樹脂からなる配向膜をフレキソ印刷等により印刷し、印刷されたポリイミド樹脂を加熱することにより硬化させている。
【０００３】
配向膜の印刷作業後、印刷に用いた印刷版は再使用されるため、同印刷版に付着したポリイミド樹脂を除去した後、保管されている。
【０００４】
印刷版からポリイミド樹脂を取り除く除去作業は、以下の手順で手作業にて行われている。
【０００５】
▲１▼ ピロリドンを染込ませた無塵布で印刷版を拭き、ポリイミド樹脂を溶融させる。
【０００６】
▲２▼ アセトンを染込ませた無塵布で印刷版を拭き、ピロドリンにより溶融したポリイミド樹脂を拭き取る。
【０００７】
▲３▼ エタノールを染込ませた無塵布で印刷版を拭くことにより、エタノール洗浄を行う。
【０００８】
▲４▼ 印刷版をエアーブローし、エアー洗浄を行う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記洗浄方法では、拭き取りによる作業となっているために洗浄不良が生じやすく、発塵を生起したり、あるいは、突起した印刷面の側縁の洗浄不足による印刷不良を生起しやすく、工程内不良の原因となっていた。
【００１０】
また、本洗浄方法では３種類の有機溶剤を使用するので、自動洗浄装置を導入するには、換気及び防爆等の作業環境の整備が必要であり、高コストとなっていた。
【００１１】
さらに、環境問題の観点から有機溶剤の使用は好ましくなかった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の本発明は、無機塩を溶解させた水溶液を洗浄液とする洗浄槽に超音波発振子を配設し、配向膜印刷版を洗浄槽に浸漬し、ポリイミド樹脂を固化膜化するとともに、配向膜印刷版を超音波の発振面と略平行に揺動させ、超音波によりポリイミド固化膜を配向膜印刷版から剥離させる配向膜印刷版剥離洗浄装置を提供せんとするものである。
【００１３】
また、請求項２記載の本発明は、無機塩を溶解させた水溶液に配向膜印刷版を浸漬してポリイミド樹脂を固化膜化し、かつ、超音波により配向膜印刷版からポリイミド樹脂の固化膜を剥離させる剥離方法を提供せんとするものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の剥離洗浄装置では、液晶のガラス基板に配向膜を印刷するために使用した印刷版を洗浄する方法において、はじめに、配向膜となる液体状のポリイミド樹脂が付着した印刷版を、無機塩を水に溶解させて作成した水溶液に浸漬させることにより、液体状のポリイミド樹脂を固化膜化させ、その後、固化膜化したポリイミド樹脂に超音波をあてることにより、印刷版からポリイミド樹脂を除去するものである。
【００１５】
このとき、固化膜化したポリイミド樹脂は、固化膜のきわ部分が最も剥離されやすいので、印刷版に超音波をあてる際、印刷版を超音波発振子の発振面前方に位置させるとともに、印刷版を発振面と略平行に大きく揺動させ、印刷版が発振面を完全に横切るようにすることにより、固化膜のきわ部分に超音波があたる状態と、超音波があたらない状態とを交互につくりだすことにより、剥離の効果を高めることができる。
【００１６】
従って、液体状であったポリイミド樹脂を、無機塩を溶解させた水溶液によって固化させたことにより、除去作業を容易とするとともに、超音波を用いて印刷版より剥離させるため、印刷版の細部まで確実な除去作業の実施することができる。
【００１７】
さらに、有機溶剤を使用せずに洗浄作業を行うことができるので、作業環境及び使用装置に制約がなく、安価な自動洗浄装置を導入することができる。
【００１８】
【実施例】
本発明の実施例を図１を用いて詳説する。図１は本発明の剥離洗浄装置Ａである。
【００１９】
剥離洗浄装置Ａは、固化剥離槽１と、剥離槽２と、洗浄槽３とからなり、各槽１，２，３の上部には斜め下方向にエアーを送気して水切り乾燥を行う水切り乾燥装置４を配設している。
【００２０】
固化剥離槽１には、超音波発振子１１とオーバーフロー１２とフィルター部１３と循環ポンプ１４と循環配管１５とが配設されており、循環ポンプ１４は、オバーフロー１２に流れ込んだ洗浄槽内の洗浄水１６をフィルター部１３に通して異物を除去した後、再度固化剥離槽１内に循環すべく循環配管１５を介して連設されている。
【００２１】
固化剥離槽１には無機塩を水に溶解させた水溶液による洗浄液１６が入っており、無機塩の濃度は５〜２０ｗ％としている。
【００２２】
同洗浄液１６に印刷版５を浸漬させることにより、２０〜３０秒程度でポリイミド樹脂を固化させることができる。
【００２３】
固化剥離槽１の水面近傍には横長に略矩形となった発振面をもつ超音波発振子１１が配設されており、超音波発振子１１の発振面の長手方向が水面と略平行となるように固化剥離槽１壁に取付けられている。
【００２４】
固化膜化したポリイミド樹脂は、固化膜化する際に、収縮により固化膜のきわ部分が若干反り上がりぎみになり、同きわ部分が最も剥離しやすい状態となっているので、固化膜のきわ部分に超音波をあてることにより、剥離状態を生起するとともに、きわ部分から内側方向に剥離状態を進行させることにより固化膜全体の剥離を行うことができる。
【００２５】
印刷版５から剥離され、固化剥離槽１の水面に浮遊した遊離固化膜は、オーバーフロー１２に洗浄液１６とともに流れ込み、循環ポンプ１４により洗浄液１６が吸引されることにより、洗浄液１６とともに遊離固化膜がフィルター部１３に達し、フィルターにより遊離固化膜の除去を行った後、洗浄液１６のみが固化剥離槽１内へ送り返される。
【００２６】
超音波によって印刷版５からポリイミドの固化膜を剥離させる際には、印刷版５全体に超音波があたりつづける状態を維持するよりも、超音波があたっている状態とあたっていない状態とを交互に繰り返す方が剥離が早く進むので、固化剥離槽１内において印刷版５が超音波発振子１１の発振面を完全に横切るように、印刷版５を発振面と略平行に大きな振幅で揺動させる。
【００２７】
固化剥離槽１内において、大きな振幅による印刷版５の揺動が行えるほどの空間的余裕がない場合には、印刷版５の大きさと同程度の発振面をもつ超音波発振子を固化剥離槽１内に配設し、印刷版５を小さい振幅で揺動させるとともに、超音波の発振を定期的に停止させることにより、同様の状態を創出してもよい。
【００２８】
固化剥離槽１において、はじめに、印刷版５を洗浄液１６に２０秒〜３０秒浸漬させてポリイミド樹脂の固化膜化を行い、次いで、印刷版５を２分〜３分程度揺動して固化膜の剥離を行った後、印刷版５を固化剥離槽１から引き上げ、剥離槽２による処理を行う。
【００２９】
剥離槽２では、固化剥離槽１での洗浄液１６の洗い落としと、固化膜の印刷版５からの完全な除去を行うべく超音波洗浄が行われる。
【００３０】
剥離槽２には固化剥離槽１と同様にオーバーフロー２２と、横長の略矩形である超音波発振子２１が配設されており、剥離槽２内には洗浄液として純水２６が入れられている。
【００３１】
固化剥離槽１と異なり、剥離槽２のオーバーフロー２２に流れ込んだ純水２６は排水として、工場の排水施設へまわされる。
【００３２】
剥離槽２での超音波による洗浄は、固化剥離槽１での超音波洗浄と同様に行われ、印刷版５が超音波発振子２１の発振面を完全に横切るべく大きく揺動させるか、印刷版５の外寸と同程度の発振面をもつ超音波発振子を配設し、印刷版５を小さい振幅で揺動させるとともに、超音波発振子を定期的に停止させることにより、印刷版５に残った固化膜の剥離を行う。
【００３３】
剥離槽２での処理時間は２分〜３分である。剥離槽２の処理後、洗浄槽３での洗浄処理を行う。
【００３４】
洗浄槽３にはオーバーフロー３２が配設されており、さらに、図示していないが、洗浄槽３の底部近傍には純水３６の給水口を設けており、洗浄槽３に純水３６を常時給水している。
【００３５】
洗浄槽３のオーバーフロー３２に流れ込んだ純水３６は、図示していないが、剥離槽２に給水すべく構成されており、剥離槽２において再利用されている。
【００３６】
洗浄槽３においては、印刷版５を揺動させながら印刷版５を純水３６により洗浄し、印刷版５に固化剥離槽１の洗浄液１６の残りがないようにした後、印刷版５を乾燥させることにより洗浄作業が完了する。
【００３７】
洗浄槽３での作業時間は、印刷版５を十数回程度の揺動させる程度の短時間でもよく、長時間の洗浄の必要はない。
【００３８】
また、洗浄槽３においては、上記の純水３６の溜め水による洗浄とせず、単に純水のシャワーによる洗浄としてもよい。
【００３９】
本実施例では、固化剥離槽１と、剥離槽２、及び、洗浄槽３をそれぞれ１槽づつ配設した剥離洗浄装置Ａについて説明したが、剥離槽２、及び、洗浄槽３は複数槽づつ配設してもよく、また、洗浄槽３を配設せず、剥離槽２を２槽以上配設し洗浄効果を向上させてもよい
さらに、各槽１，２，３での処理時間は上記の処理時間に限定するものではなく、印刷版５の大きさや、印刷版５の揺動の速度などに応じて適宜選択してよい。
【００４０】
【発明の効果】
本発明によれば、配向膜印刷版に付着したポリイミド樹脂を、無機塩を水に溶解させた水溶液中に浸漬させることにより、ポリイミド樹脂を固化膜化することができ、さらに、超音波を用いて、固化膜化したポリイミド樹脂を印刷版から剥離させることにより、印刷版の完全な洗浄を行うことができ、印刷版の洗浄不良にともなう不良の発生を皆無とすることができる。
【００４１】
また、本発明では有機溶剤を使用しないため、環境にやさしく、かつ、作業環境の制約を受けないので、低コストで洗浄装置を作成することができ、手軽で完全な洗浄をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る洗浄装置の説明図である。
【符号の説明】
Ａ 剥離洗浄装置
１ 固化剥離槽
２ 剥離槽
３ 洗浄槽
４ 水切り乾燥装置
５ 印刷版
１１ 超音波発振子
１３ フィルター部
１４ 循環ポンプ
Claims (2)
- 無機塩を溶解させた水溶液を洗浄液とする洗浄槽に超音波発振子を配設し、配向膜印刷版を同洗浄槽に浸漬し、ポリイミド樹脂を固化膜化するとともに、配向膜印刷版を超音波の発振面と略平行に揺動させ、超音波によりポリイミド固化膜を配向膜印刷版から剥離させる配向膜印刷版剥離洗浄装置。
- 無機塩を溶解させた水溶液に配向膜印刷版を浸漬してポリイミド樹脂を固化膜化し、かつ、超音波により配向膜印刷版からポリイミド樹脂の固化膜を剥離させる剥離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19730898A JP3836603B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 配向膜印刷版剥離洗浄装置と剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19730898A JP3836603B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 配向膜印刷版剥離洗浄装置と剥離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000025205A JP2000025205A (ja) | 2000-01-25 |
| JP3836603B2 true JP3836603B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=16372307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19730898A Expired - Fee Related JP3836603B2 (ja) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | 配向膜印刷版剥離洗浄装置と剥離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3836603B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3895152B2 (ja) * | 2001-11-09 | 2007-03-22 | 沖電気工業株式会社 | リフトオフ装置 |
| CN103205785A (zh) * | 2012-01-16 | 2013-07-17 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 一种脱膜工艺 |
| CN102764741B (zh) * | 2012-07-26 | 2014-12-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 转印版清洗设备 |
| CN108043806A (zh) * | 2017-12-14 | 2018-05-18 | 江苏华夏电影胶片修复技术有限公司 | 一种通用水溶剂电影拷贝清洁机 |
| CN113546913A (zh) * | 2020-10-15 | 2021-10-26 | 昆山金和诚自动化设备有限公司 | 超声波清洗机 |
| CN113832471B (zh) * | 2021-09-26 | 2024-03-08 | 苏州至绒新能源科技有限公司 | 一种用于快速剥离聚酰亚胺薄膜的清洗剂及其应用 |
| CN114247695B (zh) * | 2021-12-29 | 2023-08-29 | 安徽应友光电科技有限公司 | 一种关于OLED掩膜版open mask表面镁银材料的清洗方法 |
-
1998
- 1998-07-13 JP JP19730898A patent/JP3836603B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000025205A (ja) | 2000-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100323502B1 (ko) | 액정표시패널의 제조방법 및 이것에 사용되는 세정장치 | |
| JPH05134397A (ja) | ガラス基板の洗浄方法、及び洗浄装置 | |
| JP3836603B2 (ja) | 配向膜印刷版剥離洗浄装置と剥離方法 | |
| KR100734698B1 (ko) | 공압을 이용한 진동과 스프레이 겸용 자동세척장치 | |
| KR940015605A (ko) | 액정표시소자의 러빙 방법 및 장치 | |
| JP3380021B2 (ja) | 洗浄方法 | |
| JP4564683B2 (ja) | 樹脂膜除去装置およびその方法 | |
| JP3329646B2 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| KR100684049B1 (ko) | 기판 처리장치 | |
| JP2007047353A (ja) | 電気光学装置の製造方法、及び電気光学パネルの洗浄装置 | |
| JPH08229524A (ja) | 液晶用カセット洗浄装置 | |
| JPS59195649A (ja) | ホトマスク洗浄装置 | |
| KR200365733Y1 (ko) | 초음파 불산 세정 장치 | |
| JP3099907B2 (ja) | 半導体処理装置 | |
| JP2908157B2 (ja) | 回路基板のエッチング方法およびエッチング装置 | |
| KR20000025455A (ko) | 초음파 세척시스템 | |
| JP2935089B2 (ja) | 機械部品等の精密洗浄方法 | |
| JPH07130694A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2883844B2 (ja) | 高周波洗浄方法 | |
| JP4200740B2 (ja) | 液晶表示装置における基板の洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JPH05206095A (ja) | 超音波処理槽と枚葉式基板処理装置 | |
| JPS62287063A (ja) | 薄膜処理設備の付着物除去方法 | |
| JPH11297605A (ja) | 剥離方法および同装置 | |
| JP2552731Y2 (ja) | 基板現像処理装置 | |
| JP4043189B2 (ja) | 電子写真感光体用基体の洗浄方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060621 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060627 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060727 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |