KR20150038299A

KR20150038299A - 압분자심용 철분 및 압분자심의 제조 방법

Info

Publication number: KR20150038299A
Application number: KR1020157004742A
Authority: KR
Inventors: 히로유키 미타니; 다케오 미야무라; 히로후미 호조; 도모츠나 가미조
Original assignee: 가부시키가이샤 고베 세이코쇼
Priority date: 2012-08-31
Filing date: 2013-08-26
Publication date: 2015-04-08
Also published as: CN104584150B; WO2014034616A1; KR101639960B1; US20150187493A1; JP2014049643A; CA2880249A1; SE540119C2; JP5919144B2; US9583261B2; SE1550094A1; CA2880249C; CN104584150A

Abstract

눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 연자성 분말을 압축 성형하여 압분자심을 제조함으로써, 성형체 밀도가 높고, 철손을 저감시킨 압분자심을 얻을 수 있다.

Description

압분자심용 철분 및 압분자심의 제조 방법 {IRON POWDER FOR POWDER MAGNETIC CORE AND PROCESS FOR PRODUCING POWDER MAGNETIC CORE}

본 발명은 연자성 분말을 압축 성형함으로써, 압분자심을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조 방법에 의해 얻어지는 압분자심은, 자기 특성이 우수하고, 특히 철손이 작고, 밀도가 높으므로 자속 밀도가 높다. 또한 본 발명은 본 발명의 제조 방법에 제공되는 연자성 분말에 관한 것이다.

인덕터나 모터 등의 전자기 부품은, 일반적으로, 자심(코어)의 주위에 전기 전도체의 코일을 형성한 구조 단위를 갖는다. 최근에는, 자심(코어)으로서, 압분자심을 사용하는 것이 검토되고 있다. 압분자심은, 연자성 분말을 압축 성형함으로써 제조되고, 등방적인 자기 특성을 갖는다. 이로 인해, 3차원적인 자기 회로를 설계하는 것이 가능해져, 전자기 부품의 소형 경량화에 기여할 수 있다.

자성 재료가 자화된 경우에 그 재료가 나타내는 자기적인 성질인 자기 특성으로서는, 철손, 자속 밀도, 보자력, 주파수 특성 등이 있다. 압분자심에 있어서 중요해지는 자기 특성으로서는, 철손, 자속 밀도 등을 들 수 있다.

철손은, 강자성체 내부에 교류 자계를 가하였을 때에 발생하는 자성체 내부에서의 에너지 손실이다. 상기 인덕터나 모터 등의 전자기 부품은 교류 자장 중에서 사용되는 경우가 많으므로, 전자 변환 특성 향상의 관점에서, 전자기 부품에 사용되는 압분자심에는 철손의 저감이 요구된다.

철손은, 재료 내 자속 변화의 완화 현상(자기 공명 등)을 수반하지 않는 영역이라면, 또한 히스테리시스손과 와전류손의 합으로 나타내어진다. 히스테리시스손은 구동 주파수에 비례하고, 와전류손은 구동 주파수의 2승에 비례하고 있다. 따라서, 구동 주파수가 고주파(예를 들어, 1㎑ 이상)로 되면, 와전류손이 철손에 미치는 영향이 커지고, 구동 주파수가 저주파(예를 들어, 수 100㎐∼1㎑)로 되면, 히스테리시스손이 철손에 미치는 영향이 커진다.

전자기 부품 중, 인덕터나 리액터 등은, 고주파의 구동 주파수에서 사용되므로, 와전류손의 저감이 중요해진다. 와전류손을 저감시키기 위해서는, 철기 입자의 표면을 절연 피막으로 피복하면 되는 것이 알려져 있다. 철기 입자의 표면을 절연 피막으로 피복함으로써, 복수의 입자에 걸쳐 흐르는 와전류의 발생이 억제된다. 이에 의해, 와전류는 개개의 입자 내에 국재하게 되므로, 전체적으로 와전류손을 저감시킬 수 있다. 절연 피막으로서는, 절연성의 무기 피막(예를 들어, 인산계 화성 피막, 물유리 피막, 산화물 피막 등)이나 수지 피막(예를 들어 실리콘 수지 피막 등)이 사용되고 있다. 또한, 와전류손을 저감시키기 위해서는, 입자 직경이 작은 연자성 분말을 사용하는 것도 유효하다(예를 들어, 특허문헌 1).

또한, 전자기 부품 중, 모터 등은, 저주파의 구동 주파수에서 사용되므로, 히스테리시스손의 저감이 중요해진다. 히스테리시스손을 저감시키기 위해서는, 연자성 분말을 성형하여 얻어진 성형체에 열처리를 실시하면 되는 것이 알려져 있다. 즉, 히스테리시스손은 보자력과 강하게 상관되어 있고, 압분자심의 보자력은, 성형체에 변형이 많이 도입될수록 커진다. 따라서, 성형 후에 열처리(변형 제거 어닐링)를 실시하여, 도입된 변형을 개방하면, 압분자심의 보자력은 작아진다. 그 결과, 압분자심의 히스테리시스손은 작아진다.

또한 자속 밀도를 향상시키기 위해서는, 연자성 분말 자체의 자속 밀도를 높게 하는 것이 필요하며, 불순물 원소가 적은 순철분이 바람직하다. 또한, 압분자심의 성형체 밀도를 높게 함으로써도 자속 밀도를 향상시킬 수 있다.

일본 특허 출원 공개 제2009-32880호 공보(제6∼9페이지, 표 2)

압분자심의 원료로 되는 철기 원료 분말은, 표면이 산화되어 있는 경우가 많으므로, 환원 어닐링을 행할 필요가 있다. 환원 어닐링은, 수소 등의 환원성 분위기하에서, 900℃ 이상 1250℃ 이하에서 행해진다. 900℃ 이상 1250℃ 이하의 고온에서 환원 어닐링하면, 철기 원료 분말의 소결이 진행되고, 인접하는 철기 원료 분말끼리가 융착 결합한다. 따라서, 원하는 입도의 연자성 분말을 얻기 위해서는, 철기 환원 분말을 분쇄하고, 분쇄에 의해 얻어진 철기 분쇄 분말을 분급하면 되는 것이 알려져 있다. 그러나, 이러한 방법으로 제조한 연자성 분말을 사용하여 압분자심을 형성해도, 충분한 자기 특성이 얻어지지 않는 경우가 있었다.

본 발명은 이러한 사정에 비추어 이루어진 것이며, 그 목적은, 성형체 밀도가 높고, 철손을 저감시킨 압분자심을 제조하는 방법을 제공하는 데 있다.

상기 과제를 해결할 수 있는 본 발명에 관한 압분자심의 제조 방법(제1 제조 방법)은, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 연자성 분말을 압축 성형하는 점에 요지를 갖고 있다.

또한, 상기 연자성 분말은, 표면에 절연층을 갖고 있는 철기 입자인 것이 바람직하다.

제1 제조 방법에 의해 얻어지는 압분자심은, 인덕터의 코어인 것이 바람직하다.

또한, 상기 과제를 해결할 수 있는 압분자심용 연자성 분말(제1 연자성 분말)은, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 것을 특징으로 한다.

상기 연자성 분말은, 표면에 절연층을 갖고 있는 철기 입자인 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 압분자심의 제조 방법(제2 제조 방법)은, 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 연자성 분말을 압축 성형하는 점에 요지를 갖고 있다.

제2 제조 방법에 의해 얻어지는 압분자심은, 모터의 회전자 또는 고정자의 코어인 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 압분자심용 연자성 분말은, 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말(제2 연자성 분말)의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제조 방법(제1 제조 방법)에 따르면, 눈금 75㎛의 체를 95질량％ 이상 통과하고, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 연자성 분말(제1 연자성 분말)을 압축 성형하므로, 철손을 저감시키는 동시에, 성형체 밀도가 향상되고, 자속 밀도가 향상된 압분자심을 제조할 수 있다.

또한, 본 발명의 제조 방법(제2 제조 방법)에 따르면, 눈금 600㎛의 체를 98질량％ 이상 통과하고, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 연자성 분말(제2 연자성 분말)을 압축 성형하므로, 철손을 저감시키는 동시에, 성형체 밀도가 향상되고, 자속 밀도가 향상된 압분자심을 제조할 수 있다.

또한 본 발명에 따르면, 철기 원료 분말을 환원 어닐링하여 얻어진 괴상이나 판상의 철기 환원 분말을 분쇄하는 데 있어서, 공업적으로도 유리한 분쇄의 정도를, 변형을 지표로 하여 평가할 수 있다.

도 1은 발명예 1∼4 및 비교예 1에서 얻어진 압분자심의 성형체 밀도를 평균 변형률에 대해 플롯한 도면이다.
도 2는 발명예 5, 6 및 비교예 2에서 얻어진 압분자심의 성형체 밀도를 평균 변형률에 대해 플롯한 도면이다.
도 3은 발명예 1∼4 및 비교예 1에서 얻어진 압분자심의 철손을 평균 변형률에 대해 플롯한 도면이다.

본 발명자들은, 철손을 저감시킨 후에, 성형체 밀도를 향상시키고, 자속 밀도를 향상시키기 위해 예의 검토를 거듭한 결과, 이하의 지식을 얻었다. 종래에는, 목적으로 하는 소정의 입도의 연자성 분말을 보다 많이 얻기 위해, 또한 경우에 따라 연자성 분말의 입도를 작게 하여 철손을 저감시키기 위해, 장시간의 분쇄를 행하고 있었다. 그러나 분쇄 시간이 길면, 철기 환원 분말이나 철기 분쇄 분말에는 변형이 도입되기 쉬워진다. 분쇄 시, 철기 환원 분말이나 철기 분쇄 분말에 도입된 변형은, 분급이나 압축 성형 등의 조작에 의해서는 제거되지 않고, 얻어진 연자성 분말에는 변형이 잔류하게 된다. 이와 같이 분쇄에 의해 도입된 변형은, 성형체의 어닐링에 의해서도 제거하는 것이 곤란하며, 연자성 분말의 입도가 작아져 와전류손이 저감되었다고 해도, 그 이상으로 히스테리시스손이 증대되는 결과, 반대로 철손을 증대시킨다. 또한, 분쇄에 의해 변형이 도입된 연자성 분말은 경화되어 있으므로, 이러한 연자성 분말을 압축 성형해도 높은 성형체 밀도가 얻어지지 않고, 자속 밀도가 저하된다.

따라서 본 발명자들은, 소정의 입도에 대해 효율이 저하되는 것은 알고 있으면서, 분쇄 시간을 짧게 하고, 분쇄한 철분으로부터 원하는 입도의 것을 분급에 의해 회수하여 압분자심을 형성한 바, 압분자심으로서 우수한 자기 특성이 얻어지는 것을 발견하고, 본 발명을 완성하였다.

이하, 본 발명에 대해 상세하게 설명한다.

1. 압분자심의 제조 방법

본 발명에 관한 압분자심의 제1 제조 방법은, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 제1 연자성 분말을 압축 성형하는 것을 특징으로 한다. 제1 제조 방법에 의해 제조된 압분자심은, 고주파의 구동 주파수에서 사용되는 전자기 부품, 예를 들어 인덕터(초크 코일, 노이즈 필터, 리액터 등)의 코어에 바람직하게 적용된다.

또한, 본 발명에 관한 압분자심의 제2 제조 방법은, 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 제2 연자성 분말을 압축 성형하는 것을 특징으로 한다. 또한, 제2 제조 방법에 의해 제조된 압분자심은, 저주파의 구동 주파수에서 사용되는 전자기 부품, 예를 들어 모터의 회전자 또는 고정자의 코어에 바람직하게 적용된다.

본 발명의 압분자심의 제조 방법은, 제1 및 제2 제조 방법 모두에 있어서, 프레스기와 금형을 사용하고, 후술하는 연자성 분말을 압축 성형하는 것을 특징으로 한다. 압축 성형의 적합 조건은, 면압으로, 예를 들어 490∼1960㎫이다. 성형 온도는, 실온 성형, 온간 성형(예를 들어, 100∼250℃) 모두 가능하다.

상기 연자성 분말을 성형하는 데 있어서는, 상기 연자성 분말에, 윤활제를 더 배합해도 된다. 윤활제의 작용에 의해, 연자성 분말을 성형할 때의 분말간, 혹은 연자성 분말과 성형형 내벽간의 마찰 저항을 저감시킬 수 있고, 성형체의 형 스커핑이나 성형 시의 발열을 방지할 수 있다.

상기 윤활제로서는, 종래부터 공지의 것을 사용하면 되고, 구체적으로는, 스테아린산아연, 스테아린산리튬, 스테아린산칼슘 등의 스테아린산의 금속염 분말, 폴리히드록시카르본산아미드, 에틸렌비스스테아린산아미드(에틸렌비스스테아릴아미드), (N-옥타데세닐)헥사데칸산아미드 등의 지방산 아미드, 파라핀, 왁스, 천연 또는 합성 수지 유도체 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 지방산 아미드가 바람직하고, 그 중에서도 폴리히드록시카르본산아미드, 에틸렌비스스테아린산아미드가 바람직하다.

상기 윤활제는, 상기 연자성 분말 전체의 질량에 대해, 질량 비율로, 0.2∼1질량％인 것이 바람직하다. 상기 윤활제의 질량 비율은, 보다 바람직하게는 0.3질량％ 이상이며, 더욱 바람직하게는 0.4질량％ 이상이다. 그러나 상기 윤활제를 1질량％를 초과하여 배합해도 그 효과는 포화되고, 또한 윤활제의 양이 많아지면 성형체 밀도가 작아지고, 자기 특성이 열화된다. 따라서 상기 윤활제의 질량 비율은, 1질량％ 이하로 하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.9질량％ 이하, 더욱 바람직하게는 0.8질량％ 이하이다. 또한, 성형할 때에, 형 내벽면에 윤활제를 도포한 후, 성형하는 경우(형 윤활 성형)에는, 윤활제량은 0.2질량％보다 적어도 상관없다.

다음으로, 본 발명에서는, 상기 성형체에 열처리를 실시하여 압분자심을 제조할 수 있다. 이에 의해 성형 시에 도입된 변형이 해방되고, 상기 성형 시에 도입된 변형에 기인하는 압분자심의 히스테리시스손을 저감시킬 수 있다. 이때의 열처리 온도는 400℃ 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 450℃ 이상, 더욱 바람직하게는 500℃ 이상이다. 당해 공정은, 비저항의 열화가 없으면, 보다 고온에서 행하는 것이 바람직하다. 그러나 열처리 온도가 700℃를 초과하면, 절연 피막이 파괴되는 경우가 있다. 절연 피막이 파괴되면 철손, 특히 와전류손이 증대되고, 비저항 열화되므로 바람직하지 않다. 따라서 열처리 온도는 700℃ 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 650℃ 이하이다.

상기 열처리 시의 분위기는, 비산화성 분위기로 하는 것이 바람직하다. 분위기 가스로서는, 질소, 혹은 헬륨이나 아르곤 등의 희가스 등을 들 수 있다. 또한, 진공에서 열처리해도 상관없다. 열처리 시간은 비저항의 열화가 없으면 특별히 한정되지 않지만, 20분 이상이 바람직하고, 보다 바람직하게는 30분 이상, 더욱 바람직하게는 1시간 이상이다.

상기한 조건에서 열처리를 행하면, 절연 피막의 파괴가 일어나기 어려우므로, 철손, 특히 와전류손(보자력에도 상당함)을 증대시키는 일 없이, 높은 전기 절연성, 즉, 높은 비저항을 갖는 압분자심을 제조할 수 있다.

상기 열처리 후, 냉각하여 상온으로 되돌림으로써 본 발명에 관한 압분자심이 얻어진다.

2. 연자성 분말

2-1. 연자성 분말

2-1-1. 제1 연자성 분말

본 발명의 제1 연자성 분말은, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 것을 특징으로 한다. 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율은, 바람직하게는 96질량％ 이상, 보다 바람직하게는 98질량％ 이상이다. 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이 많아질수록, 즉, 연자성 분말의 입자 직경이 작을수록, 본 발명의 제조 방법에 의해 제조되는 압분자심은, 고주파의 구동 주파수에서 사용되는 전자기 부품, 예를 들어 인덕터로서 사용한 경우라도, 철손, 특히 와전류손이 효과적으로 저감된다. 또한, 평균 변형률은 바람직하게는 0.097％ 이하, 보다 바람직하게는 0.090％ 이하, 더욱 바람직하게는 0.080％ 이하, 특히 바람직하게는 0.070％ 이하이다.

평균 변형률이 작을수록, 본 발명의 제1 제조 방법에 의해 제조되는 압분자심은, 성형체 밀도가 높고 자속 밀도가 높아지므로, 철손을 저감시킬 수 있다.

본 발명의 제1 연자성 분말은, 표면에 후술하는 절연층을 갖고 있는 철기 입자인 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 제1 연자성 분말은, 또한, 눈금 45㎛의 체를 통과하지 않는 연자성 분말의 질량 비율이, 40질량％ 이상인 것이 바람직하다. 눈금 45㎛의 체를 통과하지 않는 연자성 분말의 질량 비율은, 바람직하게는 42질량％ 이상이다. 눈금 45㎛의 체를 통과하지 않는 연자성 분말의 질량 비율이 높을수록, 연자성 분말의 입경이 균일해지는 동시에, 분쇄 시에 도입되는 변형이 적으므로, 성형체 밀도를 높게 할 수 있고, 그 결과 자속 밀도가 높아지고, 철손이 저감되므로, 자기 특성이 우수한 압분자심을 제조할 수 있다.

2-1-2. 제2 연자성 분말

본 발명의 제2 연자성 분말은, 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 것을 특징으로 한다. 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율은, 바람직하게는 99질량％ 이상이다. 제2 연자성 분말은, 저주파의 구동 주파수에서 사용되는 전자기 부품, 예를 들어 모터의 코어에 사용하는 것을 의도하고 있으므로, 기본적으로는 연자성 분말의 입자 직경이 큰 것이 바람직하다. 그러나, 연자성 분말의 입자 직경이 지나치게 커지면 금형의 세부에의 충전을 하기 어려워지고, 얻어지는 압분자심에 결손이 발생하거나, 밀도가 저하되거나, 밀도에 편차가 발생한다. 따라서, 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율을 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상으로 한다. 또한, 평균 변형률은 바람직하게는 0.045％ 이하, 더욱 바람직하게는 0.040％ 이하이다. 평균 변형률이 작을수록, 본 발명의 제2 제조 방법에 의해 제조되는 압분자심은, 성형체 밀도가 높고 자속 밀도가 높아지므로, 철손을 저감시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 제2 연자성 분말은, 또한, 눈금 180㎛의 체를 통과하지 않는 연자성 분말의 질량 비율이, 20질량％ 이상인 것이 바람직하다. 눈금 180㎛의 체를 통과하지 않는 연자성 분말의 질량 비율이 높을수록, 연자성 분말의 입경이 균일해지는 동시에, 분쇄 시에 도입되는 변형이 적으므로, 성형체 밀도를 높게 할 수 있고, 그 결과 자속 밀도가 높아진다. 또한, 연자성 분말의 입자 직경이 커짐으로써, 입자 내부의 결정립경도 커지고, 히스테리시스손이 저감된다. 이들 내용으로부터 철손이 저감되므로, 자기 특성이 우수한 압분자심을 제조할 수 있다.

2-2. 절연층

상기 제1 및 제2 연자성 분말은, 표면에 절연층을 갖고 있는 철기 입자인 것이 바람직하다. 상기 절연층을 구성하는 것으로서는, 예를 들어 절연성 무기 피막이나 절연성 수지 피막을 들 수 있다. 상기 절연성 무기 피막의 표면에는, 또한 절연성 수지 피막이 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 또한, 절연성 무기 피막과 절연성 수지 피막의 합계 두께는 250㎚ 이하로 하는 것이 바람직하다. 막 두께가 250㎚를 초과하면, 자속 밀도의 저하가 커지는 경우가 있다.

2-2-1. 절연성 무기 피막

상기 절연성 무기 피막으로서는, 예를 들어 인산계 화성 피막, 크롬계 화성 피막, 물유리 피막, 산화물 피막 등을 들 수 있고, 바람직하게는 인산계 화성 피막이다. 상기 절연성 무기 피막은, 2종류 이상의 피막을 적층하여 형성해도 되지만, 통상은 단층이어도 된다.

인산계 화성 피막은, P를 포함하는 화합물을 사용하여 형성되는 아몰퍼스상 또는 글래스상의 피막이라면 그 조성은 특별히 한정되는 것은 아니다. 상기 인산계 화성 피막은, P 이외에, Ni, Co, Na, K, S, Si, B, Mg 등으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 원소를 포함하고 있어도 된다. 이들 원소는, 상술한 열처리 공정 시에, 산소가 Fe와 반도체를 형성하여 비저항을 저하시키는 것을 억제하는 작용을 갖고 있다.

상기 인산계 화성 피막의 두께는, 1∼250㎚ 정도가 바람직하다. 막 두께가 1㎚보다 얇으면 절연 효과가 발현되지 않는 경우가 있다. 또한 막 두께가 250㎚를 초과하면, 절연 효과가 포화되는 동시에, 압분자심의 고밀도화의 점에서도 바람직하지 않다. 보다 바람직한 막 두께는, 10∼50㎚이다.

2-2-2. 절연성 수지 피막

상기 절연성 수지 피막으로서는, 예를 들어 실리콘 수지 피막, 페놀 수지 피막, 에폭시 수지 피막, 폴리아미드 수지 피막, 폴리이미드 수지 피막 등을 들 수 있다. 바람직하게는 실리콘 수지 피막이다. 상기 절연성 수지 피막은, 2종류 이상의 피막을 적층하여 형성해도 되지만, 통상은 단층이어도 된다. 또한, 상기 절연성이라 함은, 본 발명에서는, 최종적인 압분자심의 비저항을 4단자법으로 측정하였을 때에, 50μΩ·m 정도 이상으로 되는 것을 의미하고 있다.

본 발명에서 사용되는 실리콘 수지는, 종래부터 공지의 실리콘 수지를 사용할 수 있고, 예를 들어 시판품으로서, 신에쯔(信越) 실리콘사제의 KR261, KR271, KR272, KR275, KR280, KR282, KR285, KR251, KR155, KR220, KR201, KR204, KR205, KR206, KR225, KR311, KR700, SA-4, ES-1001, ES1001N, ES1002T, KR3093이나 도레이 다우코닝사제의 SR2100, SR2101, SR2107, SR2110, SR2108, SR2109, SR2115, SR2400, SR2410, SR2411, SH805, SH806A, SH840 등을 들 수 있다. 열적 안정성의 관점에서, 메틸기가 50몰％ 이상인 메틸페닐실리콘 수지[예를 들어, 신에쯔 가가꾸 고교사(信越化學工業社)제의 KR225, KR311 등]를 사용하는 것이 바람직하고, 70몰％ 이상(예를 들어, 신에쯔 가가꾸 고교사제의 KR300 등)이 보다 바람직하고, 페닐기를 전혀 갖지 않는 메틸실리콘 수지(예를 들어, 도레이·다우코닝사제의 SR2400, 신에쯔 가가꾸 고교사제의 KR251, KR400, KR22OL, KR242A, KR240, KR500, KC89 등)가 더욱 바람직하다. 그 중에서도, SR2400이 가장 바람직하다.

상기 실리콘 수지 피막의 두께는, 1∼200㎚가 바람직하고, 보다 바람직하게는 20∼150㎚이다.

또한, 상기 인산계 화성 피막 상에, 실리콘 수지 피막을 더 가져도 된다. 이에 의해, 실리콘 수지의 가교·경화 반응 종료 시(압축 시)에는, 분말끼리가 강고하게 결합한다. 또한, 내열성이 우수한 Si-O 결합을 형성하여, 절연 피막의 열적 안정성을 향상시킬 수 있다.

2-3. 변형의 측정 방법

본 발명에서는, 평균 변형률은 X선 회절법에 의해 측정할 수 있다. X선으로 계측되는 변형은, 연자성 분말 중에서 결정이 다양한 방향을 향하고 있는 것에 기인하여 연자성 분말 전체의 변형의 평균값으로 되므로, 기계적인 변형과는 완전히 일치하지는 않는다. 그러나, X선 회절법에서는, 분말 재료라면 비파괴로 측정하는 것이 가능하고, 재현성, 정량성이 우수하므로, X선 회절법에 의해 연자성 분말의 변형을 측정하는 것이 바람직하다.

X선 회절법이라 함은, 어느 일정한 파장 λ의 X선을 연자성 분말에 입사할 때, 회절각 2θ와, 연자성 분말 중의 원자간 거리에 상당하는 회절면 간격 d가, 이하의 브래그식

으로 부여되는 관계를 만족하는 것을 이용하고, 원자간 거리를 측정하는 것을 말한다. 물질은, 물질을 구성하는 원자의 종류나 결정 구조 등에 의해, 각각 고유의 회절면 간격을 가지므로, X선 회절법에 의해 물질의 동정을 행할 수 있다.

연자성 분말에 변형이 도입된 경우, 연자성 분말 중에서 원자간 거리 d도 변화하므로, 파장 λ의 X선에 대한 회절각 2θ도 그에 수반하여 변화한다. 따라서, 연자성 분말에 도입된 변형의 정도는, 상기 식 (1)로 나타내어지는 브래그식을 이용하여 계산할 수 있다.

평균 변형률은, 예를 들어 이하와 같은 방법으로 산출할 수 있다. 우선, 연자성 분말에 특징적인, 파장 λ에 대한 어느 회절각에 대해, 변형이 존재하지 않을 때의 상기 회절각의 값을 2θ_a0으로 한다. 연자성 분말의 X선 회절 측정에 의해 얻어진 X선 회절 스펙트럼 중, 2θ_a0에서 유래되는 피크의 반값폭에 걸쳐, 상기 브래그식을 사용하여 회절면 간격 d를 계산하고, 회절각 2θ_a0에 대응하는 회절면 간격 d_a0으로부터의 변위량

[수 1]

을 구한다. 다음으로, 2θ_a0에서 유래되는 피크의 반값폭에 걸쳐, 그 평균값

[수 2]

을 취하고, 상기 평균값을 하기 식 (4)

[수 3]

에 의해 무차원화하고, 백분율로 나타냄으로써, 평균 변형률을 산출할 수 있다.

연자성 재료에 도입된 변형은, 후술하는 철기 원료 분말의 입도나, 환원 어닐링 공정에 있어서의 환원 어닐링 온도, 분쇄 공정에 있어서의 분쇄 수율을 적절히 조정함으로써 제어할 수 있다.

3. 연자성 분말의 제조 방법

3-1. 철기 원료 분말

우선, 연자성 분말을 제조하는 원료 분말인 철기 원료 분말이라 함은, 강자성체의 철기 분말을 말하며, 구체적으로는, 순철분, 철기 합금 분말(예를 들어, Fe-Al 합금, Fe-Si 합금, 센더스트, 퍼멀로이 등) 및 철기 아몰퍼스 분말 등을 들 수 있다.

상기 철기 원료 분말은, 예를 들어 아토마이즈법(가스 아토마이즈법이나 물 아토마이즈법)이나 분쇄법에 의해 제조할 수 있다. 또한, 얻어진 분말을 필요에 따라 예비 환원해 두어도 된다. 예를 들어, 환원 어닐링 공정에 앞서, 물 아토마이즈법에 의해 철기 원료의 용탕으로부터 산화 철기 분말을 형성하는 아토마이즈 공정과, 상기 산화 철기 분말을 예비 환원하여 철기 원료 분말을 얻는 예비 환원 공정을 더 포함해도 된다. 이 경우, 환원 어닐링 공정에서는, 예비 환원 공정에 의해 얻어진 상기 철기 원료 분말을 환원성 분위기 중에서 가열함으로써 상기 철기 원료 분말을 환원 어닐링하면 된다.

또한, 후술하는 환원 어닐링은, 표면 에너지를 구동력으로 하여 소결이 진행되는 것이 알려져 있다. 철기 원료 분말 등의 분말 재료에서는 일반적으로, 입도가 작을수록 분말의 표면적이 커지므로, 철기 원료 분말의 입도가 지나치게 작으면, 표면 에너지가 지나치게 커지기 때문에, 이것을 구동력으로 하는 소결이 지나치게 진행될 우려가 있다. 소결이 지나치게 진행되면, 후술하는 분쇄 공정에서 연자성 분말에 도입되는 변형이 많아지므로 바람직하지 않다.

이러한 관점에서, 제1 연자성 분말인, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 질량 비율이 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 연자성 분말을 얻으려고 하는 경우, 상기 제1 연자성 분말을 제조하기 위해 사용하는 철기 원료 분말의 입도는, 75㎛의 체를 통과하는 철기 원료 분말의 질량 비율이 90％ 질량 이상이며, 또한 45㎛의 체를 통과하는 철기 원료 분말의 질량 비율이 철기 원료 분말의 전량에 대해 60질량％ 이하로 되는 입도인 것이 바람직하다. 입자 직경이 큰 철기 원료 분말이 지나치게 많으면 효율이 저하된다. 한편, 입자 직경이 작은 철기 원료 분말이 지나치게 많으면 환원 공정에서 소결이 과잉으로 진행되고, 분쇄에 파워가 필요해지고, 변형이 발생하기 쉬워진다.

또한 마찬가지로, 제2 연자성 분말인, 눈금 600㎛의 체를 통과하는 질량 비율이 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 연자성 분말을 얻으려고 하는 경우, 제2 연자성 분말을 제조하기 위해 사용하는 철기 원료 분말의 입도는, 600㎛의 체를 통과하는 철기 원료 분말의 질량 비율이 99질량％ 이상이며, 또한 45㎛의 체를 통과하는 철기 원료 분말의 질량 비율이 철기 원료 분말의 전량에 대해 30질량％ 이하로 되는 입도인 것이 바람직하다.

3-2. 환원 어닐링 공정

환원 어닐링 공정에서는, 상기 철기 원료 분말을 환원성 분위기 중에서 가열함으로써 상기 철기 분말 재료를 환원 어닐링한다. 상기 철기 원료 분말을 환원 어닐링할 때의 분위기는, 환원성 분위기로 하면 된다. 환원성 분위기로서는, 예를 들어 수소 가스 분위기, 및 수소 가스와 불활성 가스(예를 들어, 질소 가스, 아르곤 가스 등)의 혼합 가스 분위기로 하면 된다.

이때, 인접하는 철기 원료 분말끼리가 소결에 의해 융착 결합하고, 환원 어닐링에 의해 얻어지는 철기 환원 분말은 판상이나 괴상의 소결체로 된다.

상기 철기 원료 분말을 환원 어닐링할 때의 환원 어닐링 온도의 하한은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 900℃ 이상에서 환원 어닐링하는 것이 바람직하다. 900℃ 이상의 온도에서 환원 어닐링하면, 철기 원료 분말이나 철기 환원 분말 내의 결정립경을 조대화할 수 있으므로, 압분자심의 히스테리시스손을 저감시킬 수 있다. 상기 환원 어닐링 온도는, 보다 바람직하게는 930℃ 이상, 더욱 바람직하게는 950℃ 이상이다. 그러나 환원 어닐링 온도가 지나치게 높아지면, 소결이 지나치게 진행되는 결과, 분쇄하는 데 막대한 에너지가 필요해져 공업적으로 불리하다. 또한, 소결이 지나치게 진행되면, 후술하는 분쇄 공정에 있어서 철기 환원 분말에 변형이 많이 도입되므로, 소정의 입경에 있어서 소정의 변형을 갖는 연자성 분말을 얻을 수 없게 된다. 따라서, 본 발명의 제1 및 제2 연자성 분말을 제조하기 위해서는, 가열 온도는 1250℃ 이하로 하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1200℃ 이하이다.

3-3. 분쇄 공정

분쇄 공정에서는, 상기 환원 어닐링 공정에서 환원 어닐링한 철기 환원 분말을 분쇄하고, 분급하여 원하는 입도의 것을 원하는 비율로 혼합함으로써 철기 입자를 얻는다. 분급하여 얻어진 철기 입자는, 그 상태로도 연자성 분말로서 사용할 수 있고, 또한 표면에 절연층을 형성한 후, 연자성 분말로서 사용할 수도 있다. 철손, 특히 와전류손 저감의 관점에서, 철기 입자의 표면에 절연층을 형성하는 것이 바람직하다.

철기 환원 분말은, 철기 원료 분말끼리가 융착 결합한 결과, 판상이나 괴상의 소결체로 되어 있다. 이러한 철기 환원 분말을 분쇄하는 방법은 특별히 한정되지 않고, 공지의 파쇄기나 분쇄기(예를 들어, 페더 밀, 해머 밀, 펄버라이저 등)를 적절히 조합하면 된다.

3-3-1. 제1 연자성 분말

상기 철기 환원 분말의 분쇄는, 제1 연자성 분말을 얻으려고 하는 경우, 분쇄 수율(75㎛)이 95질량％ 이상으로 되고, 또한 분쇄 수율(45㎛)이 60질량％ 이하로 되도록 행하고, 이 시점에서, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 철기 분쇄 분말을 본 발명의 철기 입자로서 회수함으로써 행한다. 분쇄 수율(75㎛)이라 함은, 분쇄 공정에 제공한 분쇄 전의 철기 환원 분말의 전량에 대한, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 분쇄 후의 철기 입자의 질량 비율을 말한다. 또한, 제1 연자성 분말에 관해, 분쇄 수율(45㎛)이라 함은, 분쇄 공정에 의해 얻어진 75㎛ 이하의 분말에 대한, 눈금 45㎛의 체를 통과하는 철분 입자의 질량 비율을 말한다. 분쇄 수율(75㎛)과 분쇄 수율(45㎛)이 상기한 범위이면, 얻어지는 제1 연자성 분말은, 눈금 75㎛를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 이하로 된다.

또한, 제1 연자성 분말을 얻으려고 하는 경우, 분쇄 수율(75㎛)은 96질량％ 이상이 바람직하고, 98질량％ 이상이 보다 바람직하다. 또한, 분쇄 수율(45㎛)은 바람직하게는 60질량％ 이하이며, 보다 바람직하게는 58질량％ 이하이다. 상기 분쇄 수율(45㎛)이 60질량％를 초과하는 경우, 연자성 분말에는 변형이 많이 도입되므로, 압분자심의 철손, 특히 히스테리시스손의 증대나, 성형체 밀도의 저하를 초래하고, 자속 밀도를 저하시키므로, 바람직하지 않다. 또한, 상기 분쇄 수율(75㎛)이 95질량％ 미만이면, 분쇄 수율이 낮은, 즉, 분쇄 효율이 낮은 점에서, 공업적으로 불리하기 때문에 바람직하지 않다.

3-3-2. 제2 연자성 분말

상기 환원 철기 분말 재료의 분쇄는, 제2 연자성 분말을 얻으려고 하는 경우, 분쇄 수율(600㎛)이 98질량％ 이상, 또한 분쇄 수율(45㎛)이 5질량％ 이하로 되도록 행하고, 이 시점에서 눈금 600㎛의 체를 통과하는 철기 분쇄 분말을 본 발명의 철기 입자로서 회수함으로써 행한다. 분쇄 수율(600㎛)이라 함은, 분쇄 공정에 제공한 분쇄 전의 철기 환원 분말의 전량에 대한, 눈금 600㎛의 체를 통과하는 분쇄 후의 철기 입자의 질량 비율을 말한다. 또한, 제2 연자성 분말에 관해, 분쇄 수율(45㎛)이라 함은, 분쇄 공정에 의해 얻어진 600㎛ 이하의 분말에 대한, 눈금 45㎛의 체를 통과하는 철분 입자의 질량 비율을 말한다. 분쇄 수율(600㎛)이 상기한 범위이면, 얻어지는 연자성 분말은, 눈금 600㎛를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 이하로 된다.

또한, 제2 연자성 분말을 얻으려고 하는 경우, 분쇄 수율(600㎛)은 99질량％ 이상이 보다 바람직하다. 또한, 분쇄 수율(45㎛)은 바람직하게는 5질량％ 이하이며, 보다 바람직하게는 2질량％ 이하이다. 상기 분쇄 수율(45㎛)이 5질량％를 초과하는 경우, 연자성 분말에는 변형이 많이 도입되므로, 압분자심의 철손, 특히 히스테리시스손의 증대나, 성형체 밀도의 저하를 초래하고, 자속 밀도를 저하시키므로 바람직하지 않다. 또한, 상기 분쇄 수율(600㎛)이 98질량％ 미만이면, 분쇄 수율이 낮은, 즉, 분쇄 효율이 낮은 점에서, 공업적으로 불리하므로 바람직하지 않다.

3-4. 절연층 형성 공정

3-4-1. 인산계 화성 피막의 형성 방법

본 발명에서 사용하는 인산계 화성 피막 형성 분말은, 어느 형태로 제조되어도 된다. 예를 들어, 물 및/또는 유기 용제로 이루어지는 용매에, P를 포함하는 화합물을 용해시킨 용액과, 조분화한 연자성 철기 분말을 혼합한 후, 필요에 따라 상기 용매를 증발시켜 얻을 수 있다. 본 공정에서 사용하는 용매로서는, 물이나, 알코올이나 케톤 등의 친수성 유기 용제, 및 이들의 혼합물을 들 수 있다. 용매에는 공지의 계면 활성제를 첨가해도 된다. 상기 P를 포함하는 화합물로서는, 예를 들어 오르토인산(H₃PO₄) 또는 그 염 등을 들 수 있다.

3-4-2. 실리콘 수지 피막의 형성 방법

상기 실리콘 수지 피막의 형성은, 예를 들어 실리콘 수지를 알코올류나, 톨루엔, 크실렌 등의 석유계 유기 용제 등에 용해시킨 실리콘 수지 용액과, 연자성 철기 분말을 혼합하고, 이어서 필요에 따라 상기 유기 용제를 증발시킴으로써 행할 수 있다. 연자성 철기 분말로서는, 인산계 화성 피막을 갖는 연자성 철기 분말(인산계 화성 피막 형성 분말)인 것이 바람직하다.

실시예

이하, 실시예를 들어 본 발명을 보다 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 물론 하기 실시예에 의해 제한을 받는 것이 아니라, 상기·후기하는 취지에 적합할 수 있는 범위에서 적당히 변경을 가하여 실시하는 것도 물론 가능하고, 그들은 모두 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 또한, 이하에 있어서는, 특별히 언급이 없는 한, 「부」는 「질량부」를, 「％」는 「질량％」를 의미한다.

하기에 나타내는 연자성 철기 분말을 준비하고, 하기에 나타내는 수순으로 압분자심을 제조하였다.

(철기 입자의 제조)

발명예 1∼4, 비교예 1

철기 원료 분말로서 순철분을 준비하고, 75㎛의 체를 통과하는 순철분의 질량 비율이 95질량％ 이상이며, 또한 45㎛의 체를 통과하는 순철분의 질량 비율이 52질량％로 되도록 조정하였다. 이 철기 원료 분말을 표 2에 나타내는 환원 어닐링 온도에서 환원 어닐링하였다. 얻어진 철기 환원 분말을, 표 1에 나타내는 분쇄 수율(45㎛)로 되도록 각종 장치를 사용하여 분쇄하고, 75㎛의 체를 통과하는 철기 분쇄 분말을 회수하여, 철기 입자를 얻었다.

발명예 5, 6, 비교예 2

철기 원료 분말로서 순철분을 준비하고, 600㎛의 체를 통과하는 순철분의 질량 비율이 99질량％이며, 또한 45㎛의 체를 통과하는 순철분의 질량 비율이 6.2질량％로 되도록 조정하였다. 이 철기 원료 분말을 표 3에 나타내는 환원 어닐링 온도에서 환원 어닐링하였다. 얻어진 철기 환원 분말을, 표 1에 나타내는 분쇄 수율(45㎛)로 되도록 각종 장치를 사용하여 분쇄하고, 600㎛의 체를 통과하는 철기 분쇄 분말을 회수하여, 철기 입자를 얻었다.

상기 공정에 의해 얻어진 발명예 1∼6, 비교예 1, 2의 철기 입자에 대해, 분말 X선 회절 측정을 행하고, 평균 변형률을 측정하였다. 분말 X선 회절 측정 장치 및 측정의 조건을 표 1에 나타낸다.

[표 1]

(철기 입자의 제조)

다음으로, 얻어진 발명예 1∼6, 비교예 1, 2 철기 입자의 표면에, 절연층으로서 절연성 무기 피막, 절연성 수지 피막을 이 순서(철기 입자측이 절연성 무기 피막, 외측이 절연성 유기 피막)로 형성하였다. 절연성 무기 피막으로서는 인산계 화성 피막을 형성하고, 절연성 수지 피막으로서는 실리콘 수지 피막을 형성하였다.

인산계 화성 피막의 형성에는, 인산계 화성 피막용 처리액으로서, 물:50부, NaHPO₄:30부, H₃PO₄:10부, (NH₂OH)₂·H₂SO₄:10부, Co₃(PO₄)₂:10부를 혼합하고, 또한 물로 20배로 희석한 처리액을 사용하였다. 인산계 화성 피막의 두께는 10∼100㎚였다.

실리콘 수지 피막의 형성에는, 실리콘 수지 「SR2400」(도레이·다우코닝사제)을 톨루엔에 용해시켜 조제한 수지 고형분 농도가 5％인 수지 용액을 사용하였다.

실리콘 수지 피막의 두께는 100∼150㎚였다.

다음으로, 상기 2층의 절연층(철기 입자측이 인산계 화성 피막, 외측이 실리콘 수지 피막)을 형성한 연자성 분말(이하, 절연 피복 연자성 분말이라 하는 경우가 있음)을 각각 성형하고, 압분자심을 제조하였다. 제조는, 스테아린산아연을 알코올에 분산시켜 금형 표면에 도포한 후, 절연 피복 연자성 분말을 넣고, 프레스기를 사용하여 온간 조건(130℃)에서, 면압 1177.5㎫(12ton/㎠)로 성형하였다. 성형체의 형상은, 길이 31.75㎜×폭 12.7㎜×두께 5㎜의 판상으로 하였다.

얻어진 판상의 성형체에, 질소 분위기하에서, 600℃에서 30분간의 열처리를 실시하였다. 또한, 실온으로부터 600℃로 가열할 때의 승온 속도는 10℃/분으로 하고, 열처리 후에는 노(爐) 내에서 서냉하였다.

압분자심의 성형체 밀도를 표 2, 3에 나타낸다. 또한, 발명예 1∼4 및 비교예 1의 연자성 분말을 사용하여 제작한 압분자심의 성형체 밀도와 평균 변형률의 상관을 도 1에, 발명예 5, 6 및 비교예 2의 연자성 분말을 사용하여 제작한 압분자심의 성형체 밀도와 평균 변형률의 상관을 도 2에 나타낸다.

상기 측정 시료에 대해, 교류 B-H 애널라이저를 사용하여, 최대 자속 밀도 0.1T, 주파수 10㎑로 철손을 측정하였다. 아울러 비저항의 측정도 행하였다.

이들의 측정 결과를 정리하여 표 2, 3에 나타낸다. 또한, 제1 연자성 분말을 사용하여 제작한 압분자심의 철손과 평균 변형률의 상관을 도 3에 나타낸다.

[표 2]

[표 3]

표 2 및 도 1, 3으로부터는, 다음과 같이 고찰할 수 있다.

발명예 1∼4는, 본 발명에서 규정하는 요건을 만족하는 발명예이며, 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 제1 연자성 분말을 사용하여 제작한 압분자심이므로, 높은 성형체 밀도를 갖고, 철손이 저감되어 있었다.

한편, 비교예 1은 눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율은 95질량％ 이상이지만, 평균 변형률이 0.104％인 연자성 분말을 사용하여 압분자심을 제작한 것이다. 그 결과, 성형체 밀도는 저하되고, 철손도 증대되어 있었다. 발명예 1∼4와 비교예 1을 비교하면, 입경의 값은 동등하여도, 변형이 저감된 연자성 분말을 사용하여 압분자심을 제작함으로써, 자기 특성이 우수한 압분자심이 얻어지는 것을 알 수 있다.

또한, 표 3 및 도 2로부터는, 다음과 같이 고찰할 수 있다.

발명예 5, 6은, 본 발명에서 규정하는 요건을 만족하는 발명예이다. 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 제2 연자성 분말을 사용하여 제작한 압분자심이므로, 높은 성형체 밀도가 얻어졌다. 따라서, 자속 밀도가 높고, 철손이 저감된다.

한편, 비교예 2는 눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율은 95질량％ 이상이지만, 평균 변형률이 0.090인 연자성 분말을 사용하여 압분자심을 제작한 것이다. 그 결과, 성형체 밀도가 저하된 것을 나타내고 있었다. 발명예 5, 6과 비교예 2를 비교하면, 입경의 값은 동등하여도, 변형이 저감된 연자성 분말을 사용하여 압분자심을 제작함으로써, 자기 특성이 우수한 압분자심이 얻어지는 것을 알 수 있다.

본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 형태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하는 일 없이 다양한 변형이나 수정을 가할 수 있는 것은 당업자에 있어서 명백하다.

본 출원은, 2012년 8월 31일 출원의 일본 특허 출원(일본 특허 출원 제2012-192146호)에 기초하는 것이고, 그 내용은 여기에 참조로서 포함된다.

[산업상 이용가능성]

본 발명의 압분자심은, 자기 특성이 우수하고, 특히 철손이 작고, 밀도가 높으므로 자속 밀도가 높고, 인덕터나 모터 등의 전자기 부품에 적합하다.

Claims

눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 연자성 분말을 압축 성형하는 것을 특징으로 하는, 압분자심의 제조 방법.
제1항에 있어서, 연자성 분말은, 표면에 절연층을 갖고 있는 철기 입자인, 압분자심의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 압분자심이 인덕터의 코어인, 압분자심의 제조 방법.
눈금 75㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 95질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.100％ 미만인 것을 특징으로 하는, 압분자심용 연자성 분말.
제4항에 있어서, 연자성 분말은, 표면에 절연층을 갖고 있는 철기 입자인, 압분자심용 연자성 분말.
눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 연자성 분말을 압축 성형하는 것을 특징으로 하는, 압분자심의 제조 방법.
제6항에 있어서, 연자성 분말은, 표면에 절연층을 갖고 있는 철기 입자인, 압분자심의 제조 방법.
제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 압분자심이 모터의 회전자 또는 고정자의 코어인, 압분자심의 제조 방법.
눈금 600㎛의 체를 통과하는 연자성 분말의 질량 비율이, 연자성 분말의 전량에 대해 98질량％ 이상이며, 평균 변형률이 0.050％ 미만인 것을 특징으로 하는, 압분자심용 연자성 분말.
제9항에 있어서, 연자성 분말은, 표면에 절연층을 갖고 있는 철기 입자인, 압분자심용 연자성 분말.