RU96103139A - Способ изготовления тонкопленочного терморезистора - Google Patents
Способ изготовления тонкопленочного терморезистораInfo
- Publication number
- RU96103139A RU96103139A RU96103139/09A RU96103139A RU96103139A RU 96103139 A RU96103139 A RU 96103139A RU 96103139/09 A RU96103139/09 A RU 96103139/09A RU 96103139 A RU96103139 A RU 96103139A RU 96103139 A RU96103139 A RU 96103139A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thin
- resistance
- film
- contact pads
- tcs
- Prior art date
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 claims 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- Способ изготовления тонкопленочного терморезистора, включающий напыление на диэлектрическую подложку резистивного слоя, формирование примыкающих к одной из сторон диэлектрической подложки контактных площадок, формирование методом фотолитографии из резистивного слоя регулярной структуры зигзагообразной формы - меандр, с подгоночными перемычками, определение величины сопротивления резистивного слоя и подгонку до требуемой величины сопротивления выполнением заданного количества резов с последующим нанесением на тонкопленочную структуру защитного покрытия, отличающийся тем, что резистивную тонкопленочную структуру выполняют из двух материалов с различными значениями удельного сопротивления и ТКС, а в месте соединения тонкопленочных материалов и по краям формируют три контактные площадки, расположенные по одной стороне диэлектрической подложки, причем крайние контактные площадки располагают в непосредственной близости, к каждой контактной площадке формируют электрический вывод, измеряют значение сопротивления и ТКС между контактной площадкой, расположенной в месте соединения тонкопленочных материалов, и двумя остальными контактными площадками, а требуемые значения ТКС и полного сопротивления термоизолятора находят из соотношений:
где R1 - сопротивление тонкостеночной структуры из первого материала;
R2 - сопротивление тонкопленочной структуры из второго материала;
R0 - требуемое полное сопротивление терморезистора,
α1 - ТКС тонкопленочной структуры из первого материала;
α2 - ТКС тонкопленочной структуры из второго материала
α0 - требуемое значение ТКС терморезистора,
производят подгонку сопротивлений R1 и R2 согласно расчетных соотношений, уделяя соответствующие подгоночные перемычки, соединяют расположенные в непосредственной близости контактные площадки методом беспроводной пайки, а один из электрически соединенных выводов контактных площадок удаляют.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU96103139A RU2133514C1 (ru) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | Способ изготовления тонкопленочного терморезистора |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU96103139A RU2133514C1 (ru) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | Способ изготовления тонкопленочного терморезистора |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU96103139A true RU96103139A (ru) | 1998-07-27 |
| RU2133514C1 RU2133514C1 (ru) | 1999-07-20 |
Family
ID=20177064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU96103139A RU2133514C1 (ru) | 1996-02-19 | 1996-02-19 | Способ изготовления тонкопленочного терморезистора |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2133514C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU189715U1 (ru) * | 2019-03-14 | 2019-05-31 | Акционерное общество "Финансово-промышленная компания "Энергия" | Мощный тонкопленочный резистор |
-
1996
- 1996-02-19 RU RU96103139A patent/RU2133514C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5287083A (en) | Bulk metal chip resistor | |
| US5521576A (en) | Fine-line thick film resistors and resistor networks and method of making same | |
| US9916921B2 (en) | Resistor and method for making same | |
| US4463338A (en) | Electrical network and method for producing the same | |
| US9934891B1 (en) | Resistor and method of manufacture | |
| JPH09503097A (ja) | Ｐｔｃ抵抗素子を有する電気的なアッセンブリ | |
| US4079349A (en) | Low TCR resistor | |
| JPH01302803A (ja) | チップ抵抗およびその製造方法 | |
| US4301439A (en) | Film type resistor and method of producing same | |
| US5197804A (en) | Resistance temperature sensor | |
| GB2209630A (en) | Platinum temperature sensor | |
| JPH01233701A (ja) | チップ抵抗およびその製造方法 | |
| US4920635A (en) | A method of manufacturing a thermo-sensitive resistor | |
| KR930013891A (ko) | 시이트재료를 가열하기 위한 히터 및 그 저항조절방법 | |
| RU96103139A (ru) | Способ изготовления тонкопленочного терморезистора | |
| EP1271566A3 (en) | Thin-film resistor and method for manufacturing the same | |
| US20040075520A1 (en) | Strip conductor having an additional layer in a curved section | |
| US5291175A (en) | Limiting heat flow in planar, high-density power resistors | |
| JPH06508960A (ja) | 回路保護デバイス | |
| JP2810467B2 (ja) | 主として温度測定用に意図されたサーミスターおよびサーミスターの製造方法 | |
| JPS643323B2 (ru) | ||
| JP3567144B2 (ja) | チップ形抵抗器およびその製造方法 | |
| GB1583684A (en) | Electrical layer resistor and a method for its manufacture | |
| JP2004200424A (ja) | チップ抵抗器 | |
| KR100477831B1 (ko) | 칩형복합전자소자및그의제조방법 |