JP6014047B2 - 同調可能振動ダンパならびに製造および同調方法 - Google Patents
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- Y10T29/49718—Repairing
Description
本出願は、Vyacheslav.M.Ryaboyによって2010年12月29日に出願されたTunable Vibration Damper for an Optical Table and Methods of Manufactureと題する米国仮特許出願第61/428,211号明細書からの優先権を主張し、この出願はまた、全体として参照により本明細書に組み込まれる。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
少なくとも1つのベースプレートと少なくとも1つのカバープレートとの間に構造的剛性を提供するフレームと、
前記フレーム内に配置された可動ダンパ質量と、
前記可動ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された少なくとも1つの可撓性質量係合部材と、
前記質量係合部材と前記ダンパ質量との間に配置され、かつ前記ダンパ質量の移動時に前記質量係合部材の撓曲に影響を与えるように構成された少なくとも1つの係合機構と、
荷重板および1つまたは複数の係合部材支持体に動作可能に結合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記1つまたは複数の質量係合部材に付勢力を加えるように構成されている、少なくとも1つの荷重機構と、
を具備する同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目2)
前記質量係合部材が、1つまたは複数の減衰材料で積層されている、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目3)
前記1つまたは複数の減衰材料が、粘弾性ポリマーの少なくとも1つの内層または外層を含む、項目2に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目4)
前記質量係合部材が、2つ以上の材料層から構成され、少なくとも1つの層が弾性ばね材料を含む、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目5)
材料層が、ばね金属の少なくとも1つを含む、項目4に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目6)
少なくとも1つの材料層が、前記ダンパ質量の移動時に振動エネルギーを散逸させる、項目4に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目7)
前記質量係合部材が、第2面に対して平行な第1面を有する平板を含む、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目8)
前記平板が、厚さが0.01インチから0.1インチの間である、項目7に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目9)
光学テーブルをさらに具備し、前記同調可能振動アセンブリの前記フレームが前記光学テーブルに動作可能に結合されている、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目10)
前記フレームが、少なくとも1つのベースプレートおよび少なくとも1つのカバープレートに固定された少なくとも1つの側壁を含むハウジングを備えている、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目11)
前記ハウジングが、少なくとも1つの可動ダンパ質量を受け入れるように構成された少なくとも1つのチャンバをさらに備えている、項目10に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目12)
前記荷重機構と連通しているアクセスポートをさらに具備する、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目13)
前記荷重機構の調整が、前記質量係合部材の有効可撓性に影響を与える、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目14)
前記荷重機構の不定期の外乱を防止する、前記荷重機構に動作可能に結合された係止構造物を備えている、項目1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目15)
1つまたは複数の係合部材支持体が勾配面を含み、前記勾配面が、前記付勢力の変化の結果として前記勾配面と前記減衰材料との間の接触領域の変化を可能にする、項目2に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目16)
前記勾配面と前記減衰材料との間の前記接触領域の増大により、前記質量係合部材の前記有効可撓性が低減する、項目15に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目17)
少なくとも1つのベースプレートと少なくとも1つのカバープレートとの間に構造的剛性を提供するフレームと、
前記フレーム内に配置された可動ダンパ質量と、
前記可動ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された少なくとも1つの可撓性質量係合部材と、
前記質量係合部材と前記ダンパ質量との間に配置され、かつ前記ダンパ質量の移動時に前記質量係合部材の撓曲に影響を与えるように構成された少なくとも1つの係合機構と、
荷重板および1つまたは複数の係合部材支持体に動作可能に結合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記1つまたは複数の質量係合部材に付勢力を加えるように構成されている、少なくとも1つの荷重機構と、
係合部材支持体と質量係合部材との間に配置された高減衰要素と、
を具備する、同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目18)
前記高減衰要素が、粘弾性ポリマーの1つまたは複数の層から構成されている、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目19)
前記ダンパ質量の移動により、前記高減衰要素にせん断変形がもたらされる、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目20)
前記高減衰要素のせん断変形が振動エネルギーを散逸させる、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目21)
前記質量係合部材が、1つまたは複数のばね品質金属から構成されている、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目22)
前記質量係合部材が、第2面に対して平行な第1面を有する平板を含む、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目23)
前記平板の厚さが0.01インチから0.1インチの間である、項目22に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目24)
光学テーブルをさらに具備し、前記同調可能振動アセンブリの前記フレームが前記光学テーブルに動作可能に結合されている、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目25)
前記荷重機構と連通しているアクセスポートをさらに備えている、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目26)
前記荷重機構の調整が、前記質量係合部材の有効可撓性に影響を与える、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目27)
前記質量係合部材の前記有効可撓性が、前記同調可能振動ダンパアセンブリが対象物に動作可能に結合される前、結合されている間、および結合された後のうちの少なくとも1つにおいて調整可能である、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目28)
前記荷重機構の不定期の外乱を防止する、前記荷重機構に動作可能に結合された係止構造物を備えている、項目17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目29)
前記1つまたは複数の係合部材支持体が勾配面を含み、前記勾配面が、前記付勢力の変化の結果として前記勾配面と前記高減衰要素との間の接触領域の変化を可能にする、項目18に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目30)
前記勾配面と前記高減衰要素との間の前記接触領域の増大により、前記質量係合部材の前記有効可撓性が低減する、項目29に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目31)
少なくとも1つの側壁、少なくとも1つのベースプレートおよび少なくとも1つのカバープレートを含むハウジングであって、可動質量を受け入れるように構成された少なくとも1つのチャンバをさらに備えているハウジングと、
前記少なくとも1つのチャンバ内に配置された可動ダンパ質量であって、上面および下面を含む矩形ボックス形状を有している可動ダンパ質量と、
前記ダンパ質量の前記上面に隣接して配置された第1質量係合部材、および前記ダンパ質量の前記底面に隣接して配置された第2質量係合部材であって、前記第1質量係合部材および前記第2質量係合部材が、第2面に平行な第1面を有し、前記第2面が前記ダンパ質量に面している平板から構成され、前記平板が、前記可動ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された弾性ばね材料を含む、第1質量係合部材および第2質量係合部材と、
前記第1質量係合部材と前記ダンパ質量の前記上面との間に配置された係合機構の第1対、および前記第2質量係合部材と前記ダンパ質量の前記底面との間に配置された係合機構の第2対であって、前記係合機構の第1対が、前記ダンパ質量の前記上面の長さに沿って延在し、かつ前記第1質量係合部材の前記第2面と係合する、一対の押出成形された細長体を備え、前記係合機構の第2対が、前記ダンパ質量の前記底面の長さに沿って延在し、かつ前記第2質量係合部材の前記第2面と係合する、一対の押出し成形された細長体を備える、係合機構の第1対および係合機構の第2対と、
荷重板にねじ式に係合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重板が、前記トッププレートに対して平行かつ面している第1側部と、第2側部であって、前記荷重板の前記第2側部の両側に沿って延在する係合部材支持体を含み、前記係合部材支持体が勾配面を有する、第2側部と有する平板を備え、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記第1質量係合部材および前記第2質量係合部材に付勢力を加えるように構成されている、少なくとも1つの荷重機構と、
前記第1質量係合部材および前記第2質量係合部材の前記第1面に固定された高減衰要素であって、前記第1質量係合部材および前記第2質量係合部材の前記第1面の両側に沿って配置され、前記第1係合部材と前記係合部材支持体の隣接する勾配面との間と、前記第2質量係合部材と前記係合部材支持体の隣接する勾配面との間に配置され、前記ダンパ質量の移動時にせん断変形を受けるように構成されている高減衰要素と、
を具備する、同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目32)
前記高減衰要素が、粘弾性ポリマーの1つまたは複数の層から構成されている、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目33)
前記ダンパ質量の移動により、前記高減衰要素にせん断変形がもたらされる、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目34)
前記質量係合部材が、1つまたは複数のばね品質金属から構成されている、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目35)
前記質量係合部材の前記平板の厚さが、0.01インチから0.1インチの間である、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目36)
光学テーブルをさらに具備し、前記同調可能振動アセンブリの前記フレームが前記光学テーブルに動作可能に結合されている、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目37)
前記荷重機構と連通しているアクセスポートをさらに備えている、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目38)
前記荷重機構の調整が、前記質量係合部材の有効可撓性に影響を与える、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目39)
前記質量係合部材の前記有効可撓性が、前記同調可能振動ダンパアセンブリが対象物に動作可能に結合される前、結合されている間、および結合された後のうちの少なくとも1つにおいて調整可能である、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目40)
前記荷重機構の不定期の外乱を防止する、前記荷重機構に動作可能に結合された係止構造物を備えている、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目41)
前記1つまたは複数の係合部材支持体が勾配面を含み、前記勾配面が、前記付勢力の変化の結果として前記勾配面と前記高減衰支持体との間の接触領域の変化を可能にする、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目42)
前記勾配面と前記高減衰要素との間の前記接触領域の増大により、前記質量係合部材の前記有効可撓性が低減する、項目31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
(項目43)
対象物を制振する方法であって、
a.同調可能ダンパアセンブリを提供するステップであって、前記同調可能ダンパアセンブリが、
i.少なくとも1つのベースプレートと少なくとも1つのカバープレートとの間に構造的剛性を提供するフレームと、
ii.前記フレーム内において前記ベースプレートと前記カバープレートとの間に配置された可動ダンパ質量と、
iii.前記可動ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された少なくとも1つの可撓性質量係合部材と、
iv.前記質量係合部材と前記ダンパ質量との間に配置された少なくとも1つの質量係合機構と、
v.荷重板および1つまたは複数の係合部材支持体に動作可能に結合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記少なくとも1つの質量係合部材に付勢力を加え、前記質量係合部材の機械的コンプライアンスを調整するように構成される、少なくとも1つの荷重機構と、
vi.係合部材支持体と前記質量係合部材との間の前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の上に配置された高減衰要素と、
を備える、ステップと、
b.前記対象物の共鳴振動数を確定するステップと、
c.前記同調可能ダンパアセンブリの共鳴振動数範囲と前記対象物の前記共鳴振動数とを整合させるように前記荷重機構を調整するステップと、
d.前記対象物に前記同調可能ダンパアセンブリを固定するステップと、
を含む方法。
(項目44)
前記荷重機構を調整するステップが、前記少なくとも1つの質量係合部材に対する前記付勢力を調整し、かつ前記質量係合部材の機械的コンプライアンスを調整するように、前記荷重機構のねじ切部材を適合させることを含む、項目43に記載の方法。
(項目45)
同調可能ダンパアセンブリを所望の共鳴振動数に同調させる方法であって、
加振機および同調可能ダンパアセンブリの適切なモデルから導出された公式を用いて、必要な同調共鳴振動数f tuned に対する励振振動数f excitation を定義するステップと、
前記同調可能ダンパアセンブリを前記加振機のプラットフォームに機械的に結合するステップと、
前記同調可能ダンパアセンブリのハウジングにまたは前記加振機の前記プラットフォームに、振動センサを固定するステップと、
振動数f excitation で定振幅正弦力を提供するように前記加振機を駆動するステップと、
前記同調可能ダンパアセンブリの少なくとも1つの質量係合部材への付勢力を調整することにより、かつ前記センサの出力を最小化するように前記質量係合部材の機械的コンプライアンスを調整するように、前記同調可能ダンパアセンブリの荷重機構を調整するステップと、
を含む方法。
(項目46)
対象物における振動を低減する方法であって、
1つまたは複数の振動センサを対象物に動作可能に結合するステップと、
前記振動センサにより前記対象物の振動を測定し、前記測定された振動特性をディスプレイに出力するステップと、
所望のまたは許容可能な測定された振動特性が前記ディスプレイに表示されるまで、前記同調可能ダンパアセンブリの少なくとも1つの質量係合部材への付勢力を調整することにより、かつ前記質量係合部材の機械的コンプライアンスを調整するように、前記同調可能ダンパアセンブリの荷重機構を調整するステップと、
を含む方法。
(項目47)
前記対象物の振動を測定するステップが、前記同調可能ダンパアセンブリに結合された前記対象物の動的コンプライアンス試験を含む動的試験を行うことを含む、項目46に記載の方法。
Claims (44)
- 少なくとも1つのベースプレートと少なくとも1つのカバープレートとの間に構造的剛性を提供するフレームと、
前記フレーム内に配置された可動ダンパ質量と、
前記可動ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された少なくとも1つの可撓性質量係合部材と、
前記可撓性質量係合部材と前記可動ダンパ質量との間でかつ前記可撓性質量係合部材および前記可動ダンパ質量と接触して配置された少なくとも1つの係合機構であって、前記少なくとも1つの係合機構は、前記可動ダンパ質量の移動時に前記可撓性質量係合部材の撓曲に影響を与えるように構成されている、少なくとも1つの係合機構と、
荷重板に動作可能に結合され、かつ1つまたは複数の係合部材支持体に動作可能に結合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材に付勢力を加えるように構成されている、少なくとも1つの荷重機構と、
を具備する同調可能振動ダンパアセンブリ。 - 前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材が、1つまたは複数の減衰材料で積層されている、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記1つまたは複数の減衰材料が、粘弾性ポリマーの少なくとも1つの内層または外層を含む、請求項2に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材が、2つ以上の材料層から構成され、少なくとも1つの層が弾性ばね材料を含む、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 材料層が、ばね金属を含む、請求項4に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 少なくとも1つの材料層が、前記ダンパ質量の移動時に振動エネルギーを散逸させる、請求項4に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材が、第2面に対して平行な第1面を有する平板を含む、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記平板が、0.01インチから0.1インチの間の厚さを有する、請求項7に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 光学テーブルをさらに具備し、前記同調可能振動ダンパアセンブリの前記フレームが前記光学テーブルに動作可能に結合されている、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記フレームが、少なくとも1つのベースプレートおよび少なくとも1つのカバープレートに固定された少なくとも1つの側壁を含むハウジングを備えている、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記ハウジングが、前記可動ダンパ質量を受け入れるように構成された少なくとも1つのチャンバをさらに備えている、請求項10に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの荷重機構と連通しているアクセスポートをさらに具備する、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの荷重機構の調整が、前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の有効可撓性に影響を与える、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記荷重機構の不定期の外乱を防止する、前記荷重機構に動作可能に結合された係止構造物を備えている、請求項1に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記1つまたは複数の係合部材支持体が勾配面を含み、前記勾配面が、前記付勢力の変化の結果として前記勾配面と前記減衰材料との間の接触領域の変化を可能にする、請求項2に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記勾配面と前記減衰材料との間の前記接触領域の増大により、前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の有効可撓性が低減し、前記係合部材支持体と前記可撓性質量係合部材との間の接触領域の増大が前記可撓性質量係合部材のより短い有効コンプライアント長をもたらすようにする、請求項15に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 少なくとも1つのベースプレートと少なくとも1つのカバープレートとの間に構造的剛性を提供するフレームと、
前記フレーム内に配置された可動ダンパ質量と、
前記可動ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された少なくとも1つの可撓性質量係合部材と、
前記可撓性質量係合部材と前記可動ダンパ質量との間でかつ前記可撓性質量係合部材および前記可動ダンパ質量と接触して配置された少なくとも1つの係合機構であって、前記少なくとも1つの係合機構は、前記ダンパ質量の移動時に前記可撓性質量係合部材の撓曲に影響を与えるように前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材と前記可動ダンパ質量との間の支点として機能するように構成されている、少なくとも1つの係合機構と、
荷重板および1つまたは複数の係合部材支持体に動作可能に結合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材に付勢力を加えるように構成されている、少なくとも1つの荷重機構と、
前記1つまたは複数の係合部材支持体と前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材との間に配置された高減衰要素と、
を具備する、同調可能振動ダンパアセンブリ。 - 前記高減衰要素が、粘弾性ポリマーの1つまたは複数の層から構成されている、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記可動ダンパ質量の移動により、前記高減衰要素にせん断変形がもたらされる、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記高減衰要素のせん断変形が振動エネルギーを散逸させる、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材が、1つまたは複数のばね品質金属から構成されている、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材が、第2面に対して平行な第1面を有する平板を含む、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記平板の厚さが0.01インチから0.1インチの間である、請求項22に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 光学テーブルをさらに具備し、前記同調可能振動ダンパアセンブリの前記フレームが前記光学テーブルに動作可能に結合されている、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記荷重機構と連通しているアクセスポートをさらに備えている、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記荷重機構の調整が、前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の有効可撓性に影響を与える、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の有効可撓性が、前記同調可能振動ダンパアセンブリが対象物に動作可能に結合される前、結合されている間、および結合された後のうちの少なくとも1つにおいて調整可能である、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記荷重機構の不定期の外乱を防止する、前記荷重機構に動作可能に結合された係止構造物を備えている、請求項17に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記1つまたは複数の係合部材支持体が勾配面を含み、前記勾配面が、前記付勢力の変化の結果として前記勾配面と前記高減衰要素との間の接触領域の変化を可能にする、請求項18に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記勾配面と前記高減衰要素との間の前記接触領域の増大により、前記質量係合部材の有効可撓性が低減し、前記係合部材支持体と前記可撓性質量係合部材との間の接触領域の増大が前記可撓性質量係合部材のより短い有効コンプライアント長をもたらすようにする、請求項29に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 少なくとも1つの側壁、少なくとも1つのベースプレートおよび少なくとも1つのカバープレートを含むハウジングであって、ダンパ質量を受け入れるように構成された少なくとも1つのチャンバをさらに備えているハウジングと、
前記少なくとも1つのチャンバ内に配置された前記ダンパ質量であって、上面および底面を含む矩形ボックス形状を有しているダンパ質量と、
前記ダンパ質量の前記上面に隣接して配置された第1質量係合部材、および前記ダンパ質量の前記底面に隣接して配置された第2質量係合部材であって、前記第1質量係合部材および前記第2質量係合部材が、第2面に平行な第1面を有し、前記第2面が前記ダンパ質量に面している平板から構成され、前記平板が、前記ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された弾性ばね材料を含む、第1質量係合部材および第2質量係合部材と、
前記第1質量係合部材と前記ダンパ質量の前記上面との間でかつ前記第1質量係合部材および前記ダンパ質量の前記上面と接触して配置された係合機構の第1対、および前記第2質量係合部材と前記ダンパ質量の前記底面との間でかつ前記第2質量係合部材と前記ダンパ質量の前記底面と接触して配置された係合機構の第2対であって、前記係合機構の第1対が、前記ダンパ質量の前記上面の長さに沿って延在し、かつ前記第1質量係合部材の前記第2面と係合する、一対の細長体を備え、前記係合機構の第2対が、前記ダンパ質量の前記底面の長さに沿って延在し、かつ前記第2質量係合部材の前記第2面と係合する、一対の細長体を備える、係合機構の第1対および係合機構の第2対と、
荷重板にねじ式に係合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重板が、前記カバープレートに対して平行かつ面している第1側部と、第2側部とを有する平板を備え、前記第2側部は、前記荷重板の前記第2側部の両側に沿って延在する係合部材支持体を含み、前記係合部材支持体のそれぞれが勾配面を有し、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記第1質量係合部材および前記第2質量係合部材に付勢力を加えるように構成されている、少なくとも1つの荷重機構と、
前記第1質量係合部材の前記第1面に固定された高減衰要素であって、前記第1質量係合部材の前記第1面の両側に沿って配置され、前記第1質量係合部材と前記係合部材支持体の前記勾配面との間、および、前記第2質量係合部材と前記係合部材支持体の隣接する勾配面との間に配置され、前記ダンパ質量の移動時にせん断変形を受けるように構成されている高減衰要素と、
を具備する、同調可能振動ダンパアセンブリ。 - 前記高減衰要素が、粘弾性ポリマーの1つまたは複数の層から構成されている、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記ダンパ質量の移動により、前記高減衰要素にせん断変形がもたらされる、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記第1および第2質量係合部材が、1つまたは複数のばね品質金属から構成されている、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記第1および第2質量係合部材の前記平板の厚さが、0.01インチから0.1インチの間である、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 光学テーブルをさらに具備し、前記同調可能振動ダンパアセンブリの前記ハウジングが前記光学テーブルに動作可能に結合されている、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記荷重機構と連通しているアクセスポートをさらに備えている、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記荷重機構の調整が、前記第1および第2質量係合部材の有効可撓性に影響を与える、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記第1および第2質量係合部材の有効可撓性が、前記同調可能振動ダンパアセンブリが対象物に動作可能に結合される前、結合されている間、および結合された後のうちの少なくとも1つにおいて調整可能である、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記荷重機構の不定期の外乱を防止する、前記荷重機構に動作可能に結合された係止構造物を備えている、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記係合部材支持体が前記勾配面を含み、前記勾配面が、前記付勢力の変化の結果として前記勾配面と前記高減衰要素との間の接触領域の変化を可能にする、請求項31に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 前記勾配面と前記高減衰要素との間の前記接触領域の増大により、前記第1質量係合部材の有効可撓性が低減し、前記係合部材支持体と前記第1質量係合部材との間の接触領域の増大が前記第1質量係合部材のより短い有効コンプライアント長をもたらすようにする、請求項41に記載の同調可能振動ダンパアセンブリ。
- 対象物を制振する方法であって、
a.同調可能ダンパアセンブリを提供するステップであって、前記同調可能ダンパアセンブリが、
i.少なくとも1つのベースプレートと少なくとも1つのカバープレートとの間に構造的剛性を提供するフレームと、
ii.前記フレーム内において前記ベースプレートと前記カバープレートとの間に配置された可動ダンパ質量と、
iii.前記可動ダンパ質量を弾性的に支持するように構成された少なくとも1つの可撓性質量係合部材と、
iv.前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材と前記可動ダンパ質量との間に配置された少なくとも1つの係合機構と、
v.荷重板および1つまたは複数の係合部材支持体に動作可能に結合された少なくとも1つの荷重機構であって、前記荷重機構、前記荷重板および前記係合部材支持体が、前記少なくとも1つの質量係合部材に付勢力を加え、前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の機械的コンプライアンスを調整するように構成される、少なくとも1つの荷重機構と、
vi.前記1つまたは複数の係合部材支持体と前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材との間の前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の上に配置された高減衰要素と、
を備える、ステップと、
b.前記対象物の共鳴振動数を確定するステップと、
c.前記同調可能ダンパアセンブリの共鳴振動数範囲と前記対象物の前記共鳴振動数とを整合させるように前記荷重機構を調整するステップと、
d.前記対象物に前記同調可能ダンパアセンブリを固定するステップと、
を含む方法。 - 前記荷重機構を調整するステップが、前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材に対する前記付勢力を調整し、かつ前記少なくとも1つの可撓性質量係合部材の機械的コンプライアンスを調整するように、前記荷重機構のねじ切部材を適合させることを含む、請求項43に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201061428211P | 2010-12-29 | 2010-12-29 | |
US61/428,211 | 2010-12-29 | ||
PCT/US2011/067431 WO2012092298A2 (en) | 2010-12-29 | 2011-12-27 | Tunable vibration dampers and methods of manufacture and tuning |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016185445A Division JP6401761B2 (ja) | 2010-12-29 | 2016-09-23 | 同調可能振動ダンパならびに製造および同調方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014502713A JP2014502713A (ja) | 2014-02-03 |
JP2014502713A5 JP2014502713A5 (ja) | 2015-01-22 |
JP6014047B2 true JP6014047B2 (ja) | 2016-10-25 |
Family
ID=46379776
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013547625A Active JP6014047B2 (ja) | 2010-12-29 | 2011-12-27 | 同調可能振動ダンパならびに製造および同調方法 |
JP2016185445A Active JP6401761B2 (ja) | 2010-12-29 | 2016-09-23 | 同調可能振動ダンパならびに製造および同調方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016185445A Active JP6401761B2 (ja) | 2010-12-29 | 2016-09-23 | 同調可能振動ダンパならびに製造および同調方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US8857585B2 (ja) |
EP (2) | EP2659159B1 (ja) |
JP (2) | JP6014047B2 (ja) |
KR (2) | KR101950160B1 (ja) |
CN (1) | CN103384780B (ja) |
WO (1) | WO2012092298A2 (ja) |
Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8231098B2 (en) | 2004-12-07 | 2012-07-31 | Newport Corporation | Methods and devices for active vibration damping of an optical structure |
WO2012092298A2 (en) | 2010-12-29 | 2012-07-05 | Newport Corporation | Tunable vibration dampers and methods of manufacture and tuning |
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2011
- 2011-12-27 WO PCT/US2011/067431 patent/WO2012092298A2/en active Application Filing
- 2011-12-27 JP JP2013547625A patent/JP6014047B2/ja active Active
- 2011-12-27 EP EP11853318.1A patent/EP2659159B1/en active Active
- 2011-12-27 KR KR1020187016587A patent/KR101950160B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-27 EP EP19161385.0A patent/EP3527842A1/en not_active Withdrawn
- 2011-12-27 KR KR1020137019908A patent/KR101910215B1/ko active IP Right Grant
- 2011-12-27 CN CN201180068359.7A patent/CN103384780B/zh active Active
- 2011-12-27 US US13/338,164 patent/US8857585B2/en active Active
-
2014
- 2014-09-11 US US14/484,210 patent/US9752642B2/en active Active
-
2016
- 2016-09-23 JP JP2016185445A patent/JP6401761B2/ja active Active
- 2016-09-29 US US15/280,894 patent/US10024380B2/en active Active
- 2016-09-29 US US15/280,904 patent/US10024381B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2659159A4 (en) | 2015-03-25 |
JP2014502713A (ja) | 2014-02-03 |
US20140374204A1 (en) | 2014-12-25 |
US8857585B2 (en) | 2014-10-14 |
US9752642B2 (en) | 2017-09-05 |
KR101950160B1 (ko) | 2019-02-19 |
JP6401761B2 (ja) | 2018-10-10 |
US10024380B2 (en) | 2018-07-17 |
CN103384780B (zh) | 2016-03-30 |
KR20140007365A (ko) | 2014-01-17 |
KR101910215B1 (ko) | 2018-12-19 |
US10024381B2 (en) | 2018-07-17 |
JP2017015261A (ja) | 2017-01-19 |
EP2659159A2 (en) | 2013-11-06 |
KR20180071381A (ko) | 2018-06-27 |
US20170016509A1 (en) | 2017-01-19 |
CN103384780A (zh) | 2013-11-06 |
EP3527842A1 (en) | 2019-08-21 |
US20120168271A1 (en) | 2012-07-05 |
WO2012092298A2 (en) | 2012-07-05 |
US20170016510A1 (en) | 2017-01-19 |
WO2012092298A3 (en) | 2012-11-15 |
EP2659159B1 (en) | 2019-05-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A601 | Written request for extension of time |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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