KR910013567A - 이형상의 소자분리영역의 접합구조를 가지는 반도체장치 - Google Patents
이형상의 소자분리영역의 접합구조를 가지는 반도체장치 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도(a)는 본 발명의 제1실시예에 따른 소자분리영역의 접합점을 위에서 본 정면도,
제1도(b)는 제1도(a)의 소자분리영역의 접합점의 단면도를 비스듬하게 위에서 본 사시도.
Claims (3)
- 반도제기판상에 형성된 제1소자분리영역(11,21,31)과, 상기 반도체기판상에 제1소자분리영역과 접합하도록 형성됨과 더불어 그 제1소자분리영역에 대해서 충분히 미세한 제2 소자분리영역(12,22,32)의 접합점에 있어서, 상기 제1 소자분리영역의 단부를 이루는 한쪽과 상기 미세한 소자분리영역의 한쪽이 형성하는 소자영역을 끼운 사이각이 둔각인 것을 특징으로 하는 이형상의 소자분리영역의 접합구조를 가지는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1소자분리영역이 로코스법에 의해서 형성되는 로코스 소자분리영역과, 상기 제2소자분리영역이 매립법에 의해서 형성되는 매립 소자분리영역으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이형상의 소자분리영역의 접합구조를 가지는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 소자분리영역의 단부 및 상기 제2 소자 분리영역의 단부가 적어도 한쪽이 만곡(21a,31a)으로 형성되어 접합되고 그 쪽의 접합으로서 형성되는 사이각이 둔각인 것을 특징으로 하는 이형상의 소자분리층의 접합구조를 가지는 반도체 장치.※ 참고사항 : 최초출된 내용에 의하여 공개하는 것임.
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