JP4456408B2 - 電気メッキ装置 - Google Patents
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Description
前記搬送手段の先端には、前方方向に延びる複数本の腕部と、各腕部の下面から下方向に延びる複数本の固定支持部と、前記固定支持部及び前記腕部の上方にあって、平面視にて各腕部の間に位置し、前記基板を搬送している間中、前記固定支持部に固定支持された前記基板に向けて、洗浄液を放出するための洗浄ノズルとが設けられていることを特徴とするものである。
2 搬送部
3 ローダ部
4 前処理部
5、6、7 メッキ処理部
8 搬送ロボット
9 後処理部
10 アンローダ部
11 腕部
12 固定支持部
13 基板
14、21、34、35 洗浄ノズル
15 洗浄液
16 排液避け部材
17 メッキ槽
18 アノード
19 ホルダ部
20、22 バケット
23 扉部
30 洗浄工程部
31 乾燥工程部
32 ローラ部
33 ベルト部
40、42 ローラ部(吸水性ローラ)
41 ノズル部
50 カセット
Claims (7)
- 複数の処理部と、基板を固定支持して、前記基板を次の処理部へ搬送するための搬送手段とを有する電気メッキ装置において、
前記搬送手段の先端には、前方方向に延びる複数本の腕部と、各腕部の下面から下方向に延びる複数本の固定支持部と、前記固定支持部及び前記腕部の上方にあって、平面視にて各腕部の間に位置し、前記基板を搬送している間中、前記固定支持部に固定支持された前記基板に向けて、洗浄液を放出するための洗浄ノズルとが設けられていることを特徴とする電気メッキ装置。 - 前記洗浄ノズルの上側に排液避け部材が設けられ、前記排液避け部材は、少なくとも前記基板が前記固定支持部材に固定支持された状態での前記基板表面の全面に高さ方向にて対向する大きさで形成される請求項1記載の電気メッキ装置。
- 前記複数の処理部は、前処理部、少なくとも1つ以上のメッキ処理部、後処理部とを有し、前記基板は、前記搬送手段によって前記前処理部からメッキ処理部へ、前記メッキ処理部から後処理部へ、前記メッキ処理部が2つ以上あるときは、前のメッキ処理部から次のメッキ処理部へ搬送され、各搬送の間中、前記基板に向けて洗浄液が放出される請求項1又は2に記載の電気メッキ装置。
- 前記後処理部は、少なくとも乾燥工程部を有し、前記乾燥工程部には、前記乾燥工程部からアンローダ部へ前記基板を移送するための複数のローラ部が設けられ、前記ローラ部の表面は少なくとも吸水性の材質で形成されている請求項3記載の電気メッキ装置。
- 前記乾燥工程部には、基板が前記ローラ部によって移送されている最中に気体を前記基板へ向けて吹き付けるためのノズルが設けられている請求項4記載の電気メッキ装置。
- 前記気体は不活性ガスである請求項5記載の電気メッキ装置。
- 前記メッキ処理部は、メッキ槽と、前記メッキ槽内に設けられたアノードと、表面が前記基板の載置部で前記メッキ槽の底面側で上下方向に移動可能なホルダ部と、を有し、前記搬送手段は前記ホルダ部が下方向に移動した状態で、前記ホルダ上に載置された基板を保持して次の処理部へ搬送し、あるいは前記基板を前の処理部から前記ホルダ上にまで搬送する請求項1ないし6のいずれかに記載の電気メッキ装置。
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