KR920018868A - 광석판 장치 - Google Patents

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반 엔겔렌 게라르드
헤르만 마이에 콕스 헨드리쿠스
에르네스트 베에크만 헨리쿠스
매티에스 야코브스 프란시스쿠스
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Abstract

내용 없음

Description

광석판 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 따른 광 석판 장치의 제1실시예의 개략도,
제 2 도는 제 1도에 따른 제1실시예 부분의 사시도,
제 3 도는 제1도에서 라인 Ⅲ-Ⅲ에 따라 취해진 제1실시예의 단면적인 개략도.

Claims (10)

  1. 위치 장치가 렌즈 시스템 밑에 위치하고 그것에 의해 대물 테이블은 위치 장치에 결합된 지지 부재의 유도면에 대해 렌즈 시스템에 관련해 대체되고, 그 유도면은 z-방향에 수직으로 될뿐만 아니라, 장치의 기계 프레임에 고정되고 z-방향에 평행으로 방향된 수직 광 주축을 갖는 렌즈 시스템을 갖는 광 석판 장치에 있어서, 장치가 피드포워드 제어 시스템에 의해 제어되고 장치의 기준 프레임에 고정된 역 액추에이터 시스템으로 제공되고, 그럼으로써 동작동안 역 액추에이터 시스템은 위치 장치내에 의해 지지 부재상에서 동시에 가해진 반응력의 방향에 반대되는 방향, 및 상기 반응력의 값과 거의 동일한 값을 갖는 기계 프레임상에서 보상력을 가하는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,지지 부재가 기계 프레임의 기본을 형성하고, 역 액추에이터 시스템이 지지 부재상에서 보상력을 가하는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 렌즈 시스템이 기계 프레임에 소유한 설치 부재에 하측 부근에 고정되고, 역 액추에이터 시스템이 설치 부재로부터 연장된 캐리어상에서 보상력을 가하고, 케리어상에서 위치 장치 및 지지 부재가 유니트로써 제공되는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 기준 프레임이 설치 부재가 하측 프레임 지지체에 의해 고정되는 광 석판 장치의 기본에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  5. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 제어 시스템이 부극성 가속 피드백을 포함하고, 그럼으로써 역 액추에이터 시스템이 가속 트랜스두서에 의해 측정된 기계 프레임이 가속에 의해 결정된 값 및 방향을 갖는 기계 프레임상에서 제어력을 갖는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  6. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 역 액추에이터 시스템이광 주축에 수직인 위치 장치의 제1 변위 방향에 평행으로 각각 동작하는 제1 및 제2 역 액추에이터, 및 제1변위 방향에 수직이고, 광 주축에 수직인 위치 장치의 제2변위 방향에 평행으로 동작하는 제3 역 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 각각의 역 액추에이터가 기준 프레임에 고정된 전기적인 모터 및 관련한 변위 방향에 평행으로 되는 연결 로드로써 제공되고, 제1로드 단부는 전기적인 모터의 출력대에 추축을 벗어나게 되고 제2로드 단부는 기계 프레임에 추축을 놓게 되는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  8. 제 1 항, 2항, 3항, 4항 또는 5항에 있어서, 역 액추에이터 시스템이 자석 유동 밀도 트랜스두서로써 적어도 하나의 전자석을 포함하고, 자석 유동 밀도 트랜스두서의 전기적인 출력이 전자석에 의해 가해진 역이 제어 가능하게 되는 전자적인 제어 회로의 전기적인 입력에 연결되는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 제어회로는 전자적인 루트 추출기로써 제공되고 그 입력 신호가 제어 회로의 입력 신호에 의해 형성되고 전자석에 의해 가해지기 위해 바람직한 전자석력에 의해 결정된 값을 갖는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
  10. 제 8 항 또는 9항에 있어서, 역 액추에이터 시스템이 광 주축에 수직인 평면에서 삼각 배열에서 장치의 기준 프레임에 고정된 세개의 전자석을 포함하고, 각각의 전자석은 역 액추에이터 시스템의 다른 두 개의 전자석이 활성되는 방향에 관련해 120도 회전되는 방향에서 활성되는 것을 특징으로 하는 광 석판 장치.
    ※ 참고사항 :최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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