JP2001179188A - ディスク洗浄方法及びそれを使用したディスク洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク洗浄方法
及びそれを使用したディスク洗浄装置に係り、より詳細
にはディスク（円板）状の被洗浄板を回転させて表面を
ブラシにより洗浄するディスク洗浄方法及びそれを使用
したディスク洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のディスク洗浄装置では、ディスク
（円板）状の被洗浄板を洗浄する場合、例えば、洗浄液
を充填した湿式槽に浸漬させて洗浄または超音波洗浄、
及び噴出ノズルから洗浄液を噴射させてブラッシング、
並びに噴霧ノズルからの高圧水または洗剤を噴霧して洗
浄などの洗浄工程を実行している。特に、ディスクドラ
イブに用いるハードディスクの製造工程では、例えば、
極めて微細な粒子を有する研磨剤（スラリ）により研磨
する研磨工程が実行される。従って、ハードディスク製
造工程においては、ディスクの表面に付着した研磨剤と
その他の汚染物を予めブラシ（ベルクリン、ＰＦＡスポ
ンジ等からなるブラシ）により洗浄する従来のディスク
洗浄装置がよく用いられている。

【０００３】図４は、このようなブラシによるハードデ
ィスクの洗浄に採用した従来のディスク洗浄装置の内部
構造を示す構成図である。また、図５は、図４に示した
ディスク洗浄装置の洗浄動作を示す動作説明図であり、
図５（ａ）は被洗浄板１を搬送する搬送工程を、図５
（ｂ）は被洗浄板１を設置する設置工程を、図５（ｃ）
は被洗浄板１を洗浄する洗浄工程を各々示している。図
４に示すように、ブラシによるハードディスクの洗浄に
採用した従来のディスク洗浄装置は、装置の内部に所定
の工程（例えば、研磨工程）から搬送されたハードディ
スクの被洗浄板１を複数枚収納したカセット２を設置す
る設置部６２と、この設置部６２の上方向に配置されて
箱形状を備え内部が中空で底面に開口する開口部５０ａ
を形成した洗浄部５０と、設置部６２の下部に配置され
てカセット２内の被洗浄板１を把持して洗浄部５０の開
口部５０ａを介して出し入れする搬送手段６０と、洗浄
部５０内で搬送手段６０により搬送された被洗浄板１の
上端外周を支持して回転させる回転ローラ５４と、洗浄
部５０内に一対に配列して円筒状で外周に洗浄用のブラ
シ部５２ａを備え、回転ローラ５４により回転する被洗
浄板１を一対のブラシ部５２ａ間に挟むことで両面全体
を洗浄する洗浄ブラシ５２とを備えている。

【０００４】ここで、洗浄部５０は、矩形で長細く延在
する箱状を備え内部が中空に形成されており、底面に矩
形状に開口する開口部５０ａを形成している。また、洗
浄部５０は、内部に所定の第１駆動源（図示せず）によ
り回転する回転ローラ５４と、更なる第２駆動源（図示
せず）により回転する円筒状の洗浄ブラシ５２とを収納
している。この回転ローラ５４は、洗浄部５０内の洗浄
ブラシ５２と直交する図４に示した前後方向に延在する
一対のシャフト５５を設け、この一対のシャフト５５の
一端に各々装着されている。そして、回転ローラ５４
は、搬送手段６０により洗浄部５０内に搬送された被洗
浄板１の上端２箇所に当接して搬送手段６０とともに被
洗浄板１を支持するように形成されている。また、回転
ローラ５４は、図示されていないが、中心から延在する
シャフト５５の他端側に第１駆動源を接続しており、こ
の第１駆動源を駆動させることでシャフト５５が回転す
るように形成されている。これにより回転ローラ５４
は、被洗浄板１の外周上端に回転力を与えて被洗浄板１
を回転させることができる。

【０００５】また、洗浄ブラシ５２は、円筒状で外周を
ベルクリン、ＰＡＦスポンジなどの弾性を有する軟質材
により形成している。そして、洗浄ブラシ５２は、洗浄
部５０内に２つ一対に配列させ、図４に示すように左右
方向に延在するように形成している。また、洗浄ブラシ
５２は、円筒状の上部に棒状に延在する一対のシャフト
５３を設け、このシャフト５３にブラシ部５２が吊り下
げられ回転可能に支持されている。これにより、一対の
洗浄ブラシ５２は、シャフト５３を軸にして図４に示し
た前後方向に各々開くように形成され、このブラシ部５
２ａの間に被洗浄板１を挿入して挟み込めるように設け
てある。また、洗浄ブラシ５２は、図４に示した右側の
端部で図示されていない第２駆動源に連結されている。
この第２駆動源は、一対のブラシ部５２ａを前述した左
右方向に開閉させるとともに、円筒状のブラシ部５２ａ
を回転させる駆動力を与えている。そして、洗浄部５０
の内部には、洗浄ブラシ５２の両側から純水にアルカリ
系の洗浄液を希釈した弱アルカリ系の洗浄液を噴出して
洗浄ブラシ５２の乾燥を防止する第２ノズル５８を複数
（図４では２箇所）設けている。

【０００６】一方、設置部６２は、表面に開口する開口
穴（図示せず）を形成し、この開口穴を介して搬送手段
６０が図４に示した上下方向に伸縮動作できるように形
成している。また、カセット２には、底部に開口穴（図
示せず）が開口しており、搬送手段６０が底部から延在
して内部に収納した被洗浄板１を把持できるように形成
している。この設置部６２は、図４に示した前後方向に
カセット２を載置してスライドできるように形成してい
る。従って、設置部６２は、図１に示した前後方向（１
ピッチ間隔）にスライド可能に形成することで、カセッ
ト２内から搬送手段６０が被洗浄板１を１枚ずつ把持で
きる構造に形成されている。ここで設置部６２には、カ
セット２に収納した被洗浄板１に脱イオン化された純水
を噴出することで、洗浄を終えた被洗浄板１が再汚染す
ることを防止する第１ノズル６４を備えている。

【０００７】このように形成されたブラシによるハード
ディスクの洗浄に採用した従来のディスク洗浄装置によ
り洗浄する方法は、まず、図５（ａ）に示すように、被
洗浄板１を複数枚収納したカセット２を設置部６２に載
置し固定する。そして、搬送手段６０を上昇させてカセ
ット２内から被洗浄板１を１枚把持するとともに、開口
部５０ａを介して洗浄部５０内に被洗浄板１を搬送する
搬送工程を実行する。この際、被洗浄板１を複数枚収納
したカセット２には、第１ノズル６４により純水を噴出
して汚染を防止する。これと同時に、洗浄部５０の内部
では、一対の洗浄ブラシ５２をシャフト５３を軸にして
回転させ開いた状態に待機させる。また、被洗浄板１
は、図５（ｂ）に示すように、搬送手段６０により洗浄
部５０内まで上昇し回転ローラ５４に上端が当接して支
持される。また、被洗浄板１の上端が回転ローラ５４に
支持されると、シャフト５３を軸にして図５（ｂ）に示
した矢印方向に一対の洗浄ブラシ５２を回転させて、被
洗浄板１の両面を挟んだ状態に設置する設置工程を実行
する。

【０００８】設置工程が完了すると、図５（ｃ）に示す
ように第２ノズル５８から洗浄液を噴出して洗浄ブラシ
５２の乾燥を防止するとともに、この洗浄ブラシ５２が
図５（ｃ）に示したように被洗浄板１を押し上げる方向
に回転する。この際、被洗浄板１は、上部に押し上げら
れて回転ローラ５４に圧接するとともに、この回転ロー
ラ５４が駆動して上端に回転力が与えられて回転する。
そして、被洗浄板１は、回転ローラ５４により回転する
ことで両面を洗浄ブラシ５２が放射状に洗浄する洗浄工
程が実行される。このように、従来のディスク洗浄方法
及びそれを使用したディスク洗浄装置は、被洗浄板１を
搬送手段６０により搬送して回転ローラ５４により回転
する両面を、回転ブラシ５２により放射状に洗浄するこ
とで効果的に洗浄していた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ディスク洗浄方法及びそれを使用したディスク洗浄装置
では、図４に示したように、カセット２内の洗浄を終え
た被洗浄板１に第１ノズル６４により純水を噴出して再
汚染を防止しているが、洗浄部５０内で第２ノズル５８
から洗浄液を噴出して被洗浄板１を洗浄する際に、汚染
物発生源となりうる洗浄後の洗浄液が洗浄部５０の開口
部５０ａを介してカセット２に落下する。そのため、洗
浄を終えてカセット２内に収納した被洗浄板１に汚染さ
れた洗浄液が付着して再汚染するという不具合があっ
た。本発明はこのような課題を解決し、洗浄を終えた被
洗浄板が洗浄中に汚染物を含んだ洗浄液により再汚染す
ることを低減し、洗浄効果を向上させるディスク洗浄方
法及びそれを使用したディスク洗浄装置を提供すること
を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明によるディスク洗浄装置の実施の形態は、
ディスク状の被洗浄板を複数枚収納したカセットを設置
する設置部と、この設置部の上部に配置され内部が中空
で底面に開閉自在のシャッタを有した洗浄部と、設置部
の下部に設置されカセット内の被洗浄板を把持して洗浄
部のシャッタを介して出し入れする搬送手段と、洗浄部
内で所定の第１駆動源により駆動し搬送手段により搬送
された被洗浄板の外周下端を支持して回転させる回転ロ
ーラと、洗浄部内に一対に配列され円筒状で周壁に洗浄
用のブラシ部を有して所定の第２駆動源により回転する
とともに、一対のブラシ部間に回転ローラにより支持さ
れて回転する被洗浄板を挟むことで両面全体を洗浄する
洗浄ブラシとを設ける。

【００１１】ここで、設置部には少なくとも１つ以上の
カセットを設置できるように設けるとともに、洗浄部の
シャッタ、搬送手段、回転ローラを少なくとも１つ以上
設けることで、洗浄ブラシで少なくとも１つ以上の被洗
浄板を洗浄できるように設けることが好ましい。また、
洗浄ブラシは、搬送手段を洗浄部の外側に移動させてシ
ャッタを遮蔽した状態で駆動させるとともに、回転ロー
ラにより回転する被洗浄板の中心に当接させることで放
射状に両面を洗浄するように設けることが好ましい。ま
た、洗浄ブラシは、ブラシ部が延在する上部に棒状に延
在する一対のシャフトを設け、このシャフトを軸にして
一対のブラシ部が外側に開閉するように動作することで
ブラシ部の間に被洗浄板を挟み込むように形成すること
が好ましい。

【００１２】また、回転ローラは、洗浄ブラシの下部で
ブラシ部が円筒状に延在する方向と直交する方向にスラ
イド可能に設け、搬送手段の搬送とともに被洗浄板の下
部にスライドして支持するように設けることが好まし
い。また、回転ローラは、洗浄部内の洗浄ブラシと直交
する方向に延在する一対のシャフトに各々装着されて被
洗浄板の下端外周に２箇所接して支持するとともに、第
１駆動源がシャフトを回転させることで被洗浄板の外周
下端に回転力を与えて回転させることが好ましい。ま
た、設置部にはカセットに収納した被洗浄板に純水を噴
出して再汚染及び乾燥を防止する第１ノズルを備えると
ともに、洗浄ブラシには所定の洗浄液を噴出することで
乾燥を防止する第２ノズルを設けることが好ましい。ま
た、第１ノズルが噴出する純水は脱イオン化された純水
であり、第２ノズルが噴出する洗浄液は純水にアルカリ
系の洗剤を希釈した弱アルカリ系の洗浄液であることが
好ましい。また、洗浄ブラシのブラシ部は、ベルクリ
ン、ＰＡＦスポンジなどの弾性を有する軟質材からなる
ことが好ましい。また、洗浄部には、第２ノズルから噴
出される洗浄液を排出する排出管を設けることが好まし
い。また、被洗浄板は、ハードディスク、半導体ウェハ
ーなどの円板状の被洗浄板であることが好ましい。

【００１３】一方、本発明によるディスク洗浄方法の実
施の形態は、ディスク状の被洗浄板を複数枚収納したカ
セットから上部に配置された中空の洗浄部内に、底面で
開閉するシャッタを介して搬送手段により被洗浄板を搬
送する搬送工程と、この搬送工程により搬送された被洗
浄板の下端を回転ローラにより支持するとともに、搬送
手段を降下させて洗浄部のシャッタを閉塞することで密
閉した洗浄部内に被洗浄板を設置する設置工程と、密閉
した洗浄部内で回転ローラにより回転する被洗浄板を、
円筒状で平行に延在する一対の洗浄ブラシ間に挟み込ん
で被洗浄板の両面全体を洗浄する洗浄工程とを備える。

【００１４】ここで、洗浄工程は、搬送手段を洗浄部の
外側に移動させてシャッタを遮蔽した状態で洗浄すると
ともに、回転ローラにより回転する被洗浄板の中心に洗
浄ブラシを当接させることで放射状に両面全体を洗浄す
ることが好ましい。また、設置工程は、洗浄ブラシの下
部で所定方向にスライド可能な回転ローラを設け、搬送
手段の搬送とともに回転ローラが被洗浄板の下部にスラ
イドして支持することが好ましい。また、洗浄工程は、
洗浄ブラシに乾燥を防止する弱アルカリ系の洗浄液を噴
出させて洗浄することが好ましい。また、搬送工程、設
置工程及び洗浄工程では、カセットに純水を噴出して再
汚染及び乾燥を防止することが好ましい。また、洗浄工
程は、被洗浄板の表面にベルクリン、ＰＡＦスポンジな
どの弾性を有する洗浄ブラシを当接させて洗浄すること
が好ましい。また、洗浄工程は、洗浄部に設けた排出管
により第２ノズルから噴出される洗浄液を排出しながら
洗浄することが好ましい。また、被洗浄板は、ハードデ
ィスク、半導体ウェハーなどの円板状の被洗浄板である
ことが好ましい。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
によるディスク洗浄方法及びそれを使用したディスク洗
浄装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明
によるディスク洗浄装置の実施の形態を示す構成図であ
る。また、図２は、図１に示したディスク洗浄装置の洗
浄動作を示す動作説明図であり、図２（ａ）は被洗浄板
１を搬送する搬送工程を、図２（ｂ）は被洗浄板１を設
置する設置工程を、図２（ｃ）は被洗浄板１を洗浄する
洗浄工程を各々示している。また、図３は、複数の被洗
浄板１を同時に洗浄可能な本発明によるディスク洗浄装
置の他の実施の形態を示す構成図である。

【００１６】図１に示すように、本発明によるディスク
洗浄装置は、図４に示した従来技術と同様に、ハードデ
ィスクの被洗浄板をブラシにより洗浄する装置であっ
て、この装置内に形成されて所定の工程（例えば、研磨
工程）から搬送されたディスク状の被洗浄板１を複数枚
収納したカセット２を設置する設置部２２と、この設置
部２２の上方向に配置され箱形状を備えて内部が中空で
底面に開口する開口部１０ａを有した洗浄部１０と、設
置部２２の下方向に配置されカセット２内の被洗浄板１
を把持して洗浄部１０の開口部１０ａを介して出し入れ
する搬送手段２０と、この搬送手段２０により洗浄部１
０内に搬送した被洗浄板１の一端に係合して回転させる
回転ローラ１４と、洗浄部１０内に一対に配列し円筒状
で外周に洗浄用のブラシ部１２ａを備えて回転ローラ１
４により回転する被洗浄板１を挟んで両面全体を洗浄す
る洗浄ブラシ１２とを備えている。

【００１７】ここで、洗浄部１０は、矩形で長細く延在
する箱状に形成されており、内部が中空で底面に矩形状
に開口する開口部１０ａを形成している。この洗浄部１
０の内部には、所定の側面に配置した第１駆動源１６に
より回転する回転ローラ１４と、更なる第２駆動源（図
示せず）により回転する円筒状の洗浄ブラシ１２とを備
えている。また、洗浄部１０は、図４に示した従来技術
とは異なり、内部の底面に開口する開口部１０ａを開閉
するシャッタ１１を設けている。また、回転ローラ１４
は、図４に示した従来技術とは異なり、洗浄ブラシ１２
の下部に配置されており、この洗浄ブラシ１２と直交す
る図１に示した前後方向に平行に延在する一対のシャフ
ト１５を設け、この一対のシャフト１５の一端に各々装
着されている。回転ローラ１４は、搬送手段２０により
洗浄部１０内に搬送された被洗浄板１の下端２箇所を支
持するように形成されている。また、回転ローラ１４
は、中心から延在するシャフト１５の他端側に第１駆動
源１６が接続されており、この第１駆動源１６を駆動さ
せることでシャフト１５を中心に回転するように形成さ
れている。

【００１８】従って、本発明によるディスク洗浄装置
は、図４に示した従来技術のように回転ローラが被洗浄
板の上端に回転力を与えて回転させる構造とは異なり、
搬送手段２０が搬送した被洗浄板１を、密閉した洗浄部
１０内で回転ローラ１４により支持して下端に回転力を
与えて回転させる構造に形成されている。また、洗浄ブ
ラシ１２は、図４に示した従来技術と同様に、円筒状で
外周をベルクリン、ＰＡＦスポンジなどの弾性を有する
軟質材により形成している。そして、洗浄ブラシ１２
は、洗浄部１０内に２つ一対に配列させて、図１に示す
ように左右方向に延在するように形成している。また、
洗浄ブラシ１２は、円筒状の上部に棒状に延在する一対
のシャフト１３を設け、このシャフト１３に吊り下げら
れるように回転可能に支持されている。これにより、一
対の洗浄ブラシ１２は、シャフト１３を軸にして図１に
示した前後方向外側に開くことで、ブラシ部１２ａの間
に被洗浄板１を挿入して挟み込むことが可能になる。ま
た、洗浄ブラシ１２は、図１に示した右側の端部で図示
されていない第２駆動源に連結されている。この第２駆
動源は、一対のブラシ部１２ａを前述した前後方向に開
閉させるとともに、円筒状のブラシ部１２ａを回転させ
る駆動力を与えている。また、洗浄部１０の内部には、
洗浄ブラシ１２の両側から純水にアルカリ系の洗剤を希
釈した弱アルカリ系の洗浄液を噴出して洗浄ブラシ１２
の乾燥を防止する第２ノズル１８を複数（図１では２箇
所）設けている。

【００１９】一方、設置部２２は、表面に開口する開口
穴（図示せず）を形成し、この開口穴を介して搬送手段
２０が図１に示した上下方向に伸縮動作できるように形
成している。また、カセット２には、底部に開口穴（図
示させず）が開口しており、搬送手段２０が底部から延
在して内部に収納した被洗浄板１を把持できるように形
成している。この設置部２２は、図１に示した前後方向
にカセット２を載置してスライドできるように形成して
いる。従って、設置部２２は、図１に示した前後方向
（１ピッチ間隔）にスライド可能に形成することで、カ
セット２内から搬送手段２０が被洗浄板１を１枚ずつ把
持できる構造に形成されている。ここで設置部２２に
は、カセット２に収納した被洗浄板１に脱イオン化され
た純水を噴出することで、洗浄を終えた被洗浄板１が再
汚染及び乾燥することを防止する第１ノズル２４を備え
ている。

【００２０】このように形成された本発明によるディス
ク洗浄装置により洗浄する方法は、まず、図２（ａ）に
示すように、被洗浄板１を複数枚収納したカセット２を
設置部２２に載置して固定する。そして、搬送手段２０
を上昇させカセット２内から被洗浄板１を１枚把持する
とともに、洗浄部１０のシャッタ１１を開いて開口部１
０ａを介して洗浄部１０内に搬送する搬送工程を実行す
る。この際、被洗浄板１を複数枚収納したカセット２に
は、第１ノズル２４により純水を噴出して汚染及び乾燥
を防止する。これと同時に、洗浄部１０では、一対の洗
浄ブラシ１２をシャフト１３を軸にして回転させて開い
た状態に待機させる。また、被洗浄板１は、図２（ｂ）
に示すように、搬送手段２０に支持されて洗浄部１０内
に上昇する。被洗浄板１が回転ローラ１４の上部まで上
昇すると、図２（ｃ）に示すように、回転ローラ１４が
第１駆動源１６とともにスライドして回転ローラ１４に
被洗浄板１を載置する設置工程を実行する。また、回転
ローラ１４の上端に被洗浄板１が支持されると、シャフ
ト１３を軸にして一対の洗浄ブラシ１２を回転させて被
洗浄板１の両面を挟んだ状態にするとともに、搬送手段
２０を降下させて洗浄部１０内のシャッタ１１を閉塞し
て内部を密閉状にする。

【００２１】このように、設置工程が完了すると、第２
ノズル１８から洗浄液を噴出して洗浄ブラシ１２の乾燥
を防止するとともに、この洗浄ブラシ１２を図２（ｃ）
に示したように被洗浄板１を押し下げる方向に回転させ
る。この際、被洗浄板１は、下部に押し下げられて回転
ローラ１４に圧接するとともに、回転ローラ１４が第１
駆動源１６により駆動して下端に回転力が加わり回転す
る。このように被洗浄板１は、回転ローラ１４により回
転することで両面を洗浄ブラシ１２が放射状に洗浄する
洗浄工程が実行される。ここで第２ノズル１８から噴出
した洗浄液は、洗浄部１０の底面に排出管（図示せず）
を設けて排出している。そして、洗浄工程が終了する
と、洗浄部１０のシャッタ１１が開き、搬送手段２０が
上昇して洗浄を終えた被洗浄板１の下端を支持する。そ
の後、洗浄部１０内では、洗浄ブラシ１２と回転ローラ
１４とを駆動させて、図２（ｂ）に示したように被洗浄
板１から離した状態にする。これにより搬送手段２０
は、洗浄部１０内からカセット２の下部まで降下し、カ
セット２の内部に洗浄済みの被洗浄板１を収納する。そ
して、設置部２２は、所定の間隔（１ピッチ）だけスラ
イドして搬送手段２０が更なる新たな被洗浄板１を把持
できる状態に待機する。以後、前述した工程を繰り返し
実行することで、カセット２内の全ての被洗浄板１を洗
浄して次の工程に搬送される。

【００２２】ところで、このような本発明によるディス
ク洗浄装置は、通常、設置部に複数のカセットを設置し
同時に複数枚の被洗浄板を洗浄することで洗浄工程の時
間短縮を実現している。このように複数の被洗浄板を同
時に洗浄可能な本発明によるディスク洗浄装置の他の実
施の形態は、図３に示すように、回転ローラ３４、シャ
ッタ３１、搬送手段４０、第１ノズル４４、第２ノズル
３８の各々を複数設けるとともに、洗浄部３０、洗浄ブ
ラシ３２、設置部４２を各々延在させて共通に使用でき
るように形成している。このように設置部に複数のカセ
ットを設置できるように形成することで、１回の洗浄工
程で複数枚の被洗浄板１が処理できるため、洗浄工程の
時間短縮を実現することができる。

【００２３】以上、本発明によるディスク洗浄方法及び
それを使用したディスク洗浄装置の実施の形態を詳細に
説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能で
ある。例えば、本発明によるディスク洗浄方法及びそれ
を使用したディスク洗浄装置をハードディスクの洗浄に
採用した実施の形態を説明したが、これに限定されるも
のではなく、半導体ウェハーなどの製造工程における洗
浄にも使用することが可能である。

【００２４】

【発明の効果】このように本発明によるディスク洗浄方
法及びそれを使用したディスク洗浄装置によれば、洗浄
部内で搬送手段により搬送した被洗浄板を回転ローラに
より支持するとともに、洗浄部内にシャッタを設けて閉
塞状態で洗浄する構造のため、洗浄中に洗浄部の開口部
から汚染した洗浄液が落下して、洗浄を終えたカセット
内の被洗浄板に付着して再汚染することを防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるディスク洗浄装置の実施の形態を
示す構成図。

【図２】図１に示したディスク洗浄装置の洗浄動作を示
す動作説明図。

【図３】複数の被洗浄板を同時に洗浄可能な本発明によ
るディスク洗浄装置の他の実施の形態を示す構成図。

【図４】ブラシによるハードディスクの洗浄に採用した
従来のディスク洗浄装置の内部構造を示す構成図。

【図５】図４に示したディスク洗浄装置の洗浄動作を示
す動作説明図。

【符号の説明】

１ 被洗浄板 ２ カセット １０ 洗浄部 １０ａ 開口部 １１ シャッタ １２ 洗浄ブラシ １２ａ ブラシ部 １３ シャフト １４ 回転ローラ １５ シャフト １６ 第１駆動源 １８ 第２ノズル ２０ 搬送手段 ２２ 設置部 ２４ 第１ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊東 昭宣 静岡県島田市阿知ケ谷25番地 島田理化工 業株式会社島田製作所内 (72)発明者 大石 哲士 東京都調布市柴崎２丁目１番地３ 島田理 化工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3B116 AA03 AB03 AB33 AB42 BA02 BA08 BA15 BB25 CD22 CD33

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスク状の被洗浄板を複数枚収納した
   カセットを設置する設置部と、 前記設置部の上部に配置され内部が中空で底面に開閉自
   在のシャッタを有した洗浄部と、 前記設置部の下部に設置され前記カセット内の被洗浄板
   を把持して前記洗浄部のシャッタを介して出し入れする
   搬送手段と、 前記洗浄部内で所定の第１駆動源により駆動し前記搬送
   手段により搬送された前記被洗浄板の外周下端を支持し
   て回転させる回転ローラと、 前記洗浄部内に一対に配列され円筒状で周壁に洗浄用の
   ブラシ部を有して所定の第２駆動源により回転するとと
   もに、前記一対のブラシ部間に前記回転ローラにより支
   持されて回転する前記被洗浄板を挟むことで両面全体を
   洗浄する洗浄ブラシとを設けたことを特徴とするディス
   ク洗浄装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記設置部には少なくとも１つ以上のカセットを設置で
   きるように設けるとともに、前記洗浄部のシャッタ、搬
   送手段、回転ローラを少なくとも１つ以上設けること
   で、前記洗浄ブラシで少なくとも１つ以上の前記被洗浄
   板を洗浄できるように設けたことを特徴とするディスク
   洗浄装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記洗浄ブラシは、前記搬送手段を前記洗浄部の外側に
   移動させて前記シャッタを遮蔽した状態で駆動させると
   ともに、前記回転ローラにより回転する前記被洗浄板の
   中心に当接させることで放射状に両面を洗浄するように
   設けたことを特徴とするディスク洗浄装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記洗浄ブラシは、前記ブラシ部が延在する上部に棒状
   に延在する一対のシャフトを設け、このシャフトを軸に
   して前記一対のブラシ部が外側に開閉するように動作す
   ることで前記ブラシ部の間に前記被洗浄板を挟み込むよ
   うに形成したことを特徴とするディスク洗浄装置。
5. 【請求項５】 請求項１に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記回転ローラは、前記洗浄ブラシの下部で前記ブラシ
   部が円筒状に延在する方向と直交する方向にスライド可
   能に設け、前記搬送手段の搬送とともに前記被洗浄板の
   下部にスライドして支持するように設けたことを特徴と
   するディスク洗浄装置。
6. 【請求項６】 請求項１に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記回転ローラは、前記洗浄部内の前記洗浄ブラシと直
   交する方向に延在する一対のシャフトに各々装着されて
   前記被洗浄板の下端外周に２箇所接して支持するととも
   に、前記第１駆動源が前記シャフトを回転させることで
   前記被洗浄板の外周下端に回転力を与えて回転させるこ
   とを特徴とするディスク洗浄装置。
7. 【請求項７】 請求項１に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記設置部には前記カセットに収納した前記被洗浄板に
   純水を噴出して再汚染及び乾燥を防止する第１ノズルを
   備えるとともに、前記洗浄ブラシには所定の洗浄液を噴
   出することで乾燥を防止する第２ノズルを設けているこ
   とを特徴とするディスク洗浄装置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記第１ノズルが噴出する純水は、脱イオン化された純
   水であることを特徴とするディスク洗浄装置。
9. 【請求項９】 請求項７に記載のディスク洗浄装置にお
   いて、 前記第２ノズルが噴出する洗浄液は、純水にアルカリ系
   の洗剤を希釈した弱アルカリ系の洗浄液であることを特
   徴とするディスク洗浄装置。
10. 【請求項１０】 請求項１に記載のディスク洗浄装置に
    おいて、 前記洗浄ブラシのブラシ部は、ベルクリン、ＰＡＦスポ
    ンジなどの弾性を有する軟質材からなることを特徴とす
    るディスク洗浄装置。
11. 【請求項１１】 請求項１に記載のディスク洗浄装置に
    おいて、 前記洗浄部には、前記第２ノズルから噴出される洗浄液
    を排出する排出管を設けていることを特徴とするディス
    ク洗浄装置。
12. 【請求項１２】 請求項１に記載のディスク洗浄装置に
    おいて、 前記被洗浄板は、ハードディスク、半導体ウェハーなど
    の円板状の被洗浄板であることを特徴とするディスク洗
    浄装置。
13. 【請求項１３】 ディスク状の被洗浄板を複数枚収納し
    たカセットから上部に配置された中空の洗浄部内に底面
    で開閉するシャッタを介して搬送手段により前記被洗浄
    板を搬送する搬送工程と、 前記搬送工程により搬送された前記被洗浄板の下端を回
    転ローラにより支持するとともに、前記搬送手段を降下
    させて前記洗浄部のシャッタを閉塞することで密閉した
    前記洗浄部内に前記被洗浄板を設置する設置工程と、 前記密閉した洗浄部内で前記回転ローラにより回転する
    前記被洗浄板を円筒状で平行に延在する一対の洗浄ブラ
    シ間に挟み込んで、前記被洗浄板の両面全体を洗浄する
    洗浄工程とを備えることを特徴とするディスク洗浄方
    法。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載のディスク洗浄方法
    において、 前記洗浄工程は、前記搬送手段を前記洗浄部の外側に移
    動させて前記シャッタを遮蔽した状態で洗浄するととも
    に、前記回転ローラにより回転する前記被洗浄板の中心
    に前記洗浄ブラシを当接させることで放射状に両面全体
    を洗浄することを特徴とするディスク洗浄方法。
15. 【請求項１５】 請求項１３に記載のディスク洗浄方法
    において、 前記設置工程は、前記洗浄ブラシの下部で所定方向にス
    ライド可能な回転ローラを設け、前記搬送手段の搬送と
    ともに前記回転ローラが前記被洗浄板の下部にスライド
    して支持することを特徴とするディスク洗浄方法。
16. 【請求項１６】 請求項１３に記載のディスク洗浄方法
    において、 前記洗浄工程は、前記洗浄ブラシに乾燥を防止する弱ア
    ルカリ系の洗浄液を噴出させて洗浄することを特徴とす
    るディスク洗浄方法。
17. 【請求項１７】 請求項１３に記載のディスク洗浄方法
    において、 前記搬送工程、設置工程及び洗浄工程では、前記カセッ
    トに純水を噴出して再汚染及び乾燥を防止することを特
    徴とするディスク洗浄方法。
18. 【請求項１８】 請求項１３に記載のディスク洗浄方法
    において、 前記洗浄工程は、前記被洗浄板の表面にベルクリン、Ｐ
    ＡＦスポンジなどの弾性を有する前記洗浄ブラシを当接
    させて洗浄することを特徴とするディスク洗浄方法。
19. 【請求項１９】 請求項１３に記載のディスク洗浄方法
    において、 前記洗浄工程は、前記洗浄部に設けた排出管により前記
    第２ノズルから噴出される洗浄液を排出しながら洗浄す
    ることを特徴とするディスク洗浄方法。
20. 【請求項２０】 請求項１３に記載のディスク洗浄方法
    において、 前記被洗浄板は、ハードディスク、半導体ウェハーなど
    の円板状の被洗浄板であることを特徴とするディスク洗
    浄方法。