KR20170096251A - 전압 생성 회로 및 이를 포함하는 집적 회로 - Google Patents

전압 생성 회로 및 이를 포함하는 집적 회로 Download PDF

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Abstract

전압 생성 회로는, 주기적으로 활성화 비활성화되는 온/오프 신호를 생성하되, 상기 온/오프 신호의 주기 및 듀티 중 적어도 하나 이상은 온도 정보, 캐패시턴스 정보, 누설 전류 정보, 스피드 정보, 전압 레벨 정보 중 하나 이상의 정보에 의해 조절하는 주기파 생성부; 및 상기 온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고 내부 전압을 생성하는 내부전압 생성부를 포함할 수 있다.

Description

전압 생성 회로 및 이를 포함하는 집적 회로 {VOLTAGE GENERATION CIRCUIT AND INTEGRATED CIRCUIT INCLUDING THE SAME}
본 특허 문헌은, 전압을 생성하는 전압 생성 회로 및 이를 포함하는 집적 회로에 관한 것이다.
각종 집적 회로는 외부에서 공급된 전압을 이용해 내부의 회로들을 동작시킨다. 그런데, 집적 회로 내부에서 사용되는 전압의 종류는 매우 다양하기 때문에, 집적 회로 내부에서 사용할 모든 전압들을 집적 회로 외부로부터 공급해주기는 힘들다. 따라서, 집적 회로는 외부로부터 공급된 전압들과 다른 레벨의 내부 전압들을 생성하기 위한 전압 생성 회로들을 구비한다.
그런데, 전압 생성 회로들은 내부 전압들을 생성하기 위해 지속적으로 전류를 소모하기 때문에, 전압 생성 회로들의 전류 소모는 집적 회로에 있어서 큰 부담이 될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 전압 생성 회로의 소모 전류를 줄이는 기술을 제공할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 전압 생성 회로는, 주기적으로 활성화 비활성화되는 온/오프 신호를 생성하되, 상기 온/오프 신호의 주기 및 듀티 중 적어도 하나 이상은 온도 정보, 캐패시턴스 정보, 누설 전류 정보, 스피드 정보, 전압 레벨 정보 중 하나 이상의 정보에 의해 조절하는 주기파 생성부; 및 상기 온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고 내부 전압을 생성하는 내부전압 생성부를 포함할 수 있다.
상기 온도 정보는 상기 전압 생성 회로를 포함하는 집적 회로 상에 존재하는 온도 센서로부터 생성될 수 있다.
상기 캐패시턴스 정보, 누설 전류 정보 및 전압 레벨 정보는 상기 전압 생성 회로를 포함하는 집적 회로의 테스트시에 결정된 값을 저장하는 비휘발성 메모리에 저장된 정보일 수 있다.
상기 스피드 정보 및 상기 모드 정보는 상기 전압 생성 회로를 포함하는 집적 회로의 설정 정보를 저장하는 레지스터에 저장된 정보일 수 있다.
상기 주기파 생성부는, 주기파를 생성하는 오실레이터; 상기 주기파를 분주해 다수의 분주 주기파들을 생성하기 위한 분주기; 상기 다수의 분주 주기파들을 논리 조합해 다양한 주파수 및 듀티를 가지는 예비 온/오프 신호들을 생성하는 논리 조합부; 및 상기 온도 정보, 상기 캐패시턴스 정보, 상기 누설 전류 정보, 상기 스피드 정보, 상기 전압 레벨 정보 및 상기 모드 정보 중 하나 이상의 정보에 응답해 상기 예비 온/오프 신호들 중 하나의 신호를 상기 온/오프 신호로 선택하기 위한 선택부를 포함할 수 있다.
상기 온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화 비활성화되지만, 제2모드에서는 계속 활성화 상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 전압 생성 회로는, 주기적으로 활성화/비활성화되는 제1온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 제1내부 전압을 생성하는 제1내부 전압 생성부; 및 주기적으로 활성화/비활성화되는 제2온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 상기 제1내부 전압을 이용해 제2내부 전압을 생성하는 제2내부 전압 생성부를 포함하고, 상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간 내에 포함될 수 있다.
상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간보다 클 수 있다.
상기 전압 생성 회로는, 상기 제1온/오프 신호와 주기파를 논리 조합해 상기 제2온/오프 신호를 생성하는 온/오프 스플리터를 더 포함할 수 있다.
상기 제1온/오프 신호와 상기 제2온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화/비활성화되지만, 제2모드에서는 계속 활성화상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전압 생성 회로는, 주기적으로 활성화/비활성화되는 제1온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 펌핑 전압의 레벨을 감지해 펌핑 필요 신호를 생성하는 전압 감지기; 및 주기적으로 활성화/비활성화되는 제2온/오프 신호와 상기 펌핑 필요 신호가 활성화되는 구간 동안에 활성화되어 상기 펌핑 전압을 생성하는 차지 펌프를 포함할 수 있다.
상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간 내에 포함될 수 있다. 그리고, 상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간보다 클 수 있다.
상기 전압 생성 회로는, 상기 제1온/오프 신호와 주기파를 논리 조합해 상기 제2온/오프 신호를 생성하는 온/오프 스플리터를 더 포함할 수 있다.
상기 전압 생성 회로는, 상기 펌핑 필요 신호와 상기 제2온/오프 신호가 활성화되는 경우에 상기 차지 펌프를 활성화하기 위한 펌프 활성화 신호를 활성화하는 펌프 활성화 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1온/오프 신호와 상기 제2온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화/비활성화되지만, 제2모드에서는 계속 활성화상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 집적 회로는, 온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 기준 전압을 생성하는 내부 전압 생성부; 및 상기 기준 전압과 제1입력 신호를 비교해 상기 제1입력 신호를 수신하는 제1수신 회로를 포함하고, 상기 온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화/비활성화되고, 제2모드에서는 항상 활성화 상태를 유지할 수 있다.
상기 제1모드는 상기 입력 신호가 입력되지 않는 모드이고, 상기 제2모드는 상기 입력 신호가 입력되는 모드일 수 있다.
상기 집적 회로는 메모리 장치이고, 상기 제1모드는 상기 메모리 장치에서 액티브된 로우가 존재하지 않는 구간에서 활성화되고, 상기 제2모드는 상기 메모리 장치에서 액티브된 로우가 존재하는 구간에서 활성화될 수 있다.
상기 집적 회로는, 상기 기준 전압과 제2 내지 제N입력 신호들 중 자신에 대응하는 입력 신호를 비교해 수신하는 제2 내지 제N수신 회로들(N은 2이상의 정수)을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전압 생성 회로는, 주기적으로 활성화 비활성화되는 온/오프 신호가 제1레벨인 경우에 활성화되어 내부 전압을 생성하는 제1내부 전압 생성부; 및 상기 온/오프 신호가 제2레벨인 경우에 활성화되어 상기 내부 전압을 생성하는 제2내부 전압 생성부를 포함하고, 상기 제1내부 전압 생성부는 상기 제2내부 전압 생성부보다 더 강한 전압 구동력을 가질 수 있다.
상기 온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화 비활성화되지만, 제2모드에서는 상기 제1레벨과 상기 제2레벨 중 하나의 레벨로 고정될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 전압 생성 회로의 소모 전류를 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 전압 생성 회로(100)의 구성도.
도 2는 도 1의 내부 전압 생성부(120)의 일실시예 구성도.
도 3은 도 1의 주기파 생성부(110)의 일실시예 구성도.
도 4는 도 3의 논리 조합부(330)의 일실시예 구성도.
도 5는 도 4의 동작을 도시한 타이밍도.
도 6은 도 3의 논리 조합부(330)의 다른 실시예 구성도.
도 7은 도 6의 동작을 도시한 타이밍도
도 8은 도 3의 논리 조합부(330)의 또 다른 실시예 구성도.
도 9는 도 1의 주기파 생성부(110)의 다른 실시예 구성도.
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 전압 생성 회로(1000)의 구성도.
도 11은 도 10의 온/오프 스플리터(1030)의 동작을 도시한 타이밍도.
도 12는 도 10의 제1내부 전압 생성부(1010)의 일실시예 구성도.
도 13은 도 10의 제2내부 전압 생성부(1020)의 일실시예 구성도.
도 14는 본 발명의 제3실시예에 따른 전압 생성 회로(1400)의 구성도.
도 15는 도 14의 전압 감지기(1410)의 일실시예 구성도.
도 16은 본 발명의 제4실시예에 따른 전압 생성 회로(1600)의 구성도.
도 17은 본 발명의 일실시예에 따른 집적 회로의 구성도.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지와 무관한 공지의 구성은 생략될 수 있다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 전압 생성 회로(100)의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 전압 생성 회로(100)는, 주기파 생성부(110), 내부 전압 생성부(120), 및 캐패시터(130)를 포함할 수 있다.
주기파 생성부(110)는 주기적으로 활성화/비활성화되는 온/오프 신호(ON/OFF)를 생성할 수 있다. 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기(period)와 듀티(duty) 중 적어도 하나 이상은 제어 변수에 의해 조절될 수 있다.
내부 전압 생성부(120)는 내부 전압(VINT)을 생성할 수 있으며, 캐패시터(130)는 내부 전압(VINT)의 레벨을 일정하게 유지하기 위해 사용될 수 있다. 내부 전압 생성부(120)는 온/오프 신호(ON/OFF)의 활성화시에 활성화되어 전류를 소모하며 내부 전압(VINT)을 구동하고, 온/오프 신호(ON/OFF)의 비활성화시에는 비활성화되어 전류를 소모하지 않을 수 있다.
내부 전압 생성부(120)는 활성화시에는 지속적으로 전류를 소모하는데, 내부 전압 생성부(120)의 활성화/비활성화가 반복되는 것에 의해 내부 전압 생성부(120)가 소모하는 전류가 줄어들 수 있다. 내부 전압 생성부(120)가 계속 활성화되지 않고 주기적으로 활성화되더라도, 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기와 듀티를 적절하게 조절하는 것에 의해 내부 전압(VINT)의 레벨을 안정적으로 유지시킬 수 있다.
온/오프 신호(ON/OFF)의 주기와 듀티 중 적어도 하나 이상을 조절하기 위해 사용되는 제어 변수는 온도 정보, 캐패시턴스 정보, 누설 전류 정보, 스피드 정보 및 전압 레벨 정보등의 정보들 중 하나 이상의 정보를 포함할 수 있다.
온도 정보는 전압 생성 회로(100)를 포함하는 집적 회로의 온도를 나타내는 것일 수 있다. 온도 정보는 집적 회로 상의 온도 센서로부터 생성될 수 있다. 온도가 높을수록 집적 회로의 소자들의 누설 전류가 증가하고 집적 회로의 전류 소모가 늘어나므로 내부 전압(VINT)의 소모가 증가될 수 있다. 따라서, 온도가 높을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 자주 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 온도가 높을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기가 짧아지게 조절할 수 있다. 또한, 온도가 높을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 길게 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 온도가 높을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 듀티가 증가되도록 조절할 수 있다.
캐패시턴스 정보는 전압 생성 회로(100)의 캐패시터(130)의 캐패시턴스에 대한 정보일 수 있다. 캐패시터(130)의 캐패시턴스 정보는 집적 회로의 제조시에 측정되어 집적 회로 상의 비휘발성 메모리(예, 퓨즈 회로)에 저장되어 있는 정보일 수 있다. 캐패시터(130)의 캐패시턴스가 작을수록 내부 전압의 레벨이 불안정해질 수 있다. 따라서, 따라서, 캐패시턴스가 작을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 자주 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 캐패시턴스가 작을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기가 짧아지게 조절할 수 있다. 또한, 캐패시턴스가 작을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 길게 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 캐패시턴스가 작을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 듀티가 증가되도록 조절할 수 있다.
누설 전류 정보는 전압 생성 회로(100)를 포함하는 집적 회로의 소자들의 누설 전류를 나타내는 정보일 수 있다. 누설 전류 정보는 집적 회로의 제조시에 측정되어 집적 회로 상의 비휘발성 메모리(예, 퓨즈 회로)에 저장되어 있는 정보일 수 있다. 누설 전류가 많을수록 내부 전압의 레벨이 불안정해질 수 있다. 따라서, 누설 전류가 많을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 자주 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 누설 전류가 많을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기가 짧아지게 조절할 수 있다. 또한, 누설 전류가 많을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 길게 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 누설 전류가 많을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 듀티가 증가되도록 조절할 수 있다.
전압 레벨 정보는 내부 전압(VINT)의 레벨에 대한 정보일 수 있다. 내부 전압(VINT)의 레벨에 관한 전압 레벨 정보는 집적 회로 상의 비휘발성 메모리(예, 퓨즈 회로)에 저장되어 있는 정보일 수 있다. 내부 전압(VINT)의 레벨이 높을수록 내부 전압(VINT)의 레벨이 쉽게 불안정해질 수 있다. 따라서, 내부 전압(VINT)의 레벨이 높을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 자주 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 내부 전압(VINT)의 레벨이 높을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기가 짧아지게 조절할 수 있다. 또한, 내부 전압(VINT)의 레벨이 높을수록 내부 전압 생성부(120)가 더 길게 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 내부 전압(VINT)의 레벨이 높을수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 듀티가 증가되도록 조절할 수 있다.
스피드 정보는 전압 생성 회로(100)를 포함하는 집적 회로의 동작 스피드에 대한 정보일 수 있다. 스피드 정보는 집적 회로의 동작 스피드에 대한 설정 정보를 저장하는 레지스터에 저장되어 있는 정보일 수 있다. 집적 회로의 동작 스피드가 빠를수록 내부 전압(VINT)의 레벨이 쉽게 불안정해질 수 있다. 따라서, 집적 회로의 동작 스피드가 빠를수록 내부 전압 생성부(120)가 더 자주 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 집적 회로의 동작 스피드가 빠를수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기가 짧아지게 조절할 수 있다. 또한, 집적 회로의 동작 스피드가 빠를수록 내부 전압 생성부(120)가 더 길게 활성화되는 것이 바람직하므로 주기파 생성부(110)는 집적 회로의 동작 스피드가 빠를수록 온/오프 신호(ON/OFF)의 듀티가 증가되도록 조절할 수 있다.
도 2는 도 1의 내부 전압 생성부(120)의 일실시예 구성도이다.
도 2를 참조하면, 내부 전압 생성부(120)는 전압 분배를 위한 저항들(201, 202), 온/오프 신호(ON/OFF)에 응답해 내부 전압 생성부(120)를 활성화/비활성화하기 위한 트랜지스터들(203, 204) 및 인버터(205)를 포함할 수 있다.
온/오프 신호(ON/OFF)가 '하이'로 활성화되면 트랜지스터들(203, 204)이 턴온될 수 있다. 이때, 저항들(201, 202)에 의해 전원 전압(VDD)이 전압 분배되어 내부 전압(VINT)이 생성될 수 있다.
온/오프 신호(ON/OFF)가 '로우'로 비활성화되면 트랜지스터들(203, 204)이 오프될 수 있다. 트랜지스터들(203, 204)의 오프에 의해 저항들(201, 202)에 전류가 흐르지 못하고 내부 전압 생성부(120)는 내부 전압(VINT)을 구동하지 않을 수 있다.
도 2에는 내부 전압 생성부(120)가 전원 전압(VDD)을 전압 분배해 내부 전압(VINT)을 생성하는 것을 예시하였으나, 내부 전압 생성부(120)의 내부 전압(VINT)을 생성하기 위해 이와 다른 다양한 방법이 사용될 수도 있음은 당연하다.
도 3은 도 1의 주기파 생성부(110)의 일실시예 구성도이다.
도 3을 참조하면, 주기파 생성부(110)는 오실레이터(310), 분주기(320), 논리 조합부(330) 및 선택부(340)를 포함할 수 있다.
오실레이터(310)는 주기파(OSC)를 생성할 수 있다. 도 3에서는 제어 변수에 의해 선택부(340)가 제어되는 것을 예시하였지만, 제어 변수에 의해 오실레이터(310)가 제어되어 제어 변수에 따라 주기파(OSC)의 주기가 제어될 수도 있다.
분주기(320)는 주기파(OSC)를 분주해 다수의 분주 주기파들(OSC1, OSC2, OSC4, OSC8)을 생성할 수 있다. 분주 주기파(OSC2)는 주기파(OSC)의 주파수(frequency)를 1/2로 분주한 주기파, 즉 주기를 2배로 한 주기파,일 수 있다. 분주 주기파(OSC4)는 주기파(OSC)의 주파수를 1/4로 분주한 주기파일 수 있으며, 분주 주기파(OSC8)는 주기파(OSC)의 주파수를 1/8로 분주한 주기파일 수 있다. 분주 주기파(OSC1)는 주기파(OSC1)와 동일한 것일 수 있다.
논리 조합부(330)는 분주 주기파들(OSC1, OSC2, OSC4, OSC8)을 논리 조합해 예비 온/오프 신호들을 생성할 수 있다. 예비 온/오프 신호들은 다양한 주기 및 다양한 듀티를 가질 수 있다. 논리 조합부(330)의 구성 및 동작에 대해서는 도 4 내지 8을 통해 자세히 알아보기로 한다.
선택부(340)는 논리 조합부(330)에 의해 생성된 예비 온/오프 신호들 중 하나의 신호를 온/오프 신호(ON/OFF)로 선택할 수 있다. 선택부(340)의 선택에는 제어 변수가 사용될 수 있다. 선택부(340)는 앞서 설명한 바와 같이, 온도 정보, 캐패시턴스 정보, 누설 전류 정보, 전압 레벨 정보 및 스피드 정보 중 하나 이상의 정보에 따라 온/오프 신호(ON/OFF)의 주기가 길어지거나 짧아질 수 있도록 그리고 온/오프 신호(ON/OFF)의 듀티가 증가하거나 감소할 수 있도록 온/오프 신호(ON/OFF)를 선택할 수 있다.
도 4는 도 3의 논리 조합부(330)의 일실시예 구성도이고, 도 5는 그 동작을 도시한 타이밍도이다.
도 4를 참조하면, 논리 조합부(330)는 앤드 게이트들(401, 402, 405, 406, 407, 410, 411, 412) 및 오아 게이트들(403, 404, 408, 409)을 포함할 수 있다.
논리 조합부(330)는 앤드 게이트들(401, 402, 405, 406, 407, 410, 411, 412) 및 오아 게이트들(403, 404, 408, 409)을 이용해 분주 주기파들(OSC1, OSC2, OSC4, OSC8)을 앤드 연산 및 오아 연산하는 것에 의해 예비 온/오프 신호들(PRE_1, PRE_2, PRE_3, PRE_4, PRE_5, PRE_6, PRE_7, PRE_8)을 생성할 수 있다.
도 4에서 예비 온/오프 신호들(PRE_1, PRE_2, PRE_3, PRE_4, PRE_5, PRE_6, PRE_7, PRE_8) 옆의 D는 해당 신호의 듀티(duty)비를 나타내고, P는 해당 신호의 주기(period)를 나타낼 수 있다. 예를 들어, D = 2/16인 경우에 해당 신호의 활성화 구간의 길이는 해당 신호의 1주기의 2/16이라는 것을 나타내고, P = x8은 해당 신호의 주기가 분주 주기파의 8배임을 나타낼 수 있다.
도 5를 참조하면, 논리 조합부(330)의 논리 조합에 의해 주기는 동일하지만 듀티비가 서로 다른 8개의 예비 온/오프 신호들(PRE_1, PRE_2, PRE_3, PRE_4, PRE_5, PRE_6, PRE_7, PRE_8)이 생성되는 것을 확인할 수 있다.
도 6은 도 3의 논리 조합부(330)의 다른 실시예 구성도이고, 도 7은 그 동작을 도시한 타이밍도이다.
도 6을 참조하면, 논리 조합부(330)는 앤드 게이트들(601, 602, 603)을 포함할 수 있다.
논리 조합부(330)는 앤드 게이트들(601, 602, 603)을 이용해 분주 주기파들(OSC1, OSC2, OSC4, OSC8)을 앤드 연산해 예비 온/오프 신호들(PRE_9, PRE_10, PRE_11, PRE_12)을 생성할 수 있다.
도 7을 참조하면, 예비 온/오프 신호들(PRE_9, PRE_10, PRE_11, PRE_12)은 듀티(D)와 주기(P)가 모두 다른 값을 가지고 있음을 확인할 수 있다.
도 8은 도 3의 논리 조합부(330)의 또 다른 실시예 구성도이다.
도 8을 참조하면, 논리 조합부(330)는 도 4와 도 6을 합한 구성을 가질 수도 있다. 이 경우, 논리 조합부(330)는 12개의 예비 온/오프 신호들(PRE_0~PRE_12)을 생성할 수 있다.
도 4 내지 도 8에서 설명한 논리 조합부(330)의 구성은 예시일 뿐이며, 분주 주기파들(OSC1, OSC2, OSC4, OSC8)을 이와 다른 방식으로 논리 조합해 다양한 주기와 듀티를 가지는 예비 온/오프 신호들을 생성하는 논리 조합부(330)의 설계도 가능함은 당연하다.
도 9는 도 1의 주기파 생성부(110)의 다른 실시예 구성도이다.
도 9를 참조하면, 주기파 생성부(110)는 도 3 대비 모드 제어부(910)를 더 포함할 수 있다. 모드 제어부(910)는 모드 신호(MODE)가 '로우'레벨인 제1모드에서는 선택부(340)에서 선택된 온/오프 신호(ON/OFF)에 영향을 주지 않지만, 모드 신호(MODE)가 '하이'레벨인 제2모드에서는 온/오프 신호(ON/OFF)를 계속 활성화 상태, 즉 '하이' 레벨, 로 유지시킬 수 있다. 모드 제어부(910)는 도면과 같이 오아 게이트일 수 있다.
모드 신호(MODE)는 내부 전압(VINT)이 많이 사용되지 않는 제1모드에서는 '로우' 레벨을 유지하고, 내부 전압(VINT)이 많이 사용되는 제2모드에서는 '하이' 레벨을 유지하는 신호일 수 있다. 모드 제어부(910)에 의해 내부 전압(VINT)이 많이 사용되는 제2모드에서는 내부 전압 생성부(120)가 계속 활성화되어 안정적으로 내부 전압(VINT)을 생성할 수 있다.
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 전압 생성 회로(1000)의 구성도이다.
도 10을 참조하면, 전압 생성 회로(1000)는, 제1내부 전압 생성부(1010), 제2내부 전압 생성부(1020), 온/오프 스플리터(1030) 및 캐패시터들(1041, 1042)을 포함할 수 있다.
제1내부 전압 생성부(1010)는 제1내부 전압(VINT1)을 생성할 수 있다. 제1내부 전압 생성부(1010)는 제1온/오프 신호(ON/OFF1)에 응답해 활성화/비활성화될 수 있다. 제1내부 전압 생성부(1010)는 제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 활성화시에 활성화되어 제1내부 전압(VINT1)을 생성하고, 제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 비활성화시에는 비활성화되어 전류를 소모하지 않을 수 있다. 캐패시터(1041)는 제1내부 전압(VINT1)의 레벨을 일정하게 유지하기 위해 사용될 수 있다. 제1온/오프 신호(ON/OFF1)는 주기적으로 활성화/비활성화되는 신호일 수 있다.
제2내부 전압 생성부(1020)는 제1내부 전압(VINT1)을 이용해 제2내부 전압(VINT2)을 생성할 수 있다. 제2내부 전압 생성부(1020)는 제2온/오프 신호(ON/OFF2)에 응답해 활성화/비활성화될 수 있다. 제2내부 전압 생성부(1020)는 제2온/오프 신호(ON/OFF2)의 활성화시에 활성화되어 제2내부 전압(VINT2)을 생성하고, 제2온/오프 신호(ON/OFF2)의 비활성화시에는 비활성화되어 전류를 소모하지 않을 수 있다. 캐패시터(1042)는 제2내부 전압(VINT2)의 레벨을 일정하게 유지하기 위해 사용될 수 있다. 제2온/오프 신호(ON/OFF2)는 주기적으로 활성화/비활성화되는 신호일 수 있다. 제2내부 전압 생성부(1020)는 제1내부 전압(VINT1)을 이용해 제2내부 전압(VINT2)을 생성하므로, 제2내부 전압 생성부(1020)의 활성화시에 제1내부 전압(VINT1)이 안정적인 레벨을 유지하는 것이 요구될 수 있다. 따라서, 제2온/오프 신호(ON/OFF2)의 활성화 구간은 제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 활성화 구간 내에 포함될 수 있다.
온/오프 스플리터(1030)는 제1온/오프 신호(ON/OFF1)와 주기파(OSC)를 논리 조합해 제2온/오프 신호(ON/OFF2)를 생성할 수 있다. 온/오프 스플리터(1030)는 인버터(1031)와 앤드 게이트(1032)를 포함할 수 있다. 제1온/오프 신호(ON/OFF1) 및 주기파(OSC)는 도 3 내지 도 9에서 설명한 주기파 생성부(110)에서 생성될 수 있다.
도 11은 도 10의 온/오프 스플리터(1030)의 동작을 도시한 타이밍도이다.
도 11을 참조하면, 제1온/오프 신호(ON/OFF1)는 주기파(OSC) 대비 8배의 주기(P = x8)를 가지고 2/16의 듀티(D = 2/16)를 가지는 도 4의 예비 온/오프 신호(PRE_4)와 동일한 신호일 수 있다.
온/오프 스플리터(1030)의 인버터(1031)에 의해 주기파(OSC)가 반전되어 반전된 주기파(OSCB)가 생성되고, 온/오프 스플리터(1030)의 앤드 게이트(1032)에 의해 제1온/오프 신호(ON/OFF1)와 반전된 주기파(OSCB)가 앤드 연산되어 제2온/오프 신호(ON/OFF2)가 생성될 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 제2온/오프 신호(ON/OFF2)의 활성화 구간은 제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 활성화 구간 내에 포함되고, 제2온/오프 신호(ON/OFF2)의 활성화 구간의 크기는 제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 활성화 구간보다 작을 수 있다.
도 12는 도 10의 제1내부 전압 생성부(1010)의 일실시예 구성도이다.
도 12를 참조하면, 제1내부 전압 생성부(1010)는 기준 전압(VREF)과 제1피드백 전압(VFEED1)의 레벨을 비교하는 비교기(1210), 비교기(1210)의 비교 결과에 따라 제1내부 전압(VINT1)을 구동하는 PMOS 트랜지스터(1220), 제1내부 전압을 전압 분배해 제1피드백 전압(VFEED1)을 생성하기 위한 저항들(1231, 1232), 제1온/오프 신호(ON/OFF1)에 응답해 제1내부 전압 생성부(1010)를 활성화/비활성화하기 위한 PMOS 트랜지스터들(1241, 1242)과 NMOS 트랜지스터들(1243, 1244)을 포함할 수 있다.
온/오프 신호(ON/OFF1)가 '하이'로 활성화되면, NMOS 트랜지스터들(1243, 1244)이 턴온되고 PMOS 트랜지스터들(1241, 1242)이 오프되어 제1내부 전압 생성부(1010)가 활성화될 수 있다. 비교기(1210)는 기준 전압(VREF)과 제1피드백 전압(VFEED1)의 레벨을 비교하고, 비교기(1210)의 비교 결과 기준 전압(VREF)이 제1피드백 전압(VFEED1)보다 높은 경우에 PMOS 트랜지스터(1220)가 턴온되어 제1내부 전압(VINT1)의 레벨을 높이고, 비교기(1210)의 비교 결과 제1피드백 전압(VFEED1)이 기준 전압(VREF)보다 높은 경우에 PMOS 트랜지스터(1220)가 오프되어 제2내부 전압(VINT1)의 레벨이 낮아질 수 있다. 이러한 동작에 의해, 제1피드백 전압(VFEED1)과 기준 전압(VREF)의 레벨은 동일해지고, 제1내부 전압(VINT1)은 [(R1+R2)/(R2)]*VREF의 전압 레벨을 가지도록 생성될 수 있다. 여기서, R1은 저항(1231)의 저항값이고, R2는 저항(1232)의 저항값일 수 있다.
온/오프 신호(ON/OFF1)가 '로우'로 비활성화되면, NMOS 트랜지스터들(1243, 1244)이 오프되고, PMOS 트랜지스터들(1241, 1242)이 턴온되어 비교기(1210)로 흐르는 전류 및 저항들(1231, 1232)에 흐르는 전류가 차단될 수 있다. 즉, 제1내부 전압 생성부(1010)는 비활성화될 수 있다.
도 13은 도 10의 제2내부 전압 생성부(1020)의 일실시예 구성도이다.
도 13을 참조하면, 제2내부 전압 생성부(1020)는 제1내부 전압(VINT1)과 제2피드백 전압(VFEED2)의 레벨을 비교하는 비교기(1310), 비교기(1310)의 비교 결과에 따라 제2내부 전압(VINT2)을 구동하는 PMOS 트랜지스터(1220), 제2내부 전압(VINT2)을 전압 분배해 제2피드백 전압(VFEED2)을 생성하기 위한 저항들(1331, 1332), 제2온/오프 신호(ON/OFF2)에 응답해 제2내부 전압 생성부(1020)를 활성화/비활성화하기 위한 PMOS 트랜지스터들(1341, 1342)과 NMOS 트랜지스터들(1343, 1344)을 포함할 수 있다.
제2내부 전압 생성부(1020)는 제1온/오프 신호(ON/OFF1) 대신에 제2온/오프 신호(ON/OFF2)에 응답해 활성화/비활성화되고, 비교기(1310)가 기준 전압(VREF) 대신에 제1내부 전압(VINT1)을 사용한다는 점을 제외하고는, 제1내부 전압 생성부(1010)와 동일하게 구성되고 동일하게 동작할 수 있다.
도 14는 본 발명의 제3실시예에 따른 전압 생성 회로(1400)의 구성도이다.
도 14를 참조하면, 전압 생성 회로(1400)는 전압 감지기(1410), 차지 펌프(1420), 온/오프 스플리터(1430) 및 펌프 활성화 제어부(1440)를 포함할 수 있다.
전압 감지기(1410)는 펌핑 전압(VPUMP)의 레벨을 감지해 펌핑 필요 신호(PUMP_NEED)를 생성할 수 있다. 전압 감지기(1410)는 펌핑 전압(VPUMP)의 레벨이 목표 값보다 높은 경우에는 펌핑 필요 신호(PUMP_NEED)를 비활성화하고, 펌펑 전압(VPUMP)의 레벨이 목표 값보다 낮은 경우에는 펌핑 필요 신호(PUMP_NEED)를 활성화할 수 있다. 전압 감지기는 제1온/오프 신호(ON/OFF1)에 응답해 활성화/비활성화될 수 있다. 제1온/오프 신호(ON/OFF1)는 주기적으로 활성화/비활성화되는 신호일 수 있다.
펌프 활성화 제어부(1440)는 펌핑 필요 신호(PUMP_NEED)와 제2온/오프 신호(ON/OFF2)가 활성화되면, 차지 펌프(1420)를 활성화하기 위한 펌프 활성화 신호(PUMP_EN)를 활성화할 수 있다. 제2온/오프 신호(ON/OFF2)는 주기적으로 활성화/비활성화되는 신호일 수 있다. 차지 펌프(1420)는 전압 감지기(1410)의 감지 동작에 기초해 동작하므로 차지 펌프(1420)의 활성화시에는 전압 감지기(1410)가 정확한 감지 동작을 수행할 수 있어야 한다. 따라서, 제2온/오프 신호(ON/OFF2)의 활성화 구간은 제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 활성화 구간 내에 포함될 수 있다.
온/오프 스플리터(1430)는 제1온/오프 신호(ON/OFF1)와 주기파(OSC)를 논리 조합해 제2온/오프 신호(ON/OFF2)를 생성할 수 있다. 온/오프 스플리터(1430)는 인버터(1431)와 앤드 게이트(1432)를 포함할 수 있다. 제1온/오프 신호(ON/OFF1) 및 주기파(OSC)는 도 3 내지 도 9에서 설명한 주기파 생성부(110)에서 생성될 수 있다. 그리고, 온/오프 스플리터(1430)는 도 11과 같이 동작할 수 있다.
차지 펌프(1420)는 펌프 활성화 신호(PUMP_EN)의 활성화시에 활성화되어, 펌핑 전압(VPUMP)의 전압 레벨이 높아지도록 펌핑 동작을 수행할 수 있다. 펌핑 전압(VPUMP)은 집적 회로 외부로부터 공급된 전원 전압보다 더 높은 레벨의 전압일 수 있다.
도 15는 도 14의 전압 감지기(1410)의 일실시예 구성도이다.
도 15를 참조하면, 전압 감지기(1410)는 펌핑 전압(VPUMP)을 전압 분배하기 위한 전압 분배부(1510) 및 전압 분배부(1510)에 의해 전압 분배된 전압(VDIV)과 기준 전압(VREF)을 비교해 펌핑 필요 신호(PUMP_NEED)를 생성하는 비교기(1520)를 포함할 수 있다. 그리고 제1온/오프 신호(ON/OFF1)에 응답해 전압 감지기(1410)를 활성화 비활성화하기 위한 인버터(1531), PMOS 트랜지스터들(1532, 1533) 및 NMOS 트랜지스터들(1534, 1535)을 포함할 수 있다.
제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 활성화시에 PMOS 트랜지스터(1532)와 NMOS 트랜지스터들(1534, 1535)이 턴온되어 전압 분배부(1510)와 비교기(1520)가 활성화될 수 있다. 비교기(1520)는 전압 분배된 전압(VDIV)이 기준 전압(VREF)보다 낮은 경우에 펌핑 전압(VPUMP)의 레벨을 높일 필요가 있다고 판단해 펌핑 필요 신호(PUMP_NEED)를 '하이'로 활성화할 수 있다. 그리고 비교기(1520)는 전압 분배된 전압(VDIV)이 기준 전압(VREF)보다 높은 경우에 펌핑 전압(VPUMP)의 레벨을 높일 필요가 없다고 판단해 펌핑 필요 신호(PUMP_NEED)를 '로우'로 비활성화할 수 있다.
제1온/오프 신호(ON/OFF1)의 비활성화시에는 PMOS 트랜지스터(1532)와 NMOS 트랜지스터들(1534, 1535)이 오프되고, PMOS 트랜지스터(1533)이 턴온될 수 있다. 이에 의해, 전압 분배부(1510)와 비교기(1520)에 흐르는 전류가 차단되어 전압 감지기(1410)가 비활성화될 수 있다.
도 16은 본 발명의 제4실시예에 따른 전압 생성 회로(1600)의 구성도이다.
도 16을 참조하면, 전압 생성 회로(1600)는 제1내부 전압 생성부(1610), 제2내부 전압 생성부(1620) 및 캐패시터(1630)를 포함할 수 있다.
제1내부 전압 생성부(1610)는 온/오프 신호(ON/OFF)가 제1레벨(예, '하이' 레벨)인 경우에 활성화되어 내부 전압(VINT)을 생성할 수 있다. 제1내부 전압 생성부(1610)는 전압 분배를 위한 저항들(1611, 1612), 온/오프 신호(ON/OFF)에 응답해 제1내부 전압 생성부(1610)를 활성화/비활성화하기 위한 트랜지스터들(1613, 1614) 및 인버터(1615)를 포함할 수 있다. 온/오프 신호(ON/OFF)는 도 3 내지 도 9에서 설명한 주기파 생성부(110)에서 생성될 수 있다.
제2내부 전압 생성부(1620)는 온/오프 신호(ON/OFF)가 제2레벨(예, '로우'레벨)인 경우에 활성화되어 내부 전압(VINT)을 생성할 수 있다. 제2내부 전압 생성부(1620)는 전압 분배를 위한 저항들(1621, 1622), 온/오프 신호(ON/OFF)에 응답해 제2내부 전압 생성부(1620)를 활성화/비활성화하기 위한 트랜지스터들(1623, 1624) 및 인버터(1625)를 포함할 수 있다. 제2내부 전압 생성부(1620)의 저항들(1621, 1622) 간의 저항비는 제1내부 전압 생성부(1610)의 저항들(1611, 1612) 간의 저항비와 동일할 수 있다. 즉, 제2내부 전압 생성부(1620)와 제1내부 전압 생성부(1610)는 동일한 레벨의 내부 전압(VINT)을 생성할 수 있다. 그러나, 제2내부 전압 생성부(1620)의 저항들(1621, 1622)은 제1내부 전압 생성부(1610)의 저항들(1611, 1612)보다 더 큰 저항값을 가질 수 있다. 예를 들어, 제1내부 전압 생성부(1610)의 저항들(1611, 1612)이 100Ω이라면 제2내부 전압 생성부(1620)의 저항들(1621, 1622)은 200Ω일 수 있다.
제1내부 전압 생성부(1610)는 제2내부 전압 생성부(1620)보다 내부 전압(VINT)을 더욱 강하게, 즉 더욱 안정적으로, 구동할 수 있지만 더욱 많은 전류를 소모할 수 있다. 제1내부 전압 생성부(1610)와 제2내부 전압 생성부(1620)를 번갈아 활성화하는 것에 의해 내부 전압(VINT)의 레벨을 안정적으로 유지할 수 있으며, 제1내부 전압 생성부(1610)를 계속 활성화하는 것보다는 전류 소모를 줄일 수 있다.
도 17은 본 발명의 일실시예에 따른 집적 회로의 구성도이다.
도 17을 참조하면, 집적 회로는, 주기파 생성부(1710), 내부 전압 생성부(1720), 제1 내지 제N수신 회로들(1731~1733)(N은 1이상의 정수임), 모드 신호 생성부(1740) 및 캐패시터(1750)를 포함할 수 있다.
주기파 생성부(1710)는 온/오프 신호(ON/OFF)를 생성할 수 있다. 주기파 생성부(1710)는 모드 신호(MODE)가 로우 레벨인 제1모드에서는 온/오프 신호(ON/OFF)를 주기적으로 활성화/비활성화되고, 모드 신호(MODE)가 하이 레벨인 제2모드에서는 온/오프 신호(ON/OFF)를 활성화 상태로 유지할 수 있다. 주기파 생성부(1710)는 도 9와 같이 구성될 수 있다.
모드 신호 생성부(1740)는 모드 신호(MODE)를 생성할 수 있다. 모드 신호 생성부(1740)는 집적 회로 외부로부터 입력 신호들(INPUT1~INPUTN)이 입력되지 않는 구간 동안에는 모드 신호(MODE)를 '로우' 레벨로 생성하고, 집적 회로 외부로부터 입력 신호들(NPUT1~INPUTN)이 입력되는 구간 동안에는 모드 신호(MODE)를 '하이' 레벨로 생성할 수 있다. 집적 회로가 메모리 장치(예, DRAM)고 입력 신호들(INPUT1~INPUTN)이 데이터인 경우에, 메모리 장치에 액티브된 로우(row)가 존재하지 않는 경우에는 데이터가 입력될 가능성이 없다. 그러므로, 모드 신호 생성(1740)부는 메모리 장치에 액티브된 로우가 존재하지 않는 구간 동안에는 모드 신호(MODE)를 '로우' 레벨로 생성하고 메모리 장치에 액티브된 로우가 존재하는 구간 동안에는 모드 신호(MODE)를 '하이' 레벨로 생성할 수 있다.
내부 전압 생성부(720)는 온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 내부 전압인 기준 전압(VREF)을 생성할 수 있다. 내부 전압 생성부(720)는 도 2와 같이 구성될 수도 있으며, 도 12와 같이 구성될 수도 있다.
제1 내지 제N수신 회로들(1731~1733)은 제1 내지 제N입력 신호(INPUT1~INPUTN)와 기준 전압(VREF)을 비교해 제1 내지 제N입력 신호(INPUT1~INPUTN)를 수신할 수 있다. 수신 회로들(1731~1733) 각각은 자신에 대응하는 입력 신호가 기준 전압(VREF)보다 높으면 해당 입력 신호를 '하이'로 인식하고 자신에 대응하는 입력 신호가 기준 전압(VREF)보다 낮으면 해당 입력 신호를 '로우'로 인식할 수 있다.
도 17에 따르면, 제1 내지 제N입력 신호들(INPUT1~INPUTN)이 수신되는 제1모드에서는 내부 전압 생성부(720)가 활성화되어 제1 내지 제N수신 회로들(1731~1733)에 안정적인 레벨의 기준 전압(VREF)을 공급할 수 있으며, 제1 내지 제N입력 신호들(INPUT1~INPUTN)이 수신되지 않는 제2모드에서는 내부 전압 생성부(720)가 비활성화되어 전류 소모를 줄일 수 있다.
본 발명은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 알 수 있을 것이다.
100: 전압 생성 회로 110: 주기파 생성부
120: 내부 전압 생성부 130: 캐패시터

Claims (22)

  1. 주기적으로 활성화 비활성화되는 온/오프 신호를 생성하되, 상기 온/오프 신호의 주기 및 듀티 중 적어도 하나 이상은 온도 정보, 캐패시턴스 정보, 누설 전류 정보, 스피드 정보, 전압 레벨 정보 중 하나 이상의 정보에 의해 조절하는 주기파 생성부; 및
    상기 온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고 내부 전압을 생성하는 내부전압 생성부
    를 포함하는 전압 생성 회로.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 온도 정보는 상기 전압 생성 회로를 포함하는 집적 회로 상에 존재하는 온도 센서로부터 생성되는
    전압 생성 회로.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 캐패시턴스 정보, 누설 전류 정보 및 전압 레벨 정보는 상기 전압 생성 회로를 포함하는 집적 회로의 테스트시에 결정된 값을 저장하는 비휘발성 메모리에 저장된 정보인
    전압 생성 회로.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 스피드 정보는 상기 전압 생성 회로를 포함하는 집적 회로의 설정 정보를 저장하는 레지스터에 저장된 정보인
    전압 생성 회로.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 주기파 생성부는
    주기파를 생성하는 오실레이터;
    상기 주기파를 분주해 다수의 분주 주기파들을 생성하기 위한 분주기;
    상기 다수의 분주 주기파들을 논리 조합해 다양한 주파수 및 듀티를 가지는 예비 온/오프 신호들을 생성하는 논리 조합부; 및
    상기 온도 정보, 상기 캐패시턴스 정보, 상기 누설 전류 정보, 상기 스피드 정보, 상기 전압 레벨 정보 및 상기 모드 정보 중 하나 이상의 정보에 응답해 상기 예비 온/오프 신호들 중 하나의 신호를 상기 온/오프 신호로 선택하기 위한 선택부를 포함하는
    전압 생성 회로.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화 비활성화되지만,
    제2모드에서는 계속 활성화 상태를 유지하는
    전압 생성 회로.
  7. 주기적으로 활성화/비활성화되는 제1온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 제1내부 전압을 생성하는 제1내부 전압 생성부; 및
    주기적으로 활성화/비활성화되는 제2온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 상기 제1내부 전압을 이용해 제2내부 전압을 생성하는 제2내부 전압 생성부를 포함하고,
    상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간 내에 포함되는
    전압 생성 회로.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간보다 큰
    전압 생성 회로.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 제1온/오프 신호와 주기파를 논리 조합해 상기 제2온/오프 신호를 생성하는 온/오프 스플리터를 더 포함하는
    전압 생성 회로.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 제1온/오프 신호와 상기 제2온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화/비활성화되지만,
    제2모드에서는 계속 활성화상태를 유지하는
    전압 생성 회로.
  11. 주기적으로 활성화/비활성화되는 제1온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 펌핑 전압의 레벨을 감지해 펌핑 필요 신호를 생성하는 전압 감지기; 및
    주기적으로 활성화/비활성화되는 제2온/오프 신호와 상기 펌핑 필요 신호가 활성화되는 구간 동안에 활성화되어 상기 펌핑 전압을 생성하는 차지 펌프
    를 포함하는 전압 생성 회로.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간 내에 포함되는
    전압 생성 회로.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 제1온/오프 신호의 활성화 구간은 상기 제2온/오프 신호의 활성화 구간보다 큰
    전압 생성 회로.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제1온/오프 신호와 주기파를 논리 조합해 상기 제2온/오프 신호를 생성하는 온/오프 스플리터를 더 포함하는
    전압 생성 회로.
  15. 제 12항에 있어서,
    상기 펌핑 필요 신호와 상기 제2온/오프 신호가 활성화되는 경우에 상기 차지 펌프를 활성화하기 위한 펌프 활성화 신호를 활성화하는 펌프 활성화 제어부를 더 포함하는
    전압 생성 회로.
  16. 제 11항에 있어서,
    상기 제1온/오프 신호와 상기 제2온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화/비활성화되지만,
    제2모드에서는 계속 활성화상태를 유지하는
    전압 생성 회로.
  17. 온/오프 신호에 응답해 활성화/비활성화되고, 기준 전압을 생성하는 내부 전압 생성부; 및
    상기 기준 전압과 제1입력 신호를 비교해 상기 제1입력 신호를 수신하는 제1수신 회로를 포함하고,
    상기 온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화/비활성화되고, 제2모드에서는 항상 활성화 상태를 유지하는
    집적 회로.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 제1모드는 상기 입력 신호가 입력되지 않는 모드이고,
    상기 제2모드는 상기 입력 신호가 입력되는 모드인
    집적 회로.
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 집적 회로는 메모리 장치이고,
    상기 제1모드는 상기 메모리 장치에서 액티브된 로우가 존재하지 않는 구간에서 활성화되고,
    상기 제2모드는 상기 메모리 장치에서 액티브된 로우가 존재하는 구간에서 활성화되는
    집적 회로.
  20. 제 17항에 있어서,
    상기 기준 전압과 제2 내지 제N입력 신호들 중 자신에 대응하는 입력 신호를 비교해 수신하는 제2 내지 제N수신 회로들(N은 2이상의 정수)을 더 포함하는
    집적 회로.
  21. 주기적으로 활성화 비활성화되는 온/오프 신호가 제1레벨인 경우에 활성화되어 내부 전압을 생성하는 제1내부 전압 생성부; 및
    상기 온/오프 신호가 제2레벨인 경우에 활성화되어 상기 내부 전압을 생성하는 제2내부 전압 생성부를 포함하고,
    상기 제1내부 전압 생성부는 상기 제2내부 전압 생성부보다 더 강한 전압 구동력을 가지는
    전압 생성 회로.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 온/오프 신호는 제1모드에서는 주기적으로 활성화 비활성화되지만,
    제2모드에서는 상기 제1레벨과 상기 제2레벨 중 하나의 레벨로 고정되는
    전압 생성 회로.
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