KR880010472A - 집적회로의 스포트 결점 검출용 장치 및 방법 - Google Patents

집적회로의 스포트 결점 검출용 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

집적회로의 스포트 결점 검출용 장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 시험 구조물의 개략적인 평면도.
제2도는 제1도에 도시된 구조물부분의 개략적인 단면도.
제3도는 제1도에 도시된 구조물에 관한 개략적인 세가지 등가회로도.

Claims (12)

  1. (a) 기판, (b) 전기 저항(R)을 갖는 전기 회로가 민더(meander)의 단부들 사이에 형성되도록 중간 세그먼트들(segment)의 단부들이 접혀진 세그먼트들에 의해 상호 연결된, 미리 결정된 수의 중간 세그먼트들을 갖는 고 전기 저항성 재료를 포함하여, 상기 기판상에 형성된 민더. (c) 상기 중간 세그먼트들 각각의 해당하는 하나의 세그먼트와 실질적으로 정렬되고 전기적으로 절연되는 고 전기 전도성 재료로된 스트립(strip). (d) 상기 스트립의 각각의 단부와 상기 해당하는 중간 세그먼트의 해당하는 단부 사이에 전기 접촉을 제공하는 접촉수단. (e) 상기 민더의 한 단부에 전기적으로 연결된 제1단자. (F) 상기 민더의 나머지 단부에 전기적으로 연결된 제2단자 및 (g) 상기 접촉수단의 상기 하나와 상기 민더의 단부 사이에 있는 민더 부분이 두 개의 중간 세그먼트들과 이들 사이에 연결된 접혀진 세그먼트를 포함하도록 상기 접촉수단의 하나에 전기적으로 연결된 최소한 한의 부가적인 단자를 포함하는 집적회로의 금속층에 있는 스포트(spot) 결점을 검출하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 미리 결정된 수의 중간 세그먼트들이 최소한 2인 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 미리 결정된 수의 중간 세그먼트들이 최소한 16인 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 민더가 폴리실리콘 재료로 형성된 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 스트립들이 금속으로 형성된 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 금속이 알루미늄인 장치.
  7. (a) 제1항에 따른 장치를 제공하는 단계. (b) 제1단부 단자와 제2단부 단자 사이의 전기 저항(R)을 측정하는 단계. (c) 두 개의 중간 세그먼트들과 이들 사이에 연결된 접혀진 세그먼트를 포함하는 민더 부분을 포함하는 상기 부가적인 단자와 단부 단자 사이의 경로 전기 저항(R1)을 측정하는 단계. (d) R/R1의 비(nr)을 계산하는 단계 및 (e)(i) nr이 민더에 접혀진 세그먼트들의 수인 n-1과 동일한 경우에는 무결점. (ii) nr이 n-1보다 큰 경우에는 금속 결여 결점의 존재와 (iii) nr이 n-1보다 적은 경우에는 금속과잉결점의 표시를 제공하는 단계를 포함하는 반도체 집적회로 장치의 스포트 결점 검출방법.
  8. 제7항에 있어서, 스포트 결점의 직경을 결정하는 단계를 부가적으로 포함하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 부가적인 단계가 (a) 금속 결여 스포트 결점 직경의 하한을(스트립폭)+(중단된 스트립들의 수-1)×(스트립폭+인접한 스트립들 사이의 공간폭)과 실질적으로 동일하도록 결정하는 단계 및 (b) 금속 결여 스포트 결점 직경의 상한을(인접한 스트립들 사이의 공간폭)+(중단된 스트립들의 수+1)×(스트립폭+인접한 스트립들 사이의 공간폭)과 실질적으로 동일하도록 결정하는 단계를 포함하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 중단된 스트립들의 수가(스트립들과 민더의 해당하는 중간 세그먼트들에 있는 사각형들의 수 대 민더의 접혀진 세그먼트들에 있는 사각형들의 수의 비)×(R대 R1의 비-스트립들의 수+1)동일하도록 결정하는 단계를 부가적으로 포함하는 방법.
  11. 제7항에 있어서, 상기 부가적인 단계가, (a) 금속 과잉 스포트 결점 직경의 하한을(인접한 스트립들 사이의 공간폭)+(스트립들 사이의 단락수-1)×(스트립폭+인접한 스트립들 사이의 공간폭)과 실질적으로 동일하도록 결정하는 단계 및 (b) 금속 과잉 스포트 결점 직경의 상한을(스트립들 사이의 공간)+(스트립들 사이의 단락수+1)×(스트립폭+인접한 스트립들 사이의 공간폭)과 실질적으로 동일하도록 결정하는 단계를 포함하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 스트립들 사이의 단락수가 시험 구조물에 있는 스트립들의 수-1)-(R 대 R1의 비)와 동일하도록 결정하는 단계를 부가적으로 포함하는 방법.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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