KR100923686B1 - 기판 세정 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 세정 장치는 베이스 프레임, 제1 세정부, 제2 세정부, 기판 이송부 및 세정액 회수부를 포함한다. 제1 세정부 및 세2 세정부는 나란하게 배치되고 세정액을 이용하여 기판을 세정한다. 기판 이송부는 제1 세정부와 제2 세정부의 끝단에 양 방향으로 이동 가능하도록 배치되고, 그 상부가 개방된 형상으로 제1 세정부에서 세정된 기판을 하부에서 지지하며, 지지된 기판을 제1 세정부에서 제2 세정부로 이송시킨다. 세정액 회수부는 베이스 프레임과 기판 이송부 사이의 베이스 프레임 상에 배치되고, 기판이 이송되는 도중에 기판으로부터 낙하하는 세정액을 회수한다. 따라서, 세정액 회수부가 베이스 프레임으로 세정액이 낙하되는 것을 회수하여 베이스 프레임이 세정액에 의하여 부식되는 방지할 수 있다.

Description

기판 세정 장치{APPARATUS OF CLEANING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 세정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 세정액을 이용하여 다수의 기판들을 세정하는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조 공정은 공정 중 발생하는 파티클 뿐 아니라, 장비로부터의 오염, 공정진행 중의 반응물 또는 생성물에 의한 오염 등 다양한 오염원에 의해 생성된 불순물들을 제거하는 세정 공정을 포함한다. 특히, 집적회로가 미세화되고 소자가 초고집적화하면서 과거에는 중요하게 생각하지 않았던 0.1㎛ 정도의 매우 작은 오염원들도 제품의 성능에 커다란 영향을 미치게 되고 따라서 오염원의 제거를 위한 세정 공정의 중요성은 계속 증가하고 있다.
따라서, 다수의 공정이 진행되는 기판의 표면을 깨끗한 상태로 유지하기 위하여 각 공정의 전 단계 및/또는 후 단계에 세정 공정이 수행된다. 이에 상기 세정 공정이 반복해서 진행되고, 이에 전체 제조 공정의 30 내지 40 퍼센트 정도를 세정 공정이 차지한다.
한편, 기판 세정 장치는 황산 등의 산을 포함하는 세정액을 이용하여 기판을 세정할 수 있다. 또한, 상기 기판 세정 장치는 베이스 프레임과 상기 베이스 프레임의 상부면 양측에 각각 일렬로 배치된 제1 세정부 및 제2 세정부를 포함한다. 그리고, 기판 세정 장치는 상기 제1 세정부에서 일차적으로 세정이 완료된 기판을 상기 제2 세정부로 이송하기 위한 기판 이송부를 더 포함한다.
이 때, 상기 기판 이송부가 기판을 이송하는 중에 상기 기판에 잔재하는 세정액 또는 세정액 방울이 하부로 낙하한다. 이에 상기 세정액이 베이스 프레임 등으로 낙하하는 경우, 상기 세정액에 의해 베이스 프레임 등이 부식되거나 손상되는 등의 문제점이 발생한다.
본 발명의 목적은 세정된 기판을 이송하는 도중에 기판에 잔재하는 세정액이 낙하하는 것을 방지하기 위한 기판 세정 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 기판 세정 장치는 베이스 프레임, 제1 세정부, 제2 세정부, 기판 이송부 및 세정액 회수부를 포함한다. 상기 제1 세정부는 상기 베이스 프레임 상부의 일 측에 배치되고, 세정액을 이용하여 기판을 세정하기 위한 적어도 하나가 배치된다. 상기 제2 세정부는 상기 제1 세정부와 나란하게 형성되도록 상기 베이스 프레임 상부의 타 측에 배치되고, 상기 세정된 기판을 연속하여 세정하기 위한 적어도 하나가 배치된다. 상기 기판 이송부는 상기 제1 세정부와 상기 제2 세정부의 끝단에 양 방향으로 이동 가능하도록 배치되고, 그 상부가 개방된 형상으로 상기 제1 세정부에서 세정된 기판을 하부에서 지지하며, 상기 지지된 기판을 상기 제1 세정부에서 상기 제2 세정부로 이송시킨다. 상기 세정액 회수부는 상기 베이스 프레임과 상기 기판 이송부 사이의 상기 베이스 프레임 상에 배치되고, 상기 기판이 이송되는 도중에 상기 기판으로부터 낙하하는 세정액을 회수한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 제1 세정부 및 상기 제2 세정부는 복수개의 기판들을 연속적으로 세정하도록 각각 일렬로 배치된 복수개의 세정조들을 포함하고, 외부로부터 공급된 세정액을 이용하여 상기 세정조들 내부에서 상기 기판 들을 세정한다. 예를 들어, 상기 제1 세정부와 상기 제2 세정부는 상기 기판들을 서로 다른 방향을 향하여 연속적으로 세정할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 기판 이송부는 상기 기판을 하부에서 지지하기 위한 지지부 및 상기 지지된 기판의 양측에 배치되어 상기 기판을 정렬하기 위한 정렬부를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 세정액 회수부는 상기 베이스 프레임과 상기 이동하는 기판 이송부의 사이에 배치되어 상기 베이스 프레임에 상기 세정액이 낙하하는 것을 차단하기 위한 바닥부 및 상기 바닥부의 가장 자리로부터 상부로 연장되어 형성되고, 상기 낙하된 세정액이 상기 바닥부로부터 튕겨져서 외부로 나가는 것을 차단하기 위한 측벽을 포함한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 세정액 회수부는 상기 제1 세정부와 상기 제2 세정부 사이에서 이동하는 상기 기판 이송부의 경로에 대응하는 상기 베이스 프레임 상에 고정되어 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 기판 이송부와 상기 세정액 회수부는 일체로 형성된다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 상기 세정액 회수부는 다양한 종류의 세정액들에 대응하여 상기 각각의 세정액에 내식성을 가진 재질로 이루어진다. 예를 들어, 상기 세정액 회수부는 스테인리스 재질 및 상기 세정액에 대하여 내식성을 가진 물질로 표면 처리된 PVC 재질 중 적어도 하나의 재질로 이루어질 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 기판을 연속적으로 세정하기 위하여 서로 마주보면서 나란하게 일렬로 배치된 제1 세정부와 제2 세정부 사이에서 기판을 이송하는 경우에 이송되는 기판으로부터 낙하하는 세정액을 하부에서 회수할 수 있다. 따라서, 세정액에 의하여 장비가 부식되거나 손상되는 것이 방지된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다 르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 세정 장치(100)는 적재부(200), 기판 전달부(250), 반전 이송부(300), 제1 세정부(500), 제2 세정부(600), 기판 이송부(700) 및 세정액 회수부(800)를 포함한다.
적재부(200)는 외부로부터 복수개의 기판(110)을 한 묶음씩 수용하는 카세트(120)를 적재한다. 예를 들어, 카세트(120)는 약 25매 또는 50매의 기판(110)들을 수용할 수 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 적재부(200)는 카세트(120)를 복층으로 적재함으로써 풋-프린트를 감소시킬 수 있다.
적재부(200)는 기판(110)을 묶음으로 하는 카세트(120)들이 로딩/언로딩되는 카세트 로딩 영역(LA)과 카세트 언로딩 영역(ULA)으로 구분된다. 또한, 적재부(200)는 상기 카세트 로딩 영역(LA)과 상기 카세트 언로딩 영역(ULA)의 공간 부족으로 적재되지 못한 카세트(120)들을 보관하기 위한 보관 영역(KA)을 더 포함할 수 있다. 상기 보관 영역(KA)은 작업의 편의를 위하여 상기 카세트 로딩 영역(LA)과 상기 카세트 언로딩 영역(ULA)의 사이에 배치될 수 있다.
기판 전달부(250)는 적재부(200)에 적재된 카세트(120)들을 이송한다. 기판 전달부(250)는 상기 카세트 로딩 영역(LA), 상기 카세트 언로딩 영역(ULA) 및 상기 보관 영역(KA)으로부터 카세트(120)를 각각 반출하기 위하여 상기 영역들을 따라 길게 형성될 수 있다.
예를 들어, 기판 전달부(250)는 적재부(200)의 일 영역에 적재된 카세트(120)를 적재부(200)의 다른 위치로 이송시킬 수 있다. 또한, 기판 전달부(250)는 카세트(120)를 복층으로 적재하기 위한 적재부(200) 내에서 상하로 이송시킬 수 있다. 나아가, 기판 전달부(250)는 적재부(200)에 적재된 카세트(120)를 후술할 반전 이송부(300) 등으로 전달할 수도 있다.
반전 이송부(300)는 기판 전달부(250)로부터 다수 매의 기판(110)을 수용한 카세트(120)를 전달받는다. 반전 이송부(300)는 전달받은 카세트(120)를 기판(110)을 세정하기 위한 제1 세정부(500)로 이송한다. 또한, 반전 이송부(300)는 세정이 완료된 기판(110)을 제2 세정부(600)로부터 전달받는다. 반전 이송부(300)는 전달받은 기판(110)을 기판 전달부(250)로 이송한다.
한편, 반전 이송부(300)는 기판(110)이 제1 세정부(500)에서 효율적으로 세정될 수 있도록 하거나, 세정된 기판(110)을 카세트(120)에 효율적으로 적재할 수 있도록 기판(110)을 상하 또는 좌우로 반전시킬 수 있다.
제1 세정부(500)는 기판(110)을 세정한다. 예를 들어, 제1 세정부(500)는 기판(110)의 표면을 세정액을 이용하여 세정 또는 처리한다. 상기 세정액은 황산(H2SO4), 염산(HCl), 불산(HF), 과산화 수소 용액(H2O2), 탈이온수(H2O) 등을 포함할 수 있다.
제1 세정부(500)는 기판(110)을 세정하기 위한 제1 세정조(510)를 포함한다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 세정조(510)는 다수 매의 기판(110)들을 연속적으로 세정하도록 복수개가 일렬로 배치된다. 따라서, 제1 세정부(500)는 다수 매의 기판(110)들을 일렬로 배치된 제1 세정조(510)들에 연속적으로 담그고 빼는 방식에 의하여 기판(110)들을 세정할 수 있다.
한편, 제1 세정부(500)는 복수개의 제1 세정조(510)들과 인접하게 배치되어 기판(110)들을 이송시키기 위한 제1 이송 유닛(520)을 포함한다. 제1 이송 유닛(520)은 일렬로 배치된 복수개의 제1 세정조(510)들을 따라 길게 형성된다. 이에 제1 이송 유닛(520)은 복수개의 제1 세정조(510)들 사이를 이동하면서 기판(110)들을 이송한다.
제2 세정부(600)는 제1 세정부(500)에서 세정된 기판(110)들을 다시 세정한다. 제2 세정부(600)는 제1 세정부와 마찬가지로 세정액을 이용하여 세정 또는 처 리한다. 상기 세정액은 황산(H2SO4), 염산(HCl), 불산(HF), 과산화 수소 용액(H2O2), 탈이온수(H2O) 등을 포함할 수 있다.
제2 세정부(600)는 제1 세정부(500)와 마주보면서 나란하게 배치되고, 기판(110)을 세정하기 위한 제2 세정조(610)를 포함한다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 제2 세정조(610)는 다수 매의 기판(110)들을 연속적으로 세정할 수 있도록 일렬로 복수개가 배치된다. 특히, 제2 세정조(610)는 제1 세정조(510)와 대응되도록 나란하게 배치될 수 있다. 따라서, 제2 세정부(600)도 제1 세정부(500)와 마찬가지로 제2 세정조(610)들에 기판(110)들을 연속적으로 담그고 빼는 방식에 의하여 기판(110)들을 세정할 수 있다.
한편, 제2 세정부(600)는 제2 세정조(610)들과 인접하게 배치되어 기판(110)들을 제2 세정조(610)들로 이송시키기 위한 제2 이송 유닛(620)을 포함한다. 제2 이송 유닛(620)의 동작은 제1 이송 유닛(520)과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)는 서로 다른 방향을 향하여 연속적으로 세정 공정을 수행한다. 예를 들어, 제1 세정부(500)가 일렬로 배치된 제1 세정조(510)를 통해 제1 방향으로 기판(110)을 세정하는 경우, 제2 세정부(600)는 일렬로 배치된 제2 세정조(610)를 통해 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 기판(110)을 세정한다.
제1 세정부(500)에서 제2 세정부(600)로 기판(110)들을 이송시키기 위한 기 판 이송부(700)가 배치된다. 예를 들어, 기판 이송부(700)는 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)의 끝단에 배치된다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 기판 이송부(700)는 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)의 일 단부와 인접하게 배치되어 양 방향으로 이동 가능하도록 형성된다. 또한, 기판 이송부(700)는 제1 세정부(500)에서 세정이 일차적으로 완료된 기판(110)들을 하부에서 지지하면서 제2 세정부(600)로 이송시킨다.
기판 이송부(700)가 제1 세정부(500)로부터 제2 세정부(600)로 기판(110)들을 이송할 때, 기판(110)에 잔재하는 세정액이 다른 장비 또는 설비로 낙하되어 상기 장비 및 설비가 부식될 가능성이 있다.
따라서, 기판 이송부(700)가 이동하는 경로의 하부에 세정액 회수부(800)가 배치된다. 세정액 회수부(800)는 기판 이송부(700)의 하부에 배치되어, 기판 이송부(700)에 파지된 기판(110)들로부터 낙하하는 세정액을 회수할 수 있다. 따라서, 세정액 회수부(800)가 이송되는 기판(110)으로부터 낙하하는 세정액을 회수함으로써 장비의 부식을 방지할 수 있다.
기판 이송부(700) 및 세정액 회수부(800)에 대해서는 도 2 내지 도 5를 통하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 이송부 및 세정액 회수부의 일 예를 설명하기 위한 구성도들이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 기판 이송부(700)는 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)의 일 단부에 배치된다. 예를 들어, 기판 이송부(700)는 베이스 프레 임(400)의 상부에 서로 마주보면서 나란하게 배열된 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)의 사이를 이동할 수 있도록 배치된다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 기판 이송부(700)는 상부면이 개방된 형상을 가지고, 기판(110)들을 지지하기 위한 지지부(710), 기판(110)들을 정렬하기 위한 정렬부(720) 및 기판 이송부(700)의 이동 경로를 제공하는 레일(730)을 포함한다.
지지부(710)는 기판(110)들을 하부에서 지지하며, 그 상부면에 일정 간격으로 지지홈(도시되지 않음)이 형성되어 상기 지지홈에 상기 기판(110)들이 삽입되어 지지된다.
정렬부(720)는 지지된 기판(110)들의 양측에 배치되어 기판(110)들을 정렬한다. 예를 들어, 정렬부(720)에는 지지부(710)의 상기 지지홈에 대응하여 정렬홈(도시되지 않음)이 일정 간격으로 이격되어 형성된다. 따라서, 기판(110)들이 상기 정렬홈에 삽입되어 정렬된다.
기판 이송부(700)는 레일(730)을 따라 이동한다. 예를 들어, 레일(730)은 베이스 프레임(400)의 상부면으로부터 일정 높이 상부에 위치할 수 있다. 한편, 기판 이송부(700)는 지지부(710) 및 정렬부(720)에 의해 안정적으로 기판(110)들을 지지한 상태로 레일(730)을 따라 제1 세정부(500)에서 제2 세정부(600)로 이송한다. 예를 들어, 기판 이송부(700)는 셔틀 방식(shuttle type)으로 이동한다.
따라서, 기판 이송부(700)가 간단한 구조를 갖는 셔틀 방식에 의해 기판(110)들을 이송하므로, 설계가 단순화되고 설비에 대한 비용을 절감시킬 수 있다.
이와 같이, 기판 이송부(700)는 제1 세정부(500)에서 일차적으로 세정이 완료된 기판(110)들을 제2 세정부(600)로 이송시킬 때, 기판(110)에 잔재하는 세정액 또는 세정액 방울들이 낙하할 수 있다.
세정액 회수부(800)가 낙하하는 세정액 또는 세정액 방울을 회수하기 위하여 기판 이송부(700)가 이동하는 경로의 하부에 배치된다. 즉, 세정액 회수부(800)는 레일(730)의 하부에 배치될 수 있다.
세정액 회수부(800)는 베이스 프레임(400) 상에 배치된다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 세정액 회수부(800)는 베이스 프레임(400)의 상부면에 면접하도록 배치된다. 또한, 세정액 회수부(800)는 베이스 프레임(400) 상에 고정되도록 배치된다. 세정액 회수부(800)를 베이스 프레임(400) 상에 고정시키기 위하여 다양한 고정 부재들을 사용할 수 있다. 이와 달리, 세정액 회수부(800)는 기판 이송부(700)와 베이스 프레임(400) 사이의 공간에 배치될 수 있다. 이 때, 세정액 회수부(800)는 베이스 프레임(400)의 상부면으로부터 일정 높이 상에 배치될 수 있다.
세정액 회수부(800)는 바닥부(810) 및 측벽(820)을 포함한다.
바닥부(810)는 베이스 프레임(400)과 면접하면서 베이스 프레임(400) 상에 배치된다. 또한, 바닥부(810)는 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)의 이격 공간에 대응되도록 형성된다. 즉, 바닥부(810)는 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)에 의해 노출된 베이스 프레임(400)의 상부면 전체를 커버할 있을 정도의 크기로 형성된다. 따라서, 바닥부(810)가 기판(110)들로부터 낙하하는 세정액, 세정액 방울 등이 베이스 프레임(400) 상에 떨어지는 것을 방지한다.
측벽(820)은 바닥부(810)의 가장 자리로부터 상부로 연장되어 형성된다. 측벽(820)은 바닥부(810)로 낙하되는 세정액, 세정액 방울 등이 바닥부(810)로부터 튕겨져 외부로 나가는 것을 방지한다. 따라서, 측벽(820)은 일정한 높이를 가지도록 배치된다.
한편, 세정액 회수부(800)는 다양한 종류의 세정액들에 대응하여 상기 각각의 세정액에 부식되지 않는 재질로 이루어진다. 예를 들어, 세정액 회수부(800)는 스테인리스 재질을 포함한다. 또한, 세정액 회수부(800)는 상기세정액에 대하여 내식성을 가진 물질로 표면 처리된 PVC 재질로 이루어질 수 있다. 따라서, 세정액 회수부(800)가 세정액에 대하여 내식성을 가진 재질로 이루어지므로, 상기 세정액을 회수하는 세정액 회수부(800)는 상기 세정액에 의해 부식되지 않는다.
이와 같이, 기판 이송부(700)에 안착된 기판(110)들이 이송되는 도중에 세정액 또는 세정액 방울 등이 낙하하는 경우, 베이스 프레임(400) 상부에 배치된 세정액 회수부(800)가 낙하하는 세정액 및 세정액 방울 등을 내부로 회수할 수 있다. 따라서, 세정액 회수부(800)는 세정액이 베이스 프레임(400) 등의 기타 장비로 낙하하여 베이스 프레임(400) 등이 부식되는 것을 방지할 수 있다.
도 4 및 도 5는 도 1의 기판 이송부 및 세정액 회수부의 다른 예를 설명하기 위한 구성도들이다. 여기서, 기판 이송부 및 세정액 회수부를 제외한 구성 요소는 상술한 바와 동일하므로, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호 및 명칭을 사용하기로 한다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 기판 이송부(750)와 세정액 회수부(850)는 일체로 형성된다.
본 발명의 실시예들에 있어서, 기판 이송부(750)는 다수 매의 기판(110)들을 하부에서 지지하기 위한 지지부(751)와 기판(110)들의 양측에 기판(110)들을 정렬하기 위한 정렬부(752)를 포함한다. 지지부(751)와 정렬부(752) 각각은 기판(110)들이 삽입되기 위한 홈의 형상을 가질 수 있다. 이에 일정 간격으로 이격되어 형성된 상기 홈에 기판(110)들이 삽입된다. 이와 같이, 기판 이송부(750)는 기판(110)들을 하부에서 안정적으로 지지하면서 제1 세정부(500)로부터 제2 세정부(600)로 이송시킬 수 있다.
세정액 회수부(850)는 낙하하는 세정액을 회수하기 위하여 기판 이송부(750)의 하부에 배치된다. 본 발명의 실시예들에 있어서, 세정액 회수부(850)는 기판 이송부(750)의 하부면과 연결되어 기판 이송부(750)와 일체로 형성될 수 있다.
세정액 회수부(850)는 바닥부(851) 및 측벽(852)을 포함한다.
예를 들어, 바닥부(851)는 베이스 프레임(400)과 면접하면서 베이스 프레임(400) 상에 배치된다. 이와 달리, 도시되지는 않았지만, 바닥부(851)는 베이스 프레임(400)의 상부면으로부터 일정 높이만큼 이격된 베이스 프레임(400)의 상부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 바닥부(851)는 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600)에 의해 노출된 베이스 프레임(400)의 상부면 일부를 커버할 있을 정도의 크기로 형성된다. 또한, 바닥부(851)의 면적은 기판 이송부(750)의 하부면 크기보다 상대적으로 더 큰 크기를 가질 수 있다. 이는 기판(110)으로부터 낙하하는 세정액을 충분히 회수하기 위해서이다. 따라서, 바닥부(851)가 기판(110)들로부터 낙하하는 세정액 방울 등이 베이스 프레임(400) 상에 떨어지는 것을 방지한다.
측벽(852)은 바닥부(851)의 가장 자리로부터 상부로 연장되어 기판 이송부(750)의 하부면과 연결된다. 측벽(852)은 바닥부(851)로 낙하되는 세정액, 세정액 방울 등이 바닥부(851)로부터 튕겨져 외부로 나가는 것을 방지한다.
이와 같이, 기판 이송부(750)와 세정액 회수부(850)는 일체로 형성된다. 따라서, 기판 이송부(750)가 제1 세정부(500)와 제2 세정부(600) 사이를 이동하는 경우, 하부에 연결된 세정액 회수부(850)도 기판 이송부(750)와 함께 이동한다. 따라서, 세정액 회수부(850)가 기판 이송부(750)에 의해 이송되는 기판(110)들로부터 낙하되는 세정액, 세정액 방울 등을 효율적으로 회수할 수 있다.
이와 달리, 세정액 회수부(850)가 기판 이송부(750)와 일체로 형성되지 않고, 기판 이송부(750)의 하부에 별도로 배치될 수도 있다. 이 때, 세정액 회수부(850)는 기판 이송부(750)가 이동하는 경로의 하부에 배치된다. 이 때, 세정액 회수부(850)는 베이스 프레임(400) 상에 배치되어, 기판 이송부(750)와 동일한 속도와 동일한 방향으로 이동하면서 기판(110)들로부터 낙하하는 세정액 방울 등을 회수할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았지만, 세정액 회수부(850)는 베이스 프레임(400)의 상부에 배치된 레일을 따라 이동할 수 있다.
이와 같이, 기판 이송부(750)에 의해 지지된 기판(110)들로부터 세정액 또는 세정액 방울 등이 낙하하는 경우, 기판 이송부(750)와 일체로 형성된 세정액 회수부(850)가 그 하부에서 기판(110)들로부터 낙하하는 세정액 및 세정액 방울 등을 그 내부로 회수할 수 있다. 따라서, 세정액 회수부(850)는 세정액이 베이스 프레임(400) 등의 기타 장비로 낙하하여 베이스 프레임(400) 등이 부식되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판 세정 장치는 나란하게 배치된 복수개의 세정조들 사이에서 기판들을 이송하는 기판 이송부 및 기판 이송부의 하부에 배치된 세정액 회수부를 포함한다. 이 때, 세정액 회수부가 기판 이송부에 지지된 기판들로부터 낙하하는 세정액 또는 세정액 방울 등을 회수함으로써, 세정액이 설비 또는 장치에 낙하되어 부식되는 것을 방지할 수 있다. 특히, 세정액 회수부 설비의 바닥부 상에 배치된 단순한 구조를 가지므로, 설계를 단순화하고 원가를 절감시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 이송부 및 세정액 회수부의 일 예를 설명하기 위한 구성도들이다.
도 4 및 도 5는 도 1의 기판 이송부 및 세정액 회수부의 다른 예를 설명하기 위한 구성도들이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 기판 세정 장치 110 : 기판
120 : 카세트 200 : 적재부
250 : 기판 전달부 300 : 반전 이송부
400 : 베이스 프레임 500 : 제1 세정부
510 : 제1 세정조 520 : 제1 이송 유닛
600 : 제2 세정부 610 : 제2 세정조
620 : 제2 이송 유닛 700, 750 : 기판 이송부
800, 850 : 세정액 회수부

Claims (8)

  1. 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임 상부의 일 측에 배치되고, 세정액을 이용하여 기판을 세정하기 위한 적어도 하나의 제1 세정부;
    상기 제1 세정부와 나란하게 형성되도록 상기 베이스 프레임 상부의 타 측에 배치되고, 상기 세정된 기판을 연속하여 세정하기 위한 적어도 하나의 제2 세정부;
    상기 제1 세정부와 상기 제2 세정부의 끝단에 양 방향으로 이동 가능하도록 배치되고, 그 상부가 개방된 형상으로 상기 제1 세정부에서 세정된 기판을 하부에서 지지하기 위한 지지부와 상기 지지부에 의해 지지된 기판의 양측에 배치되어 상기 기판을 정렬하기 위한 정렬부를 포함하며, 상기 지지된 기판을 상기 제1 세정부에서 상기 제2 세정부로 이송시키기 위한 기판 이송부; 및
    상기 베이스 프레임과 상기 기판 이송부 사이의 상기 베이스 프레임 상에 배치되고, 상기 기판이 이송되는 도중에 상기 기판으로부터 낙하하는 세정액을 회수하기 위한 세정액 회수부를 포함하는 기판 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 세정부 및 상기 제2 세정부 각각은
    복수개의 기판들을 연속적으로 세정하도록 일렬로 배치된 복수개의 세정조들을 포함하고, 외부로부터 공급된 세정액을 이용하여 상기 세정조들 내부에서 상기 기판들을 세정하며,
    상기 제1 세정부와 상기 제2 세정부는 상기 기판들을 서로 다른 방향을 향하여 연속적으로 세정하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 세정액 회수부는
    상기 베이스 프레임과 이동하는 상기 기판 이송부의 사이에 배치되어 상기 베이스 프레임에 상기 세정액이 낙하하는 것을 차단하기 위한 바닥부; 및
    상기 바닥부의 가장 자리로부터 상부로 연장되어 형성되고, 상기 낙하된 세정액이 상기 바닥부로부터 튕겨져서 외부로 나가는 것을 차단하기 위한 측벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 세정액 회수부는 이동하는 상기 기판 이송부의 경로에 대응하는 상기 베이스 프레임 상에 고정되어 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 기판 이송부와 상기 세정액 회수부는 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 세정액 회수부는 다양한 종류의 세정액들에 대응하여 상기 세정액 각각에 내식성을 가진 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 세정액 회수부는 스테인리스 재질 및 상기 세정액 각각에 대하여 내식성을 가진 물질로 표면 처리된 PVC 재질 중 적어도 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
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