JP4564683B2 - 樹脂膜除去装置およびその方法 - Google Patents
樹脂膜除去装置およびその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4564683B2 JP4564683B2 JP2001150952A JP2001150952A JP4564683B2 JP 4564683 B2 JP4564683 B2 JP 4564683B2 JP 2001150952 A JP2001150952 A JP 2001150952A JP 2001150952 A JP2001150952 A JP 2001150952A JP 4564683 B2 JP4564683 B2 JP 4564683B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin film
- substrate
- treatment liquid
- base material
- brush
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 200
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 200
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 142
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 108
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 104
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 41
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 29
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 27
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 11
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 7
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 74
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 15
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 239000002440 industrial waste Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置に係り、とりわけ、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去して基材の再利用を図る樹脂膜除去装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶ディスプレイ用カラーフィルタは、ガラス基板等からなる基材上に規則的なパターンを有する着色された樹脂膜を形成することにより製造されている。このようなカラーフィルタの製造プロセスにおいて、基材上に形成された樹脂膜のパターンが意図したものと異なる場合には、欠陥のある基材として認識され、基材ごと廃棄されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、カラーフィルタ等の製造のために用いられる基材は一般に高価であるので、欠陥のある基材を廃棄することはコストアップに直結するという問題がある。また、基材が産業廃棄物として処分されることとなるので、環境保全を妨げるという問題がある。
【０００４】
このため、従来においては、樹脂膜が形成された基材を高濃度の処理液に長時間浸漬させることにより当該基材上に形成された樹脂膜を除去し、基材の再利用を図る手法が提案されている。
【０００５】
しかしながら、このような従来の手法では、高濃度の処理液に基材を長時間浸漬させることとなるので、基材が変質しやすいという問題がある。また、処理液の安定性が乏しく、樹脂膜を効率的に除去することが困難であるという問題がある。
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去して基材の再利用を効果的に図ることができる樹脂膜除去装置およびその方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、その第１の解決手段として、基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置において、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる処理液浸漬槽と、前記処理液浸漬槽により前記処理液に浸漬された基材から樹脂膜を除去する洗浄槽とを備え、前記洗浄槽は、前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して当該基材から樹脂膜を取り除く基材表面用ブラシを有することを特徴とする樹脂膜除去装置を提供する。
【０００８】
なお、上述した第１の解決手段において、前記洗浄槽は、前記基材に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける基材用ノズルをさらに有することが好ましい。また、前記洗浄槽は、前記基材表面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるブラシ用ノズルをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽は、吹き付けられた樹脂膜除去用の処理液を回収する回収容器と、この回収容器により回収された樹脂膜除去用の処理液を前記基材用ノズルおよび／または前記ブラシ用ノズルに供給する処理液供給路とをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽は、前記基材のうち樹脂膜が形成されていない裏面に物理的に接触して当該基材の裏面に回り込んだ樹脂膜片を取り除く基材裏面用ブラシをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽は、前記基材裏面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるブラシ用ノズルをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽の前記基材表面用ブラシは、樹脂膜が下方を向くよう支持された前記基材の下方に設置されていることが好ましい。さらにまた、前記処理液浸漬槽の前段に設けられ、前記基材を温水に浸漬させて当該基材に対して前処理を施す温浴浸漬槽をさらに備えたことが好ましい。
【０００９】
本発明は、その第２の解決手段として、基材に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置において、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる処理槽を備え、前記処理槽は、前記処理液に浸漬された前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して当該基材から樹脂膜を取り除く基材表面用ブラシを有することを特徴とする樹脂膜除去装置を提供する。
【００１０】
本発明は、その第３の解決手段として、基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去方法において、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる工程と、前記処理液に浸漬された前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に基材表面用ブラシを物理的に接触させて当該基材から樹脂膜を取り除く工程とを含むことを特徴とする樹脂膜除去方法を提供する。
【００１１】
なお、上述した第３の解決手段においては、前記処理液に浸漬される前の前記基材を温水に浸漬させて当該基材に対して前処理を施す工程をさらに含むことが好ましい。
【００１２】
本発明の第１乃至第３の解決手段によれば、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させた後、処理液に浸漬された基材のうち樹脂膜が形成されている表面にブラシを物理的に接触させて基材から樹脂膜を取り除くので、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去することができ、このため基材の再利用を効果的に図ることができる。これにより、基材上に規則的なパターンを有する樹脂膜を形成することにより製造される液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等の生産コストを低減させ、廃棄物の少量化を図ることが可能となる。
【００１３】
また、本発明の第１乃至第３の解決手段によれば、基材用ノズルにより基材に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けることにより、基材上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。また、ブラシ用ノズルによりブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けることにより、ブラシに付着した除去後の樹脂膜片を確実に取り除くことができ、基材上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明による樹脂膜除去装置の一実施の形態を示す図である。なお、本実施の形態においては、処理対象物として、ガラス基板からなる基材４１上にネガ型レジストからなる樹脂膜（図示せず）が形成されたものを用いる場合を例に挙げて説明する。
【００１５】
図１に示すように、樹脂膜除去装置１は、基材４１上に形成された樹脂膜を除去するものであり、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液（薬液）に浸漬させる処理液浸漬槽１０と、処理液浸漬槽１０により処理液に浸漬された基材４１から樹脂膜を除去する洗浄槽２０と、洗浄槽２０により樹脂膜が除去された基材４１を水洗する水洗槽３０とを備えている。なお、処理液浸漬槽１０、洗浄槽２０および水洗槽３０にはそれぞれ搬送ローラ１１，２１，３１が設けられており、処理液浸漬槽１０の挿入口（ローダ）３５から挿入された基材４１が水平状態で排出口（アンローダ）３６まで搬送されるようになっている。なお、本実施の形態においては、基材４１が、樹脂膜が上方を向くよう支持された状態で搬送されるようになっている。
【００１６】
ここで、処理液浸漬槽１０は、樹脂膜除去用の処理液を収容する処理液容器１２を有し、搬送ローラ１１により搬送される基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させることにより、当該基材４１上に形成された樹脂膜を膨潤させて当該基材４１からの樹脂膜の遊離を促進させることができるようになっている。なお、処理液の樹脂膜への浸透を効率的に行うため、処理液を加温してもよい。
【００１７】
なお、処理液浸漬槽１０で用いられる樹脂膜除去用の処理液としては、一般に使用されているアルカリ性除去液等を用いることが好ましく、例えば横浜油脂（株）製のＤＦ７（商品名）を原液にて用いることが好ましい。なお、このような処理液の濃度としては、樹脂膜の遊離に必要とされる時間をできるだけ短くしつつ処理液による基材の変質を防止することができる濃度とすることが好ましい。
【００１８】
洗浄槽２０は、搬送ローラ２１により搬送される基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して基材４１から樹脂膜を取り除くロール状ブラシ（基材表面用ブラシ）２２と、基材４１に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第１処理液ノズル（基材用ノズル）２３と、ロール状ブラシ２２に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第２処理液ノズル（ブラシ用ノズル）２４とを有し、基材４１およびロール状ブラシ２２に対してそれぞれ第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４により樹脂膜除去用の処理液を吹き付けながら、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させることにより、基材４１から樹脂膜を取り除くことができるようになっている。また、洗浄槽２０は、吹き付けられた樹脂膜除去用の処理液を回収する回収トレイ（回収容器）２５と、この回収トレイ２５により回収された樹脂膜除去用の処理液を第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４に供給する処理液供給路２６とを有し、洗浄槽２０内にて樹脂膜除去用の処理液を再利用することができるようになっている。なお、処理液供給路２６には、除去後の樹脂膜片を捕集する濾過機能を付与してもよい。なお、樹脂膜の除去を効率的に行うため、処理液を加温してもよい。
【００１９】
なお、洗浄槽２０で用いられる樹脂膜除去用の処理液としては、処理液浸漬槽１０で用いられる樹脂膜除去用の処理液と同一のもの（アルカリ性除去液等）を用いることができる他、処理液浸漬槽１０で用いられる樹脂膜除去用の処理液とは異なるもの（例えば横浜油脂（株）製ＤＦ５（商品名））を用いることができる。なお、ロール状ブラシ２２の材質としては、樹脂膜除去用の処理液に対して耐性（例えばアルカリ耐性）があることが好ましく、例えばポリプロピレンまたはナイロンを用いることが好ましい。また、ロール状ブラシ２２は、基材４１の表面に均一に接触した状態で基材４１の搬送速度と異なる速度で回転させることが好ましい。
【００２０】
水洗槽３０は、基材４１の表面に対して水を吹き付ける水洗用ノズル３２を有し、搬送ローラ３１により搬送される基材４１の表面に対して水洗用ノズル３２により水を吹き付けることにより、基材４１の表面に付着した樹脂膜除去用の処理液を除去することができるようになっている。なお、水洗槽３０は、必要な洗浄度合いに応じて任意の構成で複数設けるようにしてもよい。また、水洗槽３０には、必要に応じて、基材４１の表面に物理的に接触して基材４１から樹脂膜除去用の処理液を取り除くロール状またはディスク状のブラシを設けるようにしてもよい。
【００２１】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００２２】
まず、樹脂膜除去装置１において、樹脂膜の形成された基材４１が処理液浸漬槽１０の挿入口３５から挿入される。処理液浸漬槽１０においては、搬送ローラ１１により搬送される基材４１を、処理液容器１２内に収容された樹脂膜除去用の処理液に浸漬させることにより、基材４１上に形成された樹脂膜を膨潤させて当該基材４１からの樹脂膜の遊離を促進させる。
【００２３】
次いで、処理液に浸漬された基材４１は次段の洗浄槽２０に送り込まれ、洗浄槽２０において、搬送ローラ２１により搬送される基材４１およびロール状ブラシ２２に対してそれぞれ第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４により樹脂膜除去用の処理液を吹き付けながら、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させることにより、基材４１から樹脂膜を取り除く。なおこのとき、吹き付けられた樹脂膜除去用の処理液は回収トレイ２５により回収され、この回収された樹脂膜除去用の処理液が第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４に処理液供給路２６を介して供給される。
【００２４】
その後、洗浄槽２０により樹脂膜が除去された基材４１は次段の水洗槽３０に送り込まれ、水洗槽３０において、搬送ローラ３１により搬送される基材４１の表面に対して水洗用ノズル３２により水を吹き付けることにより、基材４１の表面に付着した樹脂膜除去用の処理液を除去する。
【００２５】
最後に、水洗槽３０により基材４１の表面に付着した樹脂膜除去用の処理液が除去された基材４１を必要に応じて乾燥させた後、排出口３６から取り出す。
【００２６】
このように本実施の形態によれば、処理液浸漬槽１０において、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させた後、洗浄槽２０において、処理液に浸漬された基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面にロール状ブラシ２２を物理的に接触させて基材４１から樹脂膜を取り除くので、基材４１上に形成された樹脂膜を効率的に除去することができ、このため基材４１の再利用を効果的に図ることができる。これにより、基材上に規則的なパターンを有する樹脂膜を形成することにより製造される液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等の生産コストを低減させ、廃棄物の少量化を図ることが可能となる。
【００２７】
また、本実施の形態によれば、洗浄槽２０において、第１処理液ノズル２３により基材４１に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるので、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。また、第２処理液ノズル２４によりロール状ブラシ２２に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるので、ロール状ブラシ２２に付着した除去後の樹脂膜片を確実に取り除くことができ、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。
【００２８】
なお、上述した実施の形態においては、基材４１としてガラス基板を用いる場合を例に挙げて説明しているが、樹脂膜除去用の処理液に対して耐久性があるものであれば、ガラス基板に限らず、金属やプラスチック等からなる任意の基板を用いることができる。また、基材４１上に形成された樹脂膜としてネガ型レジストを用いる場合を例に挙げて説明しているが、これに限らず、硬化型樹脂やポジ型レジスト等からなる任意の樹脂膜を用いることができる。
【００２９】
また、上述した実施の形態においては、基材表面用ブラシとしてロール状ブラシ２２を用いているが、これに限らず、平坦な接触面を有するディスク状ブラシ等の任意のものを用いることができる。
【００３０】
さらに、上述した実施の形態においては、洗浄槽２０において、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面にのみロール状ブラシ２２を接触させて基材４１から樹脂膜を取り除くようにしているが、これに限らず、図２に示すように、基材４１のうち樹脂膜が形成されていない裏面に物理的に接触して基材４１の裏面に回り込んだ樹脂膜片を取り除くロール状ブラシ（基材裏面用ブラシ）２７と、ロール状ブラシ２７に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第３処理液ノズル（ブラシ用ノズル）２８とを設けるようにしてもよい。この場合には、基材４１の裏面に回り込んだ樹脂膜片を確実に取り除くことができるので、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。なお、これに伴って、水洗槽３０において、基材４１の裏面に対して水を吹き付ける水洗用ノズル３３を設けるようにするとよい。
【００３１】
さらに、上述した実施の形態においては、樹脂膜が上方を向くよう支持された状態で基板４１が搬送される場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、樹脂膜が下方を向くよう支持された状態で基板４１を搬送し、洗浄槽２０のロール状ブラシ２２、第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４を基材４１の下方に設置するようにしてもよい。この場合には、基材４１から取り除かれた樹脂膜片がそもそも基材４１に付着することがなくなるので、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。
【００３２】
さらに、上述した実施の形態においては、樹脂膜が形成された基材４１に対して最初に処理液浸漬槽１０により処理を施すようにしているが、これに限らず、図３に示すように、処理液浸漬槽１０の前段に基材４１に対して前処理を施す温浴浸漬槽５０を設け、処理液に浸漬される前の基材４１を温水に浸漬させるようにしてもよい。この場合には、基材４１上に形成された樹脂膜が温水により膨潤するので、次段の処理液浸漬槽１０において、基材４１からの樹脂膜の遊離がより促進されることとなり、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。なお、樹脂膜の種類によっては、界面活性剤や溶剤等を温水に添加するようにしてもよい。
【００３３】
ここで、温浴浸漬槽５０は、図３に示すように、基材４１を水平状態で搬送する搬送ローラ５１と、搬送ローラ５１により搬送される基材４１を浸漬させる温水を収容する温浴容器５２とを有している。
【００３４】
さらにまた、上述した実施の形態においては、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる処理液浸漬槽１０と、処理液浸漬槽１０により処理液に浸漬された基材４１から樹脂膜を除去する洗浄槽２０とを分離して設けているが、これに限らず、図４に示すように、処理液浸漬槽１０および洗浄槽２０を一体化した処理槽６０を設け、一つの槽において、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させるとともに、処理液に浸漬された基材４１から樹脂膜を除去するようにしてもよい。この場合には、基材４１から樹脂膜を除去する処理を一つの槽において行うことができるので、スペースの削減および処理時間の短縮を図ることができる。
【００３５】
ここで、処理槽６０は、図４に示すように、基材４１を水平状態で搬送する搬送ローラ１１と、搬送ローラ１１により搬送される基材４１を浸漬させる樹脂膜除去用の処理液を収容する処理液容器１２とを有し、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させることにより、当該基材４１上に形成された樹脂膜を膨潤させて当該基材４１からの樹脂膜の遊離を促進させることができるようになっている。また、処理槽６０は、搬送ローラ１１により搬送される基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して基材４１から樹脂膜を取り除くロール状ブラシ（基材表面用ブラシ）２２と、基材４１に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第１処理液ノズル（基材用ノズル）２３と、ロール状ブラシ２２に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第２処理液ノズル（ブラシ用ノズル）２４とを有し、基材４１およびロール状ブラシ２２に対してそれぞれ第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４により樹脂膜除去用の処理液を吹き付けながら、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させることにより、基材４１から樹脂膜を取り除くことができるようになっている。また、処理槽６０は、処理液容器１２に収容された樹脂膜除去用の処理液を第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４に供給する処理液供給路２６を有し、処理槽６０内にて樹脂膜除去用の処理液を再利用することができるようになっている。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させた後、処理液に浸漬された基材のうち樹脂膜が形成されている表面にブラシを物理的に接触させて基材から樹脂膜を取り除くので、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去することができ、このため基材の再利用を効果的に図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による樹脂膜除去装置の一実施の形態を示す図。
【図２】図１に示す樹脂膜除去装置の変形例を示す図。
【図３】図１に示す樹脂膜除去装置の他の変形例を示す図。
【図４】図１に示す樹脂膜除去装置のさらに他の変形例を示す図。
【符号の説明】
１ 樹脂膜除去装置
１０ 処理液浸漬槽
１１ 搬送ローラ
１２ 処理液容器
２０ 処理液洗浄槽
２１ 搬送ローラ
２２ ロール状ブラシ（基材表面用ブラシ）
２３ 第１処理液ノズル（基材用ノズル）
２４ 第２処理液ノズル（ブラシ用ノズル）
２５ 回収トレイ
２６ 処理液供給路
２７ ロール状ブラシ（基材裏面用ブラシ）
２８ 第３処理液ノズル（ブラシ用ノズル）
３０ 水洗槽
３１ 搬送ローラ
３２，３３ 水洗用ノズル
３５ 挿入口
３６ 排出口
４１ 基材
５０ 温浴浸漬槽
５１ 搬送ローラ
５２ 温浴容器
６０ 処理槽
【発明の属する技術分野】
本発明は、基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置に係り、とりわけ、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去して基材の再利用を図る樹脂膜除去装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶ディスプレイ用カラーフィルタは、ガラス基板等からなる基材上に規則的なパターンを有する着色された樹脂膜を形成することにより製造されている。このようなカラーフィルタの製造プロセスにおいて、基材上に形成された樹脂膜のパターンが意図したものと異なる場合には、欠陥のある基材として認識され、基材ごと廃棄されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、カラーフィルタ等の製造のために用いられる基材は一般に高価であるので、欠陥のある基材を廃棄することはコストアップに直結するという問題がある。また、基材が産業廃棄物として処分されることとなるので、環境保全を妨げるという問題がある。
【０００４】
このため、従来においては、樹脂膜が形成された基材を高濃度の処理液に長時間浸漬させることにより当該基材上に形成された樹脂膜を除去し、基材の再利用を図る手法が提案されている。
【０００５】
しかしながら、このような従来の手法では、高濃度の処理液に基材を長時間浸漬させることとなるので、基材が変質しやすいという問題がある。また、処理液の安定性が乏しく、樹脂膜を効率的に除去することが困難であるという問題がある。
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去して基材の再利用を効果的に図ることができる樹脂膜除去装置およびその方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、その第１の解決手段として、基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置において、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる処理液浸漬槽と、前記処理液浸漬槽により前記処理液に浸漬された基材から樹脂膜を除去する洗浄槽とを備え、前記洗浄槽は、前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して当該基材から樹脂膜を取り除く基材表面用ブラシを有することを特徴とする樹脂膜除去装置を提供する。
【０００８】
なお、上述した第１の解決手段において、前記洗浄槽は、前記基材に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける基材用ノズルをさらに有することが好ましい。また、前記洗浄槽は、前記基材表面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるブラシ用ノズルをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽は、吹き付けられた樹脂膜除去用の処理液を回収する回収容器と、この回収容器により回収された樹脂膜除去用の処理液を前記基材用ノズルおよび／または前記ブラシ用ノズルに供給する処理液供給路とをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽は、前記基材のうち樹脂膜が形成されていない裏面に物理的に接触して当該基材の裏面に回り込んだ樹脂膜片を取り除く基材裏面用ブラシをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽は、前記基材裏面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるブラシ用ノズルをさらに有することが好ましい。さらに、前記洗浄槽の前記基材表面用ブラシは、樹脂膜が下方を向くよう支持された前記基材の下方に設置されていることが好ましい。さらにまた、前記処理液浸漬槽の前段に設けられ、前記基材を温水に浸漬させて当該基材に対して前処理を施す温浴浸漬槽をさらに備えたことが好ましい。
【０００９】
本発明は、その第２の解決手段として、基材に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置において、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる処理槽を備え、前記処理槽は、前記処理液に浸漬された前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して当該基材から樹脂膜を取り除く基材表面用ブラシを有することを特徴とする樹脂膜除去装置を提供する。
【００１０】
本発明は、その第３の解決手段として、基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去方法において、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる工程と、前記処理液に浸漬された前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に基材表面用ブラシを物理的に接触させて当該基材から樹脂膜を取り除く工程とを含むことを特徴とする樹脂膜除去方法を提供する。
【００１１】
なお、上述した第３の解決手段においては、前記処理液に浸漬される前の前記基材を温水に浸漬させて当該基材に対して前処理を施す工程をさらに含むことが好ましい。
【００１２】
本発明の第１乃至第３の解決手段によれば、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させた後、処理液に浸漬された基材のうち樹脂膜が形成されている表面にブラシを物理的に接触させて基材から樹脂膜を取り除くので、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去することができ、このため基材の再利用を効果的に図ることができる。これにより、基材上に規則的なパターンを有する樹脂膜を形成することにより製造される液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等の生産コストを低減させ、廃棄物の少量化を図ることが可能となる。
【００１３】
また、本発明の第１乃至第３の解決手段によれば、基材用ノズルにより基材に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けることにより、基材上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。また、ブラシ用ノズルによりブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けることにより、ブラシに付着した除去後の樹脂膜片を確実に取り除くことができ、基材上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明による樹脂膜除去装置の一実施の形態を示す図である。なお、本実施の形態においては、処理対象物として、ガラス基板からなる基材４１上にネガ型レジストからなる樹脂膜（図示せず）が形成されたものを用いる場合を例に挙げて説明する。
【００１５】
図１に示すように、樹脂膜除去装置１は、基材４１上に形成された樹脂膜を除去するものであり、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液（薬液）に浸漬させる処理液浸漬槽１０と、処理液浸漬槽１０により処理液に浸漬された基材４１から樹脂膜を除去する洗浄槽２０と、洗浄槽２０により樹脂膜が除去された基材４１を水洗する水洗槽３０とを備えている。なお、処理液浸漬槽１０、洗浄槽２０および水洗槽３０にはそれぞれ搬送ローラ１１，２１，３１が設けられており、処理液浸漬槽１０の挿入口（ローダ）３５から挿入された基材４１が水平状態で排出口（アンローダ）３６まで搬送されるようになっている。なお、本実施の形態においては、基材４１が、樹脂膜が上方を向くよう支持された状態で搬送されるようになっている。
【００１６】
ここで、処理液浸漬槽１０は、樹脂膜除去用の処理液を収容する処理液容器１２を有し、搬送ローラ１１により搬送される基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させることにより、当該基材４１上に形成された樹脂膜を膨潤させて当該基材４１からの樹脂膜の遊離を促進させることができるようになっている。なお、処理液の樹脂膜への浸透を効率的に行うため、処理液を加温してもよい。
【００１７】
なお、処理液浸漬槽１０で用いられる樹脂膜除去用の処理液としては、一般に使用されているアルカリ性除去液等を用いることが好ましく、例えば横浜油脂（株）製のＤＦ７（商品名）を原液にて用いることが好ましい。なお、このような処理液の濃度としては、樹脂膜の遊離に必要とされる時間をできるだけ短くしつつ処理液による基材の変質を防止することができる濃度とすることが好ましい。
【００１８】
洗浄槽２０は、搬送ローラ２１により搬送される基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して基材４１から樹脂膜を取り除くロール状ブラシ（基材表面用ブラシ）２２と、基材４１に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第１処理液ノズル（基材用ノズル）２３と、ロール状ブラシ２２に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第２処理液ノズル（ブラシ用ノズル）２４とを有し、基材４１およびロール状ブラシ２２に対してそれぞれ第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４により樹脂膜除去用の処理液を吹き付けながら、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させることにより、基材４１から樹脂膜を取り除くことができるようになっている。また、洗浄槽２０は、吹き付けられた樹脂膜除去用の処理液を回収する回収トレイ（回収容器）２５と、この回収トレイ２５により回収された樹脂膜除去用の処理液を第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４に供給する処理液供給路２６とを有し、洗浄槽２０内にて樹脂膜除去用の処理液を再利用することができるようになっている。なお、処理液供給路２６には、除去後の樹脂膜片を捕集する濾過機能を付与してもよい。なお、樹脂膜の除去を効率的に行うため、処理液を加温してもよい。
【００１９】
なお、洗浄槽２０で用いられる樹脂膜除去用の処理液としては、処理液浸漬槽１０で用いられる樹脂膜除去用の処理液と同一のもの（アルカリ性除去液等）を用いることができる他、処理液浸漬槽１０で用いられる樹脂膜除去用の処理液とは異なるもの（例えば横浜油脂（株）製ＤＦ５（商品名））を用いることができる。なお、ロール状ブラシ２２の材質としては、樹脂膜除去用の処理液に対して耐性（例えばアルカリ耐性）があることが好ましく、例えばポリプロピレンまたはナイロンを用いることが好ましい。また、ロール状ブラシ２２は、基材４１の表面に均一に接触した状態で基材４１の搬送速度と異なる速度で回転させることが好ましい。
【００２０】
水洗槽３０は、基材４１の表面に対して水を吹き付ける水洗用ノズル３２を有し、搬送ローラ３１により搬送される基材４１の表面に対して水洗用ノズル３２により水を吹き付けることにより、基材４１の表面に付着した樹脂膜除去用の処理液を除去することができるようになっている。なお、水洗槽３０は、必要な洗浄度合いに応じて任意の構成で複数設けるようにしてもよい。また、水洗槽３０には、必要に応じて、基材４１の表面に物理的に接触して基材４１から樹脂膜除去用の処理液を取り除くロール状またはディスク状のブラシを設けるようにしてもよい。
【００２１】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００２２】
まず、樹脂膜除去装置１において、樹脂膜の形成された基材４１が処理液浸漬槽１０の挿入口３５から挿入される。処理液浸漬槽１０においては、搬送ローラ１１により搬送される基材４１を、処理液容器１２内に収容された樹脂膜除去用の処理液に浸漬させることにより、基材４１上に形成された樹脂膜を膨潤させて当該基材４１からの樹脂膜の遊離を促進させる。
【００２３】
次いで、処理液に浸漬された基材４１は次段の洗浄槽２０に送り込まれ、洗浄槽２０において、搬送ローラ２１により搬送される基材４１およびロール状ブラシ２２に対してそれぞれ第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４により樹脂膜除去用の処理液を吹き付けながら、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させることにより、基材４１から樹脂膜を取り除く。なおこのとき、吹き付けられた樹脂膜除去用の処理液は回収トレイ２５により回収され、この回収された樹脂膜除去用の処理液が第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４に処理液供給路２６を介して供給される。
【００２４】
その後、洗浄槽２０により樹脂膜が除去された基材４１は次段の水洗槽３０に送り込まれ、水洗槽３０において、搬送ローラ３１により搬送される基材４１の表面に対して水洗用ノズル３２により水を吹き付けることにより、基材４１の表面に付着した樹脂膜除去用の処理液を除去する。
【００２５】
最後に、水洗槽３０により基材４１の表面に付着した樹脂膜除去用の処理液が除去された基材４１を必要に応じて乾燥させた後、排出口３６から取り出す。
【００２６】
このように本実施の形態によれば、処理液浸漬槽１０において、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させた後、洗浄槽２０において、処理液に浸漬された基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面にロール状ブラシ２２を物理的に接触させて基材４１から樹脂膜を取り除くので、基材４１上に形成された樹脂膜を効率的に除去することができ、このため基材４１の再利用を効果的に図ることができる。これにより、基材上に規則的なパターンを有する樹脂膜を形成することにより製造される液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等の生産コストを低減させ、廃棄物の少量化を図ることが可能となる。
【００２７】
また、本実施の形態によれば、洗浄槽２０において、第１処理液ノズル２３により基材４１に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるので、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。また、第２処理液ノズル２４によりロール状ブラシ２２に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるので、ロール状ブラシ２２に付着した除去後の樹脂膜片を確実に取り除くことができ、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。
【００２８】
なお、上述した実施の形態においては、基材４１としてガラス基板を用いる場合を例に挙げて説明しているが、樹脂膜除去用の処理液に対して耐久性があるものであれば、ガラス基板に限らず、金属やプラスチック等からなる任意の基板を用いることができる。また、基材４１上に形成された樹脂膜としてネガ型レジストを用いる場合を例に挙げて説明しているが、これに限らず、硬化型樹脂やポジ型レジスト等からなる任意の樹脂膜を用いることができる。
【００２９】
また、上述した実施の形態においては、基材表面用ブラシとしてロール状ブラシ２２を用いているが、これに限らず、平坦な接触面を有するディスク状ブラシ等の任意のものを用いることができる。
【００３０】
さらに、上述した実施の形態においては、洗浄槽２０において、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面にのみロール状ブラシ２２を接触させて基材４１から樹脂膜を取り除くようにしているが、これに限らず、図２に示すように、基材４１のうち樹脂膜が形成されていない裏面に物理的に接触して基材４１の裏面に回り込んだ樹脂膜片を取り除くロール状ブラシ（基材裏面用ブラシ）２７と、ロール状ブラシ２７に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第３処理液ノズル（ブラシ用ノズル）２８とを設けるようにしてもよい。この場合には、基材４１の裏面に回り込んだ樹脂膜片を確実に取り除くことができるので、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。なお、これに伴って、水洗槽３０において、基材４１の裏面に対して水を吹き付ける水洗用ノズル３３を設けるようにするとよい。
【００３１】
さらに、上述した実施の形態においては、樹脂膜が上方を向くよう支持された状態で基板４１が搬送される場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、樹脂膜が下方を向くよう支持された状態で基板４１を搬送し、洗浄槽２０のロール状ブラシ２２、第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４を基材４１の下方に設置するようにしてもよい。この場合には、基材４１から取り除かれた樹脂膜片がそもそも基材４１に付着することがなくなるので、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。
【００３２】
さらに、上述した実施の形態においては、樹脂膜が形成された基材４１に対して最初に処理液浸漬槽１０により処理を施すようにしているが、これに限らず、図３に示すように、処理液浸漬槽１０の前段に基材４１に対して前処理を施す温浴浸漬槽５０を設け、処理液に浸漬される前の基材４１を温水に浸漬させるようにしてもよい。この場合には、基材４１上に形成された樹脂膜が温水により膨潤するので、次段の処理液浸漬槽１０において、基材４１からの樹脂膜の遊離がより促進されることとなり、基材４１上に形成された樹脂膜をより効率的に除去することができる。なお、樹脂膜の種類によっては、界面活性剤や溶剤等を温水に添加するようにしてもよい。
【００３３】
ここで、温浴浸漬槽５０は、図３に示すように、基材４１を水平状態で搬送する搬送ローラ５１と、搬送ローラ５１により搬送される基材４１を浸漬させる温水を収容する温浴容器５２とを有している。
【００３４】
さらにまた、上述した実施の形態においては、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる処理液浸漬槽１０と、処理液浸漬槽１０により処理液に浸漬された基材４１から樹脂膜を除去する洗浄槽２０とを分離して設けているが、これに限らず、図４に示すように、処理液浸漬槽１０および洗浄槽２０を一体化した処理槽６０を設け、一つの槽において、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させるとともに、処理液に浸漬された基材４１から樹脂膜を除去するようにしてもよい。この場合には、基材４１から樹脂膜を除去する処理を一つの槽において行うことができるので、スペースの削減および処理時間の短縮を図ることができる。
【００３５】
ここで、処理槽６０は、図４に示すように、基材４１を水平状態で搬送する搬送ローラ１１と、搬送ローラ１１により搬送される基材４１を浸漬させる樹脂膜除去用の処理液を収容する処理液容器１２とを有し、樹脂膜が形成された基材４１を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させることにより、当該基材４１上に形成された樹脂膜を膨潤させて当該基材４１からの樹脂膜の遊離を促進させることができるようになっている。また、処理槽６０は、搬送ローラ１１により搬送される基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して基材４１から樹脂膜を取り除くロール状ブラシ（基材表面用ブラシ）２２と、基材４１に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第１処理液ノズル（基材用ノズル）２３と、ロール状ブラシ２２に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける第２処理液ノズル（ブラシ用ノズル）２４とを有し、基材４１およびロール状ブラシ２２に対してそれぞれ第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４により樹脂膜除去用の処理液を吹き付けながら、基材４１のうち樹脂膜が形成されている表面に回転したロール状ブラシ２２を物理的に接触させることにより、基材４１から樹脂膜を取り除くことができるようになっている。また、処理槽６０は、処理液容器１２に収容された樹脂膜除去用の処理液を第１処理液ノズル２３および第２処理液ノズル２４に供給する処理液供給路２６を有し、処理槽６０内にて樹脂膜除去用の処理液を再利用することができるようになっている。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させた後、処理液に浸漬された基材のうち樹脂膜が形成されている表面にブラシを物理的に接触させて基材から樹脂膜を取り除くので、基材上に形成された樹脂膜を効率的に除去することができ、このため基材の再利用を効果的に図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による樹脂膜除去装置の一実施の形態を示す図。
【図２】図１に示す樹脂膜除去装置の変形例を示す図。
【図３】図１に示す樹脂膜除去装置の他の変形例を示す図。
【図４】図１に示す樹脂膜除去装置のさらに他の変形例を示す図。
【符号の説明】
１ 樹脂膜除去装置
１０ 処理液浸漬槽
１１ 搬送ローラ
１２ 処理液容器
２０ 処理液洗浄槽
２１ 搬送ローラ
２２ ロール状ブラシ（基材表面用ブラシ）
２３ 第１処理液ノズル（基材用ノズル）
２４ 第２処理液ノズル（ブラシ用ノズル）
２５ 回収トレイ
２６ 処理液供給路
２７ ロール状ブラシ（基材裏面用ブラシ）
２８ 第３処理液ノズル（ブラシ用ノズル）
３０ 水洗槽
３１ 搬送ローラ
３２，３３ 水洗用ノズル
３５ 挿入口
３６ 排出口
４１ 基材
５０ 温浴浸漬槽
５１ 搬送ローラ
５２ 温浴容器
６０ 処理槽
Claims (9)
- 基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置において、
樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる処理液浸漬槽と、
前記処理液浸漬槽により前記処理液に浸漬された前記基材を搬送しながら当該基材から樹脂膜を除去する洗浄槽とを備え、
前記洗浄槽は、前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して当該基材から樹脂膜を取り除く基材表面用ブラシと、前記基材に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける基材用ノズルと、前記基材表面ブラシよりも前記基材の搬送方向下流側に設けられ、当該基材表面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるブラシ用ノズルとを有することを特徴とする樹脂膜除去装置。 - 前記洗浄槽は、吹き付けられた樹脂膜除去用の処理液を回収する回収容器と、この回収容器により回収された樹脂膜除去用の処理液を前記基材用ノズルおよび／または前記ブラシ用ノズルに供給する処理液供給路とをさらに有することを特徴とする請求項１記載の樹脂膜除去装置。
- 前記洗浄槽は、前記基材のうち樹脂膜が形成されていない裏面に物理的に接触して当該基材の裏面に回り込んだ樹脂膜片を取り除く基材裏面用ブラシをさらに有することを特徴とする請求項１または２記載の樹脂膜除去装置。
- 前記洗浄槽は、前記基材裏面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるブラシ用ノズルをさらに有することを特徴とする請求項３記載の樹脂膜除去装置。
- 前記洗浄槽の前記基材表面用ブラシは、樹脂膜が下方を向くよう支持された前記基材の下方に設置されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の樹脂膜除去装置。
- 前記処理液浸漬槽の前段に設けられ、前記基材を温水に浸漬させて当該基材に対して前処理を施す温浴浸漬槽をさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載の樹脂膜除去装置。
- 基材に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去装置において、
樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させると共に、前記処理液に浸漬された前記基材を搬送しながら当該基材から樹脂膜を除去する処理槽を備え、
前記処理槽は、前記処理液に浸漬された前記基材のうち樹脂膜が形成されている表面に物理的に接触して当該基材から樹脂膜を取り除く基材表面用ブラシと、前記基材に対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付ける基材用ノズルと、前記基材表面ブラシよりも前記基材の搬送方向下流側に設けられ、当該基材表面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液を吹き付けるブラシ用ノズルとを有することを特徴とする樹脂膜除去装置。 - 基材上に形成された樹脂膜を除去する樹脂膜除去方法において、
樹脂膜が形成された基材を樹脂膜除去用の処理液に浸漬させる工程と、
前記処理液に浸漬された前記基材を搬送しながら当該基材のうち樹脂膜が形成されている表面に基材表面用ブラシを物理的に接触させて当該基材から樹脂膜を取り除く工程とを含み、
樹脂膜を取り除く工程において、基材用ノズルにより前記基材に対して樹脂膜除去用の処理液が吹き付けられると共に、前記基材表面ブラシよりも前記基材の搬送方向下流側に設けられたブラシ用ノズルにより前記基材表面用ブラシに対して樹脂膜除去用の処理液が吹き付けられることを特徴とする樹脂膜除去方法。 - 前記処理液に浸漬される前の前記基材を温水に浸漬させて当該基材に対して前処理を施す工程をさらに含むことを特徴とする請求項８記載の樹脂膜除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001150952A JP4564683B2 (ja) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | 樹脂膜除去装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001150952A JP4564683B2 (ja) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | 樹脂膜除去装置およびその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002341130A JP2002341130A (ja) | 2002-11-27 |
| JP4564683B2 true JP4564683B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=18995891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001150952A Expired - Fee Related JP4564683B2 (ja) | 2001-05-21 | 2001-05-21 | 樹脂膜除去装置およびその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4564683B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW200641560A (en) | 2005-02-09 | 2006-12-01 | Showa Denko Kk | Photosensitive composition removing liquid |
| TW200634448A (en) * | 2005-02-09 | 2006-10-01 | Showa Denko Kk | Photosensitive composition removing liquid |
| JP5133993B2 (ja) | 2006-09-01 | 2013-01-30 | キャボット コーポレイション | 表面処理された金属酸化物粒子 |
| JP5708274B2 (ja) * | 2011-06-06 | 2015-04-30 | シブヤマシナリー株式会社 | 洗浄装置 |
| KR102041800B1 (ko) * | 2013-05-07 | 2019-11-08 | 해성디에스 주식회사 | 기판 홀 형성 방법 및 기판 홀 형성 장치 |
| CN103252328B (zh) * | 2013-05-15 | 2017-02-08 | 上海净超机械有限公司 | 打印机硒鼓部件清洗设备和清洗方法 |
| CN111451193A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-07-28 | 嘉兴萨雷特汽车零部件有限公司 | 一种汽配紧固件生产用紧固件去污清洗装置 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0566655U (ja) * | 1992-02-07 | 1993-09-03 | 岩崎通信機株式会社 | 後処理装置の受液槽構造 |
| JPH06300910A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-10-28 | Idemitsu Kosan Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH0986968A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-03-31 | Sumitomo Chem Co Ltd | クロム遮光層を有するカラーフィルター用ガラス基板の再生方法 |
| JPH1060668A (ja) * | 1996-08-15 | 1998-03-03 | Kawasaki Steel Corp | 金属ストリップのレジスト剥離設備列 |
| JP2000119872A (ja) * | 1998-10-09 | 2000-04-25 | Canon Inc | 剥離装置および基板の製造方法 |
| JP2000237733A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-05 | Hitachi Zosen Corp | 写真フィルムのマテリアルリサイクル方法 |
| JP2001091730A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-06 | Ueyama Denki:Kk | クロム遮光層を有するカラーフィルターガラス基板の再生方法 |
| JP2001124916A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-11 | Toray Ind Inc | カラーフィルター用ガラス基板の再生方法 |
-
2001
- 2001-05-21 JP JP2001150952A patent/JP4564683B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0566655U (ja) * | 1992-02-07 | 1993-09-03 | 岩崎通信機株式会社 | 後処理装置の受液槽構造 |
| JPH06300910A (ja) * | 1993-04-13 | 1994-10-28 | Idemitsu Kosan Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH0986968A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-03-31 | Sumitomo Chem Co Ltd | クロム遮光層を有するカラーフィルター用ガラス基板の再生方法 |
| JPH1060668A (ja) * | 1996-08-15 | 1998-03-03 | Kawasaki Steel Corp | 金属ストリップのレジスト剥離設備列 |
| JP2000119872A (ja) * | 1998-10-09 | 2000-04-25 | Canon Inc | 剥離装置および基板の製造方法 |
| JP2000237733A (ja) * | 1999-02-24 | 2000-09-05 | Hitachi Zosen Corp | 写真フィルムのマテリアルリサイクル方法 |
| JP2001091730A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-06 | Ueyama Denki:Kk | クロム遮光層を有するカラーフィルターガラス基板の再生方法 |
| JP2001124916A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-11 | Toray Ind Inc | カラーフィルター用ガラス基板の再生方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002341130A (ja) | 2002-11-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100323502B1 (ko) | 액정표시패널의 제조방법 및 이것에 사용되는 세정장치 | |
| JP4564683B2 (ja) | 樹脂膜除去装置およびその方法 | |
| KR101580738B1 (ko) | 반전 오프셋 인쇄 장치 및 방법 | |
| KR101243545B1 (ko) | 유리 기판 재생 장치 | |
| JP4031629B2 (ja) | 基材洗浄装置およびその方法 | |
| JP3628919B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| US6514353B1 (en) | Label removal system and method thereof | |
| KR20090108857A (ko) | 기판세정장치 및 이를 구비한 기판세정시스템 | |
| JP2003100687A (ja) | 基板処理装置及びその洗浄方法 | |
| JP2002131889A (ja) | フォトマスク用石英基板の洗浄方法及び洗浄装置 | |
| JPH03266846A (ja) | 感光性平版印刷版の処理方法及び処理装置 | |
| JP2002141269A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| JPH11283951A (ja) | 半導体ウエーハ等用洗浄装置 | |
| JP2008227195A (ja) | 液処理装置 | |
| JP4365192B2 (ja) | 搬送式基板処理装置 | |
| JPH10242047A (ja) | 処理液処理方法および基板連続処理装置 | |
| JP4409901B2 (ja) | 残液除去装置 | |
| JP3040055B2 (ja) | 感光性樹脂の現像方法 | |
| JP4042179B2 (ja) | 薬液処理装置 | |
| JP2001284310A (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
| JPH11147062A (ja) | ダイコータのリップ部における塗布液除去方法およびその装置 | |
| JPH058604Y2 (ja) | ||
| JP2001224993A (ja) | 基板から処理液を除去する方法及び装置、その装置に用いられる液切りナイフ | |
| KR100693761B1 (ko) | 상압 플라즈마 발생기를 구비한 세정장치 | |
| JP2005013823A (ja) | 超音波洗浄方法と超音波洗浄装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080110 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100409 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100607 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100727 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100802 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |