JP2006346531A - 光学素子の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本実施形態に係る光学素子の洗浄方法は、超音波が印加された洗浄液に光学素子を浸漬して洗浄する工程(浸漬洗浄工程:S01)と、光学素子に高周波の超音波が印加された純水を掛け流してリンスする工程(リンス工程:S02)と、光学素子を回転して乾燥する工程(乾燥工程:S03)とを備えている。
【選択図】 図3
Description
さらに、求める洗浄品質を得るために、クリーニングペーパーや布等を用い、これらにアルコール等の溶剤を染み込ませて、手で拭き上げる方法もある。
このような方法として、特許文献1には、多槽式の洗浄機を用いて、塩素系溶剤や乳化剤、温純水を用いて洗浄する方法が記載されている。
本発明に係る光学素子の洗浄方法は、超音波が印加された洗浄液に光学素子を浸漬して洗浄する工程と、前記超音波とは別の超音波が印加された純水を前記光学素子に掛け流してリンスする工程と、前記光学素子を回転して乾燥する工程とを備えていることを特徴とする。
更に、従来に比べて洗浄時間を短くすることができ、耐水性の悪い硝材に対しても、潜傷等を発生させることなく洗浄することができる。
この発明の洗浄方法は、界面活性剤を使用する従来の方法と比べ、リンス工程の時間を短縮でき、廃水処理の負荷を減少させて、環境に対する問題や廃水処理コストを低減することができる。
この発明の洗浄方法は、電解水のリンス性を向上させるとともに、洗浄工程の後に微量に残留している微粒子を除去することができる。
この発明の洗浄方法は、残留している水を振り切って乾燥させることにより、表面の液溜まりが原因で発生するシミの発生を抑えることができる。また、乾燥時に熱を使わないため、エネルギーの消費を最少限に抑えることができる。
本実施形態に係る光学素子の洗浄方法は、図1に示すような洗浄装置1によって行われる。
この洗浄装置1は、複数のレンズ等の光学素子2を洗浄液3に浸漬する第一洗浄槽5と、浸漬洗浄された光学素子2をリンスするための第二洗浄槽6と、リンス後の光学素子2を乾燥させる乾燥槽7と、複数の光学素子2を第一洗浄槽5及び第二洗浄槽6のそれぞれの深さ方向に保持する保持具8と、光学素子2を保持した保持具8を保持して回転させる回転保持具10とを備えている。
保持具8は、図2に示すように、一対の支持部材13A、13Bによって光学素子2を挟んで支持している。保持具8は、第一洗浄槽5及び第二洗浄槽6内で不図示の揺動装置によって揺動可能とされている。
乾燥槽7には、回転保持具10とともに、保持具8を介して光学素子2を回転させる回転モータ15が配されている。
本実施形態に係る光学素子の洗浄方法は、図3に示すように、超音波が印加された洗浄液3に光学素子2を浸漬して洗浄する工程(浸漬洗浄工程:S01)と、光学素子2に高周波の超音波が印加された純水を掛け流してリンスする工程(リンス工程:S02)と、光学素子2を回転して乾燥する工程(乾燥工程:S03)とを備えている。
浸漬洗浄工程(S01)では、純水、アルカリ性電解水、酸性の電解水の少なくとも一つを有する洗浄液3を第一洗浄槽5に導入する。そして、光学素子2が配された保持具8を洗浄液3内に挿入する。
この際、不図示の揺動装置によって保持具8を所定の速度で揺動させながら、洗浄液3に超音波を印加して、超音波の物理力で光学素子2の表面に付着している汚れを洗浄する。
従って、装置を大型化することなく従来に比べて洗浄時間を短くすることができ、耐水性の悪い硝材に対しても、潜傷等を発生させることなく洗浄することができる。
例えば、本実施形態では、工程毎に異なる洗浄槽を設けた洗浄装置1を用いているが、洗浄液等の供給・排出が可能な単一の洗浄槽からなる洗浄装置を用いてもよい。
使用したレンズは、商品名FPL51(小原光学製)の直径6mmの両側凸面レンズとした。第一洗浄槽5にて使用する洗浄液3は、電解質として塩化ナトリウムを用い、電解水生成装置Σ3000(アマノ(株)製)によって生成されたpH11〜pH12のアルカリ性電解水、又は、pH2〜pH3の酸性電解水とした。
ノズル12は、カイジョー(株)製の商品名「スポットシャワー950kHz」(28101型発振器,28200型振動子)と「スポットシャワー430kHz」(27101型発振器,27200型振動子)を使用した。リンス工程(S02)において使用する純水は、1μS/cm以下のものを使用した。
リンス工程(S02)では、保持具8を10mm/s速度で治具の幅に揺動させ、レンズの片面に120秒間流水を掛け流してリンスを行った。流水の流量は、1〜1.5L/分に設定した。
乾燥工程(S03)では、回転保持具10を1000〜2000r/minで60秒間回転させて乾燥を行った。
浸漬洗浄工程(S01)では、洗浄液3にアルカリ性電解水を使用することによって、レンズに残留している研磨材の除去性が向上し、純水だけで洗浄した場合よりも、研磨材を完全に除去することができていた。しかし、レンズ表面に残留している汚れが極めて軽度な場合には、特にアルカリ性電解水や酸性電解水を使用しなくても洗浄できていた。
更にリンス工程(S02)において、一般的なアルカリ洗剤(界面活性剤)を使用したときのように、界面活性剤やアルカリ成分が残留することなく、容易にリンスすることができた。
乾燥工程(S03)における回転保持具10の回転数が1000r/minの場合は、回転中心部に近い部分で水滴が残留していた。特にレンズと回転保持具10との接着部分の乾燥性が悪く、水滴の残留が見られた。しかし、1500r/min,2000r/minの場合には完全に乾燥することができた。
一方、低速回転でも乾燥させるためには、回転乾燥の間に、温風エアーを併用し、温風エアーを吹き付けることにより、容易に乾燥することができた。温風エアーを併用すると1000r/minでも乾燥が可能である。また、乾燥時間を短縮することもできた。
3 洗浄液
Claims (4)
- 超音波が印加された洗浄液に光学素子を浸漬して洗浄する工程と、
前記超音波とは別の超音波が印加された純水を前記光学素子に掛け流してリンスする工程と、
前記光学素子を回転して乾燥する工程とを備えていることを特徴とする光学素子の洗浄方法。 - 前記洗浄液が、純水、アルカリ性電解水、酸性の電解水の少なくとも一つを備えていることを特徴とする請求項1に記載の光学素子の洗浄方法。
- 前記別の超音波の周波数が430kHz以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学素子の洗浄方法。
- 前記乾燥工程において、前記光学素子を1000r/min以上の回転数で回転して乾燥することを特徴とする請求項1から3の何れか一つに記載の光学素子の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005173322A JP2006346531A (ja) | 2005-06-14 | 2005-06-14 | 光学素子の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005173322A JP2006346531A (ja) | 2005-06-14 | 2005-06-14 | 光学素子の洗浄方法 |
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Family
ID=37642926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005173322A Pending JP2006346531A (ja) | 2005-06-14 | 2005-06-14 | 光学素子の洗浄方法 |
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