JP7057215B2 - 研磨パッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
(研磨パッド沈み込み量)
サンプル3枚を重ねてJIS L1096により圧縮率を測定するときのT0-T1を研磨パッド沈み込み量とする。
T0:標準圧力(4.9kPa)を加えた時の厚さ
T1:一定圧力(29.4kPa)を加え1分間放置後の厚さ
その際、前記極細繊維が、ポリアミドまたはポリエステルからなることが好ましい。また、研磨パッドの厚みが0.5~3.0mmの範囲内であることが好ましい。また、研磨パッドの目付けが300~600g/m2の範囲内であることが好ましい。また、表面を起毛してなることが好ましい。
次いで、表面を研磨することにより表面を起毛させることが好ましい。起毛は主に極細繊維に由来するものである。
となる。
(1)不織布の物性
目付け(g/m2)および強伸度(N/cm、%)はJIS L1913、厚さ(mm)はJIS L1085、により求め、その値から目付け/厚さである嵩密度(g/cm3)を計算した。さらに通気度(cm3/cm2・sec)についてはJIS L1096-Aにより求めた。
(2)研磨パッドの物性
不織布の物性と同様に目付(g/m2)はJIS L1913、厚さ(mm)はJIS L1085により求め、その値から目付け/厚さである嵩密度(g/cm3)を計算した。
空隙率(%)は下記式により算出した。
空隙率(%)=(1-(嵩密度/理論密度))×100
ただし、理論密度とは、構成材料の加重平均密度であり、下記式により算出した。
理論密度(g/cm3)=1÷((樹脂比率(%)/100/樹脂密度)+(繊維比率(%)/100/繊維密度))
なお、ナイロン6繊維の密度を1.222g/cm3、バインダー(ポリエステル)繊維の密度を1.360g/cm3、ポリウレタン樹脂の密度を1.180g/cm3とした。
研磨パッドの硬度は、JIS K6253に従い、高分子計器株式会社製DD2‐A型を用いて測定した。圧縮・弾性率(%)はJIS L1096より求めた。
(2-1)研磨パッド沈み込み量(μm)
JIS L1096にて圧縮率を測定するときのT0-T1にて求めた。サンプルは3枚を重ねて測定した。
T0:標準圧力(4.9kPa)を加えた時の厚さ
T1:一定圧力(29.4kPa)を加え1分間放置後の厚さ
(3)KES表面粗さSMD(μm)
0.5mm径5mm幅のピアノ線を10gf(9.8cN)で試料に圧着し、0.1cm/secで試料を動かした際の表面粗さの平均偏差として求めた。
(4)研磨性能
(4-1)研磨レート(μm/h)
直径920mmの研磨パッドを使用し、4inch(10.16cm)サファイアウェハの1時間当たりの研磨量を、片面研磨機を用いて下記条件にて測定した。
スラリー濃度:20wt%
スラリー量 :1300ml/min
圧力 :300g/cm2
研磨時間 :60min
定盤回転数 :60rpm
使用スラリー:シリカ(フジミインコーポレ-テッド社製「コンポール80」)
(4-2)面内厚みバラつき(μm)
基準面と測定エリア内の各測定点データとの差の最大値と最小値の差を求めた。
島成分としてナイロン6、海成分として5-ナトリウムスルホイソフタル酸を共重合したポリエチレンテレフタレートを用い、紡糸、延伸して、海:島=30:70、島数=836、繊度5.6dtexの海島型複合繊維を得て44mmの長さに切断した。
実施例1と同様に湿式工程でポリウレタン樹脂を含浸したときの含浸量以外は、実施例1と同様にして、研磨パッドを得た。この研磨パッドの物性および研磨性能を表1に併せて示した。
実施例1と同様に湿式工程でポリウレタン樹脂を含浸後、次いでポリウレタン樹脂を乾式工程にて2次含浸した以外は、実施例1と同様にして、研磨パッドを得た。この研磨パッドの構成および研磨性能を表1に併せて示した。
実施例1と同様に湿式工程でポリウレタン樹脂を含浸後、次いでポリウレタン樹脂を乾式工程にて2次含浸した以外は、実施例1と同様にして、研磨パッドを得た。この研磨パッドの構成および研磨性能を表1に併せて示した。
Claims (8)
- 研磨パッドであって、繊維径が10~2500nmの極細繊維と、バインダー繊維と、高分子弾性体とを含み、下記に定義する研磨パッド沈み込み量が100~400μmの範囲内であることを特徴とする研磨パッド。
(研磨パッド沈み込み量)
サンプル3枚を重ねてJIS L1096により圧縮率を測定するときのT0-T1を研磨パッド沈み込み量とする。
T0:標準圧力(4.9kPa)を加えた時の厚さ
T1:一定圧力(29.4kPa)を加え1分間放置後の厚さ - 前記極細繊維が、ポリアミドまたはポリエステルからなる、請求項1に記載の研磨パッド。
- 研磨パッドの厚みが0.5~3.0mmの範囲内である、請求項1または請求項2に記載の研磨パッド。
- 研磨パッドの目付けが300~600g/m2の範囲内である、請求項1~3のいずれかに記載の研磨パッド。
- 表面を起毛してなる、請求項1~4のいずれかに記載の研磨パッド。
- 海成分と島成分からなる海島型複合繊維と、バインダー繊維とを含む不織布から、前記海成分を除去することにより極細繊維不織布とした後、高分子弾性体を付与する、請求項1に記載の研磨パッドの製造方法。
- 前記不織布がニードルパンチ不織布である、請求項6に記載の研磨パッドの製造方法。
- 前記不織布の目付けが100~600g/m2の範囲内である、請求項6または請求項7に記載の研磨パッドの製造方法。
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