JP2013191779A - 処理装置および処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】回収した処理液による処理を行う場合であっても適切な処理を行うことができる処理装置および処理方法を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る処理装置は、被処理物を搬送する搬送部、搬送部により搬送される被処理物の処理面に供給した第１の処理液を回収する回収部、回収部により回収された第１の処理液を被処理物の処理面に吐出する第１のノズル、第１のノズルの搬送方向の下流側に設けられ第２の処理液を被処理物の処理面に吐出する第２のノズル、第２のノズルの搬送方向の下流側に設けられ洗浄液を被処理物の処理面に吐出する第３のノズル、を備えている。
そして、第２のノズルは搬送方向に対して垂直な方向よりも搬送方向の下流側に向けて第２の処理液を吐出し、第３のノズルは搬送方向に対して垂直な方向よりも搬送方向の上流側に向けて洗浄液を吐出する。
【選択図】図１

Description

後述する実施形態は、概ね、処理装置および処理方法に関する。

半導体装置やフラットパネルディスプレイなどの電子デバイスの製造においては、板状の被処理物（例えば、ウェーハやガラス基板など）の表面に処理液を供給して各種の処理を行っている。
この場合、被処理物の大きさが大きくなると処理液の消費量が多くなる。そのため、被処理物の表面に供給した処理液を回収し、回収した処理液を再利用する技術が提案されている。
ところが、回収した処理液には各種の物質が含まれており、フィルタなどでは除去できない場合もある。そのため、回収した処理液を再利用することで、被処理物の表面が汚染されるおそれがある。
この場合、回収した処理液による処理の後に、被処理物の表面に純水を供給して汚染物質を除去することも考えられるが、被処理物の表面に純水を供給するだけでは汚染物質が除去しきれない場合がある。また、処理液の再利用を繰り返し行うと、処理に有効な成分が次第に少なくなるなどして処理不足や処理むらなどが生ずるおそれもある。
この様に、回収した処理液による処理を行うと、被処理物の適切な処理が行えなくなるおそれがある。

国際公開第２００４／０６４１３４号公報

本発明が解決しようとする課題は、回収した処理液による処理を行う場合であっても適切な処理を行うことができる処理装置および処理方法を提供することである。

実施形態に係る処理装置は、被処理物を搬送する搬送部と、前記搬送部により搬送される前記被処理物の処理面に供給した第１の処理液を回収する回収部と、前記回収部により回収された前記第１の処理液を前記被処理物の処理面に吐出する第１のノズルと、前記第１のノズルの搬送方向の下流側に設けられ、第２の処理液を前記被処理物の処理面に吐出する第２のノズルと、前記第２のノズルの搬送方向の下流側に設けられ、洗浄液を前記被処理物の処理面に吐出する第３のノズルと、を備えている。
そして、前記第２のノズルは、前記搬送方向に対して垂直な方向よりも前記搬送方向の下流側に向けて前記第２の処理液を吐出し、前記第３のノズルは、前記搬送方向に対して垂直な方向よりも前記搬送方向の上流側に向けて前記洗浄液を吐出する。

第１の実施形態に係る処理装置の構成を例示するための模式図である。 比較例に係るノズル１９０およびノズル２００を例示するための模式図である。（ａ）はノズル１９０およびノズル２００の吐出方向を例示するための模式図、（ｂ）は被覆性と置換性を例示するための模式図である。 本実施形態に係るノズル１９およびノズル２０を例示するための模式図である。（ａ）はノズル１９およびノズル２０の吐出方向を例示するための模式図、（ｂ）は被覆性と置換性を例示するための模式図である。 （ａ）〜（ｅ）は、処理液および洗浄液の供給位置と、被処理物１００の搬送速度と、被覆性および置換性との関係について例示するための模式図である。 第２の実施形態に係る処理方法について例示するためのフローチャートである。

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
[第１の実施形態]
図１は、第１の実施形態に係る処理装置の構成を例示するための模式図である。
図１に示すように、処理装置１には、第１の処理部２、第２の処理部３、搬送部４が設けられている。

第１の処理部２は、被処理物１００の処理面１００ａに供給した処理液（第１の処理液の一例に相当する）を回収し、回収した処理液を再度被処理物１００の処理面１００ａに供給する。
第２の処理部３は、第１の処理部２により処理された被処理物１００の処理面１００ａの適正化を行う。例えば、回収した処理液を再利用することで被処理物１００の処理面１００ａに付着した汚染物質を除去する。また、処理液の再利用を繰り返し行うことで生じる処理不足や処理むらなどを軽減させる。

搬送部４は、第１の処理部２側から第２の処理部３側に向けて被処理物１００を搬送する。例えば、搬送部４は、被処理物１００を支持した状態で回転可能な複数の搬送ローラ４ａを、被処理物１００の搬送方向１０１に沿って設けたものとすることができる。被処理物１００は、搬送ローラ４ａ上を搬送方向１０１に向けて搬送される。

この場合、搬送ローラ４ａの回転速度を制御することで、被処理物１００の搬送速度が調整できるようになっている。また、図示は省略したが、搬送ローラ４ａを支持する回転軸、制御モータ、駆動力伝達部、フレームなども設けられている。なお、搬送ローラ４ａを有する搬送部４を例示したが、これに限定されるわけではない。例えば、搬送ロボットや、被処理物１００を支持するベルトを有する搬送装置など、被処理物１００を所定の方向に向けて搬送できるものを適宜選択することができる。

次に、第１の処理部２についてさらに例示をする。
第１の処理部２には、ノズル５（第１のノズルの一例に相当する）、ノズル６、回収部７、洗浄液収納部１５、洗浄液供給部１６が設けられている。
ノズル５は、回収部７により回収された処理液を被処理物１００の処理面１００ａに吐出する。ノズル５は、搬送ローラ４ａの上方に設けられている。ノズル５の吐出口５ａは、被処理物１００の処理面１００ａに対峙して設けられている。ノズル５は、被処理物１００の処理面１００ａに対して真上から処理液を吐出する。吐出口５ａは、穴状を呈し、搬送方向１０１および搬送方向１０１に直交する方向に複数設けられている。ノズル５は、被処理物１００の処理面１００ａの全域に対して処理液を吐出する。

ノズル５による処理液の吐出形態は、処理の目的や処理液の種類などに応じて適宜変更することができる。例えば、ノズル５は液状の処理液を吐出するものであってもよいし、霧状などの形態の処理液を吐出するものであってもよい。
ノズル５から吐出される処理液は、処理の目的や被処理物１００の処理面１００ａの材質などにより適宜変更することができる。例えば、被処理物１００がカラス基板であり、処理面１００ａに付着している金属汚染物を除去する場合には、処理液としてフッ化水素酸(hydrofluoric acid)などを用いることができる。

ノズル６は、搬送ローラ４ａの下方に設けられている。ノズル６の吐出口６ａは、被処理物１００の処理面１００ａに対向する面１００ｂに対峙して設けられている。ノズル６は、被処理物１００の面１００ｂに対して真下から洗浄液を吐出する。吐出口６ａは、穴状を呈し、搬送方向１０１および搬送方向１０１に直交する方向に複数設けられている。

ここで、ノズル５から被処理物１００の処理面１００ａに吐出された処理液は、被処理物１００の周縁から流出し、捕集部３０により捕集される。この際、被処理物１００の周縁から流出した使用済みの処理液の一部が、搬送ローラ４ａに付着し、搬送ローラ４ａに付着した使用済みの処理液が被処理物１００の面１００ｂに付着することがある。

この場合、使用済みの処理液には、除去された物質が含まれているので、被処理物１００の面１００ｂが汚染されるおそれがある。また、使用済みの処理液には、処理に有効な成分が含まれているので被処理物１００の面１００ｂが損傷するおそれもある。
そこで、ノズル６から被処理物１００の面１００ｂに対して洗浄液を吐出することで、被処理物１００の面１００ｂに付着した使用済みの処理液を除去するようにしている。

ノズル６から吐出される洗浄液は、例えば、純水などとすることができる。ノズル６から吐出される洗浄液は、常温であってもよいし、加熱されたものであってもよい。加熱された洗浄液を用いるものとすれば、被処理物１００の温度を上昇させることができるので、処理面１００ａにおける処理の効率を向上させることができる。
ノズル６による洗浄液の吐出形態は、適宜変更することができる。例えば、ノズル６は液状の洗浄液を吐出するものであってもよいし、霧状などの形態の洗浄液を吐出するものであってもよい。

回収部７は、搬送部４により搬送される被処理物１００の処理面１００ａに供給した処理液を回収する。
回収部７には、捕集部３０、収納部８、供給部９、フィルタ１０が設けられている。
捕集部３０は、被処理物１００の周縁から流出した使用済みの処理液を捕集する。捕集部３０は、ノズル６の下方に設けられている。そのため、被処理物１００の面１００ｂに吐出された使用済みの洗浄液をも捕集する。捕集部３０の形態には特に限定はないが、例えば、上端が開口された箱状の形態を有するものを例示することができる。また、例えば、第１の処理部２を収納する図示しない筐体などを捕集部３０とすることができる。
捕集部３０には排出口３０ａが設けられ、排出口３０ａには配管１１の一端が接続されている。そして、配管１１の他端は収納部８の流入口８ａに接続されている。すなわち、捕集部３０により捕集された使用済みの処理液と使用済みの洗浄液との混合液を収納部８に収納できるようになっている。

収納部８は、捕集部３０により捕集された使用済みの処理液と使用済みの洗浄液との混合液を収納する。収納部８は、必ずしも必要ではないが、収納部８を設けるようにすれば供給部９による供給を安定させることができる。
また、処理液の再利用を繰り返し行うことで、使用済みの処理液に含まれる処理に有効な成分は次第に少なくなる。また、使用済みの洗浄液が混入することで、処理に有効な成分の濃度はさらに減少することになる。そのため、例えば、処理に有効な成分の濃度が所定の値以下となった場合には、廃液口８ｂから排出したり、流入口８ａから濃度調整のための処理液を供給したりすることもできる。

収納部８には排出口８ｃが設けられ、排出口８ｃには配管１２の一端が接続されている。そして、配管１２の他端は供給部９に接続されている。すなわち、収納部８に収納されている使用済みの処理液と使用済みの洗浄液との混合液を供給部９に供給できるようになっている。

配管１３の一端は供給部９に接続され、他端はフィルタ１０に接続されている。配管１４の一端はフィルタ１０に接続され、他端はノズル５に接続されている。そのため、収納部８に収納されている使用済みの処理液と使用済みの洗浄液との混合液をフィルタ１０を介してノズル５に供給することができるようになっている。
供給部９は、例えば、ポンプなどのように処理液を搬送できるものとすることができる。

フィルタ１０は、供給部９によりノズル５に供給される使用済みの処理液と使用済みの洗浄液との混合液に含まれる汚染物質を除去する。フィルタ１０により除去しきれなかった汚染物質（例えば、金属イオンなど）の一部は、被処理物１００の処理面１００ａに付着することになるが、第２の処理部３による処理により除去することができる。また、処理液の再利用を繰り返し行うと、処理に有効な成分が次第に少なくなるなどして処理不足や処理むらなどが生ずるが、第２の処理部３による処理により軽減させることができる。

配管１７の一端は洗浄液収納部１５に接続され、他端は洗浄液供給部１６に接続されている。また、配管１８の一端は洗浄液供給部１６に接続され、他端はノズル６に接続されている。そのため、洗浄液収納部１５に収納されている洗浄液をノズル６に供給することができるようになっている。
洗浄液収納部１５は、洗浄液を収納する。
洗浄液供給部１６は、例えば、ポンプなどのように洗浄液を搬送できるものとすることができる。
また、洗浄液の温度を制御する図示しない温度制御部などを適宜設けるようにすることもできる。

次に、第２の処理部３についてさらに例示をする。
第２の処理部３には、ノズル１９（第２のノズルの一例に相当する）、ノズル２０（第３のノズルの一例に相当する）、収納部２１、供給部２２、洗浄液収納部２３、洗浄液供給部２４、排出部２５が設けられている。
ノズル１９は、ノズル５の搬送方向の下流側に設けられ、未だ処理に用いられていない新しい処理液を被処理物１００の処理面１００ａに吐出する。ノズル１９は、搬送ローラ４ａの上方に設けられている。ノズル１９の吐出口１９ａは搬送方向１０１に直交する方向に長いスリット状をしている。そのため、ノズル１９は、被処理物１００の処理面１００ａに対して線状に処理液（第２の処理液の一例に相当する）を吐出することができる。 また、ノズル１９は、被処理物１００の搬送方向１０１に対して垂直な方向よりも搬送方向１０１の下流側に向けて処理液を吐出する。

ノズル１９による処理液の吐出形態は、処理の目的や処理液の種類などに応じて適宜変更することができる。例えば、ノズル１９は液状の処理液を吐出するものであってもよいし、霧状などの形態の処理液を吐出するものであってもよい。
ノズル１９から吐出される処理液に含まれる処理に有効な成分は、ノズル５から吐出される処理液に含まれる処理に有効な成分と同じものとすることができる。ただし、ノズル５から吐出される処理液は回収した処理液であるが、ノズル１９から吐出される処理液は未だ処理に用いられていない新しい処理液である。また、ノズル１９から吐出される処理液の濃度は、ノズル５から吐出される処理液の濃度と同じとすることもできるし、異なるものとすることもできる。ノズル１９から吐出される処理液としては、例えば、フッ化水素酸などを例示することができる。

ノズル２０は、ノズル１９の搬送方向の下流側に設けられ、洗浄液を被処理物１００の処理面１００ａに吐出する。ノズル２０は、搬送ローラ４ａの上方に設けられている。ノズル２０の吐出口２０ａは搬送方向１０１に直交する方向に長いスリット状をしている。そのため、ノズル２０は、被処理物１００の処理面１００ａに対して線状に洗浄液を吐出することができる。
また、ノズル２０は、被処理物１００の搬送方向１０１に対して垂直な方向よりも搬送方向の上流側に向けて処理液を吐出する。

ノズル２０による洗浄液の吐出形態は、適宜変更することができる。例えば、ノズル２０は液状の洗浄液を吐出するものであってもよいし、霧状などの形態の洗浄液を吐出するものであってもよい。ノズル２０から吐出される洗浄液は、例えば、純水などとすることができる。

配管２６の一端はノズル１９に接続され、他端は供給部２２に接続されている。配管２７の一端は供給部２２に接続され、他端は収納部２１に接続されている。そのため、収納部２１に収納されている未だ処理に用いられていない新しい処理液をノズル１９に供給することができるようになっている。
収納部２１は、未だ処理に用いられていない新しい処理液を収納する。
供給部２２は、例えば、ポンプなどのように処理液を搬送できるものとすることができる。

配管２８の一端はノズル２０に接続され、他端は供給部２４に接続されている。配管２９の一端は供給部２４に接続され、他端は収納部２３に接続されている。そのため、収納部２３に収納されている洗浄液をノズル２０に供給することができるようになっている。 収納部２３は、洗浄液を収納する。
供給部２４は、例えば、ポンプなどのように洗浄液を搬送できるものとすることができる。

排出部２５は、搬送ローラ４ａの下部に設けられている。排出部２５は、被処理物１００の周縁から流出した使用済みの処理液と洗浄液を捕集するとともに、捕集した使用済みの処理液と洗浄液を排出口２５ａから排出する。
排出部２５の形態には特に限定はないが、例えば、上端が開口された箱状の形態を有するものを例示することができる。

次に、第２の処理部３の作用、効果についてさらに例示をする。
第２の処理部３においては、回収した処理液を再利用することで被処理物１００の処理面１００ａに付着した汚染物質を除去したり、処理液の再利用を繰り返し行うことで生じる処理不足や処理むらなどを軽減したりする。
そのため、第２の処理部３においては、ノズル１９から吐出された処理液に対する被覆性と置換性を考慮する必要がある。また、ノズル１９から吐出された処理液を除去するためには、ノズル２０から吐出された洗浄液に対する被覆性と置換性を考慮する必要がある。

すなわち、ノズル５から吐出された処理液（再利用された処理液）をノズル１９から吐出された処理液により置換するとともに、処理面１００ａをノズル１９から吐出された処理液により被覆する必要がある。
また、ノズル１９から吐出された処理液をノズル２０から吐出された洗浄液により置換するとともに、処理面１００ａをノズル２０から吐出された洗浄液により被覆する必要がある。

ここで、被覆性と置換性は処理液や洗浄液の粘度や接触角の影響を受ける。
第１の処理部２において用いられる処理液（再利用された処理液）の粘度、第２の処理部３において用いられる処理液（新しい洗浄液）の粘度、第２の処理部３において用いられる洗浄液の粘度が余り高くなると、被処理物１００の処理面１００ａに処理液や洗浄液により覆われない部分が生じるおそれがある。すなわち、処理液や洗浄液による被覆性が悪くなる。

そのため、電子デバイスの製造において、板状の被処理物１００の処理面１００ａを処理するような場合には、処理液や洗浄液の粘度は水の粘度と同程度とすることが一般的である。

また、被処理物１００の処理面１００ａには微細な凹凸が設けられることもあるが、おおよそ平坦面である。
そのため、電子デバイスの製造において、板状の被処理物１００の処理面１００ａを処理するような場合には、処理面１００ａにおける処理液や洗浄液の接触角は、水の接触角と同程度となることが一般的である。
すなわち、電子デバイスの製造において、板状の被処理物１００の処理面１００ａを処理するような場合には、水と同程度の粘度や接触角を考慮して被覆性と置換性を検討すればよい。

図２は、比較例に係るノズル１９０およびノズル２００を例示するための模式図である。なお、図２（ａ）はノズル１９０およびノズル２００の吐出方向を例示するための模式図、図２（ｂ）は被覆性と置換性を例示するための模式図である。
図３は、本実施形態に係るノズル１９およびノズル２０を例示するための模式図である。なお、図３（ａ）はノズル１９およびノズル２０の吐出方向を例示するための模式図、図３（ｂ）は被覆性と置換性を例示するための模式図である。
図２（ｂ）、図３（ｂ）においては、処理液や洗浄液の分布をモノトーン色の濃淡で表し、処理液や洗浄液が多いほど濃く、処理液や洗浄液が少ないほど淡くなるように表している。

図２（ａ）に示すように、ノズル１９０は、被処理物１００の搬送方向１０１に対して垂直な方向よりも搬送方向の上流側に向けて処理液を吐出する。ノズル２００は、被処理物１００の搬送方向１０１に対して垂直な方向よりも搬送方向１０１の下流側に向けて洗浄液を吐出する。すなわち、前述したノズル１９およびノズル２０とは、吐出方向がそれぞれ反対側となっている。
この様な場合には、図２（ｂ）に示すように、ノズル１９０から吐出された処理液が被処理物１００の周縁から流出する量が多くなる。そのため、処理液により覆われる面積が小さくなり、処理液に対する被覆性が悪化する。この場合、処理液の吐出量を増加させて被覆性を改善するようにすると、処理液の消費量が多くなり、第１の処理部２において回収した処理液を再利用する意義がなくなることになる。

本実施の形態においては、図３（ａ）に示すように、ノズル１９は、被処理物１００の搬送方向１０１に対して垂直な方向よりも搬送方向１０１の下流側に向けて処理液を吐出する。ノズル２０は、被処理物１００の搬送方向１０１に対して垂直な方向よりも搬送方向の上流側に向けて洗浄液を吐出する。
この様な場合には、図３（ｂ）に示すように、ノズル１９から吐出された処理液と、ノズル２０から吐出された洗浄液とがせめぎ合う領域が形成されるので、ノズル１９から吐出された処理液が被処理物１００の周縁から流出する量を少なくすることができる。そのため、処理液により覆われる面積が大きくなり、処理液に対する被覆性が向上する。また、処理液に対する置換性も向上する。その結果、処理液の吐出量が少ない場合であっても、充分な被覆性と置換性を確保することが可能となり、汚染物質の除去、および処理不足や処理むらなどの軽減を図ることができる。

次に、被処理物１００の搬送速度、処理液および洗浄液の供給量、処理液および洗浄液の供給位置などについて例示する。
例えば、被処理物１００の搬送速度をあまり速くすると、単位面積あたりの処理液および洗浄液の供給量が減少するため被覆性や置換性が悪化するおそれがある。
一方、被処理物１００の搬送速度をあまり遅くすると生産性が低くなる。
また、例えば、処理液および洗浄液の供給量をあまり多くすると消費量が多くなる。
一方、処理液および洗浄液の供給量をあまり少なくすると被覆性や置換性が悪化するおそれがある。

本発明者らの得た知見によれば、例えば、被処理物１００の搬送速度を５０ｍｍ／ｓ以下、処理液および洗浄液の供給量を１６リットル／ｍｉｎ以上、３２リットル／ｍｉｎ以下、処理面１００ａ上における処理液の供給位置１００ｂと、処理面１００ａ上における洗浄液の供給位置１００ｃとの間の距離ｄを１６０ｍｍ以上、２４０ｍｍ以下とすれば、被覆性および置換性を向上させることができる。

なお、搬送方向１０１に直交する方向における被処理物１００の寸法の影響は、ノズル１９の吐出口１９ａおよびノズル２０の吐出口２０ａの搬送方向１０１に直交する方向における寸法を被処理物１００の寸法よりも大きくすることでなくすことができる。すなわち、ノズル１９の吐出口１９ａおよびノズル２０の吐出口２０ａの搬送方向１０１に直交する方向における寸法を被処理物１００の寸法よりも大きくしておけばよい。

図４は、処理液および洗浄液の供給位置と、被処理物１００の搬送速度と、被覆性および置換性との関係について例示するための模式図である。
図４（ａ）〜（ｅ）においては、処理液や洗浄液の分布をモノトーン色の濃淡で表し、処理液や洗浄液が多いほど濃く、処理液や洗浄液が少ないほど淡くなるように表している。 また、図４（ａ）〜（ｃ）においては被処理物１００の搬送速度を５０ｍｍ／ｓ、図４（ｄ）、（ｅ）においては被処理物１００の搬送速度を１６７ｍｍ／ｓとしている。
また、図４（ａ）〜（ｅ）においては、処理液および洗浄液の供給量を３２リットル／ｍｉｎとしている。

図４（ａ）は、処理面１００ａ上における処理液の供給位置１００ｂと、処理面１００ａ上における洗浄液の供給位置１００ｃとの間の距離ｄ（以下、単に距離ｄと称する）を８０ｍｍとした場合である。
この場合、距離ｄが短すぎるため、供給された処理液のうち、洗浄液が供給される位置にまで到達する処理液の量が過大となる。そのため、処理液を洗浄液に置換することが難しくなる。

図４（ｂ）は距離ｄを１６０ｍｍとした場合、図４（ｃ）は距離ｄを２４０ｍｍとした場合である。
これらの場合、供給された処理液のうち、適度な量が被処理物１００の周縁から排出されるので、洗浄液が供給される位置にまで到達する処理液の量の適正化を図ることができる。そのため、処理液および洗浄液に対する被覆性と置換性を向上させることができる。

図４（ｄ）は距離ｄを１６０ｍｍとした場合、図４（ｅ）は距離ｄを２４０ｍｍとした場合である。
これらの場合は、被処理物１００の搬送速度（１６７ｍｍ／ｓ）が速すぎるため、処理液および洗浄液が広がる時間が少なくなり、処理液および洗浄液に覆われる面積が小さくなる。そのため、処理液および洗浄液に対する被覆性が悪くなる。また、被処理物１００の搬送速度（１６７ｍｍ／ｓ）が速すぎるため、洗浄液が供給される位置にまで到達する処理液の量が過大となる。そのため、処理液を洗浄液に置換することが難しくなる。

[第２の実施形態]
次に、第２の実施形態に係る処理方法について例示する。
図５は、第２の実施形態に係る処理方法について例示するためのフローチャートである。
第２の実施形態に係る処理方法は、例えば、前述した処理装置１において実行することができる。
第２の実施形態に係る処理方法は、搬送される被処理物１００の処理面１００ａに、ノズルから処理液を吐出して被処理物１００を処理する処理方法である。
そして、第２の実施形態に係る処理方法は、搬送される被処理物１００の処理面１００ａに供給した処理液を回収する工程（ステップＳ１）と、
回収した処理液を被処理物１００の処理面１００ａに、ノズル５から吐出する工程（ステップＳ２）と、
ノズル５の搬送方向の下流側において、被処理物１００の処理面１００ａに未だ処理に用いられていない新しい処理液をノズル１９から吐出する工程（ステップＳ３）と、
ノズル１９の搬送方向の下流側において、被処理物１００の処理面１００ａに洗浄液をノズル２０から吐出する工程（ステップＳ４）と、を備えている。

また、ノズル５の搬送方向の下流側において、被処理物１００の処理面１００ａに未だ処理に用いられていない新しい処理液をノズル１９から吐出する工程において、搬送方向に対して垂直な方向よりも搬送方向の下流側に向けて、ノズル１９から未だ処理に用いられていない新しい処理液を吐出する。
また、ノズル１９の搬送方向の下流側において、被処理物１００の処理面１００ａに洗浄液をノズル２０から吐出する工程において、搬送方向に対して垂直な方向よりも搬送方向の上流側に向けて、ノズル２０から洗浄液を吐出する。

この場合、回収した処理液に含まれる処理に有効な成分と、未だ処理に用いられていない新しい処理液に含まれる処理に有効な成分とを同じものとすることができる。
また、処理面１００ａ上における未だ処理に用いられていない新しい処理液の供給位置と、処理面１００ａ上における洗浄液の供給位置との間の距離ｄは、１６０ｍｍ以上、２４０ｍｍ以下とすることができる。
また、被処理物１００の搬送速度は５０ｍｍ／ｓ以下とすることができる。
また、未だ処理に用いられていない新しい処理液および洗浄液の供給量は１６リットル／ｍｉｎ以上、３２リットル／ｍｉｎ以下とすることができる。
なお、各工程における内容は、処理装置１において例示をしたものと同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。

以上に例示をした実施形態によれば、回収した処理液による処理を行う場合であっても適切な処理を行うことができる処理装置および処理方法を実現することができる。
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

１ 処理装置、２ 第１の処理部、３ 第２の処理部、４ 搬送部、４ａ 搬送ローラ、５ ノズル、５ａ 吐出口、６ ノズル、６ａ 吐出口、７ 回収部、８ 収納部、９ 供給部、１０ フィルタ、１５ 洗浄液収納部、１６ 洗浄液供給部、１９ ノズル、１９ａ 吐出口、２０ ノズル、２０ａ 吐出口、２１ 収納部、２２ 供給部、２３ 洗浄液収納部、２４ 洗浄液供給部、２５ 排出部、３０ 捕集部、１００ 被処理物、１００ａ 処理面、１０１ 搬送方向

Claims (5)

1. 被処理物を搬送する搬送部と、
   前記搬送部により搬送される前記被処理物の処理面に供給した第１の処理液を回収する回収部と、
   前記回収部により回収された前記第１の処理液を前記被処理物の処理面に吐出する第１のノズルと、
   前記第１のノズルの搬送方向の下流側に設けられ、第２の処理液を前記被処理物の処理面に吐出する第２のノズルと、
   前記第２のノズルの搬送方向の下流側に設けられ、洗浄液を前記被処理物の処理面に吐出する第３のノズルと、
   を備え、
   前記第２のノズルは、前記搬送方向に対して垂直な方向よりも前記搬送方向の下流側に向けて前記第２の処理液を吐出し、
   前記第３のノズルは、前記搬送方向に対して垂直な方向よりも前記搬送方向の上流側に向けて前記洗浄液を吐出する処理装置。
2. 前記第１の処理液に含まれる処理に有効な成分と、前記第２の処理液に含まれる処理に有効な成分と、は同じである請求項１記載の処理装置。
3. 前記処理面上における第２の処理液の供給位置と、前記処理面上における前記洗浄液の供給位置と、の間の距離は、１６０ｍｍ以上、２４０ｍｍ以下である請求項１または２に記載の処理装置。
4. 前記被処理物の搬送速度は５０ｍｍ／ｓ以下、前記第２の処理液および前記洗浄液の供給量は１６リットル／ｍｉｎ以上、３２リットル／ｍｉｎ以下である請求項１〜３のいずれか１つに記載の処理装置。
5. 搬送される被処理物の処理面に、ノズルから処理液を吐出して前記被処理物を処理する処理方法であって、
   搬送される前記被処理物の処理面に供給した第１の処理液を回収する工程と、
   回収した前記第１の処理液を前記被処理物の処理面に、第１のノズルから吐出する工程と、
   前記第１のノズルの搬送方向の下流側において、前記被処理物の処理面に第２の処理液を第２のノズルから吐出する工程と、
   前記第２のノズルの搬送方向の下流側において、前記被処理物の処理面に洗浄液を第３のノズルから吐出する工程と、
   を備え、
   前記第１のノズルの搬送方向の下流側において、前記被処理物の処理面に第２の処理液を第２のノズルから吐出する工程において、搬送方向に対して垂直な方向よりも前記搬送方向の下流側に向けて、前記第２のノズルから前記第２の処理液を吐出し、
   前記第２のノズルの搬送方向の下流側において、前記被処理物の処理面に洗浄液を第３のノズルから吐出する工程において、前記搬送方向に対して垂直な方向よりも前記搬送方向の上流側に向けて、前記第３のノズルから前記洗浄液を吐出する処理方法。