KR20040104416A - 반사 방지막 재료, 이것을 이용한 반사 방지막 및 패턴형성 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 하기 화학식 1로 표시되는 공중합에 의한 반복 단위를 갖는 것을 특징으로 하는 고분자 화합물, 유기 용제, 산 발생제 및 가교제를 함유하는 반사 방지막 재료.<화학식 1>식 중, R1a는 가교제와 반응할 수 있는 1가의 유기기이고, R2는 광 흡수기를 갖는 1가의 유기기이고, p는 0<p<1의 범위의 수이고, R3은 히드록시기, 탄소수 1 내지 6의 알킬기, 탄소수 1 내지 4의 알콕시기이거나, 또는 R2와 동일하고, R4는 R1a와 동일하거나 또는 R3과 동일하고, m은 0≤m≤1의 범위의 수이고, n은 0≤n≤1의 범위의 수이다.
- 제1항에 있어서, 상기 화학식 1로 표시되는 고분자 화합물 중의 R1a를 변성하여 얻어지는 하기 화학식 2로 표시되는 고분자 화합물, 유기 용제, 산 발생제 및 가교제를 함유하는 반사 방지막 재료.<화학식 2>식 중, R1b는 R1a를 변성하여 얻어지며 가교제와 반응할 수 있는 1가의 유기기이고, 그 외에는 제1항과 동일하다.
- 제1항에 있어서, 상기 화학식 1에서의 R1a가 에폭시기를 갖는 반사 방지막 재료.
- 제2항에 있어서, 상기 화학식 2에서의 R1b가 탄소-산소 단일 결합 및(또는) 탄소-산소 이중 결합을 포함하는 반사 방지막 재료.
- 제2항에 있어서, 상기 화학식 2에서의 R1b가 알킬카르보닐옥시기를 포함하는 반사 방지막 재료.
- 제2항에 있어서, 상기 화학식 2에서의 R1b가 아세톡시기를 포함하는 반사 방지막 재료.
- 제2항에 있어서, 상기 화학식 2에서의 R1b가 알콕시기를 포함하는 반사 방지막 재료.
- 제2항에 있어서, 상기 화학식 2에서의 R1b가 메톡시기를 포함하는 반사 방지막 재료.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 화학식 1 또는 화학식 2에서의 R2의 광 흡수기가 안트라센, 나프탈렌 또는 벤젠환을 포함하는 반사 방지막 재료.
- 리소그래피에 의해 기판에 패턴을 형성하는 방법으로서, 적어도 기판 상에 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 반사 방지막 재료를 도포하고 베이킹하여 반사 방지막을 형성하고, 이 반사 방지막 상에 포토레지스트 막 재료를 도포하고 예비베이킹하여 포토레지스트 막을 형성하며, 이 포토레지스트 막의 패턴 회로 영역을 노광한 후, 현상액으로 현상하여 상기 포토레지스트 막에 레지스트 패턴을 형성하고, 이 레지스트 패턴이 형성된 포토레지스트 막을 마스크로 하여 상기 반사 방지막 및 상기 기판을 에칭하여 상기 기판에 패턴을 형성하는 것을 포함하여 이루어지는 패턴 형성 방법.
- 리소그래피에 의해 기판에 패턴을 형성하는 방법으로서, 적어도 기판 상에제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 반사 방지막 재료를 도포하고 베이킹하여 반사 방지막을 형성하고, 이 반사 방지막 상에 포토레지스트 막 재료를 도포하고 예비베이킹하여 포토레지스트 막을 형성하며, 이 포토레지스트 막의 패턴 회로 영역을 노광한 후, 현상액으로 현상하여 상기 포토레지스트 막에 레지스트 패턴을 형성하고, 이 레지스트 패턴이 형성된 포토레지스트 막을 마스크로 하여 상기 반사 방지막을 에칭하며, 또한 패턴이 형성된 반사 방지막을 마스크로 하여 상기 기판을 에칭하여 상기 기판에 패턴을 형성하는 것을 포함하여 이루어지는 패턴 형성 방법.
- 리소그래피에 의해 기판에 패턴을 형성하는 방법으로서, 적어도 기판 상에 유기 막을 형성하고, 이 유기 막 위에 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 반사 방지막 재료를 도포하고 베이킹하여 반사 방지막을 형성하고, 이 반사 방지막 상에 포토레지스트 막 재료를 도포하고 예비베이킹하여 포토레지스트 막을 형성하며, 이 포토레지스트 막의 패턴 회로 영역을 노광한 후, 현상액으로 현상하여 포토레지스트 막에 레지스트 패턴을 형성하고, 이 레지스트 패턴이 형성된 포토레지스트 막을 마스크로 하여 상기 반사 방지막을 에칭하며, 패턴이 형성된 반사 방지막을 마스크로 하여 상기 유기 막을 에칭하고, 또한 상기 기판을 에칭하여 상기 기판에 패턴을 형성하는 것을 포함하는 패턴 형성 방법.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 반사 방지막 재료를 기판 상에 도포하고 베이킹하여 얻어지는 반사 방지막.
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