KR20190059975A - 연마 패드 및 그의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는, 장수명이면서, 연마 레이트가 높고, 피가공물의 고도의 평탄성을 실현 가능한 연마 패드 및 그의 제조 방법을 제공하는 것이며, 해결 수단은, 바다 성분과 섬 직경이 10 내지 2500nm인 섬 성분을 포함하는 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유를 포함하는 부직포로부터 상기 바다 성분을 제거하고, 고분자 탄성체를 부여하는 것이다.

Description

연마 패드 및 그의 제조 방법

본 발명은, 반도체 기판, 반도체 디바이스, 화합물 반도체 기판, 화합물 반도체 디바이스 등의 각종 디바이스를 연마하기 위한 연마 패드 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.

최근 몇년간, 집적 회로의 고집적화 및 다층 배선화에 따라, 집적 회로가 형성되는 반도체 웨이퍼 등에는 고도의 평탄성이 요구되고 있다. 그리고 이러한 반도체 웨이퍼 등을 연마하기 위한 연마 방법으로서, 케미컬 메커니컬 연마(CMP)가 알려져 있다. 케미컬 메커니컬 연마는, 지립의 슬러리를 적하하면서, 연마 패드에 의해 피가공물의 표면을 연마하는 방법이다. 또한, 반도체 웨이퍼 등을 연마할 때, 가공이 곤란하기 때문에 연마 시간이 길어지고, 가공 비용이 커진다는 문제가 있었다.

이러한 이유로부터, 피가공물의 우수한 평탄성과 고연마 레이트를 실현 가능한 연마 패드가 요구되고 있다. 또한 동시에, 연마 패드에는 장수명인 것이 요구되고 있다.

그러나, 피가공물의 우수한 평탄성과 고연마 레이트는 상반된 요구 항목이며, 양자를 양립시키는 것은 매우 곤란하였다. 즉, 피가공물의 우수한 평탄성을 실현하기 위해서는, 유연하고 평활한 면을 갖는 연마 패드가 유리하다. 한편, 고연마 레이트를 실현하기 위해서는, 단단하고 요철이 큰 표면을 갖는 연마 패드가 유리하다.

예를 들어, 특허문헌 1에서는, 극세 섬유와 고분자 탄성체를 사용한 연마 패드가 제안되어 있다. 그러나, 기재에 고분자 탄성체를 함침한 후에 해도형 복합 섬유를 극세 섬유로 하고 있기 때문에, 연마 패드 내에 공극이 많고, 지나치게 유연하다는 문제가 있었다. 이러한 연마 패드는 고경도가 되기 어렵기 때문에, 피가공물의 우수한 평탄성이나 장수명화를 달성하는 것이 곤란하였다.

또한, 특허문헌 2에는, 극세 섬유를 사용하여 치밀한 부직포와 고분자 탄성체를 포함하는 연마 패드가 제안되어 있다. 이러한 연마 패드에서는, 장섬유의 극세 섬유를 포함하는 섬유 다발에 의해 높은 강성을 유지하고 있다. 그러나, 연마 패드가 치밀화되어 공극률이 낮기 때문에, 충분히 연마 지립을 저류하는 것이 곤란하며, 고연마 레이트를 실현하기 어렵다는 문제가 있었다.

일본 특허 공개 제2012-071415호 공보 일본 특허 공개 제2015-063782호 공보

본 발명은, 장수명이면서, 연마 레이트가 높고, 피가공물의 우수한 평탄성을 실현 가능한 연마 패드 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명자들은 상기한 과제를 달성하기 위해 예의 검토한 결과, 사용하는 섬유의 종류나 표면 상태 등을 교묘하게 궁리함으로써, 장수명이면서, 연마 레이트가 높고, 피가공물의 우수한 평탄성을 실현 가능한 연마 패드가 얻어진다는 것을 알아내어, 더욱 예의 검토를 거듭함으로써 본 발명을 완성하기에 이르렀다.

이와 같이 하여, 본 발명에 따르면 「연마 패드로서, 섬유 직경이 10 내지 2500nm인 극세 섬유와, 바인더 섬유와, 고분자 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 패드.」가 제공된다.

이 때, 공극률이 50％ 이상이고, 또한 굽힘 강도가 5.0N/mm² 이상인 것이 바람직하다. 또한, 표면이 기모되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 극세 섬유에 있어서 제타 전위가 -20mV 이하인 것이 바람직하다. 또한, 상기 극세 섬유가, 폴리아미드 또는 폴리에스테르를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 바인더 섬유가 코어 시스형 복합 섬유인 것이 바람직하다. 또한, 상기 극세 섬유와 바인더 섬유의 중량비가 (극세 섬유/바인더 섬유) 50/50 내지 97/3의 범위 내인 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따르면, 「바다 성분과 섬 직경이 10 내지 2500nm인 섬 성분을 포함하는 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유를 포함하는 부직포로부터 상기 바다 성분을 제거하고, 고분자 탄성체를 부여하는 것을 특징으로 하는 연마 패드의 제조 방법.」이 제공된다.

이 때, 상기 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유의 단섬유 섬도비가 (해도형 복합 섬유:바인더 섬유) 1:0.49 내지 1:0.70의 범위 내인 것이 바람직하다. 또한, 상기 부직포가 니들 펀치 부직포인 것이 바람직하다. 또한, 상기 부직포의 단위 면적당 중량이 300 내지 600g/m²의 범위 내인 것이 바람직하다. 또한, 상기 부직포에 있어서 경사 또는 위사 방향의 인장 강도가 100N/cm 이상인 것이 바람직하다. 또한, 표면을 더 기모하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 장수명이면서, 연마 레이트가 높고, 피가공물의 우수한 평탄성을 실현 가능한 연마 패드 및 그의 제조 방법이 제공된다.

본 발명의 연마 패드는, 극세 섬유와 바인더 섬유와 고분자 탄성체를 포함한다. 여기서, 상기 극세 섬유는, 가용성 수지를 바다 성분으로 한 해도형 복합 섬유로부터 바다 성분을 용해 제거하여 얻어지는 것인 것이 바람직하다.

상기 극세 섬유는, 그의 제타 전위가, 연마제가 갖는 제타 전위보다도 섬유의 제타 전위가 마이너스측인 것이 바람직하다. 수치적으로는 -20mV 이하(보다 바람직하게는 -40 내지 -80mV)의 제타 전위를 갖는 것이 바람직하다. 연마제가 갖는 제타 전위로서는 -40 내지 -80mV의 범위인 것이 바람직하다. 이러한 극세 섬유를 사용함으로써, 연마 지립 입자의 응집을 방지하고, 가공 기판으로의 작용 지립수를 높여, 고연마 레이트와 저표면 조도(스크래치리스)를 동시에 달성하는 것이 보다 용이해진다. 극세 섬유의 제타 전위가 커지면, 연마제와 합쳤을 때에, 연마제의 제타 전위가 플러스측으로 시프트하고, 연마 지립 입자의 응집이 발생하고, 작용 지립수가 낮아지고, 연마 레이트가 낮아지는 경향이 된다. 또한, 표면 조도가 나빠지고, 스크래치가 발생하기 쉬워질 우려가 있다.

상기 극세 섬유를 구성하는 폴리머로서는, 어떠한 폴리머여도 된다. 그 중에서도, 섬유 형성성이 우수한, 폴리아미드(나일론), 폴리에스테르, 폴리올레핀, 폴리페닐렌술피드 등을 적합한 예로서 들 수 있다.

여기서, 폴리아미드계 수지로서는, 6-아미노카프로산, 11-아미노운데칸산, 12-아미노도데칸산, 파라아미노메틸벤조산 등의 아미노산이나 ε-카프로락탐, ω-라우로락탐 등의 락탐을 주된 원료로 하는 폴리아미드 이외에, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 세바스산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 피멜산, 수베르산, 아젤라산, 운데칸이산, 도데칸이산, 테트라데칸이산, 펜타데칸이산, 옥타데칸이산 등의 지방족 디카르복실산, 나아가 테레프탈산, 이소프탈산, 나프탈렌디카르복실산 등의 방향족 디카르복실산을 주된 산 성분으로 하고, 테트라메틸렌디아민, 헥사메틸렌디아민, 1,5-펜탄디아민, 2-메틸펜타메틸렌디아민, 노나메틸렌디아민, 운데카메틸렌디아민, 도데카메틸렌디아민 등을 디아민 성분으로 하는 공중합 폴리아미드 등이 예시된다.

또한 폴리에스테르 수지로서는, 제사성(製絲性), 극세 섬유의 물성의 관점에서, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 등이 바람직하다.

해당 폴리머 중에는, 본 발명의 목적을 손상시키지 않는 범위 내에서 공중합 성분이 포함되어 있어도 된다. 공중합 가능한 화합물은, 산 성분으로서, 예를 들어 이소프탈산, 시클로헥산디카르복실산, 아디프산, 다이머산, 세바스산, 2,6-나프탈렌디카르복실산 등의 디카르복실산류, 글리콜 성분으로서는, 예를 들어 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 부탄디올, 네오펜틸글리콜, 시클로헥산디메탄올, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등이 예시된다. 물론, 이들로 한정되는 것은 아니다.

폴리페닐렌술피드 수지로서는, 그의 구성 단위로서, 예를 들어 p-페닐렌술피드 단위, m-페닐렌술피드 단위, o-페닐렌술피드 단위, 페닐렌술피드술폰 단위, 페닐렌술피드케톤 단위, 페닐렌술피드에테르 단위, 디페닐렌술피드 단위, 치환기 함유 페닐렌술피드 단위, 분지 구조 함유 페닐렌술피드 단위 등을 포함하는 것이 예시된다. 그 중에서도, p-페닐렌술피드 단위를 70몰％ 이상(보다 바람직하게는 90몰％ 이상 함유하고 있는 것이 바람직하다. 나아가, 폴리(p-페닐렌술피드)가 보다 바람직하다.

상기 극세 섬유에 있어서, 섬유 직경이 10 내지 2500nm의 범위 내일 필요가 있다. 섬유 직경이 10nm 미만인 경우에는, 단섬유당의 강력이 작아지고, 마찰에 의한 단섬유 끊어짐이 발생하여 사용이 곤란해질 우려가 있다. 한편, 섬유 직경이2500nm를 초과하면, 극세 섬유 특유의 치밀성이 저하되고, 피연마물의 표면 조도가 커져, 최근 몇년간 요구되고 있는 레벨의 성능이 얻어지지 않을 우려가 있다. 극세 섬유의 섬유 직경으로서는 200 내지 1000nm(보다 바람직하게는 400 내지 700nm)의 범위인 것이 바람직하다. 이러한 범위에서는 섬유간의 공극 간격이 적절하며, 지립을 많이 유지하는 것이 가능해진다. 섬유 직경이 지나치게 크면, 섬유간의 공극 간격이 넓어지고, 그 결과, 작용 지립수가 낮아져 연마 레이트가 낮아질 우려가 있다. 반대로, 섬유 직경이 지나치게 작으면, 섬유간 공극이 작아져 지립의 유지성이 저하될 우려가 있다.

상기한 섬유 직경은 투과형 전자 현미경 TEM으로, 배율 30000배로 단섬유의 단면 사진을 촬영하여 측정할 수 있다. 이 때, 측장 기능을 갖는 TEM에서는, 측장 기능을 활용하여 측정할 수 있다. 또한, 측장 기능이 없는 TEM에서는, 찍은 사진을 확대 카피하여, 축척을 고려한 후에 자로 측정하면 된다.

이 때, 단섬유의 횡단면 형상이 환단면 이외의 이형 단면인 경우에는, 단섬유 직경은, 단섬유의 횡단면의 외접원의 직경을 사용하는 것으로 한다.

본 발명에 있어서, 상기 극세 섬유가 집합하여 섬유 다발의 형상을 취하는 것이 바람직하다. 이 때, 1개의 섬유 다발을 구성하는 극세 섬유의 수로서는 200 내지 20000개(보다 바람직하게는 400 내지 1000개)이면, 적당한 유연성을 확보하기 쉬워져 바람직하다.

상기 극세 섬유의 길이로서는 30 내지 100mm(보다 바람직하게는 40 내지 80mm)의 범위이면, 극세 섬유간이나 바인더 섬유와의 사이에 양호한 얽힘이 발생하기 쉬워 바람직하다.

또한 본 발명의 연마 패드는, 바인더 섬유를 포함할 필요가 있다. 바인더 섬유의 섬유 직경(단섬유 직경)으로서는, 상기 극세 섬유보다도 큰 것이 바람직하다. 특히 1 내지 20㎛의 범위 내인 것이 바람직하다. 해당 섬유 직경이 지나치게 작으면, 인장 강도가 낮고, 제조 공정에 있어서 주름 발생의 원인이 될 우려가 있다. 반대로 섬유 직경이 지나치게 크면, 극세 섬유와 바인더 섬유를 포함하는 구조체의 전반적인 상황이 나빠질 우려가 있다.

또한, 바인더 섬유의 단섬유의 단면 형상이 환단면 이외의 이형 단면인 경우에는, 본 발명에서는 외접원의 직경을 섬유 직경으로 한다. 또한, 이러한 섬유 직경은, 투과형 전자 현미경으로 섬유의 횡단면을 촬영함으로써 측정할 수 있다.

또한 바인더 섬유의 길이로서는, 극세 섬유의 길이와 동등한 것이 바람직하다. 구체적으로는 30 내지 100mm(보다 바람직하게는 40 내지 80mm)의 범위의 길이이면, 극세 섬유간(극세 섬유 다발간)이나 바인더 섬유와의 사이에 양호한 얽힘이 일어나기 쉬워져 바람직하다.

상기 바인더 섬유로서는, 코어에 고융점의 열가소성 수지가 존재하고, 시스부에 저융점의 열가소성 수지가 존재하는 코어 시스형 섬유가 바람직하다. 그러한 수지의 조합으로서는, 코어를 구성하는 수지로서는 폴리에스테르 수지나 폴리아미드 수지인 것이 바람직하다. 특히는 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지인 것이 바람직하다. 또한 시스부의 저융점의 열가소성 수지로서는, 폴리올레핀 수지인 것이 바람직하다. 그 중에서도 폴리에틸렌이 바람직하고, 고밀도 폴리에틸렌이 보다 바람직하다.

또한, 상기 바인더 섬유는 미연신 섬유여도 된다. 이러한 미연신 섬유로서는, 방사 속도가 600 내지 1500m/분으로 방사된 미연신 폴리에스테르 섬유가 바람직하다. 폴리에스테르란, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리트리메틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트를 들 수 있다. 바람직하게는, 생산성, 물로의 분산성 등의 이유로부터, 폴리에틸렌테레프탈레이트나 이것을 주성분으로 하는 공중합 폴리에스테르가 바람직하다.

그리고 본 발명의 연마 패드에서는, 극세 섬유가 바인더 섬유에 의해 구속되어 있는 것이 바람직하다. 특히는 극세 섬유를 포함하는 섬유 다발이 그 형상 그대로, 바인더 섬유에 의해 구속되어 있는 것이 바람직하다. 바인더 섬유에 의해 점 접착함으로써, 유연성이 우수하면서 형태 유지성도 우수한 연마 패드가 된다.

본 발명의 연마 패드에 사용되는 극세 섬유와 바인더 섬유의 중량비는, 50/50 내지 97/3인 것이 바람직하다. 이와 같이 극세 섬유의 비율을 50％ 이상으로 함으로써, 극세 섬유와 바인더 섬유로 구성되는 구조체의 두께나 경도가 유지되기 쉬워져, 공정에서의 주름 발생을 억제할 수 있으며, 연마 패드 내의 섬유의 밀도 분포가 안정되는 효과가 있다. 극세 섬유의 중량 비율이 지나치게 작은 경우, 지립의 유지성이 불충분해질 우려가 있다. 반대로, 극세 섬유의 중량 비율이 지나치게 크면, 섬유 구조체가 지나치게 부드러워져, 도중 공정에서의 주름의 발생의 원인이 될 우려가 있다.

본 발명의 연마 패드에 있어서, 섬유만의 밀도(부피 밀도)로서는 0.09g/cm³ 이상(보다 바람직하게는 0.10 내지 0.15g/cm³)의 범위인 것이 바람직하다. 해당 밀도가 지나치게 작은 경우에는, 연마 패드 표면으로의 극세 섬유의 노출이 적어지고, 지립의 유지량이 적어지는 경향이 있으며, 연마 레이트가 저하될 우려가 있다.

본 발명의 연마 패드에 있어서, 적어도 어느 쪽의 표면(바람직하게는 양면)이 기모되어 있는 것이 바람직하다. 기모는 주로 극세 섬유에서 유래하는 것이다. 이러한 극세 섬유를 사용함으로써, 연마 지립 입자의 응집을 방지하고, 가공 기판으로의 작용 지립수를 높여, 고연마 레이트와, 피가공물의 우수한 평활성(저표면 조도, 스크래치리스)을 동시에 달성하는 것이 더욱 용이해진다.

또한 본 발명의 연마 패드에 있어서 공극률이 50％ 이상(보다 바람직하게는 50 내지 65％, 특히 바람직하게는 55 내지 60％)인 것이 바람직하다. 이러한 공극률로 인해, 연마 패드 내에 슬러리를 많이 포함하기 때문에, 피가공물에 부여하는 케미컬 반응이 커지고, 연마 레이트가 향상된다.

또한, 공극률(％)은 하기 식에 의해 산출한다.

공극률(％)=(1-(부피 밀도/이론 밀도))×100

단, 이론 밀도란, 구성 재료의 가중 평균 밀도이며, 하기 식에 의해 산출한다.

이론 밀도(g/cm³)=1÷((수지 비율(％)/100/수지 밀도)+(섬유 비율(％)/100/섬유 밀도))

또한 본 발명의 연마 패드에 있어서, 굽힘 강도(굽힘 세기)가 5.0N/mm²(0.51kgf/mm²) 이상인 것이 바람직하다. 5.9 내지 19.6N/mm²(0.6 내지 2.0kgf/mm²)인 것이 보다 바람직하고, 7.8 내지 15.7N/mm²(0.8 내지 1.6kgf/mm²)인 것이 특히 바람직하다. 굽힘 강도가 5.0N/mm²보다 작으면, 연마시의 가공압에 의해 연마 패드가 변형되어 공극이 찌그러지고, 또한 연마 패드와 피가공물간의 간극이 작아져, 슬러리가 들어가기 어려워진다는 점에서, 연마 레이트가 저하되고, 나아가 피가공물의 평탄성도 나빠질 우려가 있다. 한편, 굽힘 강도(굽힘 세기)가 19.6N/mm²보다 크면, 연마 패드가 지나치게 단단하다는 점에서, 연마 패드와 피가공물의 접촉 면적이 저하되고, 연마 레이트가 저하됨과 함께, 피가공물의 표면 조도도 나빠질 우려가 있다. 또한, 굽힘 강도(굽힘 세기)는 JIS K 6911에 의해 측정한다.

또한 본 발명의 연마 패드는, 상기한 극세 섬유나 바인더 섬유와 함께 고분자 탄성체를 포함하는 것을 필수로 한다.

고분자 탄성체로서는, 폴리우레탄 엘라스토머, 아크릴로니트릴, 부타디엔 러버, 천연 고무, 폴리염화비닐 등을 사용할 수 있다. 그 중에서도, 폴리우레탄 엘라스토머가 가공성의 면에서 바람직하다. 이러한 고분자 탄성체의 부여 방법으로서는, 해당 고분자 탄성체를 도포 혹은 함침한 후, 습식 또는 건식으로 응고시키는 방법, 혹은 에멀션, 라텍스상으로 도포 혹은 함침하여 건식으로 건조, 고착시키는 방법 등 다양한 방법을 채용할 수 있다.

본 발명의 연마 패드에서는, 그의 수지 비율은 연마 패드 중량 대비 40 내지 80중량％인 것이 바람직하다. 수지 비율이 지나치게 적으면, 연마 패드의 경도가 낮아져, 피가공물을 연마했을 때의 평탄성이 나빠지는 경향이 있다. 반대로 수지 비율이 지나치게 커지면, 연마 패드의 공극률이 작아져, 피가공물을 연마할 때에 지립의 교체가 나빠지고, 연마 레이트가 낮아지는 경향이 있다.

또한 고분자 탄성체는 극세 섬유가 구성하는 섬유 다발의 내부에도 존재하면, 형상 유지성이 향상되기 때문에 바람직하다.

또한 연마 패드의 표면 조도(KES 표면 조도 SMD)는 1 내지 10㎛인 것이 바람직하다. 표면 조도가 지나치게 작으면, 연마시에, 연마 패드와 가공 기판 사이에 지립이 들어가기 어렵고, 작용 지립수가 낮아지고, 연마 레이트가 낮아지고, 피가공물의 표면 조도도 나빠질 우려가 있다. 반대로 해당 표면 조도가 지나치게 크면, 연마 후의 피가공물의 평탄성이 나빠질 우려가 있다.

또한, 상기 연마 패드의 경도가, 타입 A 듀로미터로 측정했을 때에 70도 이상인 것이 바람직하다. 나아가 80 내지 95도의 범위인 것이 바람직하다. 해당 경도가 지나치게 작으면, 피가공물을 연마했을 때의 피가공물의 평탄성이 나빠질 우려가 있다.

본 발명의 연마 패드는, 예를 들어 이하의 제조 방법에 의해 얻을 수 있다. 즉, 바다 성분과 섬 직경이 10 내지 2500nm인 섬 성분을 포함하는 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유를 포함하는 부직포로부터 상기 바다 성분을 제거하고, 고분자 탄성체를 부여하는 것을 특징으로 하는 연마 패드의 제조 방법이다.

해도형 복합 섬유를 구성하는 섬 성분의 수지는, 상기한 극세 섬유를 구성하는 수지와 동일하며, 어떠한 폴리머여도 된다. 특히, 섬유 형성성이 우수한, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리올레핀, 폴리페닐렌술피드 등을 적합한 예로서 들 수 있다.

한편, 바다 성분을 구성하는 가용성 수지로서는, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨과 같은 알칼리 금속 화합물 수용액이나, 톨루엔이나 트리클로로에틸렌 등의 유기 용제로 용출 가능한 폴리머를 사용할 수 있다. 단, 본 발명의 제조 방법에서는 이러한 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유를 사용하여 부직포를 얻은 후, 고분자 탄성체를 부여하기 전에, 해도형 복합 섬유의 바다 성분을 제거한다. 고분자 탄성체를 부여하기 전의 부직포는, 단순히 락합(얽힘)과 바인더 섬유와의 결합만으로 그의 형태를 유지하고 있기 때문에, 완만한 조건의 추출 처리인 것이 바람직하다. 특히, 알칼리 감량법이나 열수 추출법으로 바다 성분을 용해 제거하는 방법이 바람직하다.

그 때문에, 바다 성분으로서는, 5-나트륨술포이소프탈산 및 이소프탈산을 특정량 공중합한 공중합 폴리에스테르, 5-나트륨이소프탈산, 이소프탈산 및 폴리알킬렌글리콜 혹은 그의 유도체를 특정량 공중합한 공중합 폴리에스테르, 5-나트륨술포이소프탈산, 이소프탈산 및 지방족 디카르복실산을 특정량 공중합한 공중합 폴리에스테르 등이 바람직하다. 나아가, 바다 성분을 형성하는 성분에 폴리에틸렌글리콜을 공중합하는 것도 바람직하다.

이러한 해도형 복합 섬유는, 국제 공개 제2005/095686호 팸플릿이나 국제 공개 제2008/130019호 팸플릿에 개시된 방법에 의해 제조할 수 있다. 즉, 용융 방사에 사용되는 구금으로서는, 섬 성분을 형성하기 위한 중공핀군이나 미세 구멍군(핀리스)을 갖는 것 등 임의의 것을 사용할 수 있다. 예를 들어, 중공핀이나 미세 구멍으로부터 압출된 섬 성분과 그의 사이를 매립하는 형태로 유로가 설계되어 있는 바다 성분류를 합류하고, 이것을 압축함으로써 해도 단면이 형성되는 방사 구금이어도 된다. 토출된 해도형 복합 섬유는 냉각풍에 의해 고화되고, 소정의 인취 속도로 설정한 회전 롤러 혹은 이젝터에 의해 인취되어 미연신사(복굴절률 Δn이 0.05 이하인 것이 바람직하다.)를 얻는다. 이 인취 속도는 특별히 한정되지 않지만, 200 내지 5000m/분인 것이 바람직하다. 200m/분 이하이면 생산성이 저하될 우려가 있다. 또한, 5000m/분 이상이면 방사 안정성이 저하될 우려가 있다.

얻어진 미연신사는, 필요에 따라 그대로 커트 공정 혹은 그 후의 추출 공정(알칼리 감량 가공)에 사용해도 되고, 연신 공정이나 열 처리 공정을 경유하여 연신사로 한 후, 커트 공정 혹은 그 후의 추출 공정(알칼리 감량 가공)에 사용해도 된다. 이 때, 연신 공정은 방사와 연신을 별도 스텝으로 행하는 별도 연신 방식이어도 되고, 일공정 내에서 방사 후 바로 연신을 행하는 직접 연신 방식을 사용해도 된다. 커트 공정과 추출 공정의 순서는 반대로 해도 된다.

이러한 커트는, 미연신사 또는 연신사를 그대로 또는 수십개 내지 수백만개단위로 묶은 토우(tow)로 하여 기요틴 커터나 로터리 커터 등으로 커트하는 것이 바람직하다.

이어서, 이러한 해도형 복합 섬유와 상기와 같은 바인더 섬유를 사용하여, 부직포를 얻는다. 이 때, 상기 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유의 단섬유 섬도비가 (해도형 복합 섬유:바인더 섬유) 1:0.49 내지 1:0.70의 범위 내이면, 부직포의 밀도 불균일을 저감할 수 있어 바람직하다.

또한, 락합 방법은 니들 펀치나 수류 등 공지된 방법을 사용할 수 있다. 특히, 물리적인 얽힘이 발생하기 쉬운 니들 펀치에 의한 기계 락합을 행하는 방법인 것이 바람직하다.

이러한 부직포에 있어서, 부직포의 단위 면적당 중량이 300 내지 600g/m²의 범위 내인 것이 바람직하다.

또한, 상기 부직포에 있어서 경사 또는 위사 방향의 인장 강도가 100N/cm 이상(바람직하게는 경사 및 위사 방향의 인장 강도가 130 내지 200N/cm)인 것이 바람직하다. 이 인장 강도가 낮은 경우에는, 감량 공정 등에서 주름 발생의 원인이 되기 쉽다. 또한 연마시에 극세 섬유가 탈리되기 쉽고, 연마 패드의 수명이 짧아질 우려가 있다.

이어서, 부직포로부터, 해도형 복합 섬유에 포함되는 바다 성분을 제거한다. 바다 성분을 추출하는 방법은 특별히 제한은 없지만, 바인더 섬유를 손상시키 않는 마일드한 알칼리 감량 처리나 열수 추출 처리인 것이 바람직하다.

이러한 처리에 의해, 부직포에 포함되는 해도형 복합 섬유는 극세 섬유가 된다. 이러한 부직포(함침 처리 전)에 있어서, 열 처리를 행하여 섬유의 부피 밀도를 0.09g/cm³ 이상으로 하는 것이 바람직하다. 나아가 0.10 내지 0.15g/cm³의 섬유 밀도인 것이 바람직하다.

이어서, 부직포에 고분자 탄성체를 부여한다. 이러한 고분자 탄성체로서는, 폴리우레탄 엘라스토머, 아크릴로니트릴, 부타디엔 러버, 천연 고무, 폴리염화비닐 등을 사용할 수 있다. 그 중에서도, 폴리우레탄 엘라스토머가 가공성의 면에서 바람직하다. 이러한 고분자 탄성체의 부여 방법으로서는, 해당 고분자 탄성체를 도포 혹은 함침한 후, 습식 또는 건식으로 응고시키는 방법, 혹은 에멀션, 라텍스상으로 도포 혹은 함침하여 건식으로 건조, 고착시키는 방법 등 다양한 방법을 채용할 수 있다.

고분자 탄성체의 부여 방법으로서는, 2단계의 부여인 것이 바람직하다. 특히 1단째에 유연한 수지를 부착시키고, 2단째에 단단한 수지를 부착시켜, 표면에 높은 모듈러스를 갖는 고분자 탄성체를 부여하는 것이 바람직하다. 혹은, 1단째에 다공질이 되는 습식 함침 폴리우레탄 등을 부여하고, 2단째에 충실층이 되는 건식 고분자 탄성체 처리를 행하는 것이 바람직하다.

이어서, 적어도 어느 쪽의 표면(바람직하게는 양면)을 연마함으로써 극세 섬유의 입모를 형성시키는 것이 바람직하다.

이와 같이 하여 얻어진 연마 패드는, 연마 레이트가 높고, 장수명이면서, 저표면 조도를 동시에 갖는 연마 패드가 된다. 그리고 이 연마 패드에 의하면, 피가공물(예를 들어, 반도체 기판, 반도체 디바이스, 화합물 반도체 기판, 화합물 반도체 디바이스 등의 각종 디바이스)을 고연마 레이트로 고도의 평탄성이면서 또한 저표면 조도를 갖는 것으로 연마하는 것이 가능해진다.

실시예

이하 실시예에 의해, 본 발명을 구체적으로 설명한다. 그러나 본 발명은 이에 의해 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 실시예에 있어서의 평가 및 특성값은, 이하의 측정법에 의해 구하였다.

(1) 부직포의 물성

단위 면적당 중량(g/m²) 및 강신도(N/cm, ％)는 JIS L1913에 의해 구하였다. 두께(mm)는 JIS L1085에 의해 구하였다. 이들 값으로부터 단위 면적당 중량/두께인 부피 밀도(g/cm³)를 계산하였다. 또한 통기도(cm³/cm²·sec)에 대해서는 JIS L1096-A에 의해 구하였다.

(2) 연마 패드의 물성

부직포의 물성과 마찬가지로, 단위 면적당 중량(g/m²)은 JIS L1913에 의해 구하였다. 두께(mm)는 JIS L1085에 의해 구하였다. 이들 값으로부터 단위 면적당 중량/두께인 부피 밀도(g/cm³)를 계산하였다.

공극률(％)은 하기 식에 의해 산출하였다.

공극률(％)=(1-(부피 밀도/이론 밀도))×100

단, 이론 밀도란, 구성 재료의 가중 평균 밀도이며, 하기 식에 의해 산출하였다.

이론 밀도(g/cm³)=1÷((수지 비율(％)/100/수지 밀도)+(섬유 비율(％)/100/섬유 밀도))

또한, 나일론 6 섬유의 밀도를 1.222g/cm³, 폴리우레탄 수지의 밀도를 1.180g/cm³로 하였다.

연마 패드의 경도는, JIS K6253에 따라, 고분시 케키 가부시키가이샤제 DD2-A형을 사용하여 측정하였다. 압축·탄성률(％)은 JIS L1096에 의해 구하였다. 접촉각(°)은 JIS R3257에 의해 구하였다. 굽힘 강도는, 시험편을 샘플 1매의 높이로 하고, 시험 폭은 25mm 폭으로 JIS K 6911에 의해 구하였다.

(3) KES 표면 조도 SMD(㎛)

0.5mm 직경 5mm 폭의 피아노선을 10gf(9.8cN)로 시료에 압착하고, 0.1cm/sec의 속도로 시료를 움직였을 때의 표면 조도의 평균 편차로서 구하였다.

(4) 연마 성능

(4-1) 연마 레이트(㎛/h)

직경 380mm의 연마 패드를 사용하여, 3inch(7.62cm) 사파이어 웨이퍼의 1시간당의 연마량을, 편면 연마기를 사용하여 하기 조건으로 측정하였다.

슬러리 농도: 20wt％

슬러리량: 500ml/min

압력: 350g/cm²

연마 시간: 60min

회전수: 헤드/플래튼(정반)=50rpm/49rpm

사용 슬러리: 실리카(후지미 인코포레이티드사제 「콘폴 80」)

(4-2) 웨이퍼의 표면 조도 Ra(nm)

원자간력 현미경으로 기판 중심부 한 변이 10㎛인 정사각형의 표면 조도를 측정하였다. 해당 표면 조도 Ra가 작을수록 우수한 평탄성을 갖는다.

(5) 제타 전위(mV)

측정 대상의 섬유를 0.2mm 길이로 커트하고, 섬유/정제수=1g/1000g의 농도로 조정하고, 믹서로 충분히 분산될 때까지 교반하여, 섬유용의 측정 시료(이하, 「나노파이버 분산액」 혹은 「NF 분산액」이라 한다)로 하였다.

한편, 고형분으로, 연마제(원액)/NF 분산액=2/3이 되도록 측정용 샘플을 조정하여 캐필러리에 봉입하고, 섬유·연마제 혼합물용의 제타 전위의 측정 시료로 하였다. 값은 각각 3회 측정의 평균값으로 하였다.

[실시예 1]

섬 성분으로서 나일론(Ny) 6, 바다 성분으로서 5-나트륨술포이소프탈산을 공중합한 폴리에틸렌테레프탈레이트를 사용하여, 방사, 연신하여, 바다:섬=30:70, 섬수=836, 단섬유 섬도 5.6dtex의 해도형 복합 섬유를 얻은 후, 44mm의 길이로 절단하였다.

이 해도형 복합 섬유 70wt％와, 단섬유 직경 11.1㎛, 길이 44mm의 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)/융점 130℃의 고밀도 폴리에틸렌(PE)(코어/시스 중량비=50/50)의 바인더 단섬유 30wt％를 니들 펀치로 기계적으로 락합한 후, 열 처리(150℃, 1분)를 행하여 해도형 복합 섬유가 바인더 섬유로 유지된 시트를 얻었다.

그 후, 농도 5g/L의 수산화나트륨 용액 중에서 90℃에서 60분간 처리(알칼리 감량 처리)하고, 해도형 복합 섬유의 바다 성분을 추출 제거하여, 나일론 6을 포함하는 나노파이버 단섬유 다발(단섬유 직경 0.7㎛×836개) 62wt％와 그의 섬유 다발을 고정하는 바인더 단섬유 38wt％를 포함하는, 단위 면적당 중량 330g/m²의 부직포를 제작하였다.

이어서, 얻어진 부직포에 폴리우레탄 수지(100％ 모듈러스 20MPa)를 습식 공정에서 1차 함침을 실시하고, 이어서, 양면을 슬라이스하여 두께를 1.30mm로 하였다. 또한, 폴리우레탄 수지(100％ 모듈러스 15MPa)를 건식 공정에서 2차 함침하였다. 이때의 공극률을 54.3％로 조정하였다. 마지막으로 양면을 버프 가공하여 입모를 형성함(기모)과 동시에 표면을 평활하게 하고, 이면에 점착 테이프를 부착하여 연마 패드로 하였다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 1에 나타내었다.

[실시예 2]

실시예 1의 연마 패드의 공극률을 58.9％로 변경한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 연마 패드를 얻었다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 1에 나타내었다.

[실시예 3]

실시예 1의 연마 패드의 공극률을 46.5％로 변경한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 연마 패드를 얻었다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 1에 나타내었다.

[실시예 4]

실시예 1의 연마 패드의 공극률을 61.8％로 변경한 것 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 연마 패드를 얻었다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 1에 나타내었다.

실시예 1, 2의 연마 패드에서는, 적당한 경도를 가지면서 고공극이라는 점에서, 슬러리를 많이 포함할 수 있으며, 케미컬 작용이 커져, 고연마 레이트를 달성할 수 있었다. 나아가, 나노파이버 섬유가 다발로 존재함으로써 섬유간 공극에 지립을 많이 유지할 수 있으며, 작용 효율이 높아져, 피가공물의 우수한 평탄성과 고연마 레이트를 실현할 수 있었다.

[참고예 1]

섬 성분으로서 나일론 6, 바다 성분으로서 5-나트륨술포이소프탈산을 공중합한 폴리에틸렌테레프탈레이트를 사용하여, 방사, 연신하여, 바다:섬=30:70, 섬수=836, 섬도 5.6dtex의 해도형 복합 섬유를 얻어 44mm의 길이로 절단하였다.

이 해도형 복합 섬유 70wt％와, 단섬유 직경 14.4㎛, 길이 44mm의 폴리에틸렌테레프탈레이트/고밀도 폴리에틸렌(융점 130℃)(코어/시스 중량비=50/50)의 바인더 단섬유 30wt％를 니들 펀치로 기계적으로 락합하고, 열 처리(150℃, 1분)를 행하여 해도형 복합 섬유가 바인더 섬유로 유지된 시트를 얻었다.

그 후, 농도 5g/L의 수산화나트륨 용액 중에서 90℃에서 60분간 처리(알칼리 감량 처리)하고, 해도형 복합 섬유의 바다 성분을 추출 제거하여, 나일론 6을 포함하는 나노파이버 단섬유 다발(단섬유 직경 0.7㎛×836개) 62wt％와 그의 섬유 다발을 고정하는 바인더 단섬유 38wt％를 포함하는, 단위 면적당 중량 319g/m²의 부직포를 제작하였다. 이 연마 패드용 부직포의 물성을 표 2에 나타내었다.

[참고예 2]

참고예 1의 바인더 섬유를 단섬유 직경 15.1㎛로 변경한 것 이외는 참고예 1과 마찬가지로 하여, 부직포를 제작하였다. 이 연마 패드용 부직포의 물성을 표 2에 나타내었다.

[참고예 3]

참고예 1의 섬 성분을 나일론 6으로부터 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)로 변경한 해도 복합 섬유를 사용한 것 이외는, 참고예 1과 마찬가지로 하여 부직포를 제작하였다. 이 연마 패드용 부직포의 물성을 표 2에 나타내었다.

[참고예 4]

폴리에틸렌테레프탈레이트를 사용하여, 방사, 연신하여, 단섬유 직경 18.5㎛이며 길이 51mm로 절단하였다. 이 단섬유를 니들 펀치로 기계적으로 락합하여, 단위 면적당 중량 308g/m²의 부직포를 제작하였다. 이 연마 패드용 부직포의 물성을 표 2에 나타내었다.

[참고예 5]

참고예 1의 바인더 섬유를 단섬유 직경 11.2㎛로 변경한 것 이외는 참고예 1과 마찬가지로 하여 부직포를 제작하였다. 이 연마 패드용 부직포의 물성을 표 2에 나타내었다.

[참고예 6]

참고예 5의 섬 성분을 나일론 6으로부터 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)로 변경한 해도 복합 섬유를 사용한 것 이외는, 참고예 5와 마찬가지로 하여 부직포를 제작하였다. 이 연마 패드용 부직포의 물성을 표 2에 나타내었다.

참고예 1 내지 3의 부직포에서는, 부직포의 길이 방향의 밀도 불균일이 작아졌다. 이 부직포를 사용한 연마 패드는 섬유 밀도가 균일하다는 점에서, 연마 패드 표층으로부터 하층까지 동일한 섬유 밀도이며, 연마 패드를 사용하여 두께가 감소해도, 연마 성능이 변화되지 않고, 장수명이었다. 또한 이 우수한 연마 성능을 갖는 연마 패드를 안정적으로 생산하여 제공할 수 있는 것이었다.

[참고예 7]

이하의 실시예에서 사용하는 재료에 대하여 제타 전위를 측정한 바, 각각의 제타 전위는, 나일론(Ny6) 나노파이버 「-66.9mV」, 폴리에스테르(PET) 나노파이버 「-25.1mV」였다.

또한, 상기한 연마 레이트 측정용의 실리카 슬러리 (1)(후지미 인코포레이티드사제 「콘폴 80」, 입경 72nm)의 제타 전위는 「-57.7mV」였다. 또한, 실리카 슬러리 (2)(후지미 인코포레이티드사제 「DSC-0902」)의 제타 전위는 「-58.4mV」였다. 또한, 시험 후의 슬러리의 입경을 측정한 바, 실리카 슬러리 (1)은 「122nm」, 실리카 슬러리 (2)는 「125nm」였다.

이어서, 나노파이버와 실리카 슬러리의 혼합물에 대하여 제타 전위와 시험 후의 입경을 측정한 바, 하기의 표 3의 결과가 되었다.

사용한 슬러리보다도 제타 전위가 작은(마이너스측으로 큰) 나일론 나노파이버에서는, 슬러리(연마제)와 혼합한 경우에 있어서도 제타 전위가 플러스측으로 변화되지 않고, 시험 후의 지립 입자의 응집이 억제되어 있다. 그에 비해 사용한 슬러리보다도 제타 전위가 큰(플러스측에 있는) 폴리에스테르 나노파이버에서는, 슬러리(연마제)와 혼합한 경우에 있어서, 연마제 본래의 제타 전위보다도 플러스측으로 변화되고, 조금이지만 지립 입자의 응집이 일어나고 있다.

[실시예 5]

섬 성분으로서 나일론 6(Ny6), 바다 성분으로서 5-나트륨술포이소프탈산을 공중합한 폴리에틸렌테레프탈레이트를 사용하여, 방사, 연신하여, 바다:섬=30:70, 섬수=836, 단섬유 섬도 5.6dtex의 해도형 복합 섬유를 얻은 후, 44mm의 길이로 절단하였다.

이 해도형 복합 섬유 70wt％와, 단섬유 직경 11.1㎛, 길이 44mm의 폴리에틸렌테레프탈레이트/고밀도 폴리에틸렌(융점 130℃)(코어/시스 중량비=50/50)의 바인더 단섬유 30wt％를 니들 펀치로 기계적으로 락합하고, 열 처리(150℃, 1분)를 행하여 해도형 복합 섬유가 바인더 섬유로 유지된 시트를 얻었다.

그 후, 농도 5g/L의 수산화나트륨 용액 중에서 90℃에서 60분간 처리(알칼리 감량 처리)하고, 해도형 복합 섬유의 바다 성분을 추출 제거하여, 나일론 6을 포함하는 나노파이버 단섬유 다발(단섬유 직경 0.7㎛×836개) 62wt％와 그의 섬유 다발을 고정하는 바인더 단섬유 38wt％를 포함하는, 단위 면적당 중량 330g/m²의 부직포를 제작하였다.

이어서, 얻어진 부직포에 폴리우레탄 수지(100％ 모듈러스 35MPa)를 건식 공정에서 1차 함침을 실시하고, 이어서, 양면을 슬라이스하여 두께를 1.3mm로 하였다. 또한 폴리우레탄 수지(100％ 모듈러스 100MPa)를 건식 공정에서 2차 함침하였다. 마지막으로 양면을 버프 가공(기모 가공)하여 입모를 형성함과 동시에, 표면을 평활하게 하고, 이면에 점착 테이프를 부착하여 연마 패드로 하였다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 4에 나타내었다.

[실시예 6]

실시예 5의 섬 성분을 나일론 6으로부터 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)로 변경한 해도 복합 섬유를 사용한 것 이외는, 실시예 5와 마찬가지로 하여 연마 패드를 제작하였다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 4에 나타내었다.

[실시예 7]

실시예 5와 동일한, 나일론 6 극세 섬유 다발과 바인더 섬유를 포함하는, 단위 면적당 중량 320g/m²의 부직포를 제작하였다.

이어서, 건식 공정에서의 1차 함침 대신에, 얻어진 부직포에 폴리우레탄 수지(100％ 모듈러스 80MPa)를 습식 공정에서 1차 함침을 실시한 것 이외는, 실시예 5와 마찬가지로 하여, 슬라이스, 2차 수지 함침, 버프 가공 등을 행하여 연마 패드로 하였다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 4에 나타내었다.

[실시예 8]

실시예 6과 동일한, 폴리에틸렌테레프탈레이트 극세 섬유 다발과 바인더 섬유를 포함하는, 단위 면적당 중량 320g/m²의 부직포를 제작하였다.

이어서 실시예 5에 있어서, 건식 공정에서의 1차 함침 대신에, 얻어진 부직포에 폴리우레탄 수지(100％ 모듈러스 80MPa)를 습식 공정에서 1차 함침을 실시한 것 이외는, 실시예 5와 마찬가지로 하여, 슬라이스, 2차 수지 함침, 버프 가공 등을 행하여 연마 패드로 하였다. 이 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 4에 함께 나타내었다.

[비교예 1, 2]

실시예 5의 해도 복합 섬유 대신에, 단섬유 직경 18.5㎛, 길이 51mm의 나일론-6 단섬유를 사용하고, 알칼리 감량 처리를 행하지 않은 것 이외는, 실시예 5와 마찬가지로 하여, 단위 면적당 중량 300g/m²의 부직포를 제작하였다.

이어서 실시예 5와 마찬가지로 건식 1차 수지 함침, 슬라이스, 건식 2차 수지 함침, 버프 가공 등을 행하여 연마 패드로 하고, 비교예 1로 하였다.

한편, 실시예 7과 마찬가지로 습식 1차 수지 함침, 슬라이스, 건식 2차 수지 함침, 버프 가공 등을 행하여 연마 패드로 하고, 비교예 2로 하였다.

이들 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 4에 나타내었다.

[비교예 3, 4]

실시예 5의 해도 복합 섬유 대신에, 단섬유 직경 18.5㎛, 길이 51mm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 단섬유를 사용하고, 알칼리 감량 처리를 행하지 않은 것 이외는, 실시예 5와 마찬가지로 하여, 단위 면적당 중량 300g/m²의 부직포를 제작하였다.

이어서 실시예 5와 마찬가지로 건식 1차 수지 함침, 슬라이스, 건식 2차 수지 함침, 버프 가공 등을 행하여 연마 패드로 하고, 비교예 3으로 하였다.

한편, 실시예 7과 마찬가지로 습식 1차 수지 함침, 슬라이스, 건식 2차 수지 함침, 버프 가공 등을 행하여 연마 패드로 하고, 비교예 4로 하였다.

이들 연마 패드의 구성 및 연마 성능을 표 4에 나타내었다.

실시예 5, 7은 슬러리보다도 사용 섬유가 고제타 전위(마이너스측)인, 나일론 나노파이버 섬유를 사용한 부직포에 폴리우레탄 수지를 함침한 연마 패드이다. 실시예 6, 8은, 나일론 나노파이버 섬유 대신에 폴리에스테르 나노파이버 섬유를 사용한 연마 패드이다. 비교예 1, 2는 나일론 레귤러 섬유, 비교예 3, 4는 폴리에스테르 레귤러 섬유를 사용한 연마 패드이다.

이들 실시예의 연마 패드에서는, 나노파이버 섬유가 다발로 존재함으로써 섬유간 공극에 지립을 많이 유지할 수 있으며, 작용 효율이 높아져, 피가공물의 우수한 평탄성과 고연마 레이트를 실현할 수 있었다. 연마 패드 물성은 고경도이며 저압축률이면서 또한 저표면 조도였다.

그 중에서도, 실시예 5, 7의 나일론 나노파이버 섬유 사용품의 사파이어 연마 성능이 특히 우수하다. 이들 연마 패드는, 고제타 전위(마이너스측)를 갖는 나일론 나노파이버 섬유를 사용함으로써, 지립 입자의 응집을 방지하고, 저표면 조도(스크래치리스)를 실현한 것이라고 생각된다.

본 발명에 따르면, 장수명이면서, 연마 레이트가 높고, 피가공물의 우수한 평탄성을 실현 가능한 연마 패드 및 그의 제조 방법이 제공되며, 그의 공업적 가치는 매우 크다.

Claims (13)

1. 연마 패드로서, 섬유 직경이 10 내지 2500nm인 극세 섬유와, 바인더 섬유와, 고분자 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 패드.
2. 제1항에 있어서, 공극률이 50％ 이상이고, 또한 굽힘 강도가 5.0N/mm² 이상인, 연마 패드.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 표면이 기모되어 있는, 연마 패드.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 극세 섬유에 있어서 제타 전위가 -20mV 이하인, 연마 패드.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 극세 섬유가 폴리아미드 또는 폴리에스테르를 포함하는, 연마 패드.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 바인더 섬유가 코어 시스형 복합 섬유인, 연마 패드.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 극세 섬유와 바인더 섬유의 중량비가 (극세 섬유/바인더 섬유) 50/50 내지 97/3의 범위 내인, 연마 패드.
8. 바다 성분과 섬 직경이 10 내지 2500nm인 섬 성분을 포함하는 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유를 포함하는 부직포로부터 상기 바다 성분을 제거하고, 고분자 탄성체를 부여하는 것을 특징으로 하는 연마 패드의 제조 방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 해도형 복합 섬유와 바인더 섬유의 단섬유 섬도비가 (해도형 복합 섬유:바인더 섬유) 1:0.49 내지 1:0.70의 범위 내인, 연마 패드의 제조 방법.
10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 부직포가 니들 펀치 부직포인, 연마 패드의 제조 방법.
11. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부직포의 단위 면적당 중량이 300 내지 600g/m²의 범위 내인, 연마 패드의 제조 방법.
12. 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부직포에 있어서 경사 또는 위사 방향의 인장 강도가 100N/cm 이상인, 연마 패드의 제조 방법.
13. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 표면을 더 기모하는, 연마 패드의 제조 방법.