KR20130041081A - 로봇 아암 - Google Patents

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KR20130041081A
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미츠루 시마모토
다카히로 마에카와
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나부테스코 가부시키가이샤
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Abstract

본 출원의 로봇 아암은, 반도체 웨이퍼를 반송하는 로봇 아암이다. 그 로봇 아암은, 핸드와 전완 링크와 상완 링크를 구비하고 있다. 핸드는, 제 1 관절을 개재하여 전완 링크에 연결되어 있다. 상완 링크는, 제 2 관절을 개재하여 전완 링크에 연결되어 있다. 본 출원의 로봇 아암에서는, 전완 링크가, 제 1 관절과 제 2 관절 사이의 위치에서 분할되는 것이 가능하다.

Description

로봇 아암{ROBOT ARM}
본 출원은, 2010 년 6 월 10 일에 출원된 일본국 특허출원 제2010-132695호에 기초하는 우선권을 주장한다. 그 출원의 모든 내용은, 이 명세서 중에 참조에 의해 원용되어 있다. 본 출원은, 로봇 아암에 관한 것이다. 특히, 반도체 웨이퍼를 반송하는 로봇 아암에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼를 반송하는 로봇 아암이 알려져 있다. 구체적으로는, 그 로봇 아암은, 반도체 웨이퍼를 프로세스 챔버 (process chamber) 에 삽입하거나, 반도체 웨이퍼를 프로세스 챔버로부터 꺼낸다. 프로세스 챔버에는, 트랜스퍼 챔버 (transfer chamber) 가 연결되어 있다. 로봇 아암은, 그 트랜스퍼 챔버 내에 배치된다. 반도체 웨이퍼는, 로봇 아암에 의해, 트랜스퍼 챔버와 프로세스 챔버 사이를 이동한다. 트랜스퍼 챔버는, 작은 클린 룸에 상당한다. 트랜스퍼 챔버는, 반도체 웨이퍼에 먼지 등의 불순물이 부착하는 것을 방지한다. 트랜스퍼 챔버 내에서는, 공기 (또는 가스) 가 청정하게 유지된다. 또한, 트랜스퍼 챔버 내는, 진공으로 유지되는 경우도 있다. 트랜스퍼 챔버 내에서 동작하는 로봇 아암은, 불순물을 발생시키지 않는 궁리가 요구된다.
반도체 웨이퍼를 반송하는 로봇 아암은, 통상 2 이상의 자유도를 갖는다. 그와 같은 로봇 아암은, 전형적으로는, 2 개의 링크와 핸드로 구성되어 있다. 본 명세서에서는, 2 개의 링크를, 상완 (上腕) 링크와 전완 (前腕) 링크로 칭한다. 전형적으로는, 상완 링크의 일단은 모터의 출력 샤프트에 연결되어 있고, 상완 링크의 타단은 전완 링크의 일단에 연결되어 있다. 그리고, 전완 링크의 타단은 핸드에 연결되어 있다. 상완 링크와 전완 링크는, 관절을 개재하여 연결되어 있다. 전완 링크와 핸드도, 관절을 개재하여 연결되어 있다. 각각의 관절에는, 링크가 원활하게 회전하도록 베어링이 실장되어 있다. 그와 같은 로봇 아암의 일례가, 일본 공개특허공보 2000-150617호 및 일본 공개특허공보 2000-195923호에 개시되어 있다. 반도체 웨이퍼를 반송하는 로봇 아암에서는, 트랜스퍼 챔버 내를 오염시키지 않도록, 관절에 실장되어 있는 베어링이 실드 (shield) 되어 있다.
반도체 웨이퍼는, 프로세스 챔버 내에서 고온에 노출되는 경우가 있다. 그 때문에, 로봇 아암은, 고온의 반도체 웨이퍼를 반송하는 경우가 있다. 고온의 반도체 웨이퍼가 핸드에 접하면, 핸드의 온도가 상승함과 함께, 전완 링크와 핸드 사이에 배치되어 있는 관절의 온도도 상승한다. 그것에 의해, 관절에 실장되어 있는 베어링의 온도가 상승한다. 베어링의 온도 상승은, 그 베어링 내의 윤활제의 열화를 촉진한다. 그 때문에, 전완 링크와 핸드 사이에 배치되어 있는 관절의 베어링은, 상완 링크와 전완 링크 사이에 배치되어 있는 관절의 베어링보다 메인터넌스의 빈도가 많다.
상기 서술한 바와 같이, 로봇 아암은, 내부가 청정하게 유지되는 트랜스퍼 챔버 내에 배치된다. 관절의 베어링을 메인터넌스하기 위해서는, 관절을 분해하는 것이 필요하다. 관절의 베어링을 트랜스퍼 챔버 내에서 메인터넌스하면, 트랜스퍼 챔버 내가 더러워진다. 본 명세서에 개시하는 기술은, 베어링의 메인터넌스시에, 트랜스퍼 챔버 내의 오염을 억제할 수 있는 로봇 아암을 제공한다.
본 명세서가 개시하는 로봇 아암은, 반도체 웨이퍼를 반송하는 로봇 아암이며, 핸드와 전완 링크와 상완 링크를 구비하고 있다. 반도체 웨이퍼를 파지하기 위한 핸드는, 관절을 개재하여 전완 링크에 연결되어 있다. 상완 링크는, 관절을 개재하여 전완 링크에 연결되어 있다. 이하의 설명에서는, 핸드와 전완 링크를 연결하는 관절을 제 1 관절로 칭하고, 전완 링크와 상완 링크를 연결하는 관절을 제 2 관절로 칭한다. 본 명세서가 개시하는 로봇 아암에서는, 전완 링크가, 제 1 관절과 제 2 관절 사이의 위치에서 분할 가능하게 구성되어 있다.
상기 로봇 아암에서는, 전완 링크를 분할함으로써, 핸드와 전완 링크를, 핸드와 전완 링크의 연결을 유지한 채 트랜스퍼 챔버 내로부터 꺼낼 수 있다. 제 1 관절을 분해하지 않고, 제 1 관절을 트랜스퍼 챔버로부터 꺼낼 수 있다. 그 후, 트랜스퍼 챔버 외에서, 제 1 관절 내의 베어링의 메인터넌스 작업을 실시할 수 있다. 본 명세서가 개시하는 기술에 의해, 트랜스퍼 챔버 내의 오염을 억제할 수 있다. 또, 전완 링크의 선단부와 제 1 관절과 핸드가 조립된 교환 부품을 미리 준비하고, 메인터넌스 작업시에 트랜스퍼 챔버 내의 선단부와 교환해도 된다.
상기한 바와 같이, 본 명세서에 개시하는 로봇 아암에서는, 전완 링크가, 제 1 관절과 제 2 관절 사이의 위치에서 분할 가능하게 구성되어 있다. 이하의 설명에서는, 상완 링크에 연결되어 있는 전완 링크를 전완 링크 후단부로 칭하고, 핸드에 연결되어 있는 전완 링크를 전완 링크 선단부로 칭하는 경우가 있다. 본 명세서에 개시하는 로봇 아암에서는, 전완 링크 후단부와 전완 링크 선단부가, 전완 링크의 길이 방향에 직교하는 방향에서 오버랩되어 있어도 된다. 이 경우, 전완 링크 후단부와 전완 링크 선단부의 오버랩 부분에, 복수의 위치 결정 핀이 삽입되어 있는 것이 바람직하다. 복수의 위치 결정 핀에 의해, 전완 링크 후단부와 전완 링크 선단부를 다시 조립할 때, 양자를 정확하게 위치 맞춤할 수 있다.
본 명세서가 개시하는 기술은, 트랜스퍼 챔버 내의 오염을 억제할 수 있는 로봇 아암을 실현할 수 있다.
도 1 은 로봇 아암의 평면도를 나타낸다.
도 2 는 로봇 아암의 측면도를 나타낸다.
도 3 은 도 1 의 III-III 선을 따른 단면도를 나타낸다.
도 4 는 전완 링크 선단부를 전완 링크 후단부에 장착하는 순서를 설명하기 위한 단면도를 나타낸다.
실시예에서 설명하는 로봇 아암의 기술적 특징을, 이하에 간결하게 기재한다.
*(특징 1) 로봇 아암은, 제 1 베어링과 제 2 베어링의 축선이 연직 방향으로 신장되어 있고, 핸드가 수평면 내에서 이동하는 수평 이동형 로봇이다.
(특징 2) 전완 링크 선단부와 후단부가 오버랩되어 있는 부분의 두께는, 오버랩되어 있는 부분에 인접하는 비오버랩 부분의 두께와 동일하다.
(특징 3) 전완 링크 선단부가, 전완 링크 후단부의 상측에 위치하고 있다.
(특징 4) 전완 링크 선단부와 전완 링크 후단부가 복수의 볼트에 의해 고정되어 있고, 복수의 볼트가, 전완 링크의 길이 방향에 있어서 위치 결정 핀의 양측에 배치되어 있다.
(특징 5) 위치 결정 핀이, 전완 링크 후단부에 고정되어 있다. 따라서, 전완 링크 선단부와 전완 링크 후단부를 분할할 때, 위치 결정 핀은 전완 링크 선단부로부터 벗어난다.
실시예
도 1 과 도 2 를 참조하여, 로봇 아암 (100) 에 관해서 설명한다. 로봇 아암 (100) 은, 상완 링크 (14) 와 전완 링크 (10) 와 핸드 (2) 를 구비하고 있다. 로봇 아암 (100) 은, 지지 박스 (22) 에 장착되어 있다. 상완 링크 (14) 는, 제 1 상완 링크 (14a) 와 제 2 상완 링크 (14b) 로 구성되어 있다. 제 2 상완 링크 (14b) 를 구동하기 위한 모터는, 지지 박스 (22) 내에 배치되어 있다.
전완 링크 (10) 는, 제 1 전완 링크 (10a) 와 제 2 전완 링크 (10b) 로 구성되어 있다. 제 1 전완 링크 (10a) 와 제 2 전완 링크 (10b) 는, 항상 평행하게 유지된다. 전완 링크 (10) (제 1 전완 링크 (10a) 와 제 2 전완 링크 (10b)) 의 일단은, 제 1 관절 (20) 을 개재하여 핸드 (2) 에 연결되어 있다. 전완 링크 (10) 의 타단은, 제 2 관절 (11) 을 개재하여 상완 링크 (14) 에 연결되어 있다.
제 1 전완 링크 (10a) 는, 제 1 전완 링크 후단부 (8a) 와 제 1 전완 링크 선단부 (6a) 로 구성된다. 제 2 전완 링크 (10b) 는, 제 2 전완 링크 후단부 (8b) 와 제 2 전완 링크 선단부 (6b) 로 구성된다. 이하의 설명에서는, 제 1 전완 링크 후단부 (8a) 와 제 2 전완 링크 후단부 (8b) 를, 간단히 전완 링크 후단부 (8) 로 칭하는 경우가 있다. 제 1 전완 링크 선단부 (6a) 와 제 2 전완 링크 선단부 (6b) 를, 간단히 전완 링크 선단부 (6) 로 칭하는 경우가 있다.
제 2 관절 (11) 에는, 제 2 베어링 (도시 생략) 이 배치되어 있다. 제 2 베어링은, 상완 링크 (14) 에 대한 전완 링크 (10) 의 회전을 원활하게 한다. 제 1 관절 (20) 에는, 제 1 베어링이 배치되어 있다. 제 1 베어링은, 전완 링크 (10) 에 대한 핸드 (2) 의 회전을 원활하게 한다.
제 1 상완 링크 (14a) 와 제 2 상완 링크 (14b) 는, 항상 평행하게 유지된다. 제 1 상완 링크 (14a) 의 일단은, 지지 박스에 연결되어 있다. 제 2 상완 링크 (14b) 의 일단 (16) 은, 모터 (도시 생략) 에 연결되어 있다. 도 1 의 부호 17 은, 제 2 상완 링크 (14b) 의 회전축을 나타내고 있다. 모터는, 제 2 상완 링크 (14b) 를 회전시킨다. 제 2 상완 링크 (14b) 는, 모터에 의해 구동되는 구동 링크로 표현할 수 있다. 또한, 제 1 상완 링크 (14a) 는, 구동 링크 (제 2 상완 링크 (14b)) 의 동작에 따라 동작하는 종동 링크로 표현할 수 있다. 모터가 제 2 상완 링크 (14b) 를 구동함으로써, 상완 링크 (14) 가 수평면 내에서 이동한다. 그것에 의해, 핸드 (2) 를 수평면 내에서 도 1 의 X 방향으로 이동시킬 수 있다. 로봇 아암 (100) 은 조정 링크 (12) 를 구비한다. 상세한 설명은 생략하는데, 조정 링크 (12) 는, 복수의 링크군으로 구성되어 있고, 상완 링크 (14) 와 전완 링크 (10) 에 접속되어 있다. 조정 링크 (12) 가, 모터의 회전을 핸드 (2) 의 직진 운동으로 변환한다. 로봇 아암 (100) 은, 핸드 (2) 를 수평면 내에서 이동시킬 수 있기 때문에, 수평 이동형 로봇 아암으로 칭해지는 경우가 있다.
로봇 아암 (100) 은, 트랜스퍼 챔버 (도시 생략) 내에 배치되고, 반도체 웨이퍼를 반송하기 위해 사용된다. 핸드 (2) 에는, 고온의 반도체 웨이퍼가 재치 (載置) 되는 경우가 있다. 고온의 반도체 웨이퍼가 핸드 (2) 에 접하면, 핸드 (2) 의 온도가 상승한다.
상기한 바와 같이, 전완 링크 (10) 는, 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) 로 구성되어 있다. 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) 는, 제 1 관절 (20) 과 제 2 관절 (11) 사이의 위치에서 분할 가능하다. 구체적으로는, 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) 는, 제 1 관절 (20) 과 제 2 관절 (11) 의 거의 중간점에서 분할 가능하다. 상기한 바와 같이, 전완 링크 (10) 의 타단 (전완 링크 선단부 (6)) 은, 제 1 관절 (20) 을 개재하여 핸드 (2) 에 연결되어 있다. 그 때문에, 전완 링크 선단부 (6) 와 핸드 (2) 를 제 1 관절 (20) 로 연결한 채, 그것들을 트랜스퍼 챔버 내로부터 꺼낼 수 있다. 이하의 설명에서는, 전완 링크 선단부 (6) 와 제 1 관절 (20) 과 핸드 (2) 를 합하여, 아암 선단 유닛 (4) 으로 칭하는 경우가 있다. 로봇 아암 (100) 은, 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) 를 분할함으로써, 트랜스퍼 챔버 내로부터 아암 선단 유닛 (4) 을 꺼낼 수 있다.
도 3 을 참조하여, 전완 링크 후단부 (8) 와 아암 선단 유닛 (4) 에 관해서 설명한다. 상기한 바와 같이, 아암 선단 유닛 (4) 은, 전완 링크 선단부 (6) 와 제 1 관절 (20) 과 핸드 (2) 로 구성되어 있다. 제 1 관절 (20) 은, 베이스 (23) 와, 베이스 (23) 에 고정되어 있는 원주부 (24) (24a, 24b) 를 구비하고 있다. 원주부 (24) 와 전완 링크 선단부 (6) (6a, 6b) 사이에, 한 쌍의 제 1 베어링 (34) 이 배치되어 있다. 제 1 베어링 (34) 은, 원통 구름 베어링이다. 또, 제 1 전완 링크 선단부 (6a) 는, 제 1 베어링 (34a) 을 개재하여 원주부 (24a) 를 회전 가능하게 지지하고 있다. 제 2 전완 링크 선단부 (6b) 는, 제 1 베어링 (34b) 을 개재하여 원주부 (24b) 를 회전 가능하게 지지하고 있다. 원주부 (24a) 와 원주부 (24b) 는, 핸드 (2) 가 왕복 이동 (직진 운동) 하는 방향 X 를 따라 배치되어 있다.
상기 서술한 바와 같이, 고온의 반도체 웨이퍼가 핸드 (2) 에 접하면, 핸드 (2) 의 온도가 상승한다. 핸드 (2) 의 온도 상승에 따라, 제 1 관절 (20) 의 온도가 상승한다. 또한, 반도체 웨이퍼, 프로세스 챔버 등으로부터의 복사열에 의해서도, 핸드 (2) 나 제 1 관절 (20) 근방의 온도가 상승한다. 반도체 웨이퍼의 온도에 따라서는, 제 1 관절 (20) 근방의 온도가 200 ℃ 이상으로 상승하는 경우도 있다. 제 1 베어링 (34) 의 온도도 상승하고, 제 1 베어링 (34) 내의 윤활제가 열화되는 경우가 있다. 로봇 아암 (100) 에서는, 전완 링크 선단부 (6) 와 핸드 (2) 를 연결한 채의 상태에서, 아암 선단 유닛 (4) 을 전완 링크 후단부 (8) 로부터 떼어낼 수 있다. 그 때문에, 아암 선단 유닛 (4) 을 트랜스퍼 챔버로부터 꺼낸 후, 제 1 관절 (20) 을 분해하여 제 1 베어링 (34) 을 메인터넌스할 수 있다. 즉, 제 1 베어링 (34) 의 메인터넌스 작업을, 트랜스퍼 챔버 내에서 실시할 필요가 없다. 로봇 아암 (100) 은, 종래의 로봇 아암에 비해, 트랜스퍼 챔버 내의 오염을 억제할 수 있다.
로봇 아암 (100) 에서는, 아암 선단 유닛 (4) 을 트랜스퍼 챔버 내로부터 꺼내고, 트랜스퍼 챔버 외에서 제 1 베어링 (34) 의 메인터넌스를 실시한다. 메인터넌스를 실시한 후의 아암 선단 유닛 (4) 을, 전완 링크 후단부 (8) 에 장착한다. 제 1 베어링 (34) 의 메인터넌스를 트랜스퍼 챔버 내에서 실시하지 않기 때문에, 제 1 베어링 (34) 내의 윤활제 등이, 트랜스퍼 챔버 내에 비산되는 일이 없다. 또, 전완 링크 후단부 (8) 로부터 떼어낸 아암 선단 유닛 (4) 과는 별도의 아암 선단 유닛 (4) 을 미리 준비해 두어도 된다. 그리고, 아암 선단 유닛 (4) 을 떼어내는 작업에 계속하여, 메인터넌스가 완료된 별도의 아암 선단 유닛 (4) 을 전완 링크 후단부 (8) 에 장착해도 된다. 아암 선단 유닛 (4) 의 교환 시간을 짧게 할 수 있다.
종래의 로봇 아암이라도, 로봇 아암 전체를 트랜스퍼 챔버 외로 꺼내면, 트랜스퍼 챔버 내를 오염시키지 않고, 베어링의 메인터넌스를 실시할 수 있다. 상기한 바와 같이, 제 1 베어링 (34) 의 윤활재의 열화는, 고온의 웨이퍼를 파지하는 핸드 (2) 의 온도 상승에 따라 발생한다. 제 2 관절 (11) 내의 제 2 베어링은, 제 1 베어링 (34) 보다 핸드 (2) 로부터의 거리가 멀다. 그 때문에, 제 2 관절 (11) 내의 제 2 베어링은, 제 1 베어링 (34) 보다 메인터넌스의 빈도가 적게 끝난다. 종래의 로봇 아암은, 트랜스퍼 챔버 외에서 제 1 베어링의 메인터넌스를 하기 위해서는, 메인터넌스의 필요가 없는 부품 (상완 링크, 제 2 베어링 등) 까지도 트랜스퍼 챔버 외로 꺼내는 것이 필요하다. 그러나, 로봇 아암 (100) 은, 트랜스퍼 챔버 내에 제 2 베어링 (제 2 관절 (11)) 을 남긴 채, 제 1 베어링 (34) (제 1 관절 (20)) 을 트랜스퍼 챔버 외로 꺼낼 수 있다. 그 때문에, 종래의 로봇 아암보다, 메인터넌스 작업을 용이하게 할 수 있다.
로봇 아암 (100) 의 다른 특징에 관해서 설명한다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 전완 링크 후단부 (8) 의 일부 (전완 링크 후단부 (8) 중의 핸드 (2) 에 가까운 부분) 와 전완 링크 선단부 (6) 의 일부 (전완 링크 선단부 (6) 중의 핸드 (2) 로부터 먼 부분) 가, 범위 (7) 에서 오버랩되어 있다. 이하의 설명에서는, 범위 (7) 를 오버랩 부분 (7) 으로 칭하는 경우가 있다. 오버랩 부분 (7) 에서는, 전완 링크 선단부 (6) 와 전완 링크 후단부 (8) 가, 전완 링크 (10) 의 길이 방향에 직교하는 방향에서 오버랩되어 있다. 보다 정확하게 말하면, 전완 링크 선단부 (6) 와 전완 링크 후단부 (8) 가, 핸드 (2) 가 이동하는 평면 (수평면) 에 직교하는 방향에서 오버랩되어 있다. 즉, 로봇 아암 (100) 을 평면에서 보았을 때, 전완 링크 선단부 (6) 의 일부와 전완 링크 후단부 (8) 의 일부가 오버랩되어 있다. 로봇 아암 (100) 에서는, 전완 링크 선단부 (6) 가, 전완 링크 후단부 (8) 보다 상측에 위치하고 있다. 그 때문에, 로봇 아암 (100) 으로부터 아암 선단 유닛 (4) 을 떼어낼 때에 작업이 용이하다. 동일하게, 전완 링크 후단부 (8) 에 아암 선단 유닛 (4) 을 장착할 때에도 작업이 용이하다.
오버랩 부분 (7) 에서는, 2 개의 위치 결정 핀 (30) 이, 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) 의 쌍방에 끼워 넣어져 있다. 위치 결정 핀 (30) 에 의해, 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) 의 위치 어긋남이 억제된다. 다르게 말하면, 위치 결정 핀 (30) 에 의해, 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) 의 상대적인 각도가 변화되는 것을 억제할 수 있다.
오버랩 부분 (7) 에 있어서의 전완 링크 후단부 (8) 의 두께 (T78) 는, 오버랩 부분 (7) 에 인접하는 위치 (비오버랩 부분) 에 있어서의 전완 링크 후단부 (8) 의 두께 (T8) 의 대략 절반이다. 또한, 오버랩 부분 (7) 에 있어서의 전완 링크 선단부 (6) 의 두께 (T76) 는, 비오버랩 부분의 전완 링크 선단부 (6) 의 두께 (T6) 의 대략 절반이다. 두께 (T8) 와 두께 (T6) 는 동일하다. 그 때문에, 핸드 (2) 가 이동하는 평면에 직교하는 방향에서, 두께 (T8), 두께 (T6) 및 오버랩 부분 (7) 의 두께가 동일하다. 즉, 전완 링크 (10) 의 길이 방향에 있어서, 전완 링크 (10) 의 두께가 일정하다. 이 특징에 의해, 핸드 (2) 가 왕복 이동할 때, 전완 링크 (10) 가, 다른 링크와 간섭하는 것을 방지할 수 있다. 또, 핸드 (2) 가 이동하는 평면에 직교하는 방향은 연직 방향에 상당한다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 위치 결정 핀 (30) 은, 전완 링크 후단부 (8) 에 고정되어 있다. 따라서, 전완 링크 후단부 (8) 와 전완 링크 선단부 (6) (아암 선단 유닛 (4)) 를 분리하면, 위치 결정 핀 (30) 은 전완 링크 선단부 (6) 로부터 떨어진다. 그 때문에, 전완 링크 후단부 (8) 에 전완 링크 선단부 (6) (아암 선단 유닛 (4)) 를 장착할 때, 위치 결정 핀 (30) 의 위치를 보면서 전완 링크 선단부 (6) (아암 선단 유닛 (4)) 를 장착할 수 있다. 전완 링크 선단부 (6) 에는 핀 관통공 (42) 이 형성되어 있다. 위치 결정 핀 (30) 을 핀 관통공 (42) 에 끼워 넣음으로써, 전완 링크 후단부 (8) 에 대한 전완 링크 선단부 (6) (아암 선단 유닛 (4)) 의 위치가 결정된다.
전완 링크 (10) 의 길이 방향에 있어서, 2 개의 볼트 홈 (44) 이, 전완 링크 후단부 (8) 에 형성되어 있다. 2 개의 볼트 홈 (44) 은, 위치 결정 핀의 양측에 형성되어 있다. 전완 링크 선단부 (6) 에는, 2 개의 볼트 구멍 (40) 이, 핀 관통공 (42) 의 양측에 형성되어 있다. 아암 선단 유닛 (4) 을 전완 링크 후단부 (8) 에 장착할 때에는, 위치 결정 핀 (30) 을 핀 관통공 (42) 에 삽입한 후, 볼트 (32) 를 볼트 홈 (44) 에 고정시킨다. 아암 선단 유닛 (4) 을 전완 링크 후단부 (8) 에 장착하면, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 2 개의 볼트 (32) 가, 전완 링크 (10) 의 길이 방향에 있어서 위치 결정 핀 (30) 의 양측에 위치한다. 그 때문에, 로봇 아암 (100) 의 사용 중에 핸드 (2) 가 휘어도, 위치 결정 핀 (30) 에 힘이 가해지는 것을 억제할 수 있다. 위치 결정 핀 (30) 이 변형되는 것이 억제되기 때문에, 제 1 베어링 (34) 의 메인터넌스를 반복해도, 핸드 (2) 의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다.
이상, 본 발명의 구체예를 상세하게 설명했는데, 이들은 예시에 불과하며, 특허 청구의 범위를 한정하는 것은 아니다. 특허 청구의 범위에 기재된 기술에는, 이상에 예시한 구체예를 여러 가지로 변형, 변경한 것이 포함된다. 본 명세서 또는 도면에 설명한 기술 요소는, 단독으로 또는 각종 조합에 의해 기술적 유용성을 발휘하는 것이고, 출원시의 청구항에 기재된 조합에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 명세서 또는 도면에 예시한 기술은 복수의 목적을 동시에 달성하는 것이며, 그 중 하나의 목적을 달성하는 것 자체로 기술적 유용성을 갖는 것이다.

Claims (5)

  1. 반도체 웨이퍼를 반송하는 로봇 아암이며,
    반도체 웨이퍼를 파지하기 위한 핸드와,
    제 1 관절을 개재하여 핸드에 연결되어 있는 전완 링크와,
    제 2 관절을 개재하여 전완 링크에 연결되어 있는 상완 링크를 구비하고 있고,
    전완 링크가, 제 1 관절과 제 2 관절 사이의 위치에서 분할 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상완 링크에 연결되어 있는 전완 링크 후단부와 핸드에 연결되어 있는 전완 링크 선단부가, 전완 링크의 길이 방향에 직교하는 방향에서 오버랩되어 있고,
    상기 후단부와 상기 선단부의 오버랩 부분에, 복수의 위치 결정 핀이 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암.
  3. 제 2 항에 있어서,
    전완 링크 선단부와 전완 링크 후단부가 복수의 볼트에 의해 고정되어 있고,
    상기 복수의 볼트가, 전완 링크의 길이 방향에 있어서 위치 결정 핀의 양측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    전완 링크 선단부가, 전완 링크 후단부의 상측에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암.
  5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    위치 결정 핀이 전완 링크 후단부에 고정되어 있고, 위치 결정 핀과 전완 링크 선단부가 분할 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 아암.
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