CN107179654B - Oled面板的显影方法、oled面板以及制造设备 - Google Patents

Oled面板的显影方法、oled面板以及制造设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，显影方法包括以下步骤：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。本发明通过调节显影液在面板上的停留时间，从而控制面板从第一侧到第二侧之间的光阻图案的线型的粗细，以此补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。

Description

OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备
技术领域
本发明涉及OLED面板制程领域，尤其涉及一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备。
背景技术
现有技术的OLED面板制程中需要在一个玻璃大板上同时制作多块OLED面板，OLED面板呈矩阵排列在玻璃大板上。现有技术的OLED面板的显影方法中包含喷布显影液和水洗两个步骤，会由喷布显影液的设备从玻璃大板的一侧向另一个进行喷布，并且水洗设备也会从玻璃大板的一侧向另一个进行水洗，洗去显影液。
目前的显影方法中喷布显影液的进行方向A与水洗的进行方向B是相同的。图1为现有技术的OLED面板的显影方法的流程图。如图1所示，现有的OLED面板的显影方法的流程包括以下步骤
步骤S10’：从基板的第一侧H向第二侧L喷布显影液进行显影，所述基板处于水平状态。
步骤S20’：显影完成后，抬起所述基板的第一侧H(参见图2，抬高基板的方向为C)，使所述基板相对于水平面倾斜。
步骤S30’：从基板的第一侧H向第二侧L进行水洗，清除显影液。
图2为现有技术的OLED面板显影过程中的示意图。图3为现有技术的OLED面板显影过程中的俯视图。如图2和3所示，在这一过程中，所述水洗的进行方向B与所述喷布显影液的进行方向A相同。通过现有技术的制程的OLED面板10’包括：第一侧H和相对的第二侧L，所述第一侧H设有集成电路20’。OLED面板10’的显示效果证明，这种结构下，靠近集成电路20’的电压较高导致相应的亮度升高，远离集成电路20’的电压较低导致相应的亮度也降低，使得OLED面板10’的两侧之间形成电压降，造成亮度不均匀，影响OLED面板10’的质量。
有鉴于此，发明人提供了一种能够补偿OLED面板两侧的电压降的OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备。
发明内容
针对现有技术中的缺陷，本发明的目的在于提供一种OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，克服现有技术的困难，能够补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。
根据本发明的一个方面，提供一种OLED面板的显影方法，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，包括以下步骤：
步骤(1)：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；
步骤(2)：显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及
步骤(3)：从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。
优选地，所述步骤(1)中，所述基板上具有经过曝光的光阻图案。
优选地，所述步骤(2)中，所述基板与水平面之间夹角范围是10°至30°。
优选地，所述基板与水平面之间夹角是20°。
优选地，所述步骤(3)中，水洗的碰洒方向平行于基板。
根据本发明的另一个方面，还提供一种OLED面板，由如上述的OLED面板的显影方法制得，包括：第一侧和相对的第二侧，所述第一侧设有集成电路，其中，越靠近所述第一侧的光阻图案的线型宽度越细，越靠近所述第二侧的光阻图案的线型宽度越宽。
优选地，所述第一侧与所述第二侧之间的电压降为零。
优选地，所述集成电路连接一移动终端的主板。
根据本发明的另一个方面，还提供一种OLED面板制造设备，其特征在于，包括一显影液喷布装置和一水洗装置；
所述显影液喷布装置从第一方向对所述OLED面板喷布显影液，所述水洗装置从第二方向对所述OLED面板进行水洗，洗去显影液，其中所述第一方向与第二方向的方向相反。
优选地，更包括一抬举装置，所述抬举装置用以抬起所述OLED面板的一侧，使所述OLED面板的平面与水平面呈现一夹角。
优选地，所述夹角为10°至30°。
有鉴于此，本发明的OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，通过调节显影液在面板上的停留时间，从而控制面板从第一侧到第二侧之间的光阻图案的线型的粗细，以此补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为现有技术的OLED面板的显影方法的流程图；
图2为现有技术的OLED面板显影过程中的示意图；
图3为现有技术的OLED面板显影过程中的俯视图；
图4为本发明的OLED面板的显影方法的流程图；
图5为本发明的OLED面板显影过程中的示意图；以及
图6为本发明的OLED面板显影过程中的俯视图。
附图标记
10’ OLED面板
20’ 集成电路
30’ 光阻图案
10 OLED面板
20 集成电路
30 光阻图案
A 喷布显影液的进行方向
B 水洗的进行方向
C 抬高基板的方向
d 基板与水平面之间的夹角
H 第一端
L 第二端
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。
所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员应意识到，没有特定细节中的一个或更多，或者采用其它的方法、组元、材料等，也可以实践本发明的技术方案。在某些情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本发明。
图4为本发明的OLED面板的显影方法的流程图。如图4所示，本发明的OLED面板的显影方法，包括以下步骤：
步骤S10：从基板的第一侧H向第二侧L喷布显影液进行显影，基板处于水平状态。基板上具有经过曝光的光阻图案。
步骤S20：显影完成后，抬起基板的第一侧H(参见图5，抬高基板的方向为C)，使基板相对于水平面倾斜。基板与水平面之间夹角d范围是10°至30°，但不以此为限。本实施例中基板与水平面之间夹角d优选为20°。基板的第一侧H的水平高度高于基板的第二侧L的水平高度，使得被冲洗的显影液，会向第二侧L流去。
步骤S30：从基板的第二侧L向第一侧H进行水洗，清除显影液，水洗的进行方向B与喷布显影液的进行方向A相反。
图5为本发明的OLED面板显影过程中的示意图。图6为本发明的OLED面板显影过程中的俯视图。如图5和6所示，在本发明中水洗的进行方向B与喷布显影液的进行方向A相反，本发明中的OLED面板10包括：第一侧H和相对的第二侧L，第一侧H设有集成电路20，越靠近第一侧H的光阻图案30的线型宽度越细，越靠近第二侧L的光阻图案30的线型宽度越宽。第一侧H与第二侧L之间的电压降为零。集成电路20连接一移动终端的主板(图中未示出)。
因为在制程过程中，显影液和水洗对于光阻图案的线宽的作用刚好相反：
(1)显影液停留在大板的时间越长，则光阻图案的线宽越细；显影液停留在大板的时间越短，则光阻图案的线宽越宽。
(2)水洗对光阻图案的作用则是：水洗越晚，则光阻图案的线宽越细；水洗越早，则光阻图案的线宽越宽。
所以，本发明的这种水洗的进行方向B与喷布显影液的进行方向A相反的工艺会优先从第二侧L进行清洗。与第一侧H相比，第二侧L的显影液会更早被洗去，第二侧L的显影液对光阻图案的反应时间更短，所以能缩短靠近第二侧L的显影液的停留时间。则越靠近第二侧L的显影液在基板上的停留时间越短，使得越靠近第二侧L的光阻图案30的线型宽度越宽。
相对地，与第二侧L相比，第一侧H的显影液会更晚被洗去，第一侧H的显影液对光阻图案的反应时间更长，所以能相对延长靠近第一侧H显影液的停留时间。则越靠近第一侧H的显影液在基板上的停留时间越长，使得越靠近第一侧H的光阻图案30的线型宽度越细。
优选地，步骤S30中的水洗的碰洒方向可以平行于基板，但不以此为限。
以下表一是现有技术的显影方法制成的OLED面板的亮度均匀度数据，通过现有技术制成的一个玻璃大板上，共有6行9列共计54块OLED面板，他们各自的亮度均匀度的实测值如下：
1 2 3 4 5 6 7 8 9
1 <u>74％</u> <u>77％</u> 83％ 85％ 89％ 86％ 81％ <u>78％</u> <u>75％</u>
2 83％ 81％ 87％ 87％ 88％ 89％ 89％ 87％ 90％
3 86％ 87％ 87％ 85％ 87％ 89％ 86％ 89％ 88％
4 83％ 85％ 86％ 84％ 87％ 83％ 83％ 83％ <u>76％</u>
5 85％ 88％ 86％ 85％ 81％ 84％ 81％ 81％ <u>79％</u>
6 85％ 96％ 92％ 87％ 85％ 87％ 84％ 93％ 80％
表一
从表一中可知，54块OLED面板中，亮度均匀度<80％的，共有6片，并且，最小值为74％。
以下表二是本发明的显影方法制成的OLED面板的亮度均匀度据，通过本发明的方法制成的一个玻璃大板上，共有6行9列共计54块OLED面板，他们各自的亮度均匀度的实测值如下：
1 2 3 4 5 6 7 8 9
1 <u>79％</u> 80％ 84％ 81％ 84％ 82％ 83％ 80％ <u>78％</u>
2 78％ 86％ 87％ 88％ 85％ 80％ 79％ 81％ 85％
3 83％ 84％ 90％ 90％ 91％ 89％ 89％ 89％ 87％
4 84％ 85％ 83％ 85％ 83％ 82％ 83％ <u>79％</u> 80％
5 86％ 86％ 83％ 84％ 83％ 86％ 86％ 85％ 80％
6 85％ 92％ 90％ 85％ 85％ 86％ 85％ 91％ 91％
表二
从表二中可知，54块OLED面板中，亮度均匀度<80％的，共有3片，并且，最小值为78％。可见，通过本发明的OLED面板的显影方法，能够有效控制面板之间的亮度均匀度，保证产品亮度性能的一致性。
继续参考图5，本发明还提供一种OLED面板，可以通过上述的OLED面板的显影方法制得，包括：第一侧H和相对的第二侧L，第一侧H设有集成电路20，越靠近第一侧H的光阻图案30的线型宽度越细，越靠近第二侧L的光阻图案30的线型宽度越宽。第一侧H与第二侧L之间的电压降为零。集成电路20连接一移动终端的主板。
本发明还提供一种OLED面板制造设备，用于实施上述的OLED面板的显影方法，包括一显影液喷布装置和一水洗装置。所述显影液喷布装置从第一方向对OLED面板喷布显影液，所述水洗装置从第二方向对OLED面板进行水洗，洗去显影液，所述第一方向与第二方向的方向相反。
综上可知，本发明的OLED面板的显影方法、OLED面板以及制造设备，通过调节显影液在面板上的停留时间，从而控制面板从第一侧到第二侧之间的光阻图案的线型的粗细，以此补偿OLED面板两侧的电压降，保证OLED面板的亮度均匀。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本发明的实质内容。

Claims (11)

1.一种OLED面板的显影方法，所述OLED面板具有包括一第一侧和相对所述第一侧的一第二侧的基板，其特征在于，包括以下步骤：
步骤(1)：从所述基板的所述第一侧向所述第二侧喷布显影液进行显影，其中所述基板处于水平状态；
步骤(2)：显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧；以及
步骤(3)：从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗，以清除所述基板上的所述显影液。
2.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(1)中，所述基板上具有经过曝光的光阻图案。
3.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(2)中，所述基板与水平面之间夹角范围是10°至30°。
4.如权利要求3所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述基板与水平面之间夹角是20°。
5.如权利要求1所述的OLED面板的显影方法，其特征在于：所述步骤(3)中，水洗的喷洒方向平行于基板。
6.一种OLED面板，其特征在于，由如权利要求1至5中任意一项所述的OLED面板的显影方法制得，包括：第一侧和相对的第二侧，所述第一侧设有集成电路，其中，越靠近所述第一侧的光阻图案的线型宽度越细，越靠近所述第二侧的光阻图案的线型宽度越宽。
7.如权利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述第一侧与所述第二侧之间的电压降为零。
8.如权利要求6所述的OLED面板，其特征在于：所述集成电路连接一移动终端的主板。
9.一种OLED面板制造设备，其特征在于，包括一显影液喷布装置和一水洗装置；
从基板的第一侧向第二侧喷布显影液进行显影，显影完成后，抬起所述基板的所述第一侧，使所述基板的所述第一侧水平位置高于所述第二侧,从所述基板的所述第二侧向所述第一侧进行水洗。
10.如权利要求9所述的OLED面板制造设备，其特征在于：更包括一抬举装置，所述抬举装置用以抬起所述OLED面板的一侧，使所述OLED面板的平面与水平面呈现一夹角。
11.如权利要求10所述的OLED面板制造设备，其特征在于：所述夹角为10°至30°。
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