SU1449999A1

SU1449999A1 - Переменный резистор

Info

Publication number: SU1449999A1
Application number: SU864020455A
Authority: SU
Inventors: Владимир Николаевич Коломыцев
Original assignee: Предприятие П/Я В-2965
Priority date: 1986-02-11
Filing date: 1986-02-11
Publication date: 1989-01-07

Abstract

Изобретение относитс к микроэлектронике . Цель изобретени - по- вьшение разрешающей способности и уменьшение габаритов резистора. На изол ционную подложку 1 нанос т провод щий слон, часть которого удал ют, образу токосъемные полоски (ТП) 2. Затем формируют резистивный слой 3 до толгщны, не превышающей тол1цины ТП 2, и получают измен ющиес по ширине резистивные полосы. Резистивный слой удал ют с ТП 2 под токосъемным контактом 5 и оставл ют в промежутках между ТП 2, Резистивные участки и ТП 2 формируют не превыщаюв1ими по ширине длины области токосъемного контакта 5. 1 ил.

Description

Изобретение относится к конструктивному исполнению и технологии изготовления изделий микроэлектроники, в частности переменных резисторов, использованием толсто- или тонкопле- ⁵ночной технологии их изготовления.

Цель изобретения - повышение разрешающей способности и уменьшение габаритов путем размещения в промежутках между токосъемными полосками в токосъемной области материала резистивного слоя, толщина которого не должна превышать толщины токосъемных полосок, что обеспечивает 15 устранение разрывов контактирования, ступенеобразные изменения величины сопротивления, технологичности изготовления.

На чертеже представлен переменный 20 резистор, общий вид.

На диэлектрической подложке 1 методом фотолитографии сформированы радиально расположенные токосъемные полоски 2. Между этими полосками и 25 на них расположен резистивный слой 3 переменной ширины.

По центру диэлектрической подложки 1 расположена ось 4 с токосъемным контактом 5, конец (не показан) 30 которого скользит.по концам 6 токосъемных полосок 2, обращенных к центру и образующих область> токосъемного участка (не показан).

Особенностью переменного резистора является то, что резистивный слой расположен и в области токосъемного участка.

Ширина конца токосъемного контакта должна превышать ширину про40 межутка между концами токосъемных полосок в области токосъемного участка.

При работе предлагаемого переменного резистора конец токосъемного контакта 5 попеременно контактирует как с оголенными концами токосъемных полосок, так и с резистивным слоем, если его толщина равна толщине этих полосок. Если меньше, то непрерывность (без скачков) изменения величин сопротивления все равно сохраняется .

Расположение части резистивного слоя в области токосъемного участка позволяет уменьшить габариты резистора.

Claims

Формула изобретения Переменный резистор, содержащий диэлектрическую подложку, на одной из сторон которой сформирован набор радиально расположенных токосъемных полосок, на поверхности которых и на подложке между ними размещен резистивный слой переменной ширины, и токосъемный контакт, расположенный с возможностью скольжения по концевым участкам токосъемных полосок, обращенных к оси вращения токосъемного контакта и образующих токосъемную область, при этом на подложке в токосъемной области между концевыми участками токосъемных полосок размещен пленочный материал, примыкающий к резистивному слою, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности и уменьшения габаритов, в-качестве пленочного материала, расположенного между концевыми участками в токосъемной области, использован материал резистивного слоя, при этом его толщина не превышает толщины токосъемных полосок.