KR20030077980A - 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

처리액의 사용량을 저감시켜, 폐액량도 적게 할 수 있으며, 처리효율을 높게 유지하고, 액의 순환경로에서의 부재의 오염도 최소한으로 억제할 수 있는 장치를 제공한다.

기판(1)을 반송방향과 직교하는 방향에서 수평면에 대해 경사진 형태로 반송하고, 수세처리조(10) 내 바닥면 위의, 기판의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판 반송방향에 따라 경계판(20)을 설치하고, 경계판으로 수세처리조 내 바닥부를 구분하며, 순수 토출노즐(14)에서 토출되어 기판면을 경유하지 않고 유하(流下)하는 순수를 회수하는 회수조부(24)와 순수 토출노즐에서 토출되어 기판위를 낮게 된 측으로 흘러 연변에서 흘러 떨어지는 사용된 순수를 받는 배액조부(26)로 구획하며, 회수조부 내로 회수된 순수를 순환시켜 사용하고, 배액조부(排液槽部) 내로 유하한 사용된 순수를 배출한다.

Description

기판처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 플랫 패널 디스플레이(FPD)용 유리기판, 반도체 웨이퍼, 프린트 기판 등의 기판을 반송하면서 기판에 대해 세정, 현상, 에칭, 박리 등의 처리를 행하는 기판처리장치에 관한 것이다.

FPD, 반도체 디바이스, 프린트 배선판 등의 제조 프로세스에 있어서, 예컨대 약액을 이용하여 기판을 처리한 후에, 기판을 순수로 세정하여, 기판에 부착한 약액을 순수로 치환하는 경우에, 반송롤러에 의해 기판을 1장씩 수평방향으로 반송하면서 기판 위로 순수를 토출하여 수세(水洗)하는 수평반송식 처리장치가 사용된다. 이 처리장치의 개략구성의 일예를 도19에 모식적으로 나타낸다.

도19에 나타낸 처리장치는, 반입구(12) 및 반출구(도시하지 않음)를 가지는 수세처리조(10)를 구비하고, 수세처리조(10)의 내부에는, 도시하지 않지만 복수의 반송롤러가 병렬로 배설(配設)되어 있다. 또 수세처리조(10)의 내부에는, 2점쇄선으로 나타내는 기판(1)의 반송로(L)를 사이에 두고 그 상·하 양측에, 기판(1)의 상·하 양면에 순수를 분사하는 순수 토출노즐(14)이 각각 복수개 나란히 설치되어 있다. 수세처리조(10)의 반입구(12) 측에는, 수세처리조(10)에 인접하여 약액처리조(16)가 설치되어 있으며, 약액처리조(16)의 내부에는, 기판(1)의 반송로(L)를 사이에 두고 그 상·하 양측에, 기판(1)의 상·하 양면에 약액을 분사하는 약액 토출노즐(18)이 각각 복수개 나란히 설치되어 있다. 그리고, 기판(1)은 약액처리조(16) 내에서 반입구(12)를 통해 수세처리조(10) 내로 반입되고, 반송롤러에 의해 지지되어 수평방향으로 반송되며, 수세처리조(10) 내에서 반출구를 통해서 반출되어 다음의 건조처리부(도시하지 않음)로 반송되도록 되어 있다.

또, 수세처리조(10)의 바닥부에는 기판(1) 위에서 수세처리조(10) 내 바닥부로 흘러 떨어진 액이 유출하는 액 회수구(52)가 형설(形設)되어 있으며, 그 액 회수구(52)에 액 회수용 배관(54)이 연통(連通) 접속되어 있다. 액 회수용 배관(54)은 회수액(56)을 저장하는 회수탱크(58)에 유로(流路) 접속되어 있다. 또, 회수탱크(58)에는 송액용(送液用) 배관(60)의 일단이 연통 접속되며, 송액용 배관(60)의 선단은 도시하지 않지만 순수 토출노즐(14)에 연통 접속되어 있다. 이 송액용 배관(60)에는 필터(62) 및 펌프(64)가 각각 설치되어 있다. 또, 도시하지 않지만, 회수탱크(58)에는 순수를 보충하기 위한 순수 공급용 배관이 접속되어 있다.

상기한 구성의 처리장치에서는, 약액처리조(16) 내에서 상면에 약액(2)이 부착한 기판(1)이 수세처리조(10) 내로 반입되어 오면, 수세처리조(10) 내에서 반송롤러에 의해 기판(1)이 반송되면서 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 상·하 양면으로 순수가 분사되어, 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)이 순수로 치환된다. 이때, 기판(1) 면에 분사된 순수는 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)과 함께 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하(流下)한다. 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하한 순수와 약액과의 혼합액은 수세처리조(10) 내 바닥부 위를 액 회수구(52)를 향해 흐르고, 액 회수구(52)에서 액 회수용 배관(54)을 통해 회수탱크(58) 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크(58) 내에 저장된 회수액(56)은 송액용 배관(60)을 통해 순수 토출노즐(14)로 되돌려져 재이용된다. 이와 같이, 순수는 순환시키면서 사용된다.

상기한 바와 같이 순수와 약액과의 혼합액을 순환시키면서 기판의 처리를 행하는 장치에 있어서는, 순수와 약액과의 혼합액이 재이용되어 기판(1)에 부착한 약액과 치환되기 때문에, 약액의 농도가 점점 높게 되어, 점점 치환효율이 저하하게 된다. 또, 약액을 포함하는 액이 액 회수용 배관(54), 회수탱크(58) 및 송액용 배관(60)을 통해 순환되므로, 회수탱크(58)의 내면, 액 회수용 배관(54)과 송액용 배관(60)의 내면, 펌프(64)의 내부등이 오염된다는 문제점이 있다.

한편, 기판(1) 위에서 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하한 순수와 약액과의 혼합액을 수세처리조(10) 내에서 폐액으로서 배출하도록 하면, 폐액량이 많아져 폐액처리에 비용이 들며, 또 순수의 사용량도 증가하여 러닝 코스트가 많이 든다는 문제점이 있다.

또, 예컨대 기판상에 배선패턴을 형성하는 프로세스에 있어서, 기판의 표면에 형성된 포토레지스트막을 현상하는 경우, 기판을 1장씩 옆으로 놓아 반송롤러에 의해 반송하면서 기판 위에 현상액을 뿌리고, 액을 뿌린 후 소정시간이 경과한 후에 현상반응을 정지시키는 롤러반송식 현상처리장치가 사용된다. 이 현상처리장치의 개략구성의 일예를 도20에 모식적으로 나타낸다.

도20에 나타낸 현상처리장치는 입구측 개구(112a) 및 출구측 개구(112b)를 가지는 현상처리조(110)를 구비하고, 현상처리조(110)의 내부에는 도시하지 않지만 복수의 반송롤러가 병렬로 배설되어 있다. 기판(1)은 입구측 개구(112a)를 통해서 현상처리조(110) 내로 반입되며, 반송롤러에 의해 지지되어 수평방향으로 반송되고, 현상처리조(110) 내에서 출구측 개구(112b)를 통해 반출되며, 다음의 수세처리조(114)로 보내지도록 되어 있다. 현상처리조(110) 내부의 입구측 개구(112a) 부근에는 현상액 토출노즐(116)이 배설되어 있다. 또, 현상처리조(110)의 내부의 출구측 개구(112b) 부근에는 1개의 반송롤러 바로 위에 반송롤러와 대향하도록 반송롤러에 지지되어 반송되는 기판(1)의 상면측에 접촉하는 액제거롤러(118)가 배설되어있다. 또한, 액제거롤러(118)를 설치하는 대신에, 현상처리조(110)의 출구측 개구(112b) 부근에 배설되는 반송롤러를 기판(1)의 반송방향과 직교하는 방향에서 경사지거나, 에어 나이프를 설치하거나 하는 경우도 있다. 현상처리조(110)에 인접하여 설치된 수세처리조(114)에는 2점쇄선으로 나타내는 기판(1)의 반송로(L)를 사이에 두고 그 상·하 양측에 기판(1)의 상·하 양면에 순수를 분사하는 물 분출노즐(120)이 각각 복수개 배설되어 있다.

또, 현상처리조(110)의 바닥부에는, 기판(1) 위에서 현상처리조(110) 내 바닥부로 흘러 떨어진 현상액이 유출하는 액 회수구(906)가 형설되어 있으며, 그 액 회수구(906)에 액 회수용 배관(908)이 연통 접속되어 있다. 액 회수용 배관(908)은 회수된 현상액(910)을 저장하는 회수탱크(912)에 유로(流路) 접속되어 있다. 또, 회수탱크(912)에는 송액용 배관(914)의 일단이 연통 접속되며, 송액용 배관(914)의 선단은 현상액 토출노즐(116)에 연통 접속되어 있다. 이 송액용 배관(914)에는 필터(916) 및 펌프(918)가 각각 설치되어 있다. 이들 액 회수용 배관(908), 회수탱크(912), 송액용 배관(914), 필터(916) 및 펌프(918)에 의해 액 순환계가 구성되어 있다.

이와 같은 구성의 현상처리장치에 있어서, 표면에 노광된 포토레지스트막이 형성된 기판(1)은 현상처리조(110)의 입구측 개구(112a) 부근에 배설된 현상액 토출노즐(116)의 바로 아래 위치를 통과할 때, 현상액 토출노즐(116) 하단면의 슬릿모양 토출구에서 기판(1)의 전폭에 걸쳐 카텐모양으로 토출되는 현상액(3)이 표면위에 뿌려진다. 액이 뿌려진 기판(1)은 반송롤러에 의해 반송되고 있는 사이에 포토레지스트막의 현상반응이 진행한다. 기판(1)이 현상처리조(110)의 출구측 개구(112b) 부근까지 반송되어 오면, 액 제거롤러(118)에 의해 기판(1) 위에서 현상액(3)이 제거되고, 그후에, 현상처리조(110) 내에서 반출된다. 그리고, 기판(1)은 다음의 수세처리조(114)로 보내져, 순수에 의해 수세됨으로써 포토레지스트막의 현상반응이 완전히 정지되게 된다.

이 현상처리시, 기판(1) 위에서 현상처리조(110) 내 바닥부로 흘러 떨어진 사용된 현상액, 및 현상액 토출노즐(116)의 바로 아래를 기판(1)이 통과하고 있지 않은 때에 현상액 토출노즐(116)로부터 토출되어 기판(1) 면을 경유하지 않고 그대로 현상처리조(110) 내 바닥부로 유하한 현상액은, 현상처리조(110) 내 바닥부 위를 액 회수구(906)를 향해 흐르고, 액 회수구(906)에서 액 회수용 배관(908) 내를 통해 회수탱크(912) 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크(912) 내로 유입하여 저장된 현상액(910)은 송액용 배관(914)을 통해 현상액 토출노즐(116)로 보내져 재이용된다. 이와 같이 하여, 현상액은 순환되면서 사용된다.

상기한 바와 같은 처리액(상기 예에서는 현상액)을 순환시키면서 기판 처리를 행하는 장치에 있어서, 기판 혹은 기판 피착물과 현상액과의 반응생성물이 현상액에 용해하는 경우는, 사용된 현상액을 재이용해도 그다지 문제는 되지 않는다. 그러나, 현상액과의 반응에 의해 현상액에 용해하지 않는 물질이 생성하는 경우는, 현상액을 순환시키면서 사용하면, 회수탱크(912)의 내면, 액 회수용 배관(908)과 송액용 배관(914)의 내면, 펌프(918) 내부등이 비용해물에 의해 오염된다는 문제를 일으킨다. 또, 송액용 배관(914)에 설치된 필터(916)가 금세 막히게 되어, 최악의경우에는 현상액을 순환시키면서 기판의 처리를 행할 수 없다는 문제점이 있다.

한편, 현상액을 순환시키지 않고 현상처리조(110) 내 바닥부에서 배출하여 폐기하도록 하면, 상기한 문제는 일어나지 않지만, 현상액 토출노즐(116)의 바로 아래를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때에 현상액 토출노즐(116)에서 토출되어 그대로 현상처리조(110) 내 바닥부로 유하한 현상액까지 함께 폐기하는 것으로 되므로, 현상액의 이용효율이 저하하여 버린다는 문제점이 있다. 이상과 같은 문제점은 현상처리장치에 한정하지 않고, 세정, 에칭, 박리처리 등의 처리장치에 있어서도 발생할 가능성이 있다.

본 발명은, 이상과 같은 사정을 감안하여 행해진 것으로, 순수 등의 처리액의 이용효율을 높게 유지하여 처리액의 사용량을 저감시키고, 폐액량도 적게 할 수 있음과 동시에, 처리효율을 높게 유지하며, 액의 순환경로에서의 각 부재의 오염도 최소한으로 억제할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 제1의 목적으로 한다.

또, 본 발명은, 처리액을 순환시키면서 기판 처리를 행할 수 있으며, 처리액의 이용효율을 유지하면서, 액 순환계에서 문제를 일으킬 염려도 없는 기판처리장치를 제공하는 것을 제2의 목적으로 한다.

도1은 본 발명의 제1 실시형태의 일예를 나타내고, 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도,

도2는 도1의 Ⅱ-Ⅱ 화살표에서의 단면도,

도3은 도1의 Ⅲ-Ⅲ 화살표에서의 단면도,

도4는 본 발명의 제1 실시형태의 다른 예를 나타내며, 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도,

도5는 본 발명의 제1 실시형태의 또 다른 예를 나타내며, 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도,

도6은 도5의 Ⅵ-Ⅵ 화살표에서의 단면도,

도7은 본 발명의 제1 실시형태의 또 다른 예를 나타내며, 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도,

도8은 도7의 Ⅷ-Ⅷ 화살표에서의 단면도,

도9는 본 발명의 제1 실시형태의 또 다른 예를 나타내며, 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도,

도10은 도9의 Ⅹ-Ⅹ 화살표에서의 단면도,

도11은 기판을 수평형태로 수평방향으로 반송할 때에, 기판 위로 토출된 순수가 기판 위를 흐르기 쉽게 하기 위한 구성예를 나타내며, 기판처리장치의 일부를 나타내는 개략 측면도,

도12는 마찬가지로, 기판 위로 토출된 순수가 기판 위를 흐르기 쉽게 하기 위한 다른 구성예를 나타내며, 기판처리장치의 일부를 나타내는 개략 측면도,

도13은 도9에 나타낸 기판처리장치의 변형예를 나타내는 모식적 평면도,

도14는 본 발명의 제2 실시형태의 일예를 나타내며, 기판처리장치의 하나인 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도,

도15는 현상처리조의 세정기구의, 도14에 나타낸 것과는 다른 예를 나타내며, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도,

도16은 본 발명의 제2 실시형태의 다른 예를 나타내며, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도,

도17은 제2 실시형태에서 사용하는 현상액의 종류마다 현상액 토출노즐을 설치한 예를 나타내며, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도,

도18은 제2 실시형태에서 사용하는 현상액의 종류마다 처리조작을 행할 수 있는 다른 예를 나타내며, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도,

도19는 종래의 기판처리장치의 개략구성의 일예를 모식적으로 나타내는 측면도,

도20은 종래의 현상처리장치의 개략구성의 일예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.

(부호의 설명)

1기판

2약액

3현상액

10수세처리조

12수세처리조의 반입구

14순수 토출노즐

16약액처리조

18약액 분출노즐

20,46,76a,76b경계판

22,78폭방향 경계판

24,48,80회수조부

26,50,82a,82b배액조부

28,72,86,100액 회수구

30,74,88,102액 회수용 배관

32회수액

34회수탱크

36송액용 배관

40펌프

42,68,90,96a,96b액 배출구

44,70,92,98a,98b배액관

66,94a,94b배액통

84반입구측 배액조부

104,106반송롤러

108a,108b보조 배액통

110,154현상처리조

114,158수세처리조

116,116a,116b현상액 토출노즐

118액제거롤러

120물 분출노즐

122,122a,122b회수조부

124,124a,124b액 회수구

126,126a,126b액 회수용 배관

128,128a,128b회수된 현상액

130,130a,130b회수탱크

132,132a,132b송액용 배관

134,152,134a,134b펌프

136,162,136a,136b액 배출구

138,164,178,178a,178b배액용 배관

140,160세정노즐

142배수구

144물 회수용 배관

146물 회수탱크

148회수된 순수

150송수용 배관

156현상처리조 내 바닥면

166물 회수패트

168송수용 배관

180,180a,180b액 되돌림용 배관

182,182a,182b유로절환밸브

184,184a,184b세정 송액용 배관

186,188,186a,186b,190a,190b,192a,192b,196a,196b개폐제어밸브

194바이패스관

98액 배출구

900액 배출용 배관

902개폐밸브

청구항 1에 관한 발명은, 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하는 회수경로와, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서의 단부쪽으로 흘러 연변에서 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 모으는 배액경로(排液經路)를 구분지어 설치하고, 상기 회수경로로 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 배액경로에 모인 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 관한 발명은, 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 반송수단에 의해 기판을 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서 수평면에 대해 경사진 형태로 반송함과 동시에, 상기 처리조 내 바닥면 위의 경사져 반송되는 기판의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라 경계판을 설치하고, 그 경계판으로 처리조 내 바닥부를 구분하여, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하는 회수조부와 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 연변에서 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 배액조부로 구획하며, 상기 회수조부내에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 배액조부 내로 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 관한 발명은, 청구항 2 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 경계판의 상단이 경사져 반송되는 기판의 낮게 된 측의 연변에 근접하도록 배치된 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 관한 발명은, 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평형태로 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조 내 바닥면 위의, 반송되는 기판의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라 각각 경계판을 설치하고, 그 각 경계판으로 처리조 내 바닥부를 각각 구분하여, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하는 회수조부와 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 양측으로 흘러 양 연변에서 각각 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 한쌍의 배액조부로 구획하고, 상기 회수조부 내에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 각 배액조부 내로 각각 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 관한 발명은, 청구항 4 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 각 경계판의 상단이, 반송되는 기판의 양측의 연변에 각각 근접하도록 배치된 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 관한 발명은, 청구항 2 내지 청구항 5 중 어느 하나에 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조 내 바닥면 위의, 기판의 반입구측에, 기판의 반송방향과 교차하는 방향에 따라 폭방향 경계판을 설치하고, 그 폭방향 경계판으로 처리조 내 바닥부를 구분하여, 처리조 내로 반입된 기판의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어지는 액체를 받는 반입구측 배액조부를 형설하며, 그 반입구측 배액조부내로 유하한 처리액을 배출하는 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 관한 발명은, 청구항 6 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 반입구측 배액조부와 상기 배액조부를 연통시킨 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 관한 발명은, 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 반송수단에 의해 기판을, 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서 수평면에 대해 경사진 형태로 반송함과 동시에, 상기 처리조 내부의 경사져 반송되는 기판의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 연변에서 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 배액통을 횡설(橫設)하고, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 아래로 흘러 상기 처리조 내 바닥부로 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 배액통 내로 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 9에 관한 발명은, 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평형태로 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조 내부의 반송되는 기판의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 양측으로 흘러 양 연변에서 각각 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 한쌍의 배액통을 횡설하고, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하여 상기 처리조 내 바닥부에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 각 배액통 내로 각각 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 10에 관한 발명은, 청구항 4, 청구항 5 또는 청구항 9 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 반송수단에 의해 기판을, 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서 기판 중앙부가 기판 양단부보다 높게 되도록 지지하여 반송하는 것을 특징으로 한다.

청구항 11에 관한 발명은, 청구항 4, 청구항 5 또는 청구항 9 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로, 기판 표면에 대해 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서의 기판 양단부측으로 각각 기울여 처리액을 토출하는 것을 특징으로 한다.

청구항 12에 관한 발명은, 청구항 4, 청구항 5 또는 청구항 9 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 반송수단에 의해 반송되는 기판의 전후 양단측 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 따라, 기판의 전후 양단측 연변에서 각각 넘쳐 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 한쌍의 보조 배액통을 배설하고, 그 한쌍의 보조 배액통을 기판의 이동과 동기하여 수평방향으로 이동하도록 지지하며, 상기 각 보조 배액통 내로 각각 유하한 사용된 처리액을 배출하는 보조 배액로를 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 13에 관한 발명은, 청구항 1 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조가 순수로 기판을 세정하는 수세처리조이며, 그 수세처리조의 기판 반입구측에 인접하여, 약액으로 기판을 처리하는 약액처리조가 설치된 것을 특징으로 한다.

청구항 14에 관한 발명은, 처리조 내에서 기판을 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조 내부를 구분하여, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하기 위한 회수조부를 형설하고, 또는 상기 처리액 토출수단의 아래쪽에, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하기 위한 회수용기를 배설하며, 상기 회수조부 또는 회수용기에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌려 처리액을 순환시키는 처리액 순환수단을 설치함과 동시에, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위에서 상기 처리조 내 바닥부로 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 설치한 것을 특징으로 한다.

청구항 15에 관한 발명은, 청구항 14 기재의 기판처리장치에 있어서, 기판 위에서 유하한 사용된 처리액과 접촉하는 상기 처리조의 내벽면 또는 처리조 내부의 부재를 세정액으로 세정하는 세정수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 16에 관한 발명은, 청구항 15 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조에 인접하여, 순수로 기판의 세정을 행하는 수세처리조가 설치되며, 그 수세처리조에서 사용된 순수가 상기 세정수단에서 세정액으로서 사용되도록 하는 것을 특징으로 한다.

청구항 17에 관한 발명은, 청구항 14 내지 청구항 16의 어느 하나에 기재의기판처리장치에 있어서, 상기 배액로를 분기시켜, 분기로를 상기 처리액 순환수단에 유로적(流路的)으로 접속하여, 분기위치에 유로절환수단을 설치한 것을 특징으로 한다.

청구항 18에 관한 발명은, 청구항 15 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 배액로를 분기시켜, 분기로를 상기 처리액 순환수단에 유로적으로 접속하여 분기위치에 유로절환수단을 설치하고, 기판 위에서 유하한 사용된 처리액을 상기 배액로를 지나 상기 분기로를 통해 상기 처리액 순환수단으로 보내어 사용된 처리액을 순환시킬 때는, 상기 세정수단에서 세정액으로서 처리액이 사용되도록 하는 것을 특징으로 한다.

청구항 19에 관한 발명은, 청구항 14 기재의 기판처리장치에 있어서, 상기 회수조부 또는 회수용기에 회수된 처리액을 저장하는 탱크를 설치함과 동시에, 상기 탱크에, 그 탱크 내의 처리액의 성분을 관리하는 관리장치를 부설한 것을 특징으로 한다.

청구항 1에 관한 발명의 기판처리장치에 있어서는, 처리조 내에서 기판이 반송수단에 의해 수평방향으로 반송되면서, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액이 토출되어 기판이 처리된다. 그리고, 기판 처리에 사용된 처리액은 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서의 단부쪽으로 흘러 기판의 연변에서 흘러 떨어진다. 기판의 연변에서 흘러 떨어진 사용된 처리액은 배액경로로 모여, 배액로를 통해 배출된다. 한편, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액은 회수경로로 회수되어 액 순환계에 의해 처리액 토출수단으로 되돌려져 재이용된다. 따라서, 사용된 처리액은 재이용되지 않고 폐기되므로, 기판의 처리효율이 저하하지 않고, 또, 액 순환계를 통해 사용된 처리액이 흐르지 않으므로, 액 순환계에서의 각 부재의 오염도 최소한으로 억제된다. 한편, 회수경로로 회수된 처리액은 재이용되므로, 처리액의 이용효율이 높게 유지되어 처리액의 사용량이 저감하며, 폐액량도 적게 된다.

청구항 2에 관한 발명의 기판처리장치에 있어서는, 기판이 반송방향과 직교하는 방향에서 수평면에 대해 경사진 형태로 반송되므로, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 처리에 사용된 처리액은, 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 기판의 연변에서 흘러 떨어진다. 이때, 기판의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에는 경계판이 설치되어 있고 그 경계판으로 처리조 내 바닥부가 구분되어져 회수조부와 배액조부로 구획되어 있으므로, 기판의 연변에서 흘러 떨어진 사용된 처리액은 배액조부 내로 유하하여, 배액로를 통해 배출된다. 한편, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액은 회수조부 내로 회수되어, 액 순환계에 의해 처리액 토출수단으로 되돌려져 재이용된다. 따라서, 사용된 처리액은 재이용되는 일없이 폐기되므로, 기판의 처리효율이 저하하지 않고, 또 액 순환계를 통해 사용된 처리액이 흐르지 않으므로, 액 순환계에서의 각 부재의 오염도 최소한으로 억제된다. 한편, 회수조부 내로 회수된 처리액은 재이용되므로, 처리액의 이용효율이 높게 유지되어 처리액의 사용량이 저감하고, 폐액량도 적게 된다.

청구항 3에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 기판의 연변에서 흘러 떨어진 사용된 처리액은, 확실하게 배액조부 내로 유하하고, 경계판의 상단을 넘어 회수조부 내로 유하하지 않는다.

청구항 4에 관한 발명의 기판처리장치에 있어서는, 처리조 내에서 기판이 반송수단에 의해 수평형태로 수평방향으로 반송되면서, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액이 토출되어 기판이 처리된다. 그리고, 기판 처리에 사용된 처리액은 기판 위를 양측으로 흘러 기판의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진다. 이때, 기판의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에는 각각 경계판이 설치되어 있고 그 각 경계판으로 처리조 내 바닥부가 각각 구분되어져 회수조부와 한쌍의 배액조부로 구획되어 있으므로, 기판의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진 사용된 처리액은 각 배액조부 내로 유하하고, 배액로를 통해 배출된다. 한편, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액은 회수조부 내로 회수되고, 액 순환계에 의해 처리액 토출수단으로 되돌려져 재이용된다. 따라서, 사용된 처리액은 재이용되는 일없이 폐기되므로, 기판의 처리효율이 저하하지 않고, 또, 액 순환계를 통해 사용된 처리액이 흐르지 않으므로, 액 순환계에서의 각 부재의 오염도 최소한으로 억제된다. 한편, 회수조부 내로 회수된 처리액은 재이용되므로, 처리액의 이용효율이 높게 유지되어 처리액의 사용량이 저감하고, 폐액량도 적게 된다.

청구항 5에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판 위를 양측으로 흘러 기판의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진 사용된 처리액은 확실하게 각 배액조부 내로 유하하며, 경계판의 상단을 넘어 회수조부 내로 유하하지 않는다.

청구항 6에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 반입구 부근에서, 전단의 처리에서 사용되어 기판에 부착한 처리액이 기판의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어지거나, 처리액 토출수단으로부터 기판반송방향의 전방을 향해 기판 위로 토출된 처리액이 기판의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어지거나 했을 때, 기판의 반입구 측에는 폭방향 경계판이 설치되어 있고 그 폭방향 경계판으로 처리조 내 바닥부가 구분되어져 반입구측 배액조부가 형설되어 있으므로, 기판의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어진 액체는 반입구측 배액조부 내로 유하하여 배출된다.

청구항 7에 관한 발명의 장치에서는, 반입구측 배액조부 내로 유하한 액체는 배액조부 내로 유하한 사용된 처리액과 함께 배액로를 통해 배출된다.

청구항 8에 관한 발명의 기판처리장치에 있어서는, 기판이 반송방향과 직교하는 방향에서 수평면에 대해 경사진 형태로 반송되므로, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 처리에 사용된 처리액은 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 기판의 연변에서 흘러 떨어진다. 이때, 기판의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에는 기판의 반송방향에 따라 배액통이 횡설되어 있으므로, 기판의 연변에서 흘러 떨어진 사용된 처리액은 배액통 내로 유하하고, 배액로를 통해 배출된다. 한편, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액은, 처리조 내 바닥부로 회수되어, 액 순환계에 의해 처리액 토출수단으로 되돌려져 재이용된다. 따라서, 사용된 처리액은 재이용되는 일없이 폐기되므로, 기판의 처리효율이 저하하지 않고, 또, 액 순환계를 통해 사용된 처리액이 흐르지 않으므로, 액 순환계에서의 각 부재의 오염도 최소한으로 억제된다. 한편, 처리조 내 바닥부로 회수된 처리액은 재이용되므로, 처리액의 이용효율이 높게 유지되어 처리액의 사용량이 저감하고, 폐액량도 적게 된다.

청구항 9에 관한 발명의 기판처리장치에 있어서는, 처리조 내에서 기판이 반송수단에 의해 수평형태로 수평방향으로 반송되면서, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액이 토출되어 기판이 처리된다. 그리고, 기판 처리에 사용된 처리액은 기판 위를 양측으로 흘러 기판의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진다. 이때, 기판의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에는 각각 기판의 반송방향에 따라 배액통이 횡설되어 있으므로, 기판의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진 사용된 처리액은 각 배액통 내로 유하하며, 배액로를 통해 배출된다. 한편, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액은 처리조 내 바닥부로 회수되고, 액 순환계에 의해 처리액 토출수단으로 되돌려져 재이용된다. 따라서, 사용된 처리액은 재이용되는 일없이 폐기되므로, 기판의 처리효율이 저하하지 않고, 또, 액 순환계를 통해 사용된 처리액이 흐르지 않으므로, 액 순환계에서의 각 부재의 오염도 최소한으로 억제된다. 한편, 처리조 내 바닥부로 회수된 처리액은 재이용되므로, 처리액의 이용효율이 높게 유지되어 처리액의 사용량이 저감하고, 폐액량도 적게 된다.

청구항 10에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판은 반송방향과 직교하는 방향에서 중앙부가 양 단부보다 높게 되도록 지지하여 반송되므로, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 처리에 사용된 처리액은, 기판의 중앙부에서 좌우로 나누어 기판 위에서 체류하는 일없이 기판 위를 중앙부에서 각각 양 단부로 흘러 기판의 연변에서 흘러 떨어진다.

청구항 11에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판표면에 대해 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서의 기판 양 단부측으로 각각 기울여 처리액이 토출되므로, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출된 처리액에는 각각 양 단부를 향한 흐름이 형성되어 처리액은 기판 위를 각각 양 단부로 흘러 기판의 연변에서 흘러 떨어진다.

청구항 12에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 반송수단에 의해 기판이 반송되고 있을 때에, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 처리에 사용된 처리액이 기판의 전후 양단측 연변에서 각각 넘쳐 흘러 떨어지는 일이 있더라도, 기판의 전후 양단측 연변의 바로 아래 위치부근에는 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 따라 한쌍의 보조 배액통이 배설되고, 그 한쌍의 보조 배액통은 기판의 이동과 동기하여 수평방향으로 이동하도록 지지되어 있으므로, 기판의 전후 양단측 연변에서 각각 넘쳐 흘러 떨어진 사용된 처리액은 각 보조 배액통 내로 유하하고, 보조 배액로를 통해 배출된다.

청구항 13에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 약액처리조에서 기판 처리에 사용되며 기판에 부착한 약액은 수세처리조에서 기판이 순수로 세정됨으로써 기판 위에서 제거되어 순수로 치환된다.

청구항 14에 관한 발명의 기판처리장치에 있어서는, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액은 처리조의 회수조부 또는 회수용기로 회수되어, 처리액 순환수단에 의해 회수조부 또는 회수용기에서 처리액 토출수단으로 되돌려 순환시켜 사용된다. 그리고, 이 처리액은 기판면을 경유하지 않으므로, 비용해물이 포함되는 일이 없다. 따라서, 액 순환계에서 탱크의 내면, 배관의 내면, 펌프의 내부등이 비용해물에 의해 오염된다고 하는 문제를 일으킬 염려가 없다. 한편, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위에서 처리조 내 바닥부로 유하한 사용된 처리액은 배액로를 통해 배출된다. 따라서, 그 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있어도 문제가 없다.

청구항 15에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 세정수단에 의해, 기판 위에서 유하한 사용된 처리액과 접촉하는 처리조 내 벽면 또는 처리조 내부의 부재가 세정액으로 세정되므로, 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있고 그 비용해물이 처리조 내 벽면 또는 처리조 내부의 부재에 부착했다 하더라도, 그 비용해물은 씻어 흘려보낸다. 따라서, 처리조 내 벽면 또는 처리조 내부의 부재의 오염이 방지된다.

청구항 16에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 처리조에 인접한 수세처리조에서 사용된 순수가 세정수단에서 세정액으로 사용되므로, 세정액이 절약된다.

청구항 17에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판 위에서 처리조 내 바닥부로 유하한 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있을 때는, 배액로를 통해 사용된 처리액을 그대로 배출한다. 한편, 기판 위에서 처리조 내 바닥부로 유하한 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있지 않을 때에는, 유로절환수단에 의해, 사용된 처리액이 배액로 내에서 분기 내로 흘러 들도록 유로를 절환하여, 사용된 처리액이 분기로를 통해 처리액 순환수단으로 흐르도록 한다. 이와 같이, 기판의 종류 등의 차이에 따라 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있지 않을 때, 사용된 처리액을 순환시켜 사용함으로써, 처리액의 사용량이 저감된다.

청구항 18에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판 위에서 처리조 내 바닥부로 유하한 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있을 때는, 배액로를 통해 사용된 처리액을 그대로 배출한다. 한편, 기판 위에서 처리조 내 바닥부로 유하한 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있지 않을 때에는, 유로절환수단에 의해 사용된 처리액이 배액로 내에서 분기 내로 흘러 들도록 유로를 절환하여, 사용된 처리액이 분기로를 통해 처리액 순환수단으로 흐르도록 한다. 이와 같이, 기판의 종류 등의 차이에 따라 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있지 않을 때에, 사용된 처리액을 순환시켜 사용함으로써, 처리액의 사용량이 저감된다. 그리고, 기판 위에서 유하한 사용된 처리액을 순환시켜 사용할 때에는, 세정수단에서 세정액으로서 처리액이 사용되므로, 처리조 내 벽면 또는 처리조 내부의 부재의 세정에 사용된 처리액(세정액)도 순환시켜, 기판 처리 및 처리조 내 벽면 등의 세정에 사용하는 것이 가능하다.

청구항 19에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 관리장치에 의해 탱크 내의 처리액의 성분이 관리되므로, 오염되거나 열화하거나 한 처리액을 순환시켜 기판 처리에 사용하는 경우를 없앨 수 있다.

< 1. 제1 실시형태 >

이하, 본 발명의 제1 실시형태에 관해서 도1 내지 도13을 참조하면서 설명한다.

도1 내지 도3은, 본 발명의 제1 실시형태의 일예를 나타내고, 도1은 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도2 및 도3은, 도1의 Ⅱ-Ⅱ 화살표에서의 단면도 및 Ⅲ-Ⅲ 화살표에서의 단면도이다. 이 기판처리장치에서 기판의 처리를 행하는 주요부의 구성 및 동작은, 도19에 관해 설명한 종래의 장치와 동일하므로, 도1 내지 도3에 있어서도 도19에서 사용한 부호를 동일 부재에 붙여, 중복 설명을 생략한다.

이 기판처리장치에 있어서는, 도시하고 있지 않지만, 수세처리조(10)의 내부에 복수 병렬로 배설된 각 반송롤러가 기판(1)의 반송방향과 직교하는 방향에서 경사지도록 각각 지지되어 있다. 그리고, 도3에 나타내는 바와 같이, 기판(1)은 그 반송방향과 직교하는 방향에서 경사진 형태로 수평방향으로 반송되도록 되어 있다. 또한, 도2에서는, 편의상 기판(1)을 경사진 형태로 묘사하고 있지 않다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 토출된 순수가 약액처리조(16) 내에서 수세처리조(10) 내로 반입되어 온 기판(1)의 상면을 통해서 상류측의 약액처리조(16) 내로 흘러 들지 않도록 하기 위해, 순수 토출노즐(14) 중 수세처리조(10)의 반입구(12)에 가장 가까운 위치에 설치된 순수 토출노즐(14a)은 도2에 나타내는 바와 같이, 기판(1)의 반송방향에서의 전방을 향해 순수를 토출하도록 토출구가 배치되어 있다. 또한, 이 기판처리장치에서는, 수세처리조(10) 내 바닥부가 경계판(20) 및 폭방향 경계판(22)에 의해 구분지어져, 수세처리조(10) 내 바닥부가 회수조부(24)와 L자형의 배액로부(26)로 구획되어 있다.

경계판(20)은 수세처리조(10) 내 바닥면 위의, 경사지게 반송되는 기판(1)의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판(1)의 반송방향을 따라 설치되어있다. 경계판(20)의 상단은, 도3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 기판(1)이 낮게 된 측의 연변에 근접하도록 배치하는 것이 바람직하다. 또, 폭방향 경계판(22)은 수세처리조(10) 내 바닥면 위의, 기판(1)의 반입구(12) 측에, 기판(1)의 반송방향과 직교하는 방향에 따라 설치되어 있다. 그리고, 폭방향 경계판(22)의 일단부가 경계판(20)의 일단부에, 구형(鉤形)을 이루도록 연접(連接)하고 있다.

또, 수세처리조(10)의, 회수조부(24)의 바닥부에는, 액 회수구(28)가 형성되어 있으며, 그 액 회수구(28)에 액 회수용 배관(30)이 연통 접속되어 있다. 액 회수용 배관(30)은, 회수액(32)을 저장하는 회수탱크(34)에 유로 접속되어 있다. 또, 회수탱크(34)에는 필터(38) 및 펌프(40)가 각각 설치된 송액용 배관(36)의 일단이 연통 접속되며, 송액용 배관(36)의 선단은 도시하고 있지 않지만, 순수 토출노즐(14, 14a)에 연통 접속되어 있다. 한편, 수세처리조(10)의, 배액조부(26)의 바닥부에는, 액 배출구(42)가 형성되어 있으며, 그 액 배출구(42)에 배액관(44)이 연통 접속되어 있다.

상기한 구성을 구비한 기판처리장치에 있어서, 도3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있을 때에는, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출된 순수는 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)과 함께 기판(1) 위를 낮게 된 측으로 흘러 기판(1)의 연변에서 흘러 떨어진다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면을 따라 기판(1)의 낮게 된 측으로 흘러 기판(1)의 연변에서 흘러 떨어진다. 기판(1)의 연변에서 흘러 떨어진 순수와 약액과의 혼합액은 배액조부(26) 내로 유하하고, 배액조부(26) 내에서 액 배출구(42)를 통해 배액관(44) 내로 유출하며, 배액관(44)을 지나 폐액으로서 배출된다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면에서 떨어져 회수조부(24) 내로 유하한다. 그리고, 회수조부(24) 내로 회수된 비교적 소량의 순수는 회수조부(24) 내에서 액 회수구(28)를 통해 액 회수용 배관(30) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(30)을 통해 회수탱크(34) 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크(34) 내에 저장된 회수액(32)은 송액용 배관(36)을 통해 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다. 또한, 이때 하측의 순수 토출노즐(14)에서 토출된 순수는 기판(1)에 접촉된 후에 그 일부가 회수탱크(34)로 되돌아가게 되지만, 실질적인 불합리는 없다. 즉, 기판(1)의 하면에 부착한 약액에는 중력이 작용하므로, 상면과 비교해 하면에는 원래 소량의 약액밖에 부착하고 있지 않다. 그때문에, 기판(1)의 하면에 접촉된 순수는 극히 소량의 약액밖에 포함하지 않으므로, 회수탱크(34)로 되돌려 재이용해도 실질적으로 불합리는 없다. 또, 약액처리조(16)에는 기판(1)의 하면에 부착하고 있는 약액을 제거하는 액 제거롤러를 사용하는 경우도 있으며, 그 경우에는 수세처리조(10)에 들어가는 기판(1)의 하면에 부착하고 있는 약액은 더욱 적게 되므로, 실질적으로 불합리는 없다.

한편, 도3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 토출된 순수는 기판(1) 면을 경유하지 않고 그대로 회수조부(24) 내로 유하한다. 회수조부(24) 내로 유하하여 회수된 다량의 순수는 회수조부(24) 내에서 액 회수구(28)를 통해 액 회수용배관(30) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(30)을 통해 회수탱크(34) 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크(34) 내에 저장된 회수액(순수)(32)은 송액용 배관(36)을 통해 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다. 이 경우에는, 배액조부(26) 내로 순수가 유하하는 일은 거의 없으며, 배액조부(26) 내에서 배액관(44)을 통해 배출되는 폐액량은 극히 소량이다.

또, 수세처리조(10)의 반입구(12) 부근에 있어서는, 약액처리조(16) 내에서 수세처리조(10) 내로 반입되어 오는 약액이 부착한 기판(1)에 대해, 순수 토출노즐(14a)에서 기판(1)의 반송방향의 전방을 향해 순수가 토출되므로, 기판(1) 위로 토출된 순수는 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)과 함께 기판(1) 위를 전방측으로 흘러 기판(1)의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어진다. 기판(1)의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어진 순수와 약액과의 혼합액은 폭방향 경계판(22)에 의해 회수조부(24)에서 간막이 쳐진 배액조부(26) 내로 유하하고, 배액조부(26) 내 바닥면 위를 액 배출구(42)를 향해 흐른다. 그리고, 배액조부(26) 내에서 액 배출구(42)를 지나 배액관(44) 내로 유출하고, 배액관(44)을 통해 폐액으로서 배출된다.

상기한 바와 같이, 이 기판처리장치에서는, 사용된 순수는 거의 재이용되지 않고 약액과 함께 폐액으로서 폐기되며, 기판(1)의 세정처리에는 순수가 사용되므로, 기판(1)의 처리효율이 저하하는 경우는 없다. 또, 순수와 약액과의 혼합액은 액 회수용 배관(30) 내, 회수탱크(34) 내, 송액용 배관(36) 내, 펌프(40)의 내부 등을 흐르지 않으므로, 그들 부재가 약액으로 오염되는 경우는 최소한으로 억제된다. 한편, 회수조부(24) 내로 회수된 순수는 재이용되므로, 순수의 사용량을 저감시킬 수 있으며, 또, 폐액량도 적게 된다.

상기한 기판처리장치에서는, 순수 토출노즐(14) 중 수세처리조(10)의 반입구(12)에 가장 가까운 위치에 설치된 순수 토출노즐(14a)은 기판(1)의 반송방향에서의 전방을 향해 순수를 토출하도록 토출구가 배치되어 있다. 또, 수세처리조(10) 내로 반입되어 온 기판(1)의 상면을 통해 상류측의 약액처리조(16) 내로 순수가 흘러 들지 않도록 하기 위해서, 수세처리조(10)의 반입구(12)의 근방에 에어 나이프를 설치하도록 해도 되지만, 이와 같은 구성을 구비한 장치에서는 상기 한 실시형태와 같이 배액조부(26)를 L자형으로 하여, 수세처리조(10) 내로 반입되어 온 기판(1)의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어지는 순수 및 약액을 배액조부(26) 내로 유하시킬 필요가 있다. 이것에 대해, 수세처리조(10) 내로 반입되어 온 기판(1)의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어지는 순수 및 약액의 양이 그다지 많게 되지 않는 경우 등에는, 도4에 모식적 평면도를 나타내는 바와 같이, 폭방향 경계판(22)을 설치하지 않고, 수세처리조(10)의 전체길이에 걸쳐 기판(1)의 반송방향에 따라 경계판(46)을 설치하며, 그 경계판(46)에 의해 수세처리조(10) 내 바닥부를 회수조부(48)와 배액조부(50)로 구획하도록 해도 좋다.

제1 실시형태에서는, 배액관(44)을 통해 배출되는 액을 폐액으로서 폐기하고 있지만, 본 발명에 있어서는 배액은 반드시 폐액을 의미하지 않는다. 예컨대 약액처리조의 하류에 수세처리조를 2개 연속해서 설치하는 경우에 있어서, 양쪽의 수세처리조에 본 발명을 적용하여, 다음과 같이 구성하는 것을 생각할 수 있다. 즉, 하류측의 수세처리조에서는 수세를 위해 새로운 미사용의 순수를 사용한다. 그리고,하류측의 수세처리조에서 배액관(44)에서 배출된 액은 폐기하지 않고, 상류측의 수세처리조로 보내어, 그 상류측의 수세처리조에서, 신액으로서 수세에 사용할 수 있다. 이것은 상류측의 수세처리조로 반입되는 기판에는 약액이 다량으로 부착하고 있는 데에 반해, 하류측의 수세처리조로 반입되는 기판은 상류측의 수세처리조에서 이미 한번 세정되어, 부착하고 있는 약액이 극히 소량이기 때문이다. 그러므로, 하류측의 수세처리조에서 배액관(44)으로 배출되는 액은 약액을 극히 소량밖에 포함하고 있지 않으며, 상류측의 수세처리조에서는 신액으로서 사용 가능한 정도이기 때문이다. 이와 같이 하류측의 수세처리조에서 배액관(44)으로 배출되는 액을 상류측의 수세처리조로 보내어 재이용함으로써, 순수의 사용량을 보다 저감할 수 있다.

또, 상기의 예에서는, 배액조부(26)를 경계판(20)에 의해 형성되는 부분과 폭방향 경계판(22)에 의해 형성되는 부분을 연통시킨 일체의 L자형으로 하고 있지만, 그들 2개의 부분에서 개별로 배액관을 설치하여, 그 양방의 배액관을 회수탱크(34)에 접속하여 연통시켜도 좋다.

다음에, 도5 및 도6은, 본 발명의 제1 실시형태의 다른 예를 나타내고, 도5는 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도6은 도5의 Ⅵ-Ⅵ 화살표에서의 단면도이다. 이 기판처리장치에서도, 기판의 처리를 행하는 주요부의 구성 및 동작은 도19에 관해 설명한 종래의 장치와 동일하므로, 중복 설명은 생략한다. 또, 도5 및 도6에 있어서 도1 내지 도3에서 사용한 부호와 동일 부호를 붙인 부재는 도1 내지 도3에 관해 설명한 상기 부재와 동일 기능을 가지는 동일 부재를 나타내며, 그들에 대해서도 중복 설명을 생략한다.

이 기판처리장치에 있어서도, 도시하고 있지 않지만, 수세처리조(10) 내부에 복수 병렬로 배설된 각 반송롤러가 기판(1)의 반송방향과 직교하는 방향에서 경사지도록 각각 지지되어 있으며, 도6에 나타내는 바와 같이, 기판(1)은 그 반송방향과 직교하는 방향에서 경사진 형태로 수평방향으로 반송되도록 되어 있다. 그리고, 이 기판처리장치에서는, 수세처리조(10)의 내부에 기판(1)의 반송방향에 따라 배액통(66)이 횡설되어 있다. 이 배액통(66)은 경사져 반송되는 기판(1)의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에 배치되어 있다. 또, 배액통(66)의 바닥부에는 배액출구(68)가 형성되어 있으며, 그 액 배출구(68)에 배액관(70)이 연통 접속되어 있다.

한편, 수세처리조(10) 내 바닥부에는, 액 회수구(72)가 형설되어 있으며, 그 액 회수구(72)에 액 회수용 배관(74)이 연통 접속되어 있다. 그리고, 도시하고 있지 않지만, 도1 내지 도3에 나타낸 장치와 마찬가지로, 액 회수용 배관(74)은 회수액을 저장하는 회수탱크에 유로 접속되며, 회수탱크에는 필터 및 펌프가 각각 설치된 송액용 배관의 일단이 연통 접속되어 있고, 그 송액용 배관의 선단이 순수 토출노즐(14, 14a)에 연통 접속되어 있다.

상기한 구성을 구비한 기판처리장치에 있어서, 도6에 나타내는 바와 같이, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출된 순수는 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)과 함께 기판(1) 위를 낮게 된 측으로 흘러 기판(1)의 연변에서 흘러 떨어진다. 또, 수순 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면을 따라 기판(1)의 낮게 된 측으로 흘러 기판(1)의 연변에서 흘러 떨어진다. 기판(1)의 연변에서 흘러 떨어진 순수와 약액과의 혼합액은 배액통(66) 내로 유하하고, 배액통(66) 내에서 액 배출구(68)를 통해 배액관(70) 내로 유출하며, 배액관(70)을 통해 폐액으로서 배출된다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면에서 떨어져 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하한다. 그리고, 수세처리조(10) 내 바닥부로 회수된 비교적 소량의 순수는 수세처리조(10) 내 바닥부에서 액 회수구(72)를 통해 액 회수용 배관(74) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(74)을 통해 회수탱크 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크 내에 저장된 회수액은 송액용 배관을 통해 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다.

한편, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 토출된 순수는 기판(1)면을 경유하지 않고 그대로 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하한다. 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하하여 회수된 다량의 순수는 수세처리조(10) 내 바닥부에서 액 회수구(72)를 통해 액 회수용 배관(74) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(74)을 통해 회수탱크 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크 내에 저장된 회수액(순수)은 송액용 배관을 지나 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다. 이 경우에는, 배액통(66) 내로 순수가 유하하는 경우는 거의 없으며, 배액통(66) 내에서 배액관(70)을 통해 배출되는 폐액량은 극히 소량이다.

상기한 바와 같이, 이 기판처리장치에 있어서도, 사용된 순수는 거의 재이용되지 않고 약액과 함께 폐액으로서 폐기되며, 기판(1)의 세정처리에는 순수가 사용되므로, 기판(1)의 처리효율이 저하하는 일이 없다. 또, 순수와 약액과의 혼합액은 액 회수용 배관(74) 내, 회수탱크 내, 송액용 배관 내, 펌프의 내부등을 흐르지 않으므로, 그들 부재가 약액으로 오염되는 것은 최소한으로 억제된다. 한편, 수세처리조(10) 내 바닥부로 회수된 순수는 재이용되므로, 순수의 사용량을 저감시킬 수 있으며, 또, 폐액량도 적게 된다.

다음에, 도7 및 도8은, 본 발명의 제1 실시형태의 또 다른 예를 나타내며, 도7은 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도8은, 도7의 Ⅷ-Ⅷ 화살표에서의 단면도이다. 이 기판처리장치에 있어서도, 기판의 처리를 행하는 주요부의 구성 및 동작은 도19에 관해 설명한 종래의 장치와 동일하므로, 중복 설명을 생략한다. 또, 도7 및 도8에 있어서 도1 내지 도3에서 사용한 부호와 동일 부호를 붙인 부재는 도1 내지 도3에 관해 설명한 상기 부재와 동일 기능을 가지는 동일 부재를 나타내며, 그들에 관해서도 중복 설명을 생략한다.

이 기판처리장치에 있어서는, 도시하고 있지 않지만, 수세처리조(10)의 내부에 복수 병렬로 배설된 각 반송롤러가 수평으로 각각 지지되어 있으며, 도8에 나타내는 바와 같이, 기판(1)은 수평형태로 수평방향으로 반송되도록 되어 있다. 그리고, 이 기판처리장치에서는 수세처리조(10) 내 바닥부가 한쌍의 경계판(76a, 76b) 및 폭방향 경계판(78)에 의해 구분되어져, 수세처리조(10) 내 바닥부가 회수조부(80)와 한쌍의 배액조부(82a, 82b) 및 반입구측 배액조부(84)로 구획되어 있다.

한쌍의 경계판(76a, 76b)은 수세처리조(10) 내 바닥부상의 수평형태로 반송되는 기판(1)의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 각각 기판(1)의 반송방향에 따라 설치되어 있다. 경계판(76a, 76b)의 상단은 도8에 나타내고 있는 바와 같이, 기판(1)의 양측의 연변에 각각 근접하도록 배치하는 것이 바람직하다. 또, 폭방향 경계판(78)은, 수세처리조(10) 내 바닥면 위의, 기판(1)의 반입구측에, 기판(1)의 반송방향과 직교하는 방향에 따라 설치되어 있다. 그리고, 폭방향 경계판(78)의 양단부가 각 경계판(76a, 76b)의 일단부에 각각 구형(鉤形)을 이루도록 연접하고 있으며, 한쌍의 배액조부(82a, 82b) 및 반입구측 배액조부(84)는 서로 유로적으로 연락하고 있다.

또, 수세처리조(10)의 회수조부(80)의 바닥부에는, 액 회수구(86)가 형설되어 있으며, 그 액 회수구(86)에 액 회수용 배관(88)이 연통 접속되어 있다. 액 회수용 배관(88)은, 도시하고 있지 않지만, 도1 내지 도3에 나타낸 장치와 마찬가지로, 회수액을 저장하는 회수탱크에 유로 접속되고, 회수탱크에는 필터 및 펌프가 각각 설치된 송액용 배관의 일단이 연통 접속되어 있으며, 그 송액용 배관의 선단이 순수 토출노즐(14, 14a)에 연통 접속되어 있다. 한편, 수세처리조(10)의 배액조부(82a)의 바닥부에는 액 배출구(90)가 형설되어 있으며, 그 액 배출구(90)에 배액관(92)이 연통 접속되어 있다.

상기한 구성을 구비한 기판처리장치에 있어서, 도8에 나타내는 바와 같이, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출된 순수는 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)과함께 기판(1) 위를 양측으로 흘러 기판(1)의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면을 따라 기판(1)의 양측으로 흘러 기판(1)의 양 연변에서 흘러 떨어진다. 기판(1)의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진 순수와 약액과의 혼합액은 각 배액조부(82a, 82b) 내로 각각 유하하고, 배액조부(82a, 82b) 내에서 액 배출구(90)를 통해 배액관(92) 내로 유출하며, 배액관(92)을 지나 폐액으로서 배출된다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면에서 떨어져 회수조부(80) 내로 유하한다. 그리고, 회수조부(80) 내로 회수된 비교적 소량의 순수는, 회수조부(80) 내에서 액 회수구(86)를 통해 액 회수용 배관(88) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(88)을 통해 회수탱크 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크 내에 저장된 회수액은 송액용 배관을 통해 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다.

한편, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 토출된 순수는 기판(1)면을 경유하지 않고 그대로 회수조부(80) 내로 유하한다. 회수조부(80) 내로 유하하여 회수된 다량의 순수는 회수조부(80) 내에서 액 회수구(86)를 통해 액 회수용 배관(88) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(88)을 통해 회수탱크 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크 내에 저장된 회수액(순수)은 송액용 배관을 통해 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다. 이 경우에는 배액조부(82a, 82b) 내로 순수가 유하하는 경우는 거의 없으며, 배액조부(82a, 82b) 내에서 배액관(92)을 통해 배출되는 폐액량은 극히 소량이다.

또, 수세처리조(10)의 반입구 부근에 있어서는, 약액처리조(16) 내에서 수세처리조(10) 내로 반입되어 오는 약액이 부착한 기판(1)에 대해, 순수 토출노즐(14a)에서 기판(1)의 반송방향의 전방을 향해 순수가 토출되므로, 기판(1) 위로 토출된 순수는 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)과 함께 기판(1) 위를 전방측으로 흘러 기판(1)의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어진다. 기판(1)의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어진 순수와 약액과의 혼합액은 폭방향 경계판(78)에 의해 회수조부(80)에서 간막이 쳐진 반입구측 배액조부(84) 내로 유하하고, 반입구측 배액조부(84) 내 바닥면 위를 액 배출구(90)를 향해 흐른다. 그리고, 배액조부(82a) 내에서 액 배출구(90)를 통해 배액관(92) 내로 유출하며, 배액관(92)을 지나 폐액으로서 배출된다.

이 기판처리장치에 있어서도, 도1 내지 도3에 나타낸 장치와 마찬가지로, 기판(1)의 처리효율이 저하하지 않고, 또, 액 회수용 배관(88) 내, 회수탱크 내, 송액용 배관 내, 펌프의 내부등의 부재가 약액으로 오염되는 것이 최소한으로 억제되고, 한편, 순수의 사용량을 저감시킬 수 있으며, 또, 폐액량도 적게 된다고 하는 작용효과가 얻어진다.

또, 도9 및 도10은, 본 발명의 제1 실시형태의 또 다른 예를 나타내고, 도9는 기판처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도10은 도9의 Ⅹ-Ⅹ 화살표에서의 단면도이다. 이 기판처리장치에 있어서도, 기판의 처리를 행하는 주요부의 구성 및 동작은 도19에 관해 설명한 종래의 장치와 동일하므로, 중복 설명을 생략한다. 또, 도9 및 도10에 있어서 도1 내지 도3에서 사용한 부호와 동일 부호를 붙인 부재는 도1 내지 도3에 관해 설명한 상기 부재와 동일 기능을 가지는 동일 부재를 나타내고, 그들에 관해서도 중복 설명을 생략한다.

이 기판처리장치에 있어서는, 도시하고 있지 않지만, 수세처리조(10)의 내부에 복수 병렬하여 배설한 각 반송롤러가 수평으로 각각 지지되어 있으며, 도10에 나타내는 바와 같이, 기판(1)은 수평형태로 수평방향으로 반송되도록 되어 있다. 그리고, 이 기판처리장치에서는, 수세처리조(10)의 내부에, 기판(1)의 반송방향에 따라 한쌍의 배액통(94a, 94b)이 각각 횡설되어 있다. 이 한쌍의 배액통(94a, 94b)은 수평형태로 반송되는 기판(1)의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에 각각 배치되어 있다. 또, 각 배액통(94a, 94b)의 바닥부에는, 각각 액 배출구(96a, 96b)가 형설되어 있으며, 그 각 액 배출구(96a, 96b)에 각각 배액관(98a, 98b)이 연통 접속되어 있다.

한편, 수세처리조(10) 내 바닥부에는, 액 회수구(100)가 형설되어 있으며, 그 액 회수구(100)에 액 회수용 배관(102)이 연통 접속되어 있다. 그리고, 도시하고 있지 않지만, 도1 내지 도3에 나타낸 장치와 마찬가지로, 액 회수용 배관(102)은 회수액을 저장하는 회수탱크에 유로 접속되며, 회수탱크에는 필터 및 펌프가 각각 설치된 송액용 배관의 일단이 연통 접속되어 있고, 그 송액용 배관의 선단이 순수 토출노즐(14, 14a)에 연통 접속되어 있다.

상기 한 구성을 구비한 기판처리장치에서, 도10에 나타내는 바와 같이, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출된 순수는 기판(1)의 상면에 부착한 약액(2)과 함께 기판(1) 위를 양측으로 흘러 기판(1)의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면을 따라 기판(1)의 양측으로 흘러 기판(1)의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진다. 기판(1)의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진 순수와 약액과의 혼합액은 각 배액통(94a, 94b) 내로 유하하고, 각 배액통(94a, 94b) 내에서 액 배출구(96a, 96b)를 통해 배액관(98a, 98b) 내로 유출하며, 배액관(98a, 98b)을 지나 폐액으로서 각각 배출된다. 또, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1)의 하면측으로 토출된 순수의 일부는 기판(1)의 하면에서 떨어져 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하한다. 그리고, 수세처리조(10) 내 바닥부로 회수된 비교적 소량의 순수는 수세처리조(10) 내 바닥부에서 액 회수구(100)를 통해 액 회수용 배관(102) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(102)를 통해 회수탱크 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크 내에 저장된 회수액은 송액용 배관을 통해 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다.

한편, 순수 토출노즐(14)의 설치위치를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 토출된 순수는 기판(1)면을 경유하지 않고 그대로 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하한다. 수세처리조(10) 내 바닥부로 유하하여 회수된 다량의 순수는 수세처리조(10) 내 바닥부에서 액 회수구(100)를 통해 액 회수용 배관(102) 내로 유출하고, 액 회수용 배관(102)을 통해 회수탱크 내로 유입한다. 그리고, 회수탱크 내에 저장된 회수액(순수)은 송액용 배관을 통해 순수 토출노즐(14, 14a)로 되돌려져 재이용된다. 이 경우에는, 배액통(94a, 94b) 내로 순수가 유하하는 일은 거의 없으며, 배액통(94a, 94b) 내에서 배액관(98a, 98b)을통해 배출되는 폐액량은 극히 소량이다.

이 기판처리장치에 있어서도, 도5 및 도6에 나타낸 장치와 마찬가지로, 기판(1)의 처리효율이 저하하지 않고, 또, 액 회수용 배관(102) 내, 회수탱크 내, 송액용 배관 내, 펌프의 내부등의 부재가 약액으로 오염되는 것이 최소한으로 억제되고, 한편, 순수의 사용량을 저감시킬 수 있으며, 또, 폐액량도 적게 된다고 하는 작용효과가 얻어진다.

도7 및 도8에 나타내는 실시형태와 도9 및 도10에 나타낸 실시형태와 같이, 기판(1)을 수평형태로 수평방향으로 반송하도록 했을 때는, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출된 순수와 약액과의 혼합액이 기판(1) 위를 흐르기 어렵다는 가능성이 있다. 이와 같은 경우에는, 도11에 개략 측면도를 나타내는 바와 같이, 기판(1)의 하면 중앙부에 접촉하여 기판(1)을 지지하는 반송롤러(104)의 지름을, 기판(1)의 하면 양단부에 각각 접촉하여 기판(1)을 지지하는 반송롤러(106, 106)의 지름보다 크게하고, 기판(1)을 그 반송방향과 직교하는 방향에서 중앙부가 양 단부보다 높게 되도록 지지하여 반송하는 구성으로 하면 좋다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출된 순수와 기판표면상의 약액과의 혼합액은 기판(1)의 중앙부에서 좌우로 나누어져 기판(1) 위에서 체류하는 일 없이 기판(1) 위를 중앙부에서 각각 양 단부로 흘러 기판(1)의 양 연변에서 흘러 떨어지게 된다.

또, 도12에 개략 측면도를 나타내는 바와 같이, 각 순수 토출노즐(14)을, 그 토출구가 기판(1)의 양 단부쪽을 향하도록 각각 배치하는 구성으로 해도 좋다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 각 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로, 기판(1) 표면에 대해 반송방향과 직교하는 방향에서의 양 단부측으로 각각 기울어져 순수가 토출되므로, 각 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출된 순수에는, 각각 양 단부를 향하는 흐름이 형성되어, 순수는 약액과 섞여 기판(1) 위를 양 단부로 흘러 기판(1)의 연변에서 흘러 떨어지게 된다.

또, 도13에 기판처리장치의 모식적 평면도를 나타내는 바와 같이, 수평형태로 수평방향으로 반송되는 기판(1)의 전후 양 단측 연변의 바로 아래 위치부근에, 각각 반송방향과 직교하는 방향에 따라 한쌍의 보조 배액통(108a, 108b)을 배설하고, 그 한쌍의 보조 배액통(108a, 108b)을 기판(1)의 이동과 동기하여 수평방향으로 이동하도록 지지되는 구성으로 해도 좋다. 이와 같은 구성을 구비한 기판처리장치에서는, 기판(1)이 반송되고 있을 때에, 순수 토출노즐(14)에서 기판(1) 위로 토출되어 기판(1)의 세정에 사용되어 약액과 혼합된 순수가 기판(1)의 전후 양 단측 연변에서 각각 넘쳐 흘러 떨어지는 일이 있어도, 기판(1)의 전후 양 단측 연변에서 각각 넘쳐 흘러 떨어진 순수와 약액과의 혼합액은 각 보조 배액통(108a, 108b) 내에 각각 유하하여, 각 보조 배액통(108a, 108b)에 접속된 보조 배액로(도시하지 않음)를 통해 배출되게 된다.

또한, 제1 실시형태에 있어서는, 약액처리조(16)에 인접하여 수세처리조(10)를 구비한 기판처리장치에 관해서 설명했지만, 본 발명은, 그 이외의 세정, 현상, 에칭, 박리 등의 처리를 행하는 기본처리장치에도 적용하는 것이 가능하다.

< 2. 제2 실시형태 >

다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 관해서 도14 내지 도18을 참조하면서 설명한다.

도14는, 본 발명의 제2 실시형태의 일예를 나타내며, 기판처리장치의 하나인 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 이 현상처리장치에서 현상처리를 행하는 주요부의 구성 및 동작은 도20에 관해 설명한 종래의 장치와 동일하므로, 도14에서도 도20에서 사용한 부호를 동일 부재를 붙여, 중복 설명을 생략한다.

이 현상처리장치에 있어서는, 현상액 토출노즐(116)의 하방에, 현상처리조(110)의 내부를 구분지어 회수조부(122)가 형설되어 있다. 또한, 회수조부(122)를 형설하는 대신에, 현상액 토출노즐(116)의 아래쪽에 회수패트(회수용기)를 배설하도록 해도 좋다. 이 회수조부(122) 내에는 현상액 토출노즐(116)의 바로 아래 위치를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때에 현상액 토출노즐(116)에서 토출되어 기판(1)면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 현상액이 회수된다(도15 참조). 회수조부(122)의 바닥부에는, 기판(1) 위에서 회수조부(122) 내 바닥부로 흘러 떨어진 현상액이 유출하는 액 회수구(124)가 형설되어 있으며, 그 액 회수구(124)에 액 회수용 배관(126)이 연통 접속되어 있다. 액 회수용 배관(126)은 회수된 현상액(128)을 저장하는 회수탱크(130)에 유로 접속되어 있다. 또, 회수탱크(130)에는 송액용 배관(132)의 일단이 연통 접속되며, 송액용 배관(132)의 선단은 현상액 토출노즐(116)에 연통 접속되어 있다. 이 송액용 배관(132)에는 펌프(134)가 설치되어 있으며, 도시하고 있지 않지만 필요에 따라 필터가 설치된다. 이들 액 회수용 배관(126), 회수탱크(130), 송액용 배관(132) 및 펌프(134)에 의해 액 순환계가 구성되어 있다.

또, 현상처리조(110)의, 회수조부(122)와는 구획된 바닥부에는 도14에 나타내는 바와 같이 액 제거롤러(118)에 의해 기판(1)상에서 제거되는 등 하여 기판(1) 위에서 현상처리조(110) 내 바닥부로 흘러 떨어진 현상액이 유출하는 액 배출구(136)가 형설되어 있으며, 그 액 배출구(136)에 배액용 배관(138)이 연통 접속되어 있다.

또한, 현상처리조(110)의 내부에는, 현상처리조(110) 내 바닥면을 향해 세정액을 토출하여 현상처리조(110) 내 바닥면을 세정하는 세정노즐(140)이 배설되어 있다. 또, 도시하고 있지 않지만, 현상처리조(110)의 내부에 배설된 반송롤러 등의 부재를 세정하기 위한 세정노즐을 설치할 수도 있다. 세정노즐(140)에는, 세정액 공급원에서 세정액이 공급된다. 도14에 나타낸 예에서는, 현상처리조(110)에 인접하여 설치된 수세처리조(114)의 바닥부에, 기판(1)의 세정에 사용되어 수세처리조(114) 내 바닥부로 흘러 떨어진 순수가 유출하는 배수구(142)를 형설하고, 그 배수구(142)에 물 회수용 배관(144)을 연통 접속하고, 물 회수용 배관(144)을 물 회수탱크(146)로 유로 접속하여, 수세처리조(114)에서 사용된 순수(148)를 물 회수탱크(146) 내로 회수하여 저장하도록 하고 있다. 그리고, 물 회수탱크(146)에 송수용 배관(150)의 일단을 연통 접속하고, 송수용 배관(150)의 선단을 세정노즐(140)에 연통 접속하며, 송액용 배관(150)에 설치된 펌프(152)에 의해 물 회수탱크(146) 내의 순수(148)를 세정노즐(140)로 공급하도록 하고 있다.

이상과 같은 구성을 가지는 현상처리장치에 있어서는, 현상액 토출노즐(116)에서 토출되어 기판(1)면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 현상액(3)은 현상처리조(110)의 회수조부(122)로 회수된다. 회수조부(122)에 회수된 현상액은 액 회수용 배관(126)을 통해 회수탱크(130) 내로 유입하여 저장된다. 그리고, 회수탱크(130) 내의 현상액(128)은 송액용 배관(132)을 통해 현상액 토출노즐(116)로 보내진다. 이와 같이 순환시켜 사용되는 현상액은 기판(1)면을 경유하지 않으므로, 그 현상액 중에 비용해물이 포함되는 경우가 없기 때문에, 회수탱크(130)의 내면, 액 회수용 배관(126)과 송액용 배관(132)의 내면, 펌프(134)의 내부등이 비용해물에 의해 오염되는 경우가 없다.

한편, 현상액 토출노즐(116)에서 기판(1) 위로 토출되어 기판(1) 위에서 현상처리조(110) 내 바닥부로 유하한 사용된 현상액은 액 배출구(136)에서 배액용 배관(138)을 통해 배출된다. 따라서, 그 현상액 중에 비용해물이 포함되어 있어도 문제는 일어나지 않는다. 또, 사용된 현상액과 접촉한 현상처리조(110) 내 바닥면과 배액용 배관(138) 등은, 물 회수탱크(146)에서 송수용 배관(150)을 통해 세정노즐(140)로 보내져 세정노즐(140)에서 토출되는 순수(148)에 의해 세정되어 오염이 방지된다. 또한, 기판(1)과 접촉하는 부재, 예컨대 액 제거롤러(118)에 순수를 부착시키고 싶지 않은 경우에는, 그와 같은 부재에 관해서는 처리액을 사용하여 그 세정을 행하도록 할 수도 있다.

도15는, 현상처리조의 세정기구의, 도14에 나타낸 것과는 다른 예를 나타내며, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 도15에 있어서, 도14중에서 사용한 부호와 동일 부호를 붙인 것은 도14에 관해 설명한 상기 부재와 동일 기능을 가지는 동일 부재이며, 중복 설명을 생략한다. 또한 도15는, 현상액 토출노즐(116)의 바로 아래 위치를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때에 현상액 토출노즐(116)에서 토출된 현상액(3)이 그대로 유하하여 회수탱크(13) 내로 회수되는 상태를 나타내고 있다.

도15에 나타낸 장치에서는, 현상처리조(154) 내 바닥면(156)을 현상처리조(154)와 인접하는 수세처리조(158)의 측이 높고 회수조부(122)의 측이 낮게 되도록 경사져 있다. 그리고, 수세처리조(158) 측의 높게 된 위치에 세정노즐(160)을 설치하고, 회수조부(122)측의 낮게 된 현상처리조(154) 바닥부에 액 배출구(162)를 형설하여, 그 액 배출구(162)에 배액용 배관(164)을 연통 접속하고 있다. 또, 수세처리조(158)의 내부에, 기판(1)의 반송로(L)을 사이에 두고 그 상·하 양측에 배설된 복수개의 물 분출노즐(120)에서 기판(1)의 상·하 양면에 분사된 순수를 회수하는 회수패트(166)를 배설하고 있다. 물 회수패드(166)는 세정노즐(160)보다 높은 위치에 배치되고, 물 회수패드(166)의 바닥부와 세정노즐(160)을 송수용 배관(168)에 의해 유로 접속하고 있다. 송수용 배관(168)은 도중에서 분기시켜 드레인(drain)관(170)으로 하고, 그 드레인관(170)에 개폐밸브(172)를 설치하고 있다. 또, 수세처리조(158)의 바닥부에 배수구(174)를 형설하여, 그 배수구(174)에 배수용 배관(176)을 연통 접속하고 있다.

도15에 나타낸 구성의 장치에서는, 물 회수패드(166) 내로 회수된 순수가 송수용 배관(168)을 통해 세정노즐(160)로 보내지고, 세정노즐(160)에서현상처리조(154) 내 바닥면(156) 위로 순수가 토출된다. 현상처리조(154) 내 바닥면(156) 위로 토출된 순수는 내 바닥면(156)의 경사에 따라 내 바닥면(156) 위를 흘러 내린다. 이것에 의해, 현상처리조(154) 내 바닥면(156) 전체가 순수에 의해 세정된다. 그리고, 회수조부(122) 부근까지 유하한 순수는 현상처리조(154) 바닥부의 액 배출구(162)에서 배액용 배관(164)을 통해 배출된다.

다음에, 도16은, 본 발명의 제2 실시형태의 다른 예를 나타내며, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 도16에 있어서, 도14 중에서 사용한 부호와 동일 부호를 붙인 것은, 도14에 관해서 설명한 상기 부재와 동일 기능을 가지는 동일 부재이며, 중복 설명을 생략한다.

도16에 나타낸 장치에서는, 현상처리조(110)의 바닥부의 액 배출구(136)에 연통 접속된 배액용 배관(178)을 도중에서 분기시켜, 분기시킨 액 되돌림용 배관(180)의 선단을 회수탱크(130)로 유로 접속하고, 배액용 배관(178)의 분기위치에 유로절환밸브(182)를 설치하고 있다. 또, 회수탱크(130)와 현상액 토출노즐(116)을 유로 접속하고 있는 송액용 배관(132)을 도중에서 분기시켜, 분기시킨 세정 송액용 배관(184)의 선단을 세정노즐(140)에 연통 접속하고 있다. 그리고, 세정 송액용 배관(184)에 개폐제어밸브(186)를 설치하고, 또, 물 회수탱크(146)와 세정노즐(140)을 유로 접속하고 있는 송수용 배관(150)에 개폐제어밸브(188)를 설치하고 있다.

도16에 나타낸 구성을 구비한 장치에서는, 기판(1) 위에서 현상처리조(110) 내 바닥부로 유하한 사용된 현상액 중에 비용해물이 포함되어 있지 않을 때, 예컨대 용해형 레지스트의 도포막이 피착형성된 기판을 현상처리할 때 등에는, 유로절환밸브(182)를 절환 조작하여, 배액용 배관(178)과 액 되돌림용 배관(180)이 연통한 상태로 하고, 사용된 현상액이 배액용 배관(178) 내에서 액 되돌림용 배관(180) 내로 흘러 들도록 한다. 이 경우에는, 송수용 배관(150)에 설치된 개폐제어밸브(188)를 닫음으로써, 사용된 현상액과 순수가 혼합되지 않도록 한다. 이와 같이 하여, 사용된 현상액이 배액용 배관(178) 및 액 되돌림용 배관(180)을 통해 회수탱크(130) 내로 회수되도록 한다. 그리고, 사용된 현상액을 현상액 토출노즐(116)의 바로 아래 위치를 기판(1)이 통과하고 있지 않을 때에 현상액 토출노즐(116)에서 토출되어 그대로 유하하여 회수탱크(130) 내로 회수된 현상액과 함께하여, 순환시켜 사용한다. 이때, 현상처리조(110) 내 바닥면 등을 세정할 필요가 있을 때는, 세정 송액용 배관(184)에 설치된 개폐제어밸브(186)를 열어, 회수탱크(130) 내의 현상액(128)의 일부를 세정 송액용 배관(184)을 통해 세정노즐(140)로 보내고, 세정노즐(140)에서 현상액을 토출시켜 현상처리조(110) 내 바닥면 등의 세정을 행하도록 한다.

한편, 현상처리하는 기판의 종류가 변하여, 기판(1) 위에서 현상처리조(10) 내 바닥부로 유하한 사용된 현상액 중에 비용해물이 포함될 때, 예컨대 비용해형 레지스트의 도포막이 피착형성된 기판을 현상처리할 때 등에는, 유로절환밸브(182)를 절환 조작하여, 배액용 배관(178)과 액 되돌림용 배관(180)이 연통하고 있지 않은 상태로 하고, 사용된 현상액이 배액용 배관(178)을 통해 배출되도록 한다. 이 경우에는, 세정 송액용 배관(184)에 설치된 개폐제어밸브(186)를 닫은 상태로 함과동시에 송수용 배관(150)에 설치된 개폐제어밸브(188)를 열어, 도14에 나타낸 장치와 동일하게, 수세처리조(114)에서 기판(1)의 수세에 사용된 순수를 세정노즐(140)로 보내어, 그 순수로 현상처리조(110) 내 바닥면 등의 세정을 행하도록 한다. 또, 사용된 현상액을 배출하는 경우에는, 순수와 처리액을 병용하여 현상처리조(110) 내 바닥면 등의 세정을 행하도록 할 수도 있다.

다음에, 도17은, 사용하는 현상액의 종류마다 현상액 토출노즐을 설치한 예를 나타내며, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 도17에 있어서도, 도14 및 도16 중에서 사용한 부호와 동일 부호를 붙인 것은 도14 및 도16에 관해서 설명한 상기 부재와 동일 기능을 가지는 동일 부재이며, 중복 설명을 생략한다.

도17에 나타낸 장치에서는, 사용하는 현상액의 종류에 따라 2개의 현상액 토출노즐(116a, 116b)이 설치되어 있으며, 현상액의 종류에 따라 2개의 회수조부(122a, 122b)가 현상처리조(110)에 형설되어 있다. 또, 현상액의 종류에 따라 각각 액 순환계 및 현상액 세정 시스템이 설치되어 있다. 도17에 있어서 사용되고 있는 부호를 설명하면, 124a, 124b가 액 회수구이고, 126a, 126b가 액 회수용 배관이며, 130a, 130b가 종류가 다른 현상액(128a, 128b)을 각각 별도로 회수하여 저장하는 회수탱크이고, 132a, 132b가 각각 펌프(134a, 134b)가 설치된 송액용 배관이며, 136a, 136b가 액 배출구이다. 또, 178a, 178b가 배액용 배관이고, 180a, 180b가 액 되돌림용 배관이며, 182a, 182b가 유로절환밸브이고, 184a, 184b가 각각 개폐제어밸브(186a, 186b)가 설치된 세정 송액용 배관이다. 또, 액 회수용배관(126a, 126b) 및 배액용 배관(178a, 178b)에는 각각 개폐제어밸브(190a, 190b, 192a, 192b)가 각각 설치되어 있다.

도17에 나타낸 장치에서는, 각 액 회수용 배관(126a, 126b)에 각각 설치된 개폐제어밸브(190a, 190b)의 한쪽을 열고 다른쪽을 닫음과 동시에, 각 배액용 배관(178a, 178b)에 각각 설치된 개폐제어밸브(192a, 192b)의 한쪽을 열고 다른쪽을 닫음으로써, 사용하는 현상액의 종류마다 도16에 나타낸 장치에서의 상기한 처리조작을 행할 수 있다.

또, 도18은, 사용하는 현상액의 종류마다 처리조작을 행할 수 있는 다른 실시형태를 나타내고, 현상처리장치의 개략구성을 나타내는 모식적 측면도이다. 도18에 있어서, 도14, 도16 및 도17 중에서 사용한 부호와 동일 부호를 붙인 것은, 도14, 도16 및 도17에 관하여 설명한 상기 부재와 동일 기능을 가지는 동일 부재이며, 중복 설명을 생략한다.

도18에 나타낸 장치에서는, 현상액 토출노즐(116)을 1개만 설치하여, 종류가 다른 현상액에 대해서 현상액 토출노츨(116)을 공유하도록 하고, 또, 현상처리조(110)에도, 회수조부(122)를 1개만 형설하며, 종류가 다른 현상액을 같은 회수조부(122)에 의해 회수하도록 하고 있다. 그리고, 현상액 토출노즐(116)에 접속된 송액용 배관(132)에, 종류가 다른 현상액(128a, 128b)을 각각 별도로 회수하여 저장하는 회수탱크(130a, 130b)에 각각 유로 접속된 각 송액용 배관(132a, 132b)을 연통 접속하여 합류시키고 있다. 또, 송액용 배관(132)을 선단 가까이에서 분기시켜, 현상액 토출노즐(116)에 연통 접속된 바이패스관(194)을 설치하고, 송액용 배관(132)의 분기 위치보다 하류측 및 바이패스관(194)에 각각 개폐제어밸브(196a, 196b)를 설치하고 있다. 또, 회수조부(122)의 바닥부에 액 배출구(198)가 형설되어 있으며, 그 액 배출구(198)에 액 배출용 배관(900)이 연통 접속되고, 액 배출용 배관(900)에 개폐밸브(902)가 설치되어 있다.

도18에 나타낸 장치에 있어서도, 도17에 나타낸 장치와 마찬가지로, 각 액 회수용 배관(126a, 126b)에 각각 설치된 개폐제어밸브(190a, 190b)의 한쪽을 열고 다른쪽을 닫음과 동시에, 각 배액용 배관(178a, 178b)에 각각 설치된 개폐제어밸브(192a, 192b)의 한쪽을 열고 다른쪽을 닫음으로써, 사용하는 현상액의 종류마다, 도16에 나타낸 장치에서의 상기한 처리조작을 행할 수 있다. 그리고, 이 장치에서는, 현상액의 종류를 변경할 때는, 액 배출용 배관(900)에 설치된 개폐밸브(902)를 열어 회수조부(122)에 잔류하고 있는 현상액을 배출시킨다. 또, 바이패스관(194)에 설치된 개폐제어밸브(196b)를 열고, 현상액 토출노즐(116)로 송급되는 현상액의 유량을 증대시킴으로써, 액 치환에 필요한 시간을 단축하여, 처리효율을 향상시키도록 한다. 액 치환이 종료하면, 액 배출용 배관(900)에 설치된 개폐밸브(902) 및 바이패스관(194)에 설치된 개폐제어밸브(196b)를 각각 닫아둔다.

또한, 상기한 제2 실시형태에 있어서, 회수한 처리액을 저장하는 회수탱크(130, 130a, 130b)에 대해, 회수탱크(130, 130a, 130b) 내의 처리액의 성분을 관리하는 관리장치를 부설하는 것은 바람직하다. 이 관리장치는, 예컨대 현상처리장치의 경우이면, 회수탱크(130, 130a, 130b) 내의 처리액을 분석하여 그 중의 현상액(예컨대 TMAH) 성분과 용존(溶存)하고 있는 레지스트(수지) 성분과의 각 농도를 각각 측정하고, 그들 값이 소망의 값에서 어긋날 때에는, 현상액의 신액과 농후액을 회수탱크(130, 130a, 130b) 내의 처리액에 더하거나, 또, 필요에 따라 회수탱크(130, 130a, 130b) 내의 처리액을 폐기하거나 하여, 그들 값을 소망의 범위로 유지하는 동작을 행하게 하는 것을 고려할 수 있다. 또는, 회수탱크(130, 130a, 130b) 내의 처리액에 대해 소정의 타이밍으로 일정량의 신액을 보충하는 것, 또는 회수탱크(130, 130a, 130b) 내의 처리액을 일정량만큼 폐기한 후에 일정량의 신액을 보충하는 것 등이라도 좋다.

현상처리에 있어서의 경우, 처리를 계속하면서 같은 처리액(현상액)을 순환시켜 계속 사용하면, 현상액의 순환동작에 따라 현상액이 공기와 접촉함으로써 열화하거나, 레지스트가 현상액 중에 녹아 들거나 하는 등 현상액이 서서히 열화해 가므로, 상기와 같은 관리장치를 부설하는 것이 바람직하지만, 회수한 현상액으로 처리조 내부등을 세정하는 용도로도 현상액을 이용하는 경우에는, 특히 현상액이 열화하기 쉽다. 그때문에, 상기와 같은 관리장치를 설치하여 상기한 바와 같은 처리액의 오염이나 열화를 방지하는 것이 특히 바람직하다.

또, 제2 실시형태에 있어서, 비용해물이 생성하는 경우란, 처리액을 순화시켜 사용하는 경우에 장해가 되는 비용해물이 생성하는 경우로서, 구체적으로는, 예컨대 유기평탄화막을 형성하기 위한 도포액 혹은 컬러필터 제조용의 컬러 레지스트 등이 도포된 기판을 현상처리하는 경우가 해당한다. 유기평탄화막 형성용의 도포액과 컬러 레지스트는 일반적으로, 형성된 피막의 패턴이 후 프로세스에서도 박리되는 경우가 없다. 반대로, 비용해물이 생성하지 않는 경우란, 처리액을 순환시켜 사용하는 경우에 장애가 되는 비용해물이 생성하지 않는 경우로서, 구체적으로는, 예를들어 일반적인 포지티브 레지스트나 네가티브 레지스트 등 현상액에 충분하게 용해되는 도포액이 도포된 기판을 현상처리하는 경우가 해당한다. 일반적인 포지티브 레지스트나 네가티브 레지스트는 형성된 피막의 패턴을 후 프로세스에서 박리 처리한다.

또한, 제2 실시형태에 있어서는, 현상처리장치에 관해서 설명했지만, 본 발명은, 오존수 등을 이용한 에칭, 박리 등의 처리를 행하는 기판처리장치에도 적용하는 것이 가능하다.

청구항 1, 청구항 2, 청구항 4, 청구항 8 및 청구항 9에 관한 각 발명의 기판처리장치를 사용하면, 순수 등의 처리액의 이용효율을 높게 유지하여 처리액의 사용량을 저감시킬 수 있음과 동시에, 폐액량도 적게 할 수 있다. 또, 기판의 처리효율을 높게 유지할 수 있음과 동시에, 액의 순환경로에서의 각 부재의 오염도 최소한으로 억제할 수 있다.

청구항 3에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 기판의 연변에서 흘러 떨어진 사용된 처리액을 확실하게 폐액으로서 배출할 수 있다.

청구항 5에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판 위를 양측으로 흘러 기판의 양 연변에서 각각 흘러 떨어진 사용된 처리액을 확실하게 폐액으로서 배출할 수 있다.

청구항 6에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 반입구 부근에서, 기판의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어진 액체를 폐액으로서 배출할 수 있다.

청구항 7에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 반입구 부근에서, 기판의 선단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어진 액체를 배액조부 내로 유하한 사용된 처리액과 함께 폐액으로서 배출할 수 있다.

청구항 10 및 청구항 11에 관한 각 발명의 기판처리장치에서는, 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 처리에 사용된 처리액을, 기판 위에서 체류시키지 않고 기판의 양단부로 각각 유동시켜 기판의 연변에서 흘러 떨어지도록 할 수 있다.

청구항 12에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판이 반송되고 있을 때에 기판의 전후 양단측 연변에서 각각 넘쳐 흘러 떨어진 사용된 처리액을 폐액으로서 배출할 수 있다.

청구항 13에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 약액처리조에서 사용되며 기판에 부착한 약액을 수세처리조에서 기판 위에서 제거하여 순수로 치환하는 처리에 있어서, 순수의 사용량을 저감시킬 수 있다.

청구항 14에 관한 발명의 기판처리장치를 사용하면, 처리액을 순환시키면서 기판의 처리를 행할 수 있으며, 또, 처리에 사용한 액만을 분리하여 배액할 수 있으므로, 처리액의 이용효율을 유지할 수 있음과 동시에, 액 순환계에서 문제를 일으킬 일도 없어지게 된다. 그리고, 처리시, 복잡한 제어를 행할 필요도 없다.

청구항 15에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 내벽면 또는 처리조 내부의부재의 오염을 방지할 수 있다.

청구항 16에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 처리조의 내벽면 또는 처리조 내부의 부재의 오염을 방지하기 위해 사용되는 세정액을 절약할 수 있다.

청구항 17에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 종류등의 차이에 따라 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있지 않은 때에, 사용된 처리액을 순환시켜 사용하는 것이 가능하게 되므로, 처리액의 사용량을 저감시킬 수 있다.

청구항 18에 관한 본 발명의 기판처리장치에서는, 기판의 종류등의 차이에 따라 사용된 처리액 중에 비용해물이 포함되어 있지 않을 때에, 사용된 처리액을 순환시켜 사용하는 것이 가능하게 되므로, 처리액의 사용량을 저감시킬 수 있다. 그리고, 기판 위에서 유하한 사용된 처리액을 순환시켜 사용할 때에는, 처리조의 내벽면 또는 처리조 내부의 부재의 세정에 사용된 처리액도 순환시켜, 기판의 처리 및 처리조 내 벽면 등의 세정에 사용하는 것이 가능하게 되므로, 처리액(세정액)도 절약할 수 있다.

청구항 19에 관한 발명의 기판처리장치에서는, 오염되거나 열화하거나 한 처리액을 순환시켜 기판 처리에 사용할 우려가 없으므로, 기판의 처리품질을 유지할 수 있다.

Claims (19)

1. 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서,

   상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하(流下)하는 처리액을 회수하는 회수경로와, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서의 단부쪽으로 흘러 연변(緣邊)에서 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 모으는 배액경로(排液經路)를 구분지어 설치하고, 상기 회수경로로 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 배액경로에 모인 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
2. 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서,

   상기 반송수단에 의해 기판을 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서 수평면에 대해 경사진 형태로 반송함과 동시에, 상기 처리조 내 바닥면 위의 경사져 반송되는 기판의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라 경계판을 설치하고, 그 경계판으로 처리조 내 바닥부를 구분하여, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하는 회수조부와 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 연변에서 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 배액조부(排液槽部)로 구획하며, 상기 회수조부내에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 배액조부 내로 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 경계판의 상단이 경사져 반송되는 기판의 낮게 된 측의 연변에 근접하도록 배치된 기판처리장치.
4. 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평형태로 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서,

   상기 처리조 내 바닥면 위의, 반송되는 기판의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라 각각 경계판을 설치하고, 그 각 경계판으로 처리조 내 바닥부를 각각 구분하여, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하는 회수조부와 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 양측으로 흘러 양 연변에서 각각 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 한쌍의 배액조부로 구획하며, 상기 회수조부 내에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 각 배액조부 내로 각각 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 각 경계판의 상단이, 반송되는 기판의 양측의 연변에 각각 근접하도록 배치된 기판처리장치.
6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한항에 있어서,

   상기 처리조 내 바닥면 위의, 기판의 반입구측에, 기판의 반송방향과 교차하는 방향에 따라 폭방향 경계판을 설치하고, 그 폭방향 경계판으로 처리조 내 바닥부를 구분하여, 처리조 내로 반입된 기판의 전단측 연변에서 넘쳐 흘러 떨어지는 액체를 받는 반입구측 배액조부를 형설하며, 그 반입구측 배액조부 내로 유하한 처리액을 배출하는 기판처리장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 반입구측 배액조부와 상기 배액조부를 연통시킨 기판처리장치.
8. 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서,

   상기 반송수단에 의해 기판을, 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서 수평면에 대해 경사진 형태로 반송함과 동시에, 상기 처리조 내부의 경사져 반송되는 기판의 낮게 된 측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 낮게 된 측으로 흘러 연변에서 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 배액통을 횡설(橫設)하고, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하여 상기 처리조 내 바닥부에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 배액통 내로 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
9. 처리조 내에서 반송수단에 의해 기판을 수평형태로 수평방향으로 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서,

   상기 처리조 내부의 반송되는 기판의 양측의 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향에 따라, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위를 양측으로 흘러 양 연변에서 각각 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 한쌍의 배액통을 횡설하고, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하여 상기 처리조 내 바닥부로 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌리는 액 순환계를 구비함과 동시에, 상기 각 배액통 내로 각각 유하한사용된 처리액을 배출하는 배액로를 구비한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
10. 제 4 항, 제 5 항 또는 제 9 항에 있어서,

    상기 반송수단에 의해 기판을, 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서 기판 중앙부가 기판 양단부보다 높게 되도록 지지하여 반송하는 기판처리장치.
11. 제 4 항, 제 5 항 또는 제 9 항에 있어서,

    상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로, 기판표면에 대해 기판의 반송방향과 직교하는 방향에서의 기판 양단부측으로 각각 기울여 처리액을 토출하는 기판처리장치.
12. 제 4 항, 제 5 항 또는 제 9 항에 있어서,

    상기 반송수단에 의해 반송되는 기판의 전후 양단측 연변의 바로 아래 위치부근에, 기판의 반송방향과 직교하는 방향에 따라, 기판의 전후 양단측 연변에서 각각 넘쳐 흘러 떨어지는 사용된 처리액을 받는 한쌍의 보조 배액통을 배설(配設)하고, 그 한쌍의 보조 배액통을 기판의 이동과 동기하여 수평방향으로 이동하도록 지지하며, 상기 각 보조 배액통 내로 각각 유하한 사용된 처리액을 배출하는 보조 배액로를 구비한 기판처리장치.
13. 제 1 항에 있어서,

    상기 처리조가 순수로 기판을 세정하는 수세처리조이며, 그 수세처리조의 기판 반입구측에 인접하여, 약액으로 기판을 처리하는 약액처리조가 설치된 기판처리장치.
14. 처리조 내에서 기판을 반송하면서 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 처리액을 토출하여 기판을 처리하는 기판처리장치에 있어서,

    상기 처리조 내부를 구분하여, 상기 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하기 위한 회수조부를 형설하고, 또는 상기 처리액 토출수단의 아래쪽에, 처리액 토출수단으로부터 토출되어 기판면을 경유하지 않고 그대로 유하하는 처리액을 회수하기 위한 회수용기를 배설하며, 상기 회수조부 또는 회수용기에 회수된 처리액을 상기 처리액 토출수단으로 되돌려 처리액을 순환시키는 처리액 순환수단을 설치함과 동시에, 상기 처리액 토출수단으로부터 기판 위로 토출되어 기판 위에서 상기 처리조 내 바닥부로 유하한 사용된 처리액을 배출하는 배액로를 설치한 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
15. 제 14 항에 있어서,

    기판 위에서 유하한 사용된 처리액과 접촉하는 상기 처리조의 내벽면 또는 처리조 내부의 부재를 세정액으로 세정하는 세정수단을 구비한 기판처리장치.
16. 제 15 항에 있어서,

    상기 처리조에 인접하여, 순수로 기판의 세정을 행하는 수세처리조가 설치되며, 그 수세처리조에서 사용된 순수가 상기 세정수단에서 세정액으로서 사용되도록 하는 기판처리장치.
17. 제 14 항 내지 제 16 항 중 어느 한항에 있어서,

    상기 배액로를 분기시켜, 분기로를 상기 처리액 순환수단에 유로적(流路的)으로 접속하여, 분기위치에 유로절환수단을 설치한 기판처리장치.
18. 제 15 항에 있어서,

    상기 배액로를 분기시켜, 분기로를 상기 처리액 순환수단에 유로적으로 접속하여 분기위치에 유로절환수단을 설치하고, 기판 위에서 유하한 사용된 처리액을 상기 배액로를 지나 상기 분기로를 통해 상기 처리액 순환수단으로 보냄으로써 사용된 처리액을 순환시킬 때는, 상기 세정수단에서 세정액으로서 처리액이 사용되도록 하는 기판처리장치.
19. 제 14 항에 있어서,

    상기 회수조부 또는 회수용기에 회수된 처리액을 저장하는 탱크를 설치함과 동시에, 상기 탱크에, 그 탱크 내의 처리액의 성분을 관리하는 관리장치를 부설한 기판처리장치.