KR20060097044A - 탄탈륨 스퍼터링 타겟트 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, 전체의 결정 배향의 총화를 1로 할 때에, (100), (111), (110)의 어느 하나의 배향을 가지는 결정도, 그 면적률이 0.5를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, 전체의 결정 배향의 총화를 1로 할 때에, (100), (111), (110)의 내(內)의, 어느 2개의 배향을 가지는 결정의 면적률의 화(和)가 0.75를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제1항에 있어서, 상기 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, 전체의 결정 배향의 총화를 1로 할 때에, (100), (111), (110)의 내(內)의, 어느 2개의 배향을 가지는 결정의 면적률의 화(和)가 0.75를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 탄탈륨 타겟트의 표면이 스퍼터된 에로존 면(面)인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, 전체의 결정 배향의 총화를 1로 할 때에, (100)<001>, (111)<001>, (110)<001>의 어느 하나의 배향을 가지는 결정으로서, ND 방향축(압연면 법선 방향축)에 대하여, 10°이내의 회전 오차인 것과 같은 결정의 면적률이 0.5를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, 전체의 결정 배향의 총화를 1로 할 때에, (100)<001>, (111)<001>, (110)<001>의 내의, 어느 2개의 배향을 가지는 결정으로서, ND방향축(압연면 법선 방향축)에 대하여, 10°이내의 회전 오차인 것과 같은 동(同)결정의 면적률의 화가 0.75를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제5항에 있어서, 상기의 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, 전체의 결정 배향의 총화를 1로 할 때에, (100)<001>, (111)<001>, (110)<001>의 내의, 어느 2개의 배향을 가지는 결정으로서, ND방향축(압연면 법선 방향축)에 대하여, 10°이내의 회전 오차인 것과 같은 동(同)결정의 면적률의 화가 0.75를 초과하지 않는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제5항 내지 제 7항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 탄탈륨의 표면이 스퍼터된 에로존 면인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, (100)배향을 측정한 EBSP에 의한 극점도(極点圖)에 있어서, 결정 방위의 완전 랜덤을 1로 하여 강도를 측정한 경우에 있어서, 1이 상의 강도를 6분할(分割)한 크기에 의하여 표현하고, 극점도 상(上)의 θ가 0°또는 90°방향뿐만 아니고 그 중간에 강도 1 이상의 피크를 가지는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제1항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 탈륨 타겟트의 표면에 있어서, (100)배향을 측정한 EBSP에 의한 극점도(極点圖)에 있어서, 결정 방위의 완전 랜덤을 1로 하여 강도를 측정한 경우에 있어서, 1 이상의 강도를 6분할(分割)한 크기에 의하여 표현하고, 극점도 상(上)의 θ가 0°또는 90°방향뿐만 아니고 그 중간에 강도 1 이상의 피크를 가지는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, (100)배향을 측정한 EBSP에 의한 극점도(極点圖)에 있어서, 결정 방위의 완전 랜덤을 1로 하여 강도를 측정한 경우에 있어서, 1 이상의 강도를 6분할(分割)한 크기에 의하여 표현하고, 극점도 상(上)의 ND 방향(0°) 이외로 출현하는 피크 강도 1 이상에서 나타내는 부분이 20°이상의 넓이를 가지는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제1항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 탄탈륨 타겟트의 표면에 있어서, (100)배향을 측정한 EBSP에 의한 극점도(極点圖)에 있어서, 결정 방위의 완전 랜덤을 1로 하여 강도를 측정한 경우에 있어서, 1 이상의 강도를 6분할(分割)한 크기에 의하여 표현하고, 극점도 상(上)의 ND 방향(0°) 이외로 출현하는 피크 강도 1 이상에서 나타내는 부분이 20°이상의 넓이를 가지는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제1항 내지 제12항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 타겟트의 평균결정 입경이 80㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 타겟트.
- 제1항 내지 제13항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 타겟트는 압연 가공 조직에 의한 미세조직을 구비하고, 타겟트 표면을 EBSP로 해석한 때에, 입경 25∼150㎛의 결정입이 100∼1000개/㎟ 존재하고 있는 것을 특징으로 하는 타겟트.
- 제14항에 있어서, 탄탈륨 타겟트의 표면이 스퍼터된 에로존 면인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 스퍼터링 타겟트.
- 제1항 내지 제15항 중의 어느 한항에 있어서, 상기 타겟트의 순도가 99.99% 이상인 것을 특징으로 하는 타겟트.
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