KR20200032637A - 테이프 첩착 장치 - Google Patents

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KR20200032637A
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ring frame
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마사히로 와다
히로시 요시무라
도시야스 리키이시
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 테이프 첩착 장치에 있어서, 프레임과 웨이퍼에 첩착한 다이싱 테이프의 텐션을 균일하게 한다.
(해결 수단) 테이프 첩착 장치로서, 프레임 유지부 (30) 와 웨이퍼 유지부 (31) 를 갖는 유지 수단 (3) 과, 테이프 유닛 (TU) 을 송출하는 송출 유닛 (2) 과, 다이싱 테이프 (T2) 가 벗겨진 시트 (T1) 를 권취하는 권취 유닛 (4) 과, 시트 (T1) 에 접촉시켜 시트 (T1) 를 내측으로 하여 테이프 유닛 (TU) 을 굴곡시켜 시트 (T1) 로부터 테이프 (T2) 를 박리시키는 플레이트 (50) 와, 박리한 테이프 (T2) 를 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 에 첩착하는 첩착 롤러 (60) 와, 벗겨진 테이프 (T2) 를 첩착 롤러 (60) 를 따르게 하도록 에어를 분사하는 노즐 (39) 을 포함한다. 플레이트 선단부 (500) 와 첩착 롤러 (60) 측면의 간극을 테이프 유닛 (TU) 이 통과하고, 플레이트 선단부 (500) 에서 박리된 테이프 (T2) 를 노즐 (39) 로부터의 에어에 의해 첩착 롤러 (60) 측면을 따르게 하여, 테이프 (T2) 에 느슨함을 발생시키지 않도록 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 에 첩착한다.

Description

테이프 첩착 장치{ADHESION APPARATUS FOR TAPE}
본 발명은, 링 프레임과 웨이퍼에 테이프를 첩착 (貼着) 하는 테이프 첩착 장치에 관한 것이다.
원형의 개구를 구비하는 링 프레임에 원형의 다이싱 테이프를 첩착하여 개구를 막고, 개구 부분의 다이싱 테이프에 웨이퍼를 첩착하여, 다이싱 테이프로 링 프레임과 웨이퍼를 일체화시키는 테이프 첩착 장치가 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2011-086687호
상기 테이프 첩착 장치에 있어서는, 원형의 다이싱 테이프를 띠상의 시트의 길이 방향으로, 등간격으로 나열하여 첩착하여 일체화시킨 테이프 유닛을 사용하고 있다. 이 테이프 유닛은, 다이싱 테이프측을 내측으로 하여 롤상으로 권통에 권회되어 있다. 이 롤상의 테이프 유닛이 테이프 첩착 장치의 지지 기둥에 권통이 관통 장착된 상태로, 롤 테이프의 외주 단 (端) 으로부터 시트를 파지하여 인출하고, 시트측을 내측으로 하여 필 플레이트를 갖다 대어 굴곡시키면서 시트로부터 다이싱 테이프의 단을 벗긴다. 그리고, 시트로부터 벗긴 다이싱 테이프의 단을 링 프레임의 위에 위치시키고, 전동하는 롤러로 다이싱 테이프를 링 프레임에 가압하고, 다이싱 테이프의 단을 링 프레임에 첩착하고, 또한 시트를 벗기면서 다이싱 테이프를 롤러로 가압해 가, 웨이퍼 상면과 링 프레임 상면의 피첩착면에 첩착하고 있다.
여기서, 시트에 갖다 대는 필 플레이트의 선단의 높이 위치에서, 다이싱 테이프가 시트로부터 벗겨지게 되므로, 링 프레임 및 웨이퍼의 피첩착면과 다이싱 테이프 사이에 먼지나 기포가 들어가지 않도록 하기 위해서, 필 플레이트는 그 피첩착면에 가까워져 있는 편이 좋다.
그러나, 필 플레이트를 그 피첩착면에 가깝게 하면, 필 플레이트의 선단과 롤러의 측면 사이에 간극이 발생하고, 그 간극에 의해 다이싱 테이프에 느슨함이 생겨, 링 프레임과 웨이퍼에 첩착한 다이싱 테이프의 텐션이 균일해지지 않는다는 문제가 있다. 즉, 다이싱 테이프의 첩착 개시의 텐션이 약하고, 그 후, 균일한 텐션이 되기 때문에, 전체적으로는 텐션이 불균일해진다. 또, 다이싱 테이프의 종류에 따라서는 링 프레임과 웨이퍼 사이에 주름이 생기는 문제도 발생한다. 그리고, 첩착된 다이싱 테이프의 텐션이 균일하게 되어 있지 않으면, 웨이퍼를 분할하거나 했을 때에 칩끼리가 접촉하여 칩 결손이 발생한다는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 첩착한 다이싱 테이프의 텐션이 균일해지도록 링 프레임과 웨이퍼에 다이싱 테이프를 첩착하는 테이프 첩착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 띠상의 시트의 길이 방향으로 원형의 다이싱 테이프를 나열하여 첩착한 띠상의 테이프 유닛의 그 시트로부터 그 다이싱 테이프를 벗기고, 링 프레임과 그 링 프레임의 개구에 배치한 웨이퍼에 첩착하고, 그 링 프레임과 웨이퍼를 그 다이싱 테이프로 일체화시키는 테이프 첩착 장치로서, 그 링 프레임을 유지하는 링 프레임 유지부와, 그 링 프레임의 그 개구 내에서 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지부를 갖는 유지 수단과, 그 테이프 유닛을 사이에 두고 회전하여 그 테이프 유닛을 송출하는 송출 유닛과, 그 다이싱 테이프가 벗겨진 그 시트를 사이에 두고 회전하여 그 시트를 권취하는 권취 유닛과, 그 송출 유닛과 그 권취 유닛 사이에서 그 시트에 접촉시켜 그 시트를 내측으로 하여 그 테이프 유닛을 굴곡시켜 그 시트로부터 그 다이싱 테이프를 박리시키는 필 플레이트와, 그 시트로부터 박리한 그 다이싱 테이프를 링 프레임과 웨이퍼에 가압하면서 첩착하는 첩착 롤러와, 그 시트로부터 벗겨진 그 다이싱 테이프를 그 첩착 롤러를 따르게 하도록 에어를 분사하는 에어 노즐을 구비하고, 그 필 플레이트의 선단부와 그 첩착 롤러의 측면의 간극을 그 테이프 유닛이 통과하고, 그 필 플레이트의 선단부에서 박리된 그 다이싱 테이프를 그 에어 노즐로부터 분사하는 에어에 의해 그 첩착 롤러의 측면을 따르게 하여, 그 다이싱 테이프에 느슨함을 발생시키지 않도록 하여, 그 링 프레임과 그 웨이퍼에 첩착하는 테이프 첩착 장치가 제공된다.
본 발명의 테이프 첩착 장치에 의하면, 필 플레이트의 선단부와 첩착 롤러의 측면의 간극을 테이프 유닛이 통과할 만큼의 크기까지 작게 하고, 필 플레이트에 의해 굴곡시킨 시트로부터 벗겨진 다이싱 테이프를 에어 노즐로부터 분사하는 에어에 의해 첩착 롤러의 측면을 따르게 하여, 다이싱 테이프에 느슨함을 발생시키지 않도록 첩착 롤러의 측면을 따르도록 한 상태로 링 프레임과 웨이퍼에 첩착하므로, 첩착한 다이싱 테이프의 텐션을 균일하게 할 수 있다.
도 1 은 롤상으로 권회된 테이프 유닛의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 테이프 첩착 장치의 구성의 일례를 나타내는 모식적인 단면도이다.
도 3 은 첩착 롤러를 다이싱 테이프를 링 프레임에 첩착하는 정지 위치보다 약간 상방의 위치에 대기시키고, 에어 노즐로부터 에어를 분사시켜 첩착 롤러의 측면에 다이싱 테이프를 따르게 하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4 는 다이싱 테이프를 링 프레임과 웨이퍼에 첩착하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5 는 필 플레이트의 기울기를 종래보다 기울인 상태로, 다이싱 테이프를 링 프레임과 웨이퍼에 첩착하고 있는 경우를 나타내는 단면도이다.
도 6 은 다이싱 테이프를 링 프레임과 웨이퍼에 첩착하고 있는 상태에 있어서의 종래의 문제점을 설명하는 단면도이다.
도 1 에 나타내는 테이프 유닛 (TU) (예를 들어, 두께 200 ㎛) 은, 띠상의 점착 테이프 (T5) 와, 띠상의 시트 (T1) 가 첩합 (貼合) 된 구조로 되어 있다. 점착 테이프 (T5) 는, 예를 들어 폴리올레핀계 수지 등으로 이루어지는 기재 (T51) 와 기재 (T51) 상의 점착제층 (T52) 으로 이루어지고, 점착제층 (T52) 측에 시트 (T1) (예를 들어, 두께 100 ㎛) 가 첩착되어 있다. 본 실시형태에 나타내는 점착 테이프 (T5) 는, 미리 첩착 대상이 되는 링 프레임 (F) (도 2 참조) 의 직경에 따라 원 형상으로 복수 프리컷되어 있고, 시트 (T1) 에 점착 테이프 (T5) 가 프리컷되어 형성된 다이싱 테이프 (T2) 가 복수, 시트 (T1) 의 길이 방향 (도 1 에 있어서는 X 축 방향) 으로 등간격을 두고 첩착된 상태로 되어 있다. 또한, 점착 테이프 (T5) 및 시트 (T1) 는, 특히 재질 등이 한정되지 않는다.
상기의 띠상의 시트 (T1) 의 길이 방향으로 원형의 다이싱 테이프 (T2) 를 나열하여 첩착한 테이프 유닛 (TU) 은, 도 1 에 나타내는 바와 같이 권통 (T3) 에 다이싱 테이프 (T2) 를 내측으로 하여 롤상으로 권회된 상태로 되어 있다.
도 2 에 나타내는 테이프 첩착 장치 (1) 는, 링 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 를 도 1 에 나타내는 다이싱 테이프 (T2) 로 일체화시키는 장치이며, 링 프레임 (F) 을 유지하는 링 프레임 유지부 (30) 와, 링 프레임 (F) 의 개구 내에서 웨이퍼 (W) 를 유지하는 웨이퍼 유지부 (31) 로 이루어지는 유지 수단 (3) 과, 테이프 유닛 (TU) 을 사이에 두고 회전하여 테이프 유닛 (TU) 을 송출하는 송출 유닛 (2) 과, 다이싱 테이프 (T2) 가 벗겨진 시트 (T1) 를 사이에 두고 회전하여 시트 (T1) 를 권취하는 권취 유닛 (4) 과, 송출 유닛 (2) 과 권취 유닛 (4) 사이에서 시트 (T1) 에 접촉시켜 시트 (T1) 를 내측으로 하여 테이프 유닛 (TU) 을 굴곡시켜 시트 (T1) 로부터 다이싱 테이프 (T2) 를 박리시키는 필 플레이트 (50) 와, 시트 (T1) 로부터 박리한 다이싱 테이프 (T2) 를 링 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 에 가압하면서 첩착하는 첩착 롤러 (60) 와, 시트 (T1) 로부터 벗겨진 다이싱 테이프 (T2) 를 첩착 롤러 (60) 를 따르게 하도록 에어를 분사하는 에어 노즐 (39) 을 적어도 구비하고 있다.
테이프 첩착 장치 (1) 는, 예를 들어, 롤상으로 권회된 테이프 유닛 (TU) 을 지지하는 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 및 제 2 테이프 유닛 지지 수단 (12) 을 구비하고 있다. 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 과 제 2 테이프 유닛 지지 수단 (12) 은 동일한 구성으로 되어 있기 때문에, 이하에 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 의 구성에 대해 설명한다.
제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 은, 테이프 유닛 (TU) 이 수용되는 케이스 (110) 를 갖고 있다. 케이스 (110) 의 바닥벽에는, 테이프 유닛 (TU) 을 통과시키기 위한 개구 (110a) 가 형성되어 있다. 개구 (110a) 의 단부에는, 광 센서 등으로 이루어지고 테이프 유닛 (TU) 의 선단을 검출하는 선단 검출부 (111) 가 배치 형성되어 있다.
케이스 (110) 내에는, 테이프 유닛 (TU) 이 권회되어 있는 권통 (T3) 이 관통 장착되는 지지 기둥 (113) 을 구비하고 있고, 그 지지 기둥 (113) 은, 회전 수단 (114) 에 의해 Y 축 방향의 축심 둘레로 회전 가능하게 되어 있다. 또한, 케이스 (110) 의 앞측 (Y 축 방향 지면 앞측) 에는, 개폐 가능한 도시되지 않은 덮개가 배치 형성되어 있다.
제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 및 제 2 테이프 유닛 지지 수단 (12) 의 각각의 케이스 (110) 의 개구 (110a) 의 바로 아래에는, 1 쌍의 가이드 롤러 (14) 가 각각 배치 형성되어 있고, 케이스 (110) 로부터 인출된 테이프 유닛 (TU) 을, 도 1 에 나타내는 테이프 유닛 인도 (引渡) 수단 (17) 을 향하여 가이드할 수 있다.
도시의 예에서는, 제 2 테이프 유닛 지지 수단 (12) 측의 가이드 롤러 (14) 의 근방에 송출 유닛 (2) 을 향하여 테이프 유닛 (TU) 을 가이드하는 가이드 롤러 (15) 가 배치 형성되어 있다.
테이프 유닛 인도 수단 (17) 은, 지지 부재 (171) 의 하단에 접속된 회전 기구 (172) 와, 회전 기구 (172) 에 접속된 아암부 (173) 와, 클램프 등으로 이루어지고 아암부 (173) 의 선단에 배치 형성된 테이프 유닛 협지부 (174) 와, 지지 부재 (171) 를 X 축 방향으로 슬라이드 이동시키는 슬라이드 기구 (175) 를 구비하고 있다. 테이프 유닛 협지부 (174) 는, 테이프 유닛 (TU) 의 단부의 Y 축 방향 양단을 협지하는 것이 가능하게 되어 있다.
회전 기구 (172) 는, Y 축 방향에서 보아 시계 회전 방향 또는 반시계 회전 방향으로 회전 가능하게 되어 있고, 테이프 유닛 협지부 (174) 를, 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 으로부터 인출된 테이프 유닛 (TU) 을 테이프 유닛 협지부 (174) 가 협지 가능해지는 제 1 협지 위치 (P1) 와, 제 2 테이프 유닛 지지 수단 (12) 으로부터 인출된 테이프 유닛 (TU) 을 협지하는 제 2 협지 위치 (P2) 와, 테이프 유닛 (TU) 이 송출 유닛 (2) 에 의해 협지된 후에 테이프 유닛 협지부 (174) 가 테이프 유닛 (TU) 을 개방하는 개방 위치 (P3) 에 위치시킬 수 있다.
슬라이드 기구 (175) 는, X 축 방향으로 연장되는 베이스 (175a) 와, 베이스 (175a) 에 있어서 X 축 방향으로 슬라이드 이동 가능한 슬라이더 (175b) 와, 슬라이더 (175b) 를 이동시키는 도시되지 않은 볼 나사 기구에 의해 구성되어 있다. 그리고, 슬라이더 (175b) 가 베이스 (175a) 에 있어서 X 축 방향으로 슬라이드 이동함으로써, 회전 기구 (172) 와 함께 테이프 유닛 협지부 (174) 를 X 축 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있다.
송출 유닛 (2) 은, 적어도 구동 롤러 (21) 와, Z 축 방향에 있어서 대향하는 2 개의 종동 롤러 (22) 와, 구동 롤러 (21) 와 종동 롤러 (22) 를 상대적으로 접근 또는 이간시키는 이동 기구 (23) 에 의해 구성되어 있다. 이동 기구 (23) 는, X 축 방향으로 연장되는 가이드 레일 (231) 과, 가이드 레일 (231) 에 있어서 X 축 방향으로 이동 가능한 이동부 (232) 에 의해 구성되어 있다. 측면에서 봤을 때 대략 コ 자상의 이동부 (232) 는, 그 각 선단에 있어서 2 개의 종동 롤러 (22) 를 지지하고 있다. 이동부 (232) 가 가이드 레일 (231) 을 따라 이동함으로써, 구동 롤러 (21) 와 2 개의 종동 롤러 (22) 를 X 축 방향에 있어서 상대적으로 접근 또는 이간시킬 수 있다.
도 2, 3 에 나타내는 바와 같이, 인출된 테이프 유닛 (TU) 을 굴곡시켜 시트 (T1) 로부터 다이싱 테이프 (T2) 를 박리시키는 필 플레이트 (50) 는, 예를 들어, 테이프 유닛 (TU) 의 폭 (Y 축 방향 길이) 이상의 길이로 Y 축 방향으로 연장되어 있고, 첩착 롤러 (60) 를 향하여 기울어진 상측으로부터 연장되는 기대 (51) 상에 가동 부재 (52) 를 개재하여 배치 형성되어 있다. 예를 들어, 필 플레이트 (50) 의 하단측의 선단부 (500) 는, R 상으로 둥글게 되어 있다. 가동 부재 (52) 는, 도시되지 않은 기대 (51) 를 왕복 이동 가능하게 되어 있고, 가동 부재 (52) 가 기대 (51) 의 하단측까지 이동함으로써, 필 플레이트 (50) 가 테이프 유닛 (TU) 중 시트 (T1) 를 압압하여 예각으로 굴곡시킴으로써, 시트 (T1) 로부터 다이싱 테이프 (T2) 를 박리할 수 있다.
예를 들어, 기대 (51) 는 Y 축 방향의 축심 둘레로 회동 (回動) 가능하게 되어 있고, 기대 (51) 가 소정 각도 회동함으로써, 필 플레이트 (50) 의 첩착 롤러 (60) 에 대한 각도를 가변할 수 있다.
도 2 에 나타내는 링 프레임 유지부 (30) 는, 평면에서 봤을 때 원환상이고, 그 상면은 포러스 부재 등으로 이루어지고 도시되지 않은 흡인원에 연통되는 유지면이 된다. 링 프레임 유지부 (30) 에 둘러싸여 링 프레임 (F) 의 개구 내에서 웨이퍼 (W) 를 유지하는 웨이퍼 유지부 (31) 는, 평면에서 봤을 때 원 형상이며, 그 상면은 포러스 부재 등으로 이루어지고 도시되지 않은 흡인원에 연통되는 유지면이 된다.
웨이퍼 유지부 (31) 와 링 프레임 유지부 (30) 는, 지지대 (32) 에 의해 하방으로부터 지지되어 있다. 지지대 (32) 의 하방에는, 지지대 (32) 를 통하여 유지 수단 (3) 을 X 축 방향으로 왕복 이동시키는 유지 수단 이동 수단 (34) 이 배치 형성되어 있다. 유지 수단 이동 수단 (34) 은, X 축 방향으로 연장되는 베이스 (341) 와, 베이스 (341) 를 따라 X 축 방향으로 이동 가능한 이동 기대 (342) 와, 이동 기대 (342) 를 이동시키는 도시되지 않은 볼 나사 기구 등을 구비하고 있다.
지지대 (32) 와 이동 기대 (342) 는, 예를 들어, 실린더 기구 등으로 이루어지는 유지 수단 승강 수단 (35) 을 통하여 접속되어 있다. 유지 수단 승강 수단 (35) 은, 지지대 (32) 를 통하여 유지 수단 (3) 을 Z 축 방향으로 승강시킨다.
Y 축 방향의 축심 둘레로 회전 가능한 첩착 롤러 (60) 는, 유지 수단 (3) 의 상방에 배치 형성되어 있고, 적어도 다이싱 테이프 (T2) 의 직경 이상의 길이로 Y 축 방향으로 연장되어 있다. 첩착 롤러 (60) 에는, 예를 들어 실린더 기구 등으로 이루어지는 첩착 롤러 위치 맞춤 수단 (61) 이 접속되고, 첩착 롤러 위치 맞춤 수단 (61) 에 의해 유지 수단 (3) 에 접근 또는 이간하는 Z 축 방향으로 승강 가능하게 되어 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 첩착 롤러 (60) 와 유지 수단 (3) 의 양방이 Z 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 되어 있는데, 어느 일방만이 Z 축 방향으로 왕복 이동 가능한 구성으로 되어 있어도 된다.
예를 들어 웨이퍼 유지부 (31) 의 상방에는, 시트 (T1) 로부터 벗겨진 다이싱 테이프 (T2) 를 첩착 롤러 (60) 를 따르게 하도록 에어를 분사하는 에어 노즐 (39) 이 배치 형성되어 있다. 에어 노즐 (39) 은 ＋X 방향측을 향하는 분사구 (390) 를 구비하고 있고, 컴프레서 등으로 이루어지는 에어 공급원 (393) 에 연통되어 있다.
유지 수단 (3) 의 이동 경로 상방에는, 도 2 에 나타내는 테이프 유닛 인취 수단 (76) 을 X 축 방향으로 왕복 이동 가능하게 하는 슬라이드 기구 (71) 가 배치 형성되어 있다. 슬라이드 기구 (71) 는, X 축 방향으로 연장되는 베이스 (710) 와, 테이프 유닛 인취 수단 (76) 이 고정되고 베이스 (710) 에 있어서 X 축 방향으로 슬라이드 이동 가능한 슬라이더 (711) 와, 슬라이더 (711) 를 이동시키는 도시되지 않은 볼 나사 기구에 의해 구성되어 있다.
테이프 유닛 인취 수단 (76) 은, 지지 부재 (761) 와, 지지 부재 (761) 의 상단에 배치 형성된 클램프 등의 테이프 유닛 파지부 (762) 를 구비하고 있다. 테이프 유닛 파지부 (762) 는, 테이프 유닛 인도 수단 (17) 의 테이프 유닛 협지부 (174) 가 협지하는 테이프 유닛 (TU) 의 단부의 Y 축 방향 양단을 이어받아 파지할 수 있다.
권취 유닛 (4) 은, 테이프 유닛 인취 수단 (76) 의 X 축 방향의 이동 경로 상에 배치 형성되어 있고, 송출 유닛 (2) 과 대략 동일한 구성으로 되어 있다. 즉, 권취 유닛 (4) 은, 적어도 구동 롤러 (41) 와, X 축 방향에 있어서 대향하는 2 개의 종동 롤러 (42) 와, 구동 롤러 (41) 와 종동 롤러 (42) 를 상대적으로 접근 또는 이간시키는 이동 기구 (43) 에 의해 구성되어 있다. 이동 기구 (43) 는, Z 축 방향으로 연장되는 가이드 레일 (431) 과, 가이드 레일 (431) 에 있어서 Z 축 방향으로 이동 가능한 이동부 (432) 에 의해 구성되어 있다. 이동부 (432) 는, 그 각 상단에 있어서 2 개의 종동 롤러 (42) 를 지지하고 있다. 이동부 (432) 가 가이드 레일 (431) 을 따라 이동함으로써, 구동 롤러 (41) 와 종동 롤러 (42) 를 Z 축 방향에 있어서 상대적으로 접근 또는 이간시킬 수 있다.
슬라이드 기구 (71) 의 베이스 (710) 의 -X 방향측의 단측에는, 시트 (T1) 를 폐기하는 폐기 수단 (73) 이 배치되어 있다. 폐기 수단 (73) 은, 시트 (T1) 의 단부의 Y 축 방향의 양단을 파지부 (731a) 에 의해 파지함과 함께 그 외주면에 시트 (T1) 를 롤상으로 권취하는 권취부 (731) 와, 권취부 (731) 를 회전시키는 도시되지 않은 모터와, 권취부 (731) 의 하방에 배치 형성되고 롤상으로 감긴 시트 (T1) 를 파지부 (731a) 가 떼어 놓음으로써 시트 (T1) 가 낙하하는 폐기 박스 (732) 를 구비하고 있다.
이하에, 테이프 첩착 장치 (1) 의 동작예에 대해 설명한다. 먼저, 웨이퍼 (W) 가 유지 수단 (3) 의 웨이퍼 유지부 (31) 에 서로의 중심을 대략 맞춰 재치 (載置) 됨과 함께, 링 프레임 (F) 이 링 프레임 유지부 (30) 에 재치된다. 계속해서, 도시되지 않은 흡인원이 작동하여, 웨이퍼 유지부 (31) 의 유지면에서 웨이퍼 (W) 가 흡인 유지되고, 링 프레임 유지부 (30) 의 유지면에서 링 프레임 (F) 이 흡인 유지된다.
테이프 유닛 인도 수단 (17) 은, 예를 들어, 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 을 선택하여, 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 으로부터 테이프 유닛 (TU) 을 인출한다. 즉, 회전 수단 (114) 에 의해, 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 내의 롤상의 테이프 유닛 (TU) 을 정회전 방향 (예를 들어, 지면 앞에서 보아 시계 회전 방향) 으로 회전시키면서, 띠상이 된 테이프 유닛 (TU) 이 개구 (110a) 및 1 쌍의 가이드 롤러 (14) 사이로 통과되어, 1 쌍의 가이드 롤러 (14) 에 의해 하방으로 송출된다. 또, 회전 기구 (172) 및 슬라이드 기구 (175) 에 의해 제 1 협지 위치 (P1) 에 테이프 유닛 협지부 (174) 가 위치되고, 1 쌍의 가이드 롤러 (14) 에 의해 송출되어 오는 테이프 유닛 (TU) 의 단부의 Y 축 방향 양단을 테이프 유닛 협지부 (174) 가 협지한다.
슬라이드 기구 (175) 에 의해, 테이프 유닛 (TU) 을 협지한 테이프 유닛 협지부 (174) 가 ＋X 방향으로 이동하고, 이에 수반하여, 테이프 유닛 (TU) 이 제 1 테이프 유닛 지지 수단 (11) 으로부터 더욱 인출된다. 회전 기구 (172) 가 예를 들어 시계 회전 방향으로 회전함으로써, 테이프 유닛 협지부 (174) 로 협지하고 있는 테이프 유닛 (TU) 을, 가이드 롤러 (15) 에 거는 것과 함께 송출 유닛 (2) 의 구동 롤러 (21) 와 종동 롤러 (22) 사이를 통과하여 구동 롤러 (21) 에 걸고, 테이프 유닛 협지부 (174) 를 개방 위치 (P3) 로 이동시킨다.
이어서, 슬라이드 기구 (71) 에 의해, 슬라이더 (711) 가 베이스 (710) 를 따라 예를 들어 ＋X 방향으로 슬라이드 이동하고, 테이프 유닛 파지부 (762) 가 개방 위치 (P3) 로 이동한다. 테이프 유닛 협지부 (174) 가 개방 위치 (P3) 에서 테이프 유닛 (TU) 을 개방하면, 테이프 유닛 파지부 (762) 에 의해 테이프 유닛 (TU) 의 단부의 Y 축 방향 양단을 이어받아 파지한다. 또한, 슬라이드 기구 (71) 에 의해, 테이프 유닛 파지부 (762) 가 -X 방향으로 이동하고, 테이프 유닛 파지부 (762) 에서 파지되고 있는 테이프 유닛 (TU) 이 동방향으로 인장되어, 권취 유닛 (4) 의 구동 롤러 (41) 와 종동 롤러 (42) 사이를 통과하고, 테이프 유닛 (TU) 이 폐기 수단 (73) 의 권취부 (731) 까지 유도된다. 그리고, 권취부 (731) 의 파지부 (731a) 가 테이프 유닛 (TU) 의 단부의 Y 축 방향 양단을 파지한다.
송출 유닛 (2) 의 이동 기구 (23) 에 의해, 2 개의 종동 롤러 (22) 가 구동 롤러 (21) 에 접근하고, 구동 롤러 (21) 와 2 개의 종동 롤러 (22) 에 의해 테이프 유닛 (TU) 이 협지된다. 또, 권취 유닛 (4) 의 이동 기구 (43) 에 의해, 2 개의 종동 롤러 (42) 가 구동 롤러 (41) 에 접근하고, 구동 롤러 (41) 와 2 개의 종동 롤러 (42) 에 의해 테이프 유닛 (TU) 이 협지된다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 이동 수단 (34) 이 유지 수단 (3) 을 X 축 방향으로 이동시킴으로써, 링 프레임 (F) 을 유지하는 링 프레임 유지부 (30) 가 첩착 롤러 (60) 의 바로 아래에 위치하게 된다. 또, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어, 유지 수단 승강 수단 (35) 이 유지 수단 (3) 을 Z 축 방향으로 이동시킴으로써, 첩착 롤러 (60) 가, 다이싱 테이프 (T2) 를 링 프레임 유지부 (30) 에서 유지된 링 프레임 (F) 에 첩착할 때의 정지 높이 위치보다 약간 상방에 위치한 상태가 된다.
또, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 가동 부재 (52) 가 기대 (51) 의 하단측까지 이동함으로써, 예를 들어, 선단부 (500) 가 에어 노즐 (39) 로부터 분사되는 에어의 이동 경로 상보다 약간 상방의 위치에 위치하도록, 필 플레이트 (50) 가 이동된다. 그리고, 필 플레이트 (50) 의 선단부 (500) 와 첩착 롤러 (60) 의 측면의 간극 (S) 을 테이프 유닛 (TU) 이 통과하고 있는 상태가 된다. 또한, 간극 (S) 은, 테이프 유닛 (TU) 이 간신히 통과할 수 있을 만큼의 작은 간극이다. 또, 필 플레이트 (50) 의 선단부 (500) 가 테이프 유닛 (TU) 의 시트 (T1) 에 접촉·압압하여, 시트 (T1) 를 내측으로 하여 테이프 유닛 (TU) 을 굴곡시켜 예각으로 형성한다. 그렇게 하면, 테이프 유닛 (TU) 으로부터 다이싱 테이프 (T2) 가 박리되어, 첩착 롤러 (60) 의 하방으로 다이싱 테이프 (T2) 가 이송된다.
이 상태에서, 에어 공급원 (393) 으로부터 압축 에어가 에어 노즐 (39) 에 공급된다. 그리고, 에어 노즐 (39) 로부터 분사된 에어가, 첩착 롤러 (60) 의 하방으로 이송된 다이싱 테이프 (T2) 에 분사되어, 이로써, 첩착 롤러 (60) 의 측면에 다이싱 테이프 (T2) 가 따르게 된다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 에어에 의해 첩착 롤러 (60) 의 측면에 다이싱 테이프 (T2) 를 따르게 한 상태로, 첩착 롤러 (60) 가 소정의 회전 속도로 회전하면서, 첩착 롤러 위치 맞춤 수단 (61) 에 의해 첩착 롤러 (60) 가 첩착할 때의 정지 위치까지 하강함으로써, 링 프레임 유지부 (30) 에 유지된 링 프레임 (F) 의 일방측으로부터 다이싱 테이프 (T2) 가 가압된다. 또한, 예를 들어, 도 4 에 나타내는 필 플레이트 (50) 의 선단부 (500) 의 최하단과, 웨이퍼 (W) 의 상면 (Wb) 의 거리는 종래보다 큰 4.7 ㎜ 로 설정되어 있다. 또, 도 3 에 나타내는 간극 (S) 은 더욱 작아진다.
유지 수단 이동 수단 (34) 에 의해 링 프레임 유지부 (30) 및 웨이퍼 유지부 (31) 가 ＋X 방향으로 송출되어 가, 회전하는 첩착 롤러 (60) 에 의해 웨이퍼 (W) 및 링 프레임 (F) 에 대해 다이싱 테이프 (T2) 가 가압된다. 이 때, 도 2 에 나타내는 송출 유닛 (2) 은, 구동 롤러 (21) 를 소정의 회전 속도로 회전시키면서, 2 개의 종동 롤러 (22) 도 구동 롤러 (21) 의 회전에 수반하여 회전시켜, 테이프 유닛 (TU) 을 유지 수단 (3) 을 향하여 하방으로 유도한다. 또, 권취 유닛 (4) 에 있어서는, 구동 롤러 (41) 를 소정의 회전 속도로 회전시키면서, 2 개의 종동 롤러 (42) 도 구동 롤러 (41) 의 구동에 수반하여 회전시켜, 필 플레이트 (50) 에 의해 다이싱 테이프 (T2) 가 박리된 시트 (T1) 를 필 플레이트 (50) 로부터 폐기 수단 (73) 까지 유도한다.
그리고, 첩착 롤러 (60) 로 다이싱 테이프 (T2) 를 가압하면서, 유지 수단 (3) 을 소정의 위치에 이를 때까지 ＋X 방향으로 이동시키면, 웨이퍼 (W) 와 링 프레임 (F) 에 1 장의 다이싱 테이프 (T2) 를 첩착할 수 있다.
여기서, 다이싱 테이프 (T2) 의 웨이퍼 (W) 및 링 프레임 (F) 에 대한 첩착시의 종래의 문제점에 대하여, 도 6 을 사용하여 간결하게 설명한다. 종래에 있어서는, 가동 부재 (52) 가 기대 (51) 의 하단측까지 이동함으로써, 선단부 (500) 가 에어 노즐 (39) 로부터 분사되는 에어의 이동 경로 상에 위치하도록 필 플레이트 (50) 가 이동되어 있고, 예를 들어, 첩착할 때의 정지 높이 위치에 위치된 필 플레이트 (50) 의 선단부 (500) 의 최하단과, 웨이퍼 (W) 의 상면 (Wb) 의 거리는 3.5 ㎜ 로 설정되어 있었다. 그리고, 선단부 (500) 와 첩착 롤러 (60) 의 측면 사이에 큰 간극 (S1) 이 형성됨으로써, 다이싱 테이프 (T2) 가 느슨해져, 에어 노즐 (39) 로부터 에어를 분사해도 첩착 롤러 (60) 의 측면에 다이싱 테이프 (T2) 가 충분히 따르지 않았었다. 그 때문에, 링 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 에 첩착한 다이싱 테이프 (T2) 의 텐션이 균일해지지 않았다.
한편, 본 발명에 관련된 테이프 첩착 장치 (1) 에 있어서는, 첩착할 때의 필 플레이트 (50) 를 종래보다 상방에 위치시켜 필 플레이트 (50) 의 선단부 (500) 와 첩착 롤러 (60) 의 측면의 간극 (S) 을 작게 하고, 필 플레이트 (50) 에 의해 굴곡시킨 시트 (T1) 로부터 벗겨진 다이싱 테이프 (T2) 를, 에어 노즐 (39) 로부터 분사하는 에어에 의해 첩착 롤러 (60) 의 측면을 따르게 하여, 다이싱 테이프 (T2) 에 느슨함을 발생시키지 않도록 첩착 롤러 (60) 의 측면을 따르고 있는 상태로 링 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 에 첩착하므로, 첩착한 다이싱 테이프 (T2) 의 텐션을 균일하게 할 수 있다.
또한, 링 프레임 (F) 에 다이싱 테이프 (T2) 를 첩착하는 방법은, 에어 노즐 (39) 로부터 분사하는 에어에 의해 첩착 롤러 (60) 의 측면에 다이싱 테이프 (T2) 를 따르게 한 상태로, 첩착 롤러 (60) 를 링 프레임 유지부 (30) 를 향하여 첩착 롤러 위치 맞춤 수단 (61) 으로 하강시켜도 되고, 첩착 롤러 (60) 를 향하여 웨이퍼 유지부 (31) 와 링 프레임 유지부 (30) 를 유지 수단 승강 수단 (35) 으로 상승시켜도 된다.
도 2, 4 에 나타내는 다이싱 테이프 (T2) 가 박리된 시트 (T1) 는, 권취 유닛 (4) 에 의해 권취되어, 권취 유닛 (4) 으로부터 폐기 수단 (73) 의 권취부 (731) 에 송출된다. 시트 (T1) 는, 도시되지 않은 모터에 의해 회전하는 권취부 (731) 의 외주면에 있어서 롤상으로 권취되어 가, 시트 롤로 형성된다. 권취부 (731) 가 소정의 길이분 시트 (T1) 를 권취하여 시트 롤을 형성한 후, 파지부 (731a) 가 시트 롤의 파지를 해제하고, 시트 롤을 폐기 박스 (732) 에 폐기한다.
다이싱 테이프 (T2) 를 개재하여 링 프레임 (F) 과 일체가 된 웨이퍼 (W) 는, 도시되지 않은 반송 수단에 의해 예를 들어 다이싱 장치 등으로 이송되어 다이싱 등이 실시된다. 이와 같이 하여 1 장의 웨이퍼 (W) 에 대한 다이싱 테이프 (T2) 의 첩착 동작이 완료되면, 순차 새로운 웨이퍼 (W) 를 웨이퍼 유지부 (31) 에 반송함과 함께 링 프레임 (F) 을 링 프레임 유지부 (30) 에 반송하여, 상기와 같이, 다이싱 테이프 (T2) 의 첩착 동작과, 다이싱 테이프 (T2) 로부터 박리된 시트 (T1) 의 권취 동작을 반복하여 실시한다.
본 발명에 관련된 테이프 첩착 장치 (1) 는 본 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다. 예를 들어, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 기대 (51) 가 ＋Z 방향에서 -X 방향으로 반시계 회전 방향으로 회동하고, 필 플레이트 (50) 가 수평 방향을 향하여 소정 각도 기울어짐으로써, 다이싱 테이프 (T2) 첩착시에 있어서의 테이프 유닛 (TU) 의 각도가, 이점 쇄선으로 나타내는 종래의 테이프 유닛 (TU) 의 각도보다 더욱 예각이 되도록 해도 된다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 필 플레이트 (50) 가 수평 방향을 향하여 종래보다 기울어짐으로써, 필 플레이트 (50) 의 선단부 (500) 와 첩착 롤러 (60) 의 측면의 간극을 테이프 유닛 (TU) 이 통과할 만큼의 작은 간극으로 하는 것이 가능해진다.
이 상태에서, 에어 노즐 (39) 로부터 분사된 에어가, 첩착 롤러 (60) 의 하방으로 이송된 다이싱 테이프 (T2) 에 분사되고, 이로써, 첩착 롤러 (60) 의 측면에 다이싱 테이프 (T2) 가 따르게 되기 때문에, 다이싱 테이프 (T2) 에 느슨함을 발생시키지 않도록 첩착 롤러 (60) 의 측면을 따르고 있는 상태로 다이싱 테이프 (T2) 는 링 프레임 (F) 과 웨이퍼 (W) 에 첩착되므로, 첩착한 다이싱 테이프 (T2) 의 텐션을 균일하게 할 수 있다.
TU：테이프 유닛
T1：시트
T5：점착 테이프
T51：기재
T52：점착제층
T2：다이싱 테이프
T3：권통
W：웨이퍼
F：링 프레임
1：테이프 첩착 장치
11：제 1 테이프 유닛 지지 수단
110：케이스
110a：개구
111：선단 검출부
113：지지 기둥
114：회전 수단
12：제 2 테이프 유닛 지지 수단
14：1 쌍의 가이드 롤러
15 ：가이드 롤러
17：테이프 유닛 인도 수단
171：지지 부재
172：회전 기구
173：아암부
174：테이프 유닛 협지부
175：슬라이드 기구
175a：베이스
175b：슬라이더
3：유지 수단
30：링 프레임 유지부
31：웨이퍼 유지부
32：지지대
34：유지 수단 이동 수단
341：베이스
342：이동 기대
35：유지 수단 승강 수단
2：송출 유닛
21：구동 롤러
22：종동 롤러
23：이동 기구
231：가이드 레일
232：이동부
4：권취 유닛
41：구동 롤러
42：종동 롤러
43：이동 기구
431：가이드 레일
432：이동부
50：필 플레이트
500：선단부
51：기대
52：가동 부재
60：첩착 롤러
61：첩착 롤러 위치 맞춤 수단
39：에어 노즐
390：분사구
393：에어 공급원
76：테이프 유닛 인취 수단
761：지지 부재
762：테이프 유닛 파지부
71：슬라이드 기구
710：베이스
711：슬라이더
73：폐기 수단
731：권취부
731a：파지부
732：폐기 박스

Claims (1)

  1. 띠상의 시트의 길이 방향으로 원형의 다이싱 테이프를 나열하여 첩착한 띠상의 테이프 유닛의 그 시트로부터 그 다이싱 테이프를 벗기고, 링 프레임과 그 링 프레임의 개구에 배치한 웨이퍼에 첩착하고, 그 링 프레임과 웨이퍼를 그 다이싱 테이프로 일체화시키는 테이프 첩착 장치로서,
    그 링 프레임을 유지하는 링 프레임 유지부와, 그 링 프레임의 그 개구 내에서 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼 유지부를 갖는 유지 수단과,
    그 테이프 유닛을 사이에 두고 회전하여 그 테이프 유닛을 송출하는 송출 유닛과,
    그 다이싱 테이프가 벗겨진 그 시트를 사이에 두고 회전하여 그 시트를 권취하는 권취 유닛과,
    그 송출 유닛과 그 권취 유닛 사이에서 그 시트에 접촉시켜 그 시트를 내측으로 하여 그 테이프 유닛을 굴곡시켜 그 시트로부터 그 다이싱 테이프를 박리시키는 필 플레이트와,
    그 시트로부터 박리한 그 다이싱 테이프를 그 링 프레임과 웨이퍼에 가압하면서 첩착하는 첩착 롤러와,
    그 시트로부터 벗겨진 그 다이싱 테이프를 그 첩착 롤러를 따르게 하도록 에어를 분사하는 에어 노즐을 구비하고,
    그 필 플레이트의 선단부와 그 첩착 롤러의 측면의 간극을 그 테이프 유닛이 통과하고, 그 필 플레이트의 선단부에서 박리된 그 다이싱 테이프를 그 에어 노즐로부터 분사하는 에어에 의해 그 첩착 롤러의 측면을 따르게 하여, 그 다이싱 테이프에 느슨함을 발생시키지 않도록 하여, 그 링 프레임과 그 웨이퍼에 첩착하는, 테이프 첩착 장치.
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