JPH11294520A - 除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法 - Google Patents

除振装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法、ならびに除振方法

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JPH11294520A
JPH11294520A JP10095893A JP9589398A JPH11294520A JP H11294520 A JPH11294520 A JP H11294520A JP 10095893 A JP10095893 A JP 10095893A JP 9589398 A JP9589398 A JP 9589398A JP H11294520 A JPH11294520 A JP H11294520A
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vibration
actuator
linear motor
force
signal
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Takehiko Mayama
武彦 間山
Yukio Takabayashi
幸夫 高林
Shinji Wakui
伸二 涌井
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 鉛直方向および水平方向に対して、除振性能
と制振性能のバランスのとれた除振装置を提供する。 【解決手段】 力を発生することで物体の振動を能動的
に軽減する除振装置であって、前記力を発生する第１ア
クチュエータと、該第１アクチュエータとは駆動原理が
異なる第２アクチュエータとを有し、前記第１アクチュ
エータは、鉛直方向および水平方向に力を発生し、前記
第２アクチュエータは、該鉛直方向および該水平方向の
うちの少なくとも一方に力を発生する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は目的物を搭載し、振
動を絶縁するための除振装置、特に、ＸＹステージのよ
うな移動機構を有する半導体露光装置を搭載する精密機
器搭載用の能動的な除振装置に関する。また、この除振
装置を有する露光装置や、この露光装置を用いたデバイ
ス製造方法に関する。また、目的物を搭載し、振動を絶
縁するための除振方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡、半導体露光装置等の精密機
器の高精度化に伴い、それらを搭載する精密除振装置の
高性能化が求められている。特に半導体露光装置におい
ては、適切かつ迅速な露光を行うために、床などの装置
設置基礎からの振動を始めとする外部からの振動を極力
除去した除振台が必要である。これは露光に悪影響を及
ぼす振動が、露光用ステージに発生しないようにする必
要があるためである。
【０００３】また、ステップ・アンド・リピートという
間欠動作を特徴とする半導体露光装置では、露光用ＸＹ
ステージの繰り返しステップ動作が除振台の振動を励起
する。これは、露光用ＸＹステージの駆動反力および露
光用ＸＹステージの荷重移動が除振台の振動を励起して
しまうのためである。従って除振台には、床などの装置
設置基礎からの振動を始めとする外部振動に対する除振
性能と、除振台に搭載された機器の動作によって発生す
る振動に対する制振性能とを、バランス良く備えること
が求められる。
【０００４】ステップ・アンド・リピートにかわる方式
として、スキャン露光方式を採用した半導体露光装置も
あるが、この装置においても、装置設置基礎からの振動
等、外部から伝達する振動を極力除去するとともに、露
光用ステージのスキャン動作により励起される除振台の
振動を瞬時に制振する必要がある。特にスキャン露光装
置では、露光用ステージがスキャン動作をしている状態
で露光を行なうため、外部振動に対する除振性能、除振
台に搭載された機器の動作によって発生する振動に対す
る制振性能、それぞれへの要求は厳しく、一段と高性能
な除振装置が不可欠なものとなっている。
【０００５】このような要求に対して、近年では、除振
台の振動をセンサで検出し、その出力信号を補償して除
振台に制御力を加えるアクチュエータにフィードバック
することにより能動的に除振台の振動制御を行なう、能
動除振装置が実用化されている。能動除振装置は、ば
ね、ダンバなどで構成された受動的な除振装置では困難
であった、除振性能と制振性能のバランスのとれた除振
装置の実現を可能にしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の能動
除振装置では、除振台に制御力を加えるアクチュエータ
に、空気ばねの内部圧力を調整することによって能動的
にその発生推力を制御する空気圧駆動式アクチュエータ
を用いることが一般的であった。
【０００７】精密機器を搭載する除振装置においては、
除振台とそれを防振支持する支持機構からなる振動系の
固有振動数をできる限り低くして除振性能を最大限に高
めるために、除振台の重量を大きくするとともに、除振
台の支持機構にばね定数の低い空気ばねを用いることが
有効である。また、空気ばねは、その受圧面積を大きく
とることで容易に大推力を発生できるため、大重量の除
振台を支持する支持機構としても好適に使用できる。従
って、除振台に制御力を加えるアクチュエータとして、
空気圧駆動式アクチュエータを用いると、これを除振台
の防振支持機構としても兼ねることができ、比較的簡単
な構造の除振装置を実現できるというメリットがある。
【０００８】しかし、半導体露光装置のように、除振台
上に露光用ＸＹステージなどの駆動手段を備えた機器が
搭載されている場合、空気圧駆動式アクチュエータを用
いた能動除振装置では必ずしも、要求される振動抑制効
果を得ることができなかった。通常、露光用ＸＹステー
ジでは、ボールねじを電磁モータで駆動する機構や、電
磁駆動リニアモータなどを用いて、ステージを直線方向
に駆動させる構造を有する。つまり、駆動力指令信号に
対する応答性が高い電磁駆動アクチュエータを用いて露
光用ＸＹステージを駆動している。これに対し、空気圧
駆動式アクチュエータは、その駆動力指令信号に対する
応答が電磁駆動アクチュエータのそれよりも緩慢であ
り、その応答周波数は一般には電磁駆動アクチュエータ
より２桁以上低い。そのために、空気圧駆動式アクチュ
エータを用いた能動除振装置は、電磁駆動アクチュエー
タで駆動される露光用ＸＹステージの駆動反力に応じた
制御力を、十分な応答速度で発生することができず、結
果として十分な振動抑制効果を得ることができなかっ
た。
【０００９】このような問題を解決するためには、除振
台に制御力を加えるアクチュエータとして電磁駆動アク
チュエータを用いる方法が考えられる。例えば、電磁石
の吸引力を利用して、除振台を磁気浮上させる除振装置
などがその例である。しかし、精密機器を搭載する除振
台は、前述したように非常に大きな重量があり、電磁力
でこれを支持・駆動するためには非常に大きなエネルギ
ーを投入しなければならない。特に電磁駆動アクチュエ
ータでは、電磁力を発生するために用いるコイル巻線で
熱が発生する。従って、これに大きなエネルギーを投入
して駆動すると、発生する熱量も大きなものとなる。半
導体露光装置をはじめとする精密機器は、温度変化に大
きく影響され、装置温度が１℃上昇するだけでも、装置
性能に絶大な悪影響を及ぼす。
【００１０】半導体露光装置に対する高精度化やスルー
プット向上の要求に伴い、大荷重の除振台やその搭載機
器を支持するとともに、露光用ＸＹステージなどの除振
台上で高速駆動される機器の駆動反力にも迅速に応答し
て制御力を発生できる能動除振装置の必要性が非常に高
まってきている。この要求は、露光用ＸＹステージの高
速化によりその駆動反力の増大が予想される次世代の半
導体露光装置等の分野において、さらに厳しいものにな
っている。
【００１１】このような駆動反力によって発生する振動
を除振装置によって除振・制振する場合、鉛直方向だけ
でなく、水平方向に関しても除振および制振動作を行う
必要がある。しかし、半導体露光装置などでは、装置の
組み立てや立ち上げ時の作業性などの要請から、除振装
置のユニットとしてのまとまりを重視する場合が多々あ
る。また、従来のエアシリンダを用いた除振装置では、
シリンダの構造上の制限から、鉛直方向および水平方向
の双方を除振・制振することが困難であり、装置が複雑
化してしまう。従って、除振装置の各構成要素をよりコ
ンパクトにするとともに、それらを効率よく配置した、
ユニットとしてまとまりのよい除振装置が必要とされて
いる。
【００１２】本発明の目的は、これらの要求を満足し、
定常的に大推力を発生できる空気圧駆動式アクチュエー
タと、応答性の優れた電磁駆動アクチュエータ、それぞ
れの特質を最大限に活かし、かつ、半導体露光装置のよ
うな除振台に搭載される機器への熱などの影響を極力抑
えたコンパクトな構成の能動除振装置を提供することに
ある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の除振装置は、力を発生することで物体の振動
を能動的に軽減する除振装置であって、前記力を発生す
る第１アクチュエータと、該第１アクチュエータとは駆
動原理が異なる第２アクチュエータとを有し、前記第１
アクチュエータは、鉛直方向および水平方向に力を発生
し、前記第２アクチュエータは、該鉛直方向および該水
平方向のうちの少なくとも一方に力を発生することを特
徴とする。
【００１４】また、前記第１アクチュエータは、空気圧
駆動式アクチュエータと電磁駆動リニアモータの一方を
有し、前記第２アクチュエータは該空気圧駆動式アクチ
ュエータと該電磁駆動リニアモータの他方を有すること
が望ましい。
【００１５】また、前記第１アクチュエータは、それぞ
れ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアク
チュエータを含むことが好ましく、前記第２アクチュエ
ータは、それぞれ鉛直方向ならびに水平方向に力を発生
する２つのアクチュエータを含むことが好ましい。
【００１６】さらに、前記水平方向に力を発生するアク
チュエータは、対向する前記空気圧駆動式アクチュエー
タを有することが好ましく、または、前記水平方向に力
を発生するアクチュエータは、前記空気圧駆動式アクチ
ュエータと予圧機構を有することが好ましい。また、前
記鉛直方向に力を発生する第１アクチュエータの作用軸
と、前記鉛直方向に力を発生する第２アクチュエータの
作用軸が、ほぼ一致していることが望ましく、前記水平
方向に力を発生する第１アクチュエータの作用軸と、前
記水平方向に力を発生する第２アクチュエータの作用軸
が、ほぼ一致していることが望ましい。
【００１７】さらに、受動的な弾性支持手段および受動
的な振動減衰手段のうちの少なくとも一方を備えている
ことが良い。
【００１８】また、本発明の除振装置には、変位を検出
する変位検出手段を有することが好ましく、振動を検出
する振動検出手段を有することが好ましい。この場合、
前記振動検出手段は、加速度センサであることが良い。
【００１９】さらに、前記変位検出手段と前記振動検出
手段のうちの少なくとも一方の出力を補償し、その補償
信号に基づいて前記第１アクチュエータと前記第２アク
チュエータの少なくとも一方を駆動することが望まし
く、前記変位検出手段の出力信号の補償信号は、前記空
気圧駆動式アクチュエータにフィードバックされること
が良く、前記振動検出手段の出力信号の補償信号は、前
記電磁駆動リニアモータにフィードバックされることが
良い。
【００２０】また、前記空気圧駆動式アクチュエータ
は、力を発生する方向と直交する方向に対してあそびを
有することが望ましく、特にベローズ構造を有すること
が好ましい。
【００２１】また、本発明の除振装置に用いられる前記
空気圧駆動式アクチュエータは、内部圧力を調整するた
めの圧力制御弁、もしくは、吸気・排気流量を調節する
流量制御弁を有することが望ましく、願わくば、前記空
気圧駆動式アクチュエータは、内部圧力を検出する圧力
センサを備え、該圧力補償手段から得られる補償信号に
基づき、前記圧力制御弁と前記流量制御弁の少なくとも
一方を作動させる圧力制御ループを有することが良い。
【００２２】また、本発明の除振装置に用いられる前記
電磁駆動リニアモータは、可動磁石型リニアモータであ
ることが望ましい。この場合、前記電磁駆動リニアモー
タは、対向する複数の磁石間の磁界中にコイルを配置す
ることが良い。さらに、前記電磁駆動リニアモータは、
補極磁石を備えることが好ましい。
【００２３】また、本発明の除振装置に用いられる前記
第１アクチュエータおよび第２アクチュエータは、複数
配置されることが望ましい。この場合、複数配置された
電磁駆動リニアモータまたは電磁駆動リニアモータのコ
イルは、いくつかの群に分けられ、同一群に含まれる複
数の電磁駆動リニアモータまたは電磁駆動リニアモータ
のコイルは、同一の駆動信号によって駆動されるのが良
い。また、前記同一の駆動信号によって駆動される電磁
駆動リニアモータまたは電磁駆動リニアモータのコイル
は、電気的に直列または並列に接続されていることが好
ましい。
【００２４】さらに、変位の目標値と複数台数配置され
た前記変位検出手段の出力信号から、並進・回転の運動
モードの信号を抽出し、この抽出信号を補償し、複数台
数配置された前記第１アクチュエータと前記第２アクチ
ュエータのうちの少なくとも一方を駆動することが望ま
しく、また、複数台数配置された前記振動検出手段の出
力信号から、並進・回転の運動モードの信号を抽出し、
この抽出信号を補償し、複数台数配置された前記第１ア
クチュエータと前記第２アクチュエータのうちの少なく
とも一方を駆動することも望ましい。
【００２５】また、搭載した機器の状態または該機器の
信号に基づき、補償演算を行う第１の前向き補償演算手
段を備え、第１の前向き補償演算手段の補償信号に基づ
き、前記第１アクチュエータの駆動を行っても良い。ま
た、搭載した機器の状態または該機器の信号に基づき、
補償演算を行う第２の前向き補償演算手段を備え、該第
２の前向き補償演算手段の補償信号に基づき、前記第２
アクチュエータの駆動を行っても良い。
【００２６】また、上述の除振装置を備えた露光装置
や、この露光装置を用意するデバイス製造方法も本発明
の範疇に入る。
【００２７】さらに、上記課題を解決すべく本発明の除
振方法は、防振支持された物体の変位または振動を検出
し、検出値から物体の並進・回転の運動モードの信号を
抽出し、この信号に基づいて補償を行い、鉛直方向と水
平方向に力を発生する第１アクチュエータと、該鉛直方
向と水平方向のうちの少なくとも一方に力を発生し第１
アクチュエータとは駆動原理が異なる第２アクチュエー
タの少なくとも一方を、補償信号に基づいて制御するこ
とがよく、また、除振装置に搭載された機器の状態また
は該機器の信号に基づき、前向き補償演算を行い、鉛直
方向と水平方向に力を発生する第１アクチュエータと、
該鉛直方向と水平方向のうちの少なくとも一方に力を発
生し第１アクチュエータとは駆動原理が異なる第２アク
チュエータの少なくとも一方を、補償信号に基づいて制
御することが望ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】＜実施形態１＞本発明では、半導
体露光装置などの精密機器を搭載する除振台を支持し、
かつ、前記搭載機器に悪影響をおよぼす有害振動を低減
する以下の防振ユニットを開示する。
【００２９】図１は、第１実施形態における能動除振装
置の概略図を示している。以下、本実施形態について図
１の図面とともに説明する。
【００３０】半導体露光装置などの精密機器を搭載した
定盤などの除振台１が、除振台１に剛に締結された防振
ユニット５０によって、支持されている。２１は除振台
１に鉛直方向の制御力を加える空気圧駆動式アクチュエ
ータであるところの鉛直空気アクチュエータ、２２は除
振台１に水平方向の制御力を加える空気圧駆動式アクチ
ュエータであるところの水平空気アクチュエータであ
る。また、３１は除振台１に鉛直方向の制御力を加える
電磁駆動アクチュエータであるところの鉛直リニアモー
タ、３２は除振台１に水平方向の制御力を加える電磁駆
動アクチュエータであるところの水平アクチュエータで
ある。防振ユニット５０は、これら鉛直空気アクチュエ
ータ２１、水平空気アクチュエータ２２、鉛直リニアモ
ータ３１、水平リニアモータ３２を有している。
【００３１】また、防振ユニット５０は、除振台１また
は除振台１に剛に締結された防振ユニット５０の鉛直方
向および水平方向の加速度などの振動信号を検出する鉛
直振動検出手段２６ａおよび水平振動検出手段２６ｂと
を備える。
【００３２】なお、図１には示さないが、防振ユニット
５０には、この他に、ばね機構などからなる弾性支持手
段、および、粘性ダンパなどの受動的な振動減衰手段な
ども備えることもできる。ただし、本発明で開示する装
置のように、除振台１に制御力を加えるアクチュエータ
として、後述する空気圧駆動式アクチュエータを用いる
場合は、除振台１を支持する弾性支持手段として、この
空気圧駆動式アクチュエータを兼ねることができる。さ
らに、本装置において、後述する制御を行うことで、除
振台１の振動を減衰することも可能である。従って、図
１に示すような、受動的な弾性支持手段や振動減衰手段
を備えていない防振ユニット５０でも、本発明の目的は
十分に達成できる。
【００３３】次に、除振台１に制御力を加える空気圧駆
動式アクチュエータである鉛直空気アクチュエータ２
１、水平空気アクチュエータ２２について説明する。
【００３４】鉛直空気アクチュエータ２１、水平空気ア
クチュエータ２２としては、空気ばねと、この空気ばね
の内部圧力を電気的指令信号によって連続的に調整する
圧力制御弁とからなるアクチュエータシステムや、空気
ばねと、空気ばねへの給気・排気流量を調整する流量制
御弁とからなるアクチュエータシステムなどを用いるこ
とができる。これらは、後で詳述するように、除振台１
の基準位置に対する変位や、除振台１の振動の補償信号
に基づいて駆動される。
【００３５】鉛直空気アクチュエータ２１は、図では省
略した圧力制御弁または流量制御弁を調整して、空気ば
ねの内部圧力を上昇させることにより除振台１を上昇さ
せる方向の力を、空気ばねの内部圧力を下降させること
により除振台１を下降させる方向の力を、それぞれ発生
する。空気ばねを用いたこの種の空気圧駆動式アクチュ
エータは、空気ばねの内部圧力を上昇させる以外には力
を発生できないが、鉛直空気アクチュエータ２１の場
合、除振台１の自重が予圧として加わっているため、そ
の予圧力とのバランスによって、結果として、空気ばね
の内部圧力を下降させることで除振台１を下降させる方
向の力を発生することができる。
【００３６】空気ばねは、力を発生する方向と直交する
方向に対してあそびがあるように、ゴム製のベローズ構
造を有している。ベローズ構造は、例えば鉛直空気アク
チュエータを作動させたときに水平空気アクチュエータ
が干渉を受けないように、鉛直方向および水平方向の双
方向の振動に対して除振を行うときに互いのアクチュエ
ータが干渉しない構造になっている。また、力を発生す
る方向と直交する方向に対して可動であれば、ベローズ
構造に限るものではなく、例えば、直交方向に対して補
償機構を設けたシリンダ機構でも良い。
【００３７】図１は、本実施形態の水平空気アクチュエ
ータ２２の第１構成例として、対向する２つの空気圧駆
動式アクチュエータを有するものを示している。この例
では、対向配置された２つの空気ばね２３ａ，２３ｂの
発生力のバランスを制御することによって、除振台１に
対して図１において矢印で示した＋Ｘおよびその反対方
向の−Ｘの双方向の力を発生できる。つまり、図では省
略した圧力制御弁または流量制御弁を調整して、空気ば
ね２３ａの内部圧力を上昇させ、空気ばね２３ｂの内部
圧力を下降させることにより＋Ｘ方向の力を、空気ばね
２３ａの内部圧力を下降させ、空気ばね２３ｂの内部圧
力を上昇させることにより−Ｘ方向の力を、それぞれ発
生できる。
【００３８】なお、図１では、防振ユニット５０内の水
平空気アクチュエータ２２は、水平１方向分しか記載さ
れていないが、これを２つ以上用いて、複数の自由度方
向に制御力を加えることも可能である。
【００３９】図２に空気圧駆動式アクチュエータの制御
系の概念図を示す。
【００４０】空気圧駆動式アクチュエータは、空気ばね
の内部圧力を圧力センサ２７で検出し、圧力指令信号と
圧力センサ２７の出力信号との差信号を圧力補償手段４
８で補償し、その補償信号に基づいて圧力制御弁または
流量制御弁等の制御弁２８を駆動する圧力制御ループを
有するものが望ましい。図２は、圧力制御ループを有す
る鉛直空気アクチュエータの制御系の概略である。この
場合、空気圧駆動式アクチュエータの入力信号（駆動指
令信号）は、同図に示した圧力指令信号となる。
【００４１】次に、鉛直リニアモータ３１、水平リニア
モータ３２として用いられるリニアモータの説明を行
う。
【００４２】図３は、本実施形態の鉛直リニアモータ３
１または水平リニアモータ３２として用いられる電磁駆
動リニアモータの第１の構成例を示している。
【００４３】図３に示される電磁駆動リニアモータは、
１つのコイル巻線３３ｃを含むコイルアッセンブリ３３
ａと、対向する２対の永久磁石３３ｄを有するマグネッ
トアッセンブリ３３ｂとからなる単相リニアモータ３３
である。
【００４４】コイルアッセンブリ３３ａは、図３に示す
ように、マグネットアッセンブリ３３ｂにより形成され
る磁気回路中に、マグネットアッセンブリ３３ｂに接触
しないように配置する。コイル巻線３３ｃには、銅線な
どを数百ターン巻いたものを用いることができる。
【００４５】マグネットアッセンブリ３３ｂには、図３
に示すように、コイル巻線３３ｃを中心にして対向する
２対の永久磁石３３ｄが、互いに逆極性で、かつ、２対
の永久磁石の対、それぞれによる磁束の方向が互いに逆
方向となるように磁気回路を構成する。つまり、図３に
示したように、永久磁石をＮ−Ｓと配列したものとＳ−
Ｎと配列したものを対向配置する。同図に示したＳ，Ｎ
の磁石の極性は、各永久磁石のコイル巻線３３ｃに面し
た側のものである。
【００４６】ここで、磁界中に磁束に直交するように配
置されたコイル巻線３３ｃに電流を流すと、コイル巻線
に流れる電流と磁界の相互作用により、コイルアッセン
ブリ３３ａとマグネットアッセンブリ３３ｂとの間に、
磁束とコイル電流方向とに直交する方向に推力を発生す
ることができる。図３では、コイル３３ｃに矢印ｉの方
向に電流を流すと、コイルアッセンブリ３３ａ、マグネ
ットアッセンブリ３３ｂにはそれぞれ矢印ｆで示された
方向に、コイル電流およびコイル巻線３３ｃの存在する
空間の磁束密度に比例した推力が作用する。
【００４７】従って、コイルアッセンブリ３３ａを本除
振装置が設置される装置設置基礎または装置設置基礎に
剛に締結された部材に、マグネットアッセンブリ３３ｂ
を除振台１または除振台１に剛に締結された部材に装着
することにより、この電磁駆動リニアモータを、除振台
１に制御力を加えるアクチュエータとして用いることが
できる。
【００４８】この種の電磁駆動リニアモータは、コイル
アッセンブリとマグネットアッセンブリとの間に機械的
干渉機構がなく、相互に非接触で機械的に振動絶縁され
るという特徴がある。除振装置では、２つの構造体、す
なわち、除振台と装置設置基礎との間の振動伝達を極力
抑制したいという要求があり、この種の電磁駆動リニア
モータは、このような除振技術の分野に好適に用いるこ
とができる。また、この構成の電磁駆動リニアモータは
平板で偏平な構造につくることができ、空間的な配置効
率を高め、防振ユニットヘの電磁駆動リニアモータの実
装をより容易に行うことができる。
【００４９】なお、本発明が開示する除振装置において
は、電磁駆動リニアモータを、コイルアッセンブリを装
置設置基礎または装置設置基礎に剛に締結された部材
に、マグネットアッセンブリを除振台１または除振台１
に剛に締結された部材にそれぞれ装着した、可動磁石型
として用いることが望ましい。コイル巻線には電気抵抗
があり、これに電流を流すことによって熱が発生する。
除振台１に搭載された精密機器への精度面での影響を考
えると、除振台１やそれに剛に締結された部材には発熱
体であるコイルアッセンブリではなくマグネットアッセ
ンブリを装着することが望ましい。こうすることによ
り、防振ユニットを構成する部材を経由した精密機器へ
の直接的な熱伝達を抑制でき、電磁駆動リニアモータが
存在する空間の雰囲気を介した熱の伝達への対策を重点
的に施せばよくなる。また、コイルアッセンブリが、装
置設置基礎または装置設置基礎に剛に締結された部材に
配置されると、可動部にコイルを設けるよりもコイルの
配線が容易となる。空間の雰囲気を介した熱の伝達は、
例えば、電磁駆動リニアモータを熱容量の大きい金属部
材などで囲み、その中の雰囲気を吸引することにより、
容易に低減できる。
【００５０】これらの電磁駆動リニアモータは、除振台
１各部に複数台数配置され、かつ、各電磁駆動リニアモ
ータはいくつかの群に分けられ、同一の群に含まれる複
数の電磁駆動リニアモータは、同一の駆動指令信号によ
って駆動されるようにしてもよい。さらに、この中で、
同一の駆動指令信号によって駆動される複数の電磁駆動
リニアモータは、さらに少なくとも１以上の群に分けら
れ、それらの中で同一の群に含まれる複数の電磁駆動リ
ニアモータは、電気的に並列または直列に接続され、駆
動されるものであってもよい。
【００５１】また、鉛直方向に関しても水平方向に関し
ても、空気圧駆動式アクチュエータの作用軸と電磁駆動
リニアモータの作用軸が、ほぼ一致していることが望ま
しい。
【００５２】次に、防振ユニット５０の動作について説
明する。
【００５３】図４は、本実施形態の防振ユニット５０の
水平方向の制御系の概略を示しているが、鉛直方向の制
御系もこれと同様である。
【００５４】防振ユニット５０は、鉛直変位検出手段２
５ａ、水平変位検出手段２５ｂ、鉛直振動検出手段２６
ａ、水平振動検出手段２６ｂおよびその他の機器の信号
に基づき、鉛直空気アクチュエータ２１、水平空気アク
チュエータ２２、鉛直リニアモータ３１、水平リニアモ
ータ３２を駆動することにより動作する。
【００５５】鉛直変位検出手段２５ａ、水平変位検出手
段２５ｂには、渦電流センサなどの発振式変位センサを
用いることができる。鉛直振動検出手段２６ａ、水平振
動検出手段２６ｂには、加速度センサを用いることがで
きる。
【００５６】まず、鉛直変位検出手段２５ａ、水平変位
検出手段２５ｂの出力信号に基づいて行なう変位制御動
作について説明する。ここでは、この動作を便宜上、変
位制御とよぶことにする。除振台１または除振台１に剛
に締結された防振ユニット５０の基準位置に対する鉛直
および水平変位を、鉛直変位検出手段２５ａ、水平変位
検出手段２５ｂでそれぞれ検出する。そして、それらの
検出信号を補償演算手段４０に入力し、除振台１の基準
位置に対する変位の目標値と鉛直変位検出手段２５ａ、
水平変位検出手段２５ｂの出力信号の差信号、すなわ
ち、鉛直、水平の基準位置に対する偏差信号を算出す
る。ここで算出された偏差信号は、偏差補償演算手段４
１に入力され、ここで補償演算を施される。偏差補償演
算手段４１は、ＰＩＤ補償（比例・積分・微分補償）な
どの制御手法で、前記の偏差信号に対して、補償演算を
施す。特に、この変位制御動作では、除振台１を所定の
目標位置に偏差なく位置させるために、積分動作を含む
ＰＩ補償（比例・積分補償）などの補償演算を施すこと
が望ましい。そして、前記補償演算の結果として得られ
る偏差補償信号を、前記のアクチュエータ、すなわち、
鉛直空気アクチュエータ２１、水平空気アクチュエータ
２２または鉛直リニアモータ３１、水平リニアモータ３
２の駆動回路に入力して、各アクチュエータを駆動させ
ることにより、除振台１を、所定の目標位置に正しく位
置させる。
【００５７】なお、この変位制御動作では、除振台１を
所定位置に保つため、除振台１に定常的に推力を作用さ
せる必要がある。特に、除振台１の鉛直方向の位置を所
定位置に保つためには、除振台１を支持するに足る推力
が前記の各アクチュエータに要求される。除振台１は、
除振効果を高めるため重量を大きくする場合があり、こ
の除振台１を所定位置に維持するために、定常的に大き
な推力を発生する必要がある。
【００５８】しかし、鉛直リニアモータ３１、水平リニ
アモータ３２に用いる電磁駆動リニアモータでは、コイ
ルに電流を流すと熱が発生する。特に、変位制御動作に
電磁駆動リニアモータを用い、それらに定常的に大推力
を発生させると、コイルからの発熱が大きくなり、防振
ユニット５０、さらには、除振台１にも熱が伝わり、各
部位の温度を上昇させてしまう。
【００５９】本発明が開示する除振装置は、精密機器を
搭載することを目的としているが、当該分野では、除振
台１やそれに搭載される機器の温度変化による部材の伸
縮によって、精密機器の測定精度や動作精度が大きな悪
影響を受けてしまう。
【００６０】そこで、変位制御動作に用いるアクチュエ
ータもしくは、定常推力を発生させるアクチュエータ
は、図４に示すように鉛直空気アクチュエータ２１、水
平空気アクチュエータ２２といった空気圧駆動式アクチ
ュエータとし、過渡的な動作においてのみ、鉛直リニア
モータ３１、水平リニアモータ３２といった電磁駆動リ
ニアモータを併用することが望ましい。
【００６１】次に、鉛直振動検出手段２６ａ、水平振動
検出手段２６ｂの出力信号に基づいて行なう振動制御動
作について説明する。ここでは、この動作を便宜上、振
動制御とよぶことにする。まず、除振台１の鉛直および
水平振動を、鉛直振動検出手段２６ａ、水平振動検出手
段２６ｂでそれぞれ検出する。そして、それらの検出信
号を振動補償演算手段４２に入力し、補償演算処理を施
す。鉛直振動検出手段２６ａ、水平振動検出手段２６ｂ
としては、加速度センサを用いることが一般的である。
本実施例では、鉛直振動検出手段２６ａ、水平振動検出
手段２６ｂとして加速度センサを用いる場合について説
明する。
【００６２】さて、この振動制御動作では、鉛直振動検
出手段２６ａ、水平振動検出手段２６ｂ（加速度セン
サ）で得られた信号に対して比例補償、積分補償または
ＰＩ補償（比例・積分補償）などの演算処理を施す。振
動制御動作は、除振台１の加速度に比例した力を除振台
１に作用させることにより質量項をフィードバックする
方法、除振台１の速度に比例した力を除振台１に作用さ
せることによる減衰項をフィードバックする方法、ある
いは両者を組みあわせた方法、などにより実現される。
【００６３】ここでは、除振台１の速度に比例した力を
除振台１に作用させることにより、除振台１の振動を減
衰する方法を例に、振動制御動作を説明する。なお、振
動制御動作を実現するために用いるアクチュエータに鉛
直空気アクチュエータ２１、水平空気アクチュエータ２
２を用いる場合と、鉛直リニアモータ３１、水平リニア
モータ３２を用いる場合とでは、一般には補償演算方法
が異なるので、それぞれの補償方法について説明する。
【００６４】まず、鉛直空気アクチュエータ２１、水平
空気アクチュエータ２２を用いる場合について説明す
る。ここでは、空気圧駆動式アクチュエータの応答速度
が非常に遅く、その駆動指令信号に対する発生推力の応
答周波数が、除振台１と除振台１を防振支持する支持機
構からなる振動系の固有振動数より１桁以上小さいとす
る。この場合、除振台１の振動系の固有振動数近傍の周
波数領域では、空気圧駆動式アクチュエータは、積分特
性を有するアクチュエータとして機能する。従って、主
たる制御帯域、つまり、除振台１の振動系の固有振動数
近傍の周波数領域で、除振台１の速度に比例した力を除
振台１に作用させるためには、鉛直振動検出手段２６
ａ、水平振動検出手段２６ｂで検出した除振台１の加速
度を、比例補償（ゲイン補償）して、鉛直空気アクチュ
エータ２１、水平空気アクチュエータ２２にフィードバ
ックすればよい。こうすることにより、アクチュエータ
が積分特性を有するので、結果的に除振台１の速度に比
例した推力が除振台１にフィードバックされることにな
るからである。
【００６５】空気圧駆動式アクチュエータの応答速度が
比較的早く、その応答周波数が、除振台１と除振台１を
防振支持する支持機構からなる振動系の固有振動数と大
きく離れていない場合については、空気圧駆動式アクチ
ュエータの応答周波数にゼロ点を有するようバラメータ
を設定したＰＩ補償（比例・積分補償）器を用いて、除
振台１の加速度信号を補償し、鉛直空気アクチュエータ
２１、水平空気アクチュエータ２２にフィードバックす
ればよい。こうすることにより、ＰＩ補償器のゼロ点と
空気圧駆動式アクチュエータの極（固有値）が相殺し
て、ＰＩ補償器と空気圧駆動式アクチュエータをあわせ
た部分が積分要素となり、結果として、除振台１の加速
度の積分に比例した力、つまり速度比例信号が除振台１
に付与されることになるからである。
【００６６】次に、振動制御動作に鉛直リニアモータ３
１、水平リニアモータ３２を用いる場合について説明す
る。通常、鉛直リニアモータ３１、水平リニアモータ３
２のような電磁駆動リニアモータの駆動指令信号に対す
る発生推力の応答周波数は、除振台１と除振台１を防振
支持する支持機構からなる振動系の固有振動数より十分
に高い。除振台１と除振台１を防振支持する支持機構か
らなる振動系の固有振動数は、数Ｈｚから、高い場合で
も、数十Ｈｚ程度である。一方、電磁駆動リニアモータ
は、コイル巻数が多いと比較的インダクタンスが大きく
なり、これを電圧源で駆動すると、１００Ｈｚ以下の応
答周波数となる場合もあるが、電磁駆動リニアモータの
駆動には電流フィードバックを有する駆動回路を用いる
ことが一般的であり、その場合は、電流フィードバック
の効果で１００Ｈｚ以上の応答周波数を容易に実現でき
る。従って、除振台１の振動系の固有振動数近傍の周波
数領域では、電磁駆動リニアモータはゲイン特性を有す
るものとみなせる。よって、除振台１の速度に比例した
力を除振台１に作用させるためには、鉛直振動検出手段
２６ａ、水平振動検出手段２６ｂで検出した除振台１の
加速度を積分補償して、鉛直リニアモータ３１、水平リ
ニアモータ３２にフィードバックすればよい。
【００６７】なお、図４に示すように、本発明で開示す
る除振装置においては、除振台１の加速度信号などに基
づいた振動制御動作は、主に応答性の高い電磁駆動リニ
アモータを用いて行なうことが望ましい。高速・高加速
度で動作する露光用ＸＹステージの駆動反力に対して、
応答性よく追従して制御を行なう必要があるからであ
る。逆に、電磁駆動リニアモータに比較して、応答が緩
慢な空気圧駆動式アクチュエータを用いて振動制御を行
なうと、露光用ＸＹステージの高速・高加速度動作に十
分に対応できないばかりか、空気圧駆動式アクチュエー
タ自体の能力を越えた領域での使用を余儀なくされ、装
置特性のバラツキを招くおそれもある。従って、振動制
御動作には、電磁駆動リニアモータを用いるか、電磁駆
動リニアモータと空気圧駆動式アクチュエータを、電磁
駆動リニアモータの負担割合を高めた形で併用すること
が望ましい。
【００６８】なお、本実施例において、除振台１の変位
制御動作は、除振台１の基準位置に対する並進および回
転の各運動モードの目標値と、除振台１の基準位置に対
する鉛直および水平方向の変位を検出する複数の変位検
出手段の出力信号から、除振台１の並進、回転などの各
運動モードの基準位置に対する偏差信号を抽出し、それ
らの信号に補償演算を施し、それによって得られた各運
動モードの補償信号を、除振台１各部に複数台数配置さ
れた除振台１に制御力を加える各アクチュエータに分配
するものであることが望ましい。
【００６９】同様に、本実施例において、除振台１の振
動制御動作は、除振台１の鉛直および水平方向の振動を
検出する複数の振動検出手段の出力信号から、除振台１
の並進、回転などの各運動モードの振動信号を抽出し、
それらの信号に補償演算を施し、それによって得られた
各運動モードの補償信号を、除振台１各部に複数台数配
置された除振台１に制御力を加える各アクチュエータに
分配するものであることが望ましい。
【００７０】次に、上記の変位検出手段、振動検出手
段、以外の機器からの信号に基づき、各アクチュエータ
を制御する動作について説明する。
【００７１】まず、除振台１に搭載された露光用ＸＹス
テージなどの駆動手段を備えた機器の動作状態、または
制御手段からの信号に適切な補償演算を施し前記電磁駆
動リニアモータまたは前記の空気圧駆動式アクチュエー
タを駆動する場合の動作について説明する。
【００７２】図４に示すように、除振台１に、露光用Ｘ
Ｙステージ４５などの駆動手段を備えた機器が搭載され
ているとする。この露光用ＸＹステージ４５は電磁モー
タとボールネジなどからなる直動機構または電磁駆動リ
ニアモータなどにより、ＸＹの２自由度方向に運動可能
である。この露光用ＸＹステージ４５を駆動する電磁モ
ータあるいは電磁駆動リニアモータは、ＸＹステージ制
御手段４６からの信号に基づき、ＸＹステージ駆動回路
４７を介して駆動される。
【００７３】ここで、ＸＹステージ制御手段４６からの
信号または露光用ＸＹステージの駆動状態に関する信号
を入力とし、それに適切な演算処理を施し、その演算結
果を、除振台１に制御力を加えるアクチュエータの駆動
回路に送る前向き補償演算手段を用いて、制御を行な
う。
【００７４】前向き補償演算の方法には以下の２つがあ
る。ひとつは、露光用ＸＹステージ４５が駆動されると
きに発生する駆動反力を打ち消すように制御を行なうた
めの補償演算、もうひとつは、露光用ＸＹステージ４５
の荷重が除振台１上を移動することによる除振台支持機
構のモーメントバランスの変化を補償して荷重移動によ
る除振台１の傾きを補正するための補償演算である。
【００７５】前者は、主に露光用ＸＹステージ４５の加
速度またはその駆動反力に比例する信号をもとに、所望
の制御帯域でそれに比例する力が除振台１に付与される
よう、第１の前向き補償演算手段４３でバンドパスフィ
ルタなどで適切な補償演算を施すことによって実現でき
る。第１の前向き補償演算手段４３の出力として得られ
る補償信号は、鉛直リニアモータ３１、水平リニアモー
タ３２といった電磁駆動リニアモータに送られ、露光用
ＸＹステージ４５が駆動されるときに発生する駆動反力
を打ち消すように作用する。露光用ＸＹステージ４５の
高速・高加速度動作に対応するために、この動作に用い
るアクチュエータは、電磁駆動リニアモータである必要
がある。
【００７６】後者は、主に露光用ＸＹステージ４５の変
位に比例する信号をもとに、図４では省略した第２の前
向き補償演算手段でバンドパスフィルタなどで適切な補
償演算を施すことによって実現できる。第２の前向き補
償演算手段の出力として得られる補償信号は、鉛直空気
アクチュエータ２１、水平空気アクチュエータ２２とい
った空気圧駆動式アクチュエータに送られ、露光用ＸＹ
ステージ４５の荷重が除振台１上を移動することによる
除振台支持機構のモーメントバランスの変化を補正する
ように作用する。この動作では、露光用ＸＹステージ４
５の位置に依存する支持機構の定常的なモーメントバラ
ンスを維持するために、定常的に推力を発生する必要が
あり、空気圧駆動式アクチュエータの使用が望ましい。
【００７７】これらの制御動作に関しても、前述の変位
制御動作、振動制御動作と同様に、露光用ＸＹステージ
の駆動によって発生する力、加速度、変位などの情報
を、除振台１の並進、回転などの各運動モードの信号に
変換し、各運動モードごとに適切な補償演算を施し、そ
の補償信号を、除振台１各部に複数台数配置された除振
台１に制御力を加える各アクチュエータに分配すること
が望ましい。
【００７８】また、本発明で開示する装置において、前
記の位置制御動作、振動制御動作を行なう制御ループ、
除振台１に搭載された露光用ＸＹステージなどの駆動手
段を備えた機器の動作状態、またはその制御手段からの
信号に適切な補償演算を施して除振台１に制御力を加え
るアクチュエータを駆動する制御系に加えて、さらに除
振台１とそれを防振支持する支持機構からなる除振系が
設置されている床などの装置設置基礎の振動を検出し、
その検出信号を、適切に補償して、除振台１に制御力を
加えるアクチュエータにフィードフォワードする制御系
を併設してもよい。
【００７９】本実施形態により、定常的に大推力を発生
できる空気圧駆動式アクチュエータを用いて精密機器な
どを搭載した大重量の除振台を所定位置に支持すると共
に、応答性の優れた電磁駆動アクチュエータを用いて、
露光用ＸＹステージのような搭載機器の高速・高加速度
動作にも対応でき、迅速な振動制御を実現するので、従
来の除振台では実現し得なかった、除振性能と制振性能
の両立を可能にすることができる。
【００８０】また、本実施形態では、力を発生する方向
と直交する方向にあそびを有する空気圧駆動式アクチュ
エータと、非接触の電磁駆動リニアモータとを併用する
ことによって、鉛直方向だけでなく、水平方向に関して
も除振性能と制振性能の両立が可能である。また、ベロ
ーズ構造を用いて空気圧駆動式アクチュエータを構成す
ることにより、除振装置の各構成要素をよりコンパクト
にするとともに、それらを効率よく配置し、ユニットと
してまとまりのよい除振装置を実現可能にした。ここ
で、本実施形態では、鉛直方向および水平方向の両方向
に関して空気圧駆動式アクチュエータおよび電磁駆動リ
ニアモータを設けたが、ある方向に関して、特に除去し
たい変位モードや振動モードがあり、このモードの除去
が空気圧駆動式アクチュエータまたは電磁駆動リニアモ
ータのみで行えるのであれば、その方向に関しては、空
気圧駆動式アクチュエータと電磁駆動リニアモータの両
方を備える必要はない。
【００８１】また、本実施形態では、電磁駆動アクチュ
エータのコイル巻線は、装置設置基礎側の部材に取付け
られているために、コイルが発生する熱による温度上昇
によって、除振台上の精密機器に及ぼす悪影響を軽減す
ることができ、また、コイルの配線も容易となり、精密
機器の除振・制振装置として好適に用いることができ
る。
【００８２】さらに、本実施形態に用いたリニアモータ
は、平板型の構造をしているため、円筒形をしたボイス
コイルモータ等の電磁駆動モータを使用した場合と比較
して、装置の空間配置の自由度が高くなり、コンパクト
な構成の能動除振装置を実現することができる。
【００８３】＜実施形態２＞図５は、第２実施形態にお
ける能動除振装置の概略図を示している。
【００８４】図５に示された水平空気アクチュエータ２
２は、コイルばねなどの予圧機構２４が空気ばね２３ｃ
と力学的に並列に構成されたタイプの空気圧駆動式アク
チュエータを備えている。他の構成要素および制御方法
については、前述の実施形態と同様なので、説明を省略
する。
【００８５】予圧弾性構造体２４は、水平空気アクチュ
エータ２２の中立位置において、あらかじめ収縮方向に
所定量予圧を加えた状態にしておく。本実施形態では、
空気ばね２３ｃの内部圧力を上昇させることにより、除
振台１に対して図５内に矢印で示した＋Ｘ方向の力を加
えることができる。また、空気ばね２３ｃの内部圧力を
下降させた場合、空気ばね２３ｃ自体はその収縮方向に
は力を発生することはできないが、空気ばね２３ｃと力
学的に並列に構成された予圧弾性構造体２４の弾性力に
より、アクチュエータ全体として、−Ｘ方向の力を発生
することができる。
【００８６】なお、図５では、防振ユニット５０内の水
平空気アクチュエータ２２は、水平１方向分しか記載さ
れていないが、これを２つ以上用いて、複数の自由度方
向に制御力を加えることも可能である。
【００８７】本実施形態では、予圧機構の作用軸と空気
ばねの作用軸がほぼ一致していることが望ましく、さら
に、水平リニアモータの作用軸がほぼ一致していること
が望ましい。
【００８８】本実施形態では、前述の実施形態で得られ
る効果が得られるほか、水平方向の空気ばねが、一つで
済むため、空気ばねの配管や圧力制御装置の設置が容易
である。
【００８９】＜実施形態３＞図６は、第３実施形態にお
ける能動除振装置に用いられる電磁駆動リニアモータの
概略図を示している。
【００９０】前述の実施形態のリニアモータでは一つの
コイル巻線である単相リニアモータであったが、本実施
形態のリニアモータでは２つのコイル巻線が用いられ
る。
【００９１】図中の電磁駆動リニアモータは、２つのコ
イル巻線を含むコイルアッセンブリ３４ａと、対向する
４対の永久磁石を有するマグネットアッセンブリ３４ｂ
とを備えている。これは、前述した電磁駆動リニアモー
タの第１の例であげた単相リニアモータを、推力発生方
向に２台直列に接続して一体化した構造のものであり、
図中の矢印ｆで示した方向の推力を両アッセンブリ間に
作用させるためには、各コイル巻線に矢印ｉで示した方
向の電流を流せばよい。
【００９２】この構成の電磁駆動リニアモータは、前述
の単相リニアモータ２台分の推力特性を有しながら、コ
イルアッセンブリ、マグネットアッセンブリを一体化し
たため、それらを部材に取り付けるための部位の寸法を
節約でき、防振ユニットヘの電磁駆動リニアモータ実装
に必要な空間寸法をより小さなものにすることができ
る。
【００９３】また、電磁駆動リニアモータは、除振台１
各部に複数台数配置され、かつ、各電磁駆動リニアモー
タはいくつかの群に分けられ、同一の群に含まれる複数
の電磁駆動リニアモータは、同一の駆動指令信号によっ
て駆動されるようにしてもよい。また、同様に、これら
の電磁駆動リニアモータは、除振台１各部に複数台数配
置され、かつ、各電磁駆動リニアモータのコイル巻線は
いくつかの群に分けられ、同一の群に含まれる複数の電
磁駆動リニアモータのコイル巻線は、同一の駆動指令信
号によって駆動されるようにしてもよい。
【００９４】さらに、この中で、同一の駆動指令信号に
よって駆動される複数の電磁駆動リニアモータまたはコ
イル巻線は、さらに少なくとも１以上の群に分けられ、
それらの中で同一の群に含まれる複数の電磁駆動リニア
モータまたはコイル巻線は、電気的に並列または直列に
接続され、駆動されるものであってもよい。
【００９５】このように、同一の群の電磁駆動リニアモ
ータまたはコイル巻線を同一の駆動信号によって駆動す
ることで、複数の電磁駆動リニアモータを駆動するため
に必要な制御系を簡略化することができる。また、同一
の群の電磁駆動リニアモータまたはコイル巻線を、電気
的に並列または直列に接続して駆動することでも複数の
リニアモータの制御系を簡略化することができる。
【００９６】本実施形態によるリニアモータを能動除振
装置の電磁駆動リニアモータに用いれば、上述した効果
のほかに、前述の第１および第２実施形態で得られた効
果を得ることができる。
【００９７】＜実施形態４＞図７は、第４実施形態にお
ける能動除振装置に用いられる電磁駆動リニアモータの
概略図を示している。
【００９８】図中の電磁駆動リニアモータは、２つのコ
イル巻線を含むコイルアッセンブリ３５ａと、対向する
４対の永久磁石を有するマグネットアッセンブリ３５ｂ
とを備えている。これは、前述した電磁駆動リニアモー
タの第１実施形態であげた単相リニアモータを、推力発
生方向に２台直列に接続して一体化した構造のものであ
る。
【００９９】図６に示される第３実施形態のリニアモー
タは、マグネットアッセンブリ３４ａの磁石の極性をＮ
ＳＮＳと配列したものとＳＮＳＮと配列したものを対向
させたものであるが、本実施形態のリニアモータは、マ
グネットアッセンブリ３５ａの磁石の極性をＮＳＳＮと
配列したものとＳＮＮＳと配列したものを対向させたも
のである点が異なる。
【０１００】図中の矢印ｆで示した方向の推力を両アッ
センブリ間に作用させるためには、各コイル巻線に矢印
ｉで示した方向の電流を流せばよい。この際、同じ方向
に推力を発生させるためのコイル電流方向が、片方のコ
イル巻線で異なることに注意されたい。
【０１０１】まず、図８の単相リニアモータの概略図を
示す。この単相リニアモータは、所定方向への推力発生
に寄与しない部分のコイルが磁界との相互作用により他
成分を発生させる可能性がある。この電磁駆動リニアモ
ータにおいて、所定方向への推力発生に寄与する部分
は、同図ａの部分である。これに対して、同図ｂおよび
ｃの部分は、所定方向の推力発生に寄与しないばかり
か、その部分を流れる電流とマグネットアッセンブリで
形成される磁界との相互作用により、矢印ｄ１，ｄ２お
よびｅ１，ｅ２の推力をコイルアッセンブリとマグネッ
トアッセンブリとの間に発生させる。
【０１０２】ここで、ｂの部分とｃの部分が全く同形状
かつ対称であり、かつ、その部分の磁束分布も全く同じ
であれば、矢印ｄ１，ｄ２，ｅ１，ｅ２で示した他成分
の推力は相互に相殺する。しかし、実際には、コイル巻
線の巻始めあるいは巻終わり位置から電磁駆動リニアモ
ータのリード線までのコイル線の引き出し部の処理をｂ
部あるいはｃ部で行なったりすることがあり、その影響
によってｂ部とｃ部のコイル巻線の形状に差異を生じる
ことがある。また、その他のコイル巻線製作上のコスト
的、あるいは、技術的間題により、ｂ部とｃ部のコイル
巻線の形状に差異を生じることは少なくない。さらに、
マグネットアッセンブリ上に配置された永久磁石の着磁
ムラや、コイルアッセンブリとマグネットアッセンブリ
の位置合わせ精度などの影響で、ｂ部とｃ部の磁束分布
が異なるケースもありうる。こうした場合は、ｂ部で発
生する推力他成分ｄ１，ｄ２と、ｃ部で発生する推力他
成分ｅ１，ｅ２との間に差異が生じ、結果として電磁駆
動リニアモータの所定推力方向以外の他成分の推力が発
生してしまう。この他成分の推力は、電磁駆動リニアモ
ータが大きな推力を出しているときほど、大きく発生す
る。
【０１０３】特に、この種の電磁駆動リニアモータはコ
イルアッセンブリとマグネットアッセンブリとの間に軸
受けなどの機械的運動拘束機構がないため、他成分の推
力がそのまま外乱力になる。この外乱力は、この電磁駆
動リニアモータの構造的特徴から、主としてコイルアッ
センブリとマグネットアッセンブリとを相互に磁界方向
を軸とした回転方向に回転させようとするモーメントと
して作用する。
【０１０４】図６に示す、第３実施形態であげた種類の
電磁駆動リニアモータでも、これと同様の理由から、コ
イルアッセンブリとマグネットアッセンブリとの間で他
成分推力が発生する可能性がある。
【０１０５】これに対して、図７に示した本実施形態の
電磁駆動のリニアモータのように永久磁石の極性をＮＳ
ＳＮと配列したものとＳＮＮＳと配列したものを対向さ
せたリニアモータの場合、２つのコイルに電流を流して
同一方向に推力を発生させようとすると、２つのコイル
個々の所定方向の推力発生に寄与しない部分のコイル巻
線に起因する推力は、２つのコイル巻線で相互に逆方向
に作用する。よってこの部分が発生するモーメントが相
殺する方向に作用し、コイルアッセンブリとマグネット
アッセンブリとの間に発生するモーメントを低減するこ
とができる。特に、双方のコイル巻線を同程度の磁束密
度の磁界中に配置し、双方のコイル巻線に同電流を流す
と、前述した他成分推力、モーメントはほぼ相殺でき
る。従って、本発明のような形態で電磁駆動リニアモー
タを防振ユニットに適用する際には、ここであげたよう
な、磁石の極性をＮＳＳＮと配列したものとＳＮＮＳと
配列したものを対向させ、その中に２つのコイルを配置
したタイプのものを用いることが望ましい。
【０１０６】本実施形態では、上述の効果のほか、前述
の第１〜３実施形態に述べられた効果を得ることができ
る。
【０１０７】＜実施形態５＞図９は、第５実施形態にお
ける能動除振装置に用いられる電磁駆動リニアモータの
概略図を示している。
【０１０８】本実施形態では同図に示す通り、２つのコ
イル巻線と３対の永久磁石からなるものである。これ
は、前述の、２つの電磁駆動リニアモータを一体化した
タイプのもので、磁石の極性をＮＳＳＮと配列したもの
とＳＮＮＳと配列したものを対向させ、さらに、中央の
２つの永久磁石を一体化したものである。つまり、永久
磁石の極性をＮＳＮと配列したものと、ＳＮＳと配列し
たものを対向させた形にして磁気回路を構成する。
【０１０９】この場合は、前述の４対の永久磁石を用い
た電磁駆動リニアモータに比較して、部品、つまり永久
磁石の必要点数を削減でき、コストダウンに寄与でき
る。
【０１１０】なお、これらの２つのコイル巻線を有する
電磁駆動リニアモータを用いる場合も、これを可動磁石
型として適用し、コイルアッセンブリは装置設置基礎ま
たは装置設置基礎に剛に締結された部材に、マグネット
アッセンブリは除振台１または除振台１に剛に締結され
た部材に装着することが望ましい。
【０１１１】本実施形態では、上述の効果のほか、前述
の第１〜４実施形態に述べられた効果を得ることができ
る。
【０１１２】＜実施形態６＞図１０に第６実施形態にお
ける能動除振装置に用いられる電磁駆動リニアモータの
概略を示す。
【０１１３】本実施形態では、単相リニアモータのマグ
ネットアッセンブリの磁石に補極磁石３７を適用してい
る。
【０１１４】本実施形態のように、電磁駆動リニアモー
タの磁気回路において、主たる磁石に加えて補極磁石を
追加すると、コイルアッセンブリが存在する磁界の磁束
分布をより適正化でき、コイルが存在する空間の磁束を
より均質かつ強いものとすることができるため、電磁駆
動リニアモータの推力定数を上げることができる。
【０１１５】図中では、単相リニアモータを用いている
が、これに限るものではなく、前述の第３〜５実施形態
のような複数のコイル巻線を有する電磁駆動リニアモー
タにおいても、本実施形態のような補極磁石を適用する
ことができる。
【０１１６】本実施形態では、上述の効果のほか、前述
の第１〜５実施形態に述べられた効果を得ることができ
る。
【０１１７】＜実施形態７＞次に前述した実施形態の除
振装置を搭載した走査型露光装置の実施形態を、図１１
を用いて説明する。
【０１１８】鏡筒定盤９６は床または基盤９１から防振
ユニット５０を介して支持されている。また鏡筒定盤９
６は、レチクル定盤９４を支持すると共に、レチクルス
テージ９５とウエハステージ９３の間に位置する投影光
学系９７を支持している。
【０１１９】ウエハステージ９３は、床または基盤９１
から支持されたステージ定盤９２上に支持され、ウエハ
を載置して位置決めを行う。また、レチクルステージ９
５は、鏡筒定盤９６に支持されたレチクルステージ定盤
９４上に支持され、レチクルを搭載して移動可能であ
る。レチクルステージ９５上に搭載されたレチクルをウ
エハステージ９３上のウエハに露光する露光光は、照明
光学系９９から発生される。
【０１２０】なお、ウエハステージ９３は、レチクルス
テージ９５と同期して走査される。レチクルステージ９
５とウエハステージ９３の走査中、両者の位置はそれぞ
れ干渉計によって継続的に検出され、レチクルステージ
９５とウエハステージ９３の駆動部にそれぞれフィード
バックされる。これによって、両者の走査開始位置を正
確に同期させるとともに、定速走査領域の走査速度を高
精度で制御することができる。
【０１２１】本実施形態では、前述の実施形態の能動型
除振装置を用いているため、鏡筒定盤やステージ定盤の
外部振動の除振性能を適切に有すると共に、レチクルス
テージやウエハステージの移動に伴って発生する並進・
回転方向の振動に対して適切な制振性能を有しているた
め、高速・高精度な露光が可能となる。
【０１２２】本実施形態では、ステージ定盤と鏡筒定盤
が独立して構成され、それぞれに除振装置が備えられて
いるが、鏡筒定盤とステージ定盤が一体となった構成
で、同じ除振装置上に搭載された構成になった場合で
も、この除振装置に前述の実施形態の能動型除振装置を
用いれば、同様な効果が得られ、高速・高精度な露光が
可能となる。この場合、ウエハステージを支持するステ
ージ定盤とレチクルステージを支持するレチクル定盤
が、同一の防振ユニットを介して床から支持された構造
になるため、防振ユニットの制御方法としては、ウエハ
ステージおよびレチクルステージの両方のステージ制御
手段からの信号に基づき、制御力を加えるアクチュエー
タの駆動回路に送る前向き補償演算手段を用いて、防振
ユニットの制御を行っても良い。
【０１２３】＜実施形態８＞次に上記説明した露光装置
を利用した半導体ディバイスの製造方法の実施例を説明
する。図１２は半導体ディバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半
導体チップ、あるいは液晶パネルやＣＣＤ等）の製造フ
ローを示す。ステップ１１（回路設計）では半導体ディ
バイスの回路設計を行なう。ステップ１２（マスク製
作）では設計した回路パターンを形成したマスクを製作
する。ステップ１３（ウエハ製造）ではシリコン等の材
料を用いてウエハを製造する。ステップ１４（ウエハプ
ロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエ
ハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際
の回路を形成する。ステップ１５（組み立て）は後工程
と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用い
て半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程
（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程
（チップ封入）等の工程を含む。ステップ１６（検査）
ではステップ１５で作製された半導体ディバイスの動作
確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした
工程を経て半導体ディバイスが完成し、これが出荷（ス
テップＳ１７）される。
【０１２４】図１３は上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップ２１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ２２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶
縁膜を形成する。ステップ２３（電極形成）ではウエハ
上に電極を蒸着によって形成する。ステップ２４（イオ
ン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ２
５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ス
テップ２６（露光）では上記説明した露光装置によって
マスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステッ
プ２７（現像）では露光したウエハを現像する。ステッ
プ２８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部
分を削り取る。ステップ２９（レジスト剥離）ではエッ
チングが済んで不要となったレジストを取り除く。これ
らのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上
に多重に回路パターンが形成される。本実施例の製造方
法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導
体ディバイスを製造することができる。
【０１２５】
【発明の効果】本発明の請求項１記載の除振装置によれ
ば、鉛直方向および水平方向に対して力を発生すること
で物体の振動を能動的に軽減でき、しかも各構成要素を
よりコンパクトにし、除振装置を効率良く配置した、ま
とまりの良い除振装置を提供することができる。
【０１２６】また、本発明の請求項２記載の除振装置に
よれば、空気圧駆動式アクチュエータの使用によって熱
をほとんど発生させず、定常的に大きな推力を発生する
ことができる。さらに、電磁駆動リニアモータを併用す
ることで、応答性良く除振を行うことができる。
【０１２７】また、本発明の請求項５記載の除振装置に
よれば、対向する空気圧駆動式アクチュエータを用いる
ことで、水平方向に対して大きな推力を発生させること
ができ、かつ変位を与えることができる。また、本発明
の請求項６記載の除振装置によれば、空気圧駆動式アク
チュエータと予圧機構を用いることで、水平方向に対し
て大きな推力や変位を与えることができるほか、空気圧
の制御や配管を容易に行うことができる。
【０１２８】また、本発明の請求項１０記載の除振装置
によれば、変位検出手段により変位を検出することがで
き、また、請求項１１記載の除振装置よれば、振動検出
手段により振動を検出することができる。さらに、請求
項１３記載の除振装置よれば、変位や振動を検出し、そ
の検出値に基づいて第１アクチュエータおよび第２アク
チュエータの力を発生させることで高精度でコンパクト
な鉛直方向および水平方向の防振を行うことができる。
【０１２９】また、本発明の請求項１６記載の除振装置
によれば、空気圧駆動式アクチュエータは、力を発生す
る方向と直交する方向に対してあそびを有するため、鉛
直方向および水平方向の空気圧駆動式アクチュエータが
互いに干渉せず、両方向の除振を両立させることができ
る。さらに請求項１７記載の除振装置によれば、ベロー
ズ構造を用いて空気圧駆動式アクチュエータを構成する
ため、コンパクトでまとまりの良い除振装置を提供でき
る。
【０１３０】また、請求項２０記載の除振装置により、
除振を行う必要がある物体に対して発熱の影響を軽減さ
せることができるほか、コイルの配線が容易となる。さ
らに、請求項２４記載の除振装置によれば、電磁駆動リ
ニアモータに発生する望ましくない推力成分を容易に軽
減させることができ、高精度で低コストの電磁駆動リニ
アモータを用いることで、高精度な除振装置を提供する
ことができる。また、請求項２５記載の除振装置によれ
ば、電磁駆動リニアモータの磁束を均質かつ強いものと
することができ、電磁駆動リニアモータの推力を向上さ
せ、高精度な除振装置が実現できる。
【０１３１】本発明の請求項２６記載の除振装置によれ
ば、複数の第１および第２アクチュエータを配置するこ
とで、並進・回転の運動モードの除振・制振を行うこと
が可能となる。また、請求項２７または２８記載の除振
装置により、除振装置の制御系の信号や配線を簡略化で
き、低コスト化を図ることができる。
【０１３２】また、本発明の請求項３１または３２記載
の除振装置により、搭載した機器の除振を前向き補償に
よって防振することができる。
【０１３３】また、本発明の請求項３６記載の露光装置
により、露光装置の構成要素が高精度に除振されている
ため、高速、高精度な露光を行うことができる。
【０１３４】さらに、請求項３８または３９のデバイス
製造方法により、高速、高精度にデバイスを製造するこ
とができる。
【０１３５】また、請求項４０記載の除振方法によれ
ば、防振支持された物体の鉛直および水平方向に高精度
な除振を行うことができ、請求項４１記載の除振方法に
よれば、除振装置に搭載された機器を前向き補償によっ
て鉛直およびお水平方向に高精度な除振を行うことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の除振装置の概略図
【図２】第１実施形態の除振装置に用いられる空気圧駆
動式アクチュエータの制御系の概略図
【図３】第１実施形態の除振装置に用いられる電磁駆動
リニアモータの概略図
【図４】第１実施形態の除振装置の水平方向に関する制
御系概略図
【図５】第２実施形態の除振装置の概略図
【図６】第３実施形態の除振装置に用いられる電磁駆動
リニアモータの概略図
【図７】第４実施形態の除振装置に用いられる電磁駆動
リニアモータの概略図
【図８】単相リニアモータに発生する駆動力の説明図
【図９】第５実施形態の除振装置に用いられる電磁駆動
リニアモータの概略図
【図１０】第６実施形態の除振装置に用いられる電磁駆
動リニアモータの概略図
【図１１】第７実施形態の露光装置の概略図
【図１２】ウエハ製造プロセスのフロー図
【図１３】半導体デバイス製造のフロー図
【符号の説明】
１ 除振台 ２１ 鉛直空気アクチュエータ ２２ 水平空気アクチュエータ ２５ａ 鉛直変位センサ ２５ｂ 水平変位センサ ２６ａ 鉛直振動センサ ２６ｂ 水平振動センサ ２７ 圧力センサ ２８ 制御弁 ３１ 鉛直リニアモータ ３２ 水平リニアモータ ３３ 電磁駆動リニアモータ１ ３３ａ コイルアッセンブリ ３３ｂ マグネットアッセンブリ ３３ｃ コイル巻線 ３３ｄ 磁石 ３４ 電磁駆動リニアモータ２ ３５ 電磁駆動リニアモータ３ ３６ 電磁駆動リニアモータ４ ３７ 補極磁石 ４０ 補償演算手段 ４１ 偏差補償演算手段 ４２ 振動補償演算手段 ４３ 第１の前向き補償演算手段 ４５ 露光用ＸＹステージ ４６ ＸＹステージ制御手段 ４７ ＸＹステージ駆動回路 ４８ 圧力補償手段 ５０ 防振ユニット ６１ 空気圧駆動式アクチュエータ駆動回路 ６２ 電磁駆動リニアモータ駆動回路 ９１ 床・基盤 ９２ ステージ定盤 ９３ ウエハステージ ９４ レチクル定盤 ９５ レチクルステージ ９６ 鏡筒定盤 ９７ 投影光学系 ９９ 照明光学系

Claims (41)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 力を発生することで物体の振動を能動的
    に軽減する除振装置であって、前記力を発生する第１ア
    クチュエータと、該第１アクチュエータとは駆動原理が
    異なる第２アクチュエータとを有し、 前記第１アクチュエータは、鉛直方向および水平方向に
    力を発生し、 前記第２アクチュエータは、該鉛直方向および該水平方
    向のうちの少なくとも一方に力を発生することを特徴と
    する除振装置。
  2. 【請求項２】 前記第１アクチュエータは、空気圧駆動
    式アクチュエータと電磁駆動リニアモータの一方を有
    し、前記第２アクチュエータは該空気圧駆動式アクチュ
    エータと該電磁駆動リニアモータの他方を有することを
    特徴とする請求項１記載の除振装置。
  3. 【請求項３】 前記第１アクチュエータは、それぞれ鉛
    直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュ
    エータを含むことを特徴とする請求項１または２記載の
    除振装置。
  4. 【請求項４】 前記第２アクチュエータは、それぞれ鉛
    直方向ならびに水平方向に力を発生する２つのアクチュ
    エータを含むことを特徴とする請求項１〜３いずれか記
    載の除振装置。
  5. 【請求項５】 前記水平方向に力を発生するアクチュエ
    ータは、対向する前記空気圧駆動式アクチュエータを有
    することを特徴とする請求項１〜４いずれか記載の除振
    装置。
  6. 【請求項６】 前記水平方向に力を発生するアクチュエ
    ータは、前記空気圧駆動式アクチュエータと予圧機構を
    有することを特徴とする請求項１〜４いずれか記載の除
    振装置。
  7. 【請求項７】 前記鉛直方向に力を発生する第１アクチ
    ュエータの作用軸と、前記鉛直方向に力を発生する第２
    アクチュエータの作用軸が、ほぼ一致していることを特
    徴とする請求項１〜６いずれか記載の除振装置。
  8. 【請求項８】 前記水平方向に力を発生する第１アクチ
    ュエータの作用軸と、前記水平方向に力を発生する第２
    アクチュエータの作用軸が、ほぼ一致していることを特
    徴とする請求項１〜７いずれか記載の除振装置。
  9. 【請求項９】 受動的な弾性支持手段および受動的な振
    動減衰手段のうちの少なくとも一方を備えていることを
    特徴とする請求項１〜８いずれか記載の除振装置。
  10. 【請求項１０】 変位を検出する変位検出手段を有する
    ことを特徴とする請求項１〜９いずれか記載の除振装
    置。
  11. 【請求項１１】 振動を検出する振動検出手段を有する
    ことを特徴とする請求項１〜１０いずれか記載の除振装
    置。
  12. 【請求項１２】 前記振動検出手段は、加速度センサで
    あることを特徴とする請求項１１記載の除振装置。
  13. 【請求項１３】 前記変位検出手段と前記振動検出手段
    のうちの少なくとも一方の出力を補償し、その補償信号
    に基づいて前記第１アクチュエータと前記第２アクチュ
    エータの少なくとも一方を駆動することを特徴とする請
    求項１０〜１２いずれか記載の除振装置。
  14. 【請求項１４】 前記変位検出手段の出力信号の補償信
    号は、前記空気圧駆動式アクチュエータにフィードバッ
    クされることを特徴とする請求項１０〜１３いずれか記
    載の除振装置。
  15. 【請求項１５】 前記振動検出手段の出力信号の補償信
    号は、前記電磁駆動リニアモータにフィードバックされ
    ることを特徴とする請求項１１〜１４いずれか記載の除
    振装置。
  16. 【請求項１６】 前記空気圧駆動式アクチュエータは、
    力を発生する方向と直交する方向に対してあそびを有す
    ることを特徴とする請求項２〜１５いずれか記載の除振
    装置。
  17. 【請求項１７】 前記空気圧駆動式アクチュエータは、
    ベローズ構造を有することを特徴とする請求項１６記載
    の除振装置。
  18. 【請求項１８】 前記空気圧駆動式アクチュエータは、
    内部圧力を調整するための圧力制御弁、もしくは、吸気
    ・排気流量を調節する流量制御弁を有することを特徴と
    する請求項２〜１７いずれか記載の除振装置。
  19. 【請求項１９】 前記空気圧駆動式アクチュエータは、
    内部圧力を検出する圧力センサを備え、該圧力補償手段
    から得られる補償信号に基づき、前記圧力制御弁と前記
    流量制御弁の少なくとも一方を作動させる圧力制御ルー
    プを有することを特徴とする請求項１８記載の除振装
    置。
  20. 【請求項２０】 前記電磁駆動リニアモータは、可動磁
    石型リニアモータであることを特徴とする請求項２〜１
    ９いずれか記載の除振装置。
  21. 【請求項２１】 前記電磁駆動リニアモータは、対向す
    る複数の磁石間の磁界中にコイルを配置したことを特徴
    とする請求項２〜２０いずれか記載の除振装置。
  22. 【請求項２２】 前記電磁駆動リニアモータは、一つの
    コイルを有する単相リニアモータであることを特徴とす
    る請求項２〜２１記載の除振装置。
  23. 【請求項２３】 前記電磁駆動リニアモータは、複数の
    コイルを有する多相リニアモータであることを特徴とす
    る請求項２〜２１記載の除振装置。
  24. 【請求項２４】 前記複数のコイルは隣り合うコイルの
    電流の流れる方向と逆方向に通電されていることを特徴
    とする請求項２３記載の除振装置。
  25. 【請求項２５】 前記電磁駆動リニアモータは、補極磁
    石を備えることを特徴とする請求項２〜２４記載の除振
    装置。
  26. 【請求項２６】 前記第１アクチュエータおよび第２ア
    クチュエータは、複数配置されることを特徴とする請求
    項１〜２５いずれか記載の除振装置。
  27. 【請求項２７】 複数配置された電磁駆動リニアモータ
    または電磁駆動リニアモータのコイルは、いくつかの群
    に分けられ、同一群に含まれる複数の電磁駆動リニアモ
    ータまたは電磁駆動リニアモータのコイルは、同一の駆
    動信号によって駆動されることを特徴とする請求項２６
    記載の除振装置。
  28. 【請求項２８】 前記同一の駆動信号によって駆動され
    る電磁駆動リニアモータまたは電磁駆動リニアモータの
    コイルは、電気的に直列または並列に接続されているこ
    とを特徴とする請求項２７記載の除振装置。
  29. 【請求項２９】 変位の目標値と複数台数配置された前
    記変位検出手段の出力信号から、並進・回転の運動モー
    ドの信号を抽出し、この抽出信号を補償し、複数台数配
    置された前記第１アクチュエータと前記第２アクチュエ
    ータのうちの少なくとも一方を駆動することを特徴とす
    る請求項１０〜２８いずれか記載の除振装置。
  30. 【請求項３０】 複数台数配置された前記振動検出手段
    の出力信号から、並進・回転の運動モードの信号を抽出
    し、この抽出信号を補償し、複数台数配置された前記第
    １アクチュエータと前記第２アクチュエータのうちの少
    なくとも一方を駆動することを特徴とする請求項１１〜
    ２９記載の除振装置。
  31. 【請求項３１】 搭載した機器の状態または該機器の信
    号に基づき、補償演算を行う第１の前向き補償演算手段
    を備え、第１の前向き補償演算手段の補償信号に基づ
    き、前記第１アクチュエータの駆動を行うことを特徴と
    する請求項１〜３０いずれか記載の除振装置。
  32. 【請求項３２】 搭載した機器の状態または該機器の信
    号に基づき、補償演算を行う第２の前向き補償演算手段
    を備え、該第２の前向き補償演算手段の補償信号に基づ
    き、前記第２アクチュエータの駆動を行うことを特徴と
    する請求項１〜３１いずれか記載の除振装置。
  33. 【請求項３３】 請求項１〜３２いずれか記載の除振装
    置を備えたことを特徴とする露光装置。
  34. 【請求項３４】 請求項１〜３２いずれか記載の除振装
    置が、ステージ定盤を支持していることを特徴とする露
    光装置。
  35. 【請求項３５】 請求項１〜３２いずれか記載の除振装
    置が、鏡筒定盤を支持していることを特徴とする露光装
    置。
  36. 【請求項３６】 レチクルステージを支持するレチクル
    定盤が鏡筒定盤に連結されており、請求項１〜３２いず
    れか記載の除振装置が、該鏡筒定盤を支持していること
    を特徴とする露光装置。
  37. 【請求項３７】 前記露光装置は走査型露光装置である
    ことを特徴とする請求項３３〜３６いずれか記載の露光
    装置。
  38. 【請求項３８】 請求項３３〜３７いずれか記載の露光
    装置を用意するステップと、レチクル上に形成されたパ
    ターンをウエハに転写するステップとを有することを特
    徴とするデバイス製造方法。
  39. 【請求項３９】 ウエハに露光された部分を現像するス
    テップと、ウエハ上に形成されたチップを切り離すステ
    ップを更に有することを特徴とする請求項３８記載のデ
    バイス製造方法。
  40. 【請求項４０】 防振支持された物体の変位または振動
    を検出し、検出値から物体の並進・回転の運動モードの
    信号を抽出し、この信号に基づいて補償を行い、鉛直方
    向と水平方向に力を発生する第１アクチュエータと、該
    鉛直方向と水平方向のうちの少なくとも一方に力を発生
    し該第１アクチュエータとは駆動原理が異なる第２アク
    チュエータの少なくとも一方を、補償信号に基づいて制
    御することを特徴とする除振方法。
  41. 【請求項４１】 除振装置に搭載された機器の状態また
    は該機器の信号に基づき、前向き補償演算を行い、鉛直
    方向と水平方向に力を発生する第１アクチュエータと、
    該鉛直方向と水平方向のうちの少なくとも一方に力を発
    生し該第１アクチュエータとは駆動原理が異なる第２ア
    クチュエータの少なくとも一方を、補償信号に基づいて
    制御することを特徴とする除振方法。
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