JPH1015508A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液漏れの心配がなく、洗浄及び脱液乾燥が可
能な洗浄装置を提供することにある。 【構成】 この洗浄装置は、洗浄液３が供給排出される
槽体１と、この槽体１内に回転可能に設けられ、被洗浄
物を収容して洗浄又は脱液乾燥するための籠体８と、上
記槽体１の外部に設けられた回転駆動部１４と、上記槽
体１の壁を挟んで上記回転駆動部１４と上記籠体８との
間に設けられ、回転駆動部１４の回転力を上記籠体８に
非接触で伝達するマグネットカップリング１５とを備え
ている。従って、槽体１には籠体８を回転させる回転軸
の貫通部及びこの貫通部のシール部材が不要であるた
め、液漏れの心配がなく、洗浄及び脱液乾燥を容易に行
うことが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、脱フロン対策に好適な
洗浄装置に係り、特に液漏れを防止しつつ洗浄及び脱液
乾燥を可能にした洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】洗浄には、被洗浄物の種類を問わず、フ
ロンが欠かせない存在であり、フロンを使った洗浄装置
が種々提案されている。しかし、フロンは成層圏オゾン
を破壊するため１９９５年に生産中止になり、このため
フロンを使った洗浄装置が使えなくなる。そこで、フロ
ンに替る代替洗浄剤を用いた洗浄装置の開発が急務とな
っている。

【０００３】図６は脱フロン対策として本発明者が提案
した洗浄装置（未公開）の一例を示している。この洗浄
装置は、洗浄液として炭化水素系洗浄剤、例えば石油を
用いて被洗浄物を洗浄し、且つ洗浄後に高速回転により
液切り、すなわち脱液乾燥（スピン乾燥ともいう）を可
能にしたものである。上記洗浄装置は、洗浄液の供給管
４及び排出管５が接続された槽体１を有し、この槽体１
内には被洗浄物を収容して洗浄又は脱液乾燥を行うため
の籠体８が回転可能に配置されている。

【０００４】上記籠体８を回転駆動するために、上記槽
体８の底部にはこれを垂直に貫通させて回転軸３１が軸
受３２を介して取付けられ、この回転軸３１の上端に上
記籠体８が取付けられると共に、回転軸３１の他端にプ
ーリ１９ａ，１９ｂとベルト２０を介してモータ２１が
連結されている。上記槽体１の底部における回転軸３１
の貫通部にはＯリング等のシール部材３３が設けられて
いる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記洗
浄装置においては、上記籠体８を回転駆動するために槽
体１の底部に回転軸３１を貫通させて設け、その貫通部
にシール部材３３を設けているため、このシール部材３
３の摩耗、劣化により液漏れが発生する虞れがある。こ
の液漏れは、洗浄液が引火性であるため危険であり、ま
た、クリーンルーム内で洗浄装置を使用する場合にはク
リーンルーム内を汚染する虞れもある。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、液漏れの心配がなく、洗浄及び脱液乾燥が可能な洗
浄装置を提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の洗浄装置は、洗浄液が供給排出される
槽体と、この槽体内に回転可能に設けられ、被洗浄物を
収容して洗浄又は脱液乾燥するための籠体と、上記槽体
の外部に設けられた回転駆動部と、上記槽体の壁を挟ん
で上記回転駆動部と上記籠体との間に設けられ、回転駆
動部の回転力を上記籠体に非接触で伝達するマグネット
カップリングとを備えたことを特徴とする。

【０００８】請求項２記載の洗浄装置は、請求項１記載
の洗浄装置における上記洗浄液が炭化水素系洗浄剤から
なることを特徴とする。

【０００９】請求項３記載の洗浄装置は、請求項１また
は２記載の洗浄装置における上記槽体が気密構造とさ
れ、槽体内を負圧にするための真空引き手段を有してい
ることを特徴とする。

【００１０】請求項４記載の洗浄装置は、請求項１ない
し３のいずれかに記載の洗浄装置における上記槽体が被
洗浄物の脱液乾燥時に温風を吹き付けるための送風手段
を有していることを特徴とする。

【００１１】なお、本発明に係る洗浄装置においては、
上記槽体に超音波洗浄を行うための超音波発信器を備え
ていてもよく、また、上記籠体が垂直軸回りでなく、水
平軸回りに回転するように構成されていてもよい。

【００１２】

【作用】請求項１記載の洗浄装置においては、槽体内に
被洗浄物を収容する籠体を回転可能に設け、この籠体を
槽体外の回転駆動部によりマグネットカップリングを介
して非接触で回転駆動するように構成されており、槽体
には籠体を外部から回転駆動するための回転軸の貫通部
及びこの貫通部のシール部材を有していないため、洗浄
液の液漏れを生じない。従って、洗浄剤として引火性の
洗浄剤を用いても、安全性を確保でき、また、クリーン
ルーム内で洗浄装置を使用するようにしても、クリンル
ーム内を汚染するようなことはない。

【００１３】上記槽体内に洗浄液を入れて籠体内の被洗
浄物を洗浄液に浸漬させた状態で籠体を回転させること
により、被洗浄物を容易に洗浄することができ、また、
洗浄後に槽体内から洗浄液を排出させ、上記籠体を高速
で回転させることにより、被洗浄物を容易に脱液乾燥さ
せることができる。

【００１４】請求項２記載の洗浄装置においては、上記
洗浄液が炭化水素系洗浄剤からなるため、フロンを使用
しないでもフロンと同等の洗浄効果が得られる。

【００１５】請求項３記載の洗浄装置においては、上記
槽体が気密構造とされ、槽体内を負圧にするための真空
引き手段を有しているため、洗浄剤が引火性であっても
安全性を一層高めることができ、また、脱液乾燥時に真
空乾燥を併用することで乾燥効率の向上が図れる。

【００１６】請求項４記載の洗浄装置においては、上記
槽体が被洗浄物の脱液乾燥時に温風を吹き付けるための
送風手段を有しているため、乾燥効率の向上が図れる。

【００１７】

【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基いて
詳述する。

【００１８】本発明の一実施例である洗浄装置の断面構
造を示す図１において、１は開放された上端部に蓋体２
を有する有底円筒状の槽体で、この槽体１はアルミなど
の非磁性材料により形成されている。上記槽体１の側壁
１ａには槽体１内に洗浄液３を供給するための供給管４
が接続され、槽体１の底部には槽体１内から洗浄後の洗
浄液（廃液）３を排出するための排出管５が接続されて
いる。

【００１９】上記供給管４及び排出管５にはそれぞれ開
閉弁６，７が設けられている。また、供給管４は洗浄液
供給源に接続され、排出管５は廃液タンクに接続されて
いる（図示省略）。上記洗浄液３として、炭化水素系洗
浄剤、例えば石油が用いられる。洗浄に際して上記供給
管４から槽体１内に図示するような所定のレベルＬまで
洗浄液３が入れられ、洗浄後に排出管５から槽体１内の
洗浄液３が排出されるのであるが、このような操作をコ
ンピュータによる制御で自動的に行うようにしてもよ
い。、上記槽体１内には、被洗浄物（図示省略）を収容
して洗浄又は脱液乾燥を行うための籠体８が垂直軸回り
に回転可能に設けられている。上記籠体８を回転可能に
支持するために、上記槽体１内の下方には槽体１の側壁
１ａに取付けられたブラケット９を介して槽体１内の略
中央部に軸受１０が設けられ、この軸受１０に垂直の回
転軸１１が回転可能に支持されている。この回転軸１１
の上端部には回転テーブル１２が設けられ、この回転テ
ーブル１２上に上記籠体８が取付けられている。また、
上記槽体１の側壁１ａには槽体１内の籠体８に向けて超
音波を発信させる超音波発信器１３が設けられている。
なお、上記籠体８は、有底円筒状に形成され、取っ手８
ａを有し、上記回転テーブル１２上に着脱可能に取付け
られているが、取っ手８ａを有しないで、回転テーブル
１２上に固定されていてもよい。また、上記籠体８、回
転軸１１、軸受１０等は、洗浄液３中に浸漬されるた
め、洗浄液３で腐蝕しない材料で構成されていることが
好ましい。

【００２０】上記籠体８を回転駆動するために、槽体１
の外部には回転駆動部１４が設けられ、槽体１の底壁１
ｂを挟んで上記回転駆動部１４と上記籠体８の回転軸１
１との間には、回転駆動部１４の回転力を上記籠体８の
回転軸１１に非接触で伝達するためのマグネットカップ
リング１５が設けられている。上記回転駆動部１４は、
槽体１の底部下方の略中央部にブラケット１６を介して
設けられた軸受１７と、この軸受１７により上記回転軸
１１の延長線上に回転可能に支持された回転軸１８と、
この回転軸１８の下端部にプーリ１９ａ，１９ｂとベル
ト２０を介して連結されたモータ２１とから主に構成さ
れている。

【００２１】上記マグネットカップリング１５は、図２
にも示すように槽体１の底壁１ｂを挟んで非接触で対向
する一対の回転ディスク２２ａ，２２ｂを有し、各回転
ディスク２２ａ，２２ｂが対応する上記回転軸１１，１
８の端部に設けられている。これら回転ディスク２２
ａ，２２ｂの対向面には、図３に示すように周方向に等
間隔で複数の磁石（永久磁石）２３が隣り合うものが反
対の磁極となるようにして埋め込まれており、対向する
回転ディスク２２ａ，２２ｂの磁石２３同士の吸着力及
び反発力の内の主として反発力により一方の駆動側の回
転ディスク２２ａから他方の従動側の回転ディスク２２
ｂに回転力が伝達されるように構成されている。なお、
上記回転ディスク２２ａ，２２ｂはアルミなどの非磁性
材料により形成されており、また、槽体１内において回
転ディスク２２ｂの表面より露出した磁石２３の露出面
には、洗浄液による腐蝕を防止するためのコーティング
が施されていることが好ましい。

【００２２】次に上記実施例の作用を述べる。洗浄を行
うに際しては、先ず槽体１内を洗浄液３のない空の状態
にして、蓋体２を開け、槽体１内の籠体８内に例えば半
導体部品、機械部品等の被洗浄物を入れ、蓋体２を閉め
る。次いで、供給管４を介して上記槽体１内に洗浄液３
を所定のレベルＬまで入れたなら、モータ２１及び超音
波発信器１３を起動させる。上記モータ２１の回転力は
プーリ１９ａ，１９ｂとベルト２０を介して槽体１外の
回転軸１８に伝達され、更にこの回転軸１８からマグネ
ットカップリング１５を介して槽体１内の回転軸１１に
非接触で伝達され、これにより籠体８が回転駆動され
る。上記籠体８が槽体１内の洗浄液３中で回転すること
により籠体８内の被洗浄物が洗浄されると共に、被洗浄
物は超音波の振動作用によっても洗浄されることにな
る。

【００２３】このようにして洗浄が終ったなら、槽体１
内の洗浄液３を排出管５を介して排出し、槽体１内を空
にした状態で同様にモータ２１の駆動により上記籠体８
を高速で回転させ、その遠心力及び回転風の作用により
被洗浄物の脱液乾燥を行う。乾燥が終ったなら、上記籠
体８から被洗浄物を取出せばよい。

【００２４】このように上記洗浄装置においては、槽体
１内に被洗浄物を収容する籠体８を回転可能に設け、こ
の籠体８を槽体１外の回転駆動部１４によりマグネット
カップリング１５を介して非接触で回転駆動するように
構成されており、槽体１には籠体８を外部から回転駆動
するための回転軸の貫通部及びこの貫通部のシール部材
を有していないため、洗浄液３の液漏れを生じない。従
って、洗浄液３として引火性の洗浄剤を用いても、安全
性を確保でき、また、クリーンルーム内で洗浄装置を使
用するようにしても、クリンルーム内を汚染するような
ことはない。

【００２５】上記槽体１内に洗浄液３を入れて籠体８内
の被洗浄物を洗浄液３に浸漬させた状態で籠体８を回転
させることにより、被洗浄物を容易に洗浄することがで
き、また、洗浄後に槽体１内から洗浄液３を排出させ、
上記籠体８を高速で回転させることにより、被洗浄物を
容易に脱液乾燥させることができる。このように一つの
槽体１で洗浄及び乾燥を連続的に行うことができるの
で、処理効率の向上が図れると共に装置のコンパクト化
が図れる。特に、上記洗浄液３として炭化水素系洗浄剤
が用いられているため、フロンを使用しないでもフロン
と同等の洗浄効果が得られる。

【００２６】また、槽体１内から回転軸１１等をブラケ
ット９毎取外すことにより、槽体１内の特に底部を何も
ない状態にできるので、汚れ易い底部を容易に清掃する
ことができる。更に、上記マグネットカップリング１５
を採用したことにより、洗浄装置の構造の簡素化及び耐
久性の向上が図れ、また、槽体１の内外に配置される回
転軸１１，１８が多少芯ずれしていても支承がなく、高
い精度を要求されないので製作が容易である。なお、上
記実施例の洗浄装置においては、上記槽体１内に例えば
窒素ガス等の不活性ガスを充填して洗浄ないし脱液乾燥
を行うようにしてもよく、これにより引火性の洗浄液３
に対する安全性の向上が図れる。

【００２７】図４は本発明の他の実施例である洗浄装置
の断面構造を示している。本実施例の洗浄装置において
は、槽体１が気密構造とされ、槽体１には槽体１内を負
圧にするための真空引き手段である真空ポンプ２４が排
気管２５を介して接続されている。上記槽体１を気密構
造とするために、槽体１の上部開口端と蓋体２との間に
はＯリングなどのシール部材２６が介設されている。ま
た、上記槽体１内には籠体８が水平軸回りに回転可能に
設けられている。

【００２８】上記籠体８は例えば六角筒形等の多角筒形
に形成され、その一辺を被洗浄物の出入口として開口さ
せると共にその開口に開閉蓋８ｂが設けられている。籠
体８の両端部には回転軸１１ａ，１１ｂが設けられ、両
回転軸１１ａ，１１ｂが槽体１の両側壁１ａ内面にブラ
ケット９ａ，９ｂを介して設けられた軸受１０ａ，１０
ｂに回転可能に支持されている。上記一方の回転軸１１
ａに対応させて回転駆動部１４側の回転軸１８が槽体１
の側壁１ａを挟んで外側にブラケット１６及び軸受１７
を介して設けられ、槽体１の側壁１ａを挟んで非接触で
対向する回転軸１１ａ，１８の端部にはマグネットカッ
プリング１５を構成する磁石２３を埋め込んだ回転ディ
スク２２ａ，２２ｂが設けられている。その他の構成は
上記実施例と同様であるため、同一部分に同一符号を付
して説明を省略する。

【００２９】本実施例の洗浄装置によれば、上記実施例
の洗浄装置と同様の作用効果が得られる他、上記槽体１
が気密構造とされ、槽体１内を負圧にするための真空ポ
ンプ２４を有しているため、洗浄剤３が引火性であって
も安全性を一層高めることができ、また、脱液乾燥時に
真空乾燥を併用することで乾燥効率の向上が図れる。

【００３０】図５は本発明の他の実施例である洗浄装置
の断面構造を示している。本実施例の洗浄装置において
は、被洗浄物の脱液乾燥時に温風を吹き付けるための送
風手段である送風管２７が上記槽体１の底部に接続さ
れ、槽体１の側壁１ａ上部には温風を槽体１外に排出す
るための排気管２８が接続されている。

【００３１】上記送風管２７は、槽体１内の洗浄液３が
送風管２７内の上流へ流れ込まないようにするために上
流側が槽体１内の液面レベルＬよりも高い位置になるよ
うに槽体１の底部側からＵ字状に立ち上がって形成され
ており、送風管２７の最下端部には送風を開始するに際
して送風管２７内に溜っている洗浄液を排出するための
開閉弁２９を有する排出管３０が接続されている。その
他の構成は上記実施例と同様であるため、同一部分に同
一符号を付して説明を省略する。

【００３２】本実施例の洗浄装置によれば、上記実施例
の洗浄装置と同様の作用効果が得られる他、上記槽体１
が被洗浄物の脱液乾燥時に温風を吹き付けるための送風
管２７を有しているため、乾燥効率の向上が図れる。な
お、上記温風としては、空気が用いられるが、安全性の
向上を図るために不活性ガスを併用するようにしてもよ
い。

【００３３】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、以下のよ
うな優れた効果が得られる。

【００３４】（１）請求項１記載の洗浄装置によれば、
槽体内に被洗浄物を収容する籠体を回転可能に設け、こ
の籠体を槽体外の回転駆動部によりマグネットカップリ
ングを介して非接触で回転駆動するように構成されてい
るため、洗浄液の液漏れの心配がなく、洗浄及び脱液乾
燥を容易に行うことができ、洗浄液として引火性の洗浄
剤を用いても、安全性を確保でき、また、クリーンルー
ム内で洗浄装置を使用するようにしても、クリンルーム
内を汚染するようなことはない。

【００３５】（２）請求項２記載の洗浄装置によれば、
上記洗浄液が炭化水素系洗浄剤からなるため、フロンを
使用しなくてもフロンと同等の洗浄効果が得られる。

【００３６】（３）請求項３記載の洗浄装置によれば、
上記槽体が気密構造とされ、槽体内を負圧にするための
真空引き手段を有しているため、洗浄剤が引火性であっ
ても安全性を一層高めることができ、また、脱液乾燥時
に真空乾燥を併用することで乾燥効率の向上が図れる。

【００３７】（４）請求項４記載の洗浄装置によれば、
上記槽体が被洗浄物の脱液乾燥時に温風を吹き付けるた
めの送風手段を有しているため、乾燥効率の向上が図れ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄装置の一実施例を示す断面図
である。

【図２】同洗浄装置に用いられているマグネットカップ
リング部分の断面図である。

【図３】同マグネットカップリングの対向面を概略的に
示す図である。

【図４】本発明に係る洗浄装置の他の実施例を示す断面
図である。

【図５】本発明に係る洗浄装置の他の実施例を示す断面
図である。

【図６】本発明者が先に提案した洗浄装置の一例を示す
断面図である。

【符号の説明】

１ 槽体 ３ 洗浄液 ８ 籠体 １４ 回転駆動部 １５ マグネットカップリング ２４ 真空ポンプ（真空引き手段） ２７ 送風管（送風手段）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄液が供給排出される槽体と、この槽体
   内に回転可能に設けられ、被洗浄物を収容して洗浄又は
   脱液乾燥するための籠体と、上記槽体の外部に設けられ
   た回転駆動部と、上記槽体の壁を挟んで上記回転駆動部
   と上記籠体との間に設けられ、回転駆動部の回転力を上
   記籠体に非接触で伝達するマグネットカップリングとを
   備えたことを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】上記洗浄液が炭化水素系洗浄剤からなるこ
   とを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
3. 【請求項３】上記槽体が気密構造とされ、槽体内を負圧
   にするための真空引き手段を有していることを特徴とす
   る請求項１または２に記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】上記槽体が被洗浄物の脱液乾燥時に温風を
   吹き付けるための送風手段を有していることを特徴とす
   る請求項１ないし３のいずれかに記載の洗浄装置。