KR20090093541A - 기판지지장치 및 기판지지방법 - Google Patents

기판지지장치 및 기판지지방법

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KR20090093541A
KR20090093541A KR1020080019104A KR20080019104A KR20090093541A KR 20090093541 A KR20090093541 A KR 20090093541A KR 1020080019104 A KR1020080019104 A KR 1020080019104A KR 20080019104 A KR20080019104 A KR 20080019104A KR 20090093541 A KR20090093541 A KR 20090093541A
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Abstract

본 발명에 의하면, 기판지지장치는 상부에 기판이 놓여지는 스테이지; 그리고 상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 상기 스테이지의 상부면을 따라 이동하며 상기 기판의 하부를 지지하는 이동지지유닛을 포함한다. 상기 이동지지유닛은 상기 스테이지의 상부면에 제공되며, 상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 연장되는 가이드레일; 그리고 상기 가이드레일을 따라 이동하여, 상기 기판의 하부에 위치하는 제1 위치 및 상기 기판의 하부로부터 이탈하는 제2 위치로 이동하는 지지부재를 포함할 수 있다. 상기 지지부재는 상기 가이드레일에 결합되며, 상기 가이드레일의 길이방향에 대해 대체로 수직한 판부재; 그리고 상기 판부재의 상부면으로부터 돌출되도록 배치되는 복수의 이동지지핀들을 포함할 수 있다. 상기 장치는 승강에 의해 상기 스테이지의 상부면으로부터 돌출되어 상기 기판의 가장자리를 지지하는 복수의 고정지지핀들을 더 포함할 수 있다.

Description

기판지지장치 및 기판지지방법{supporting apparatus and supporting method for substrate}
본 발명은 기판지지장치 및 기판지지방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이동지지핀들을 구비하는 기판지지장치 및 기판지지방법에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display)등의 제조공정에 있어서는, LCD용의 유리 기판상에 ITO(Indium Tin Oxide)의 얇은 막이나 전극패턴을 형성하기 위해서, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 것과 같은 포토리소그래피 기술이 이용된다. 포토리소그래피 기술로는, 포토레지스트를 유리기판에 도포하며, 이것을 노광하고 현상한다. 레지스트의 도포후 노광전에, 혹은 노광후 현상전에 기판을 가열한다. 이들 가열처리는 레지스트내의 용제를 증발시키거나, 노광에 의한 정재파효과에 의한 레지스트패턴의 변형을 경감시키기 위한 처리이다.
레지스트를 도포하는 공정에서는, 예컨대 도포장치로서 레지스트를 기판상에 도포한다. 레지스트의 도포후, 감압건조장치로서 레지스트가 도포된 기판을 건조시키는 처리를 한다. 이 건조처리후, 에지 리무버장치로 기판의 둘레가장자리부에 부착한 여분의 레지스트를 제거한다.
이들 도포장치나 감압건조장치, 가열장치 등은, 기판을 지지하기 위한 리프트 핀을 구비하고 있으나, 최근의 유리기판은 대형이고 그 자중으로 아래쪽으로 휘는 경향이 있다.
본 발명의 목적은 다양한 크기의 기판을 지지할 수 있는 기판지지장치 및 기판지지방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 기판의 처짐을 방지할 수 있는 기판지지장치 및 기판지지방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부한 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.
본 발명에 의하면, 기판지지장치는 상부에 기판이 놓여지는 스테이지; 그리고 상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 상기 스테이지의 상부면을 따라 이동하며 상기 기판의 하부를 지지하는 이동지지유닛을 포함한다.
상기 이동지지유닛은 상기 스테이지의 상부면에 제공되며, 상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 연장되는 가이드레일; 그리고 상기 가이드레일을 따라 이동하여, 상기 기판의 하부에 위치하는 제1 위치 및 상기 기판의 하부로부터 이탈하는 제2 위치로 이동하는 지지부재를 포함할 수 있다.
상기 지지부재는 상기 가이드레일에 결합되며, 상기 가이드레일의 길이방향에 대해 대체로 수직한 판부재; 그리고 상기 판부재의 상부면으로부터 돌출되도록 배치되는 복수의 이동지지핀들을 포함할 수 있다.
상기 장치는 승강에 의해 상기 스테이지의 상부면으로부터 돌출되어 상기 기판의 가장자리를 지지하는 복수의 고정지지핀들을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 기판지지방법은 복수의 이동지지핀들을 스테이지의 상부면을 따라 상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 이동시켜 스테이지 상에 놓여진 기판의 하부를 상기 이동지지핀들을 이용하여 지지하되, 상기 이동지지핀들은 상기 기판의 하부에 위치하는 제1 위치 및 상기 기판의 하부로부터 이탈하는 제2 위치로 이동가능하다.
상기 방법은 승강에 의해 상기 스테이지의 상부면으로부터 돌출되는 복수의 고정지지핀들을 이용하여 상기 기판의 가장자리를 지지하는 것을 더 포함하며, 상기 이동지지핀들은 상기 기판의 중앙부를 지지할 수 있다.
본 발명에 의하면 다양한 크기의 기판을 지지할 수 있다. 또한, 기판의 처짐을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판지지장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 정면도 및 측면도이다.
도 4는 2면 기판의 제품영역을 나타내는 도면이다.
도 5는 3면 기판의 제품영역을 나타내는 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 도 1의 작동상태를 나타내는 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 스테이지 112 : 고정지지핀
114 : 가이드레일 116 : 하부판부재
118 : 실린더 120 : 이동지지유닛
122 : 이동지지핀 124 : 판부재
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 내지 도 6b를 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
한편, 이하에서는 기판을 예로 들어 설명하나, 본 발명은 다양한 피처리체에 응용될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판지지장치를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 2 및 도 3은 도 1의 정면도 및 측면도이다. 기판지지장치는 스테이지(110) 및 스테이지(110)의 상부에 제공되는 이동지지유닛(120)을 포함한다. 스테이지(110)는 스테이지(110)의 상부에 놓여지는 기판의 장변 및 단변과 각각 대응되는 장변 및 단변을 가진다.
도 1에 도시한 바와 같이, 이동지지유닛(120)은 스테이지(110)의 상부면을 따라 배치되는 가이드레일(114), 가이드레일(114)을 따라 이동하는 판부재(124), 그리고 판부재(124)의 상부면으로부터 돌출되도록 배치되는 이동지지핀들(122)을 구비한다. 가이드레일(114)은 스테이지(110)의 상부에 놓여지는 기판의 장변과 대체로 나란하도록 배치되며, 2개가 한 세트를 이루어 스테이지(110)의 상부면에 두 세트가 제공된다. 판부재(124)는 스테이지(110)의 상부에 놓여지는 기판의 단변과 대체로 나란하도록 배치되며, 가이드레일(114)을 따라 병진운동한다. 가이드레일(114) 상에는 복수의 판부재들(124)이 제공되며, 도 1에는 2개의 판부재들(124)을 도시하고 있으나, 3개 이상의 판부재들(124)이 제공될 수 있다. 이동지지핀들(122)은 판부재(124)의 상부면으로부터 돌출되며, 판부재(124)의 위치에 따라 판부재(124)의 상부에 위치하는 기판의 하부를 지지한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판지지장치는 스테이지(110)의 가장자리를 따라 배치되어 기판의 가장자리를 지지하는 고정지지핀들(112)을 더 포함한다. 고정지지핀들(112)은 스테이지(110)의 장변 및 단변에 각각 나란하도록 배치되는 하부판부재(116)에 각각 연결되며, 하부판부재(116)는 실린더(118)에 의해 승강된다.
도 4는 2면 기판의 제품영역을 나타내는 도면이며, 도 5는 3면 기판의 제품영역을 나타내는 도면이다. 도 6a 및 도 6b는 도 1의 작동상태를 나타내는 도면이다. 이하, 도 4 내지 도 6b를 참고하여 기판지지장치의 작동방법을 설명하기로 한다.
작업자는 스테이지(110) 상에 놓여지는 기판의 종류 등을 레시피의 하나로 입력한다. 기판의 종류는 도 4 또는 도 5에 도시한 기판(G1,G2) 상의 제품이 되는 영역(A)의 수의 차이에 의해서 분별된다. 도 4는 2면인 것을 나타내며, 도 5는 3면인 것을 나타낸다.
먼저, 2면 기판인 경우, 도 6a에 도시한 바와 같이, 하나의 판부재(124)는 스테이지(110) 상에 놓여지는 기판의 하부로부터 이탈하도록 스테이지(110)의 일단을 향해 이동하며, 다른 하나의 판부재(124)는 스테이지(110) 상에 놓여지는 기판을 지지하기 위해 스테이지(110)의 중앙부로 이동한다. 이때, 판부재(124) 상의 이동지지핀들(122)이 스테이지(110) 상에 놓여진 기판의 비제품영역(사선부분) 중 중앙부분을 지지하도록 판부재(124)는 배치된다. 이때, 고정지지핀들(112)은 하강하여 판부재(124)의 이동을 방해하지 않도록 한다. 이후, 기판이 스테이지(110) 상으로 이동하면, 고정지지핀들(112)은 상승하여 이동지지핀들(122)보다 높은 위치에서 기판을 받아들이며, 고정지지핀들(112)은 기판의 가장자리를 지지한다. 이후 고정핀들(112)이 하강하면, 기판의 중앙부(특히, 비제품영역)은 이동지지핀들(122)에 의해 지지된다.
한편, 3면 기판인 경우, 도 6b에 도시한 바와 같이, 복수의 판부재들(124)은 스테이지(110) 상에 놓여지는 기판을 지지하기 위해 스테이지(110)의 중앙부로 이동한다. 이때, 판부재(124) 상의 이동지지핀들(122)이 스테이지(110) 상에 놓여진 기판의 비제품영역(사선부분) 중 중앙부분을 지지하도록 판부재(124)는 배치된다. 이때, 고정지지핀들(112)은 하강하여 판부재(124)의 이동을 방해하지 않도록 한다. 이후, 기판이 스테이지(110) 상으로 이동하면, 고정지지핀들(112)은 상승하여 이동지지핀들(122)보다 높은 위치에서 기판을 받아들이며, 고정지지핀들(112)은 기판의 가장자리를 지지한다. 이후 고정핀들(112)이 하강하면, 기판의 중앙부(특히, 비제품영역)는 이동지지핀들(122)에 의해 지지된다.
또한, 5면 기판인 경우, 도 6a에 대한 설명을 변형할 수 있다. 즉, 판부재(124) 상의 이동지지핀들(122)이 스테이지(110) 상에 놓여진 기판의 비제품영역(사선부분) 중 중앙부분을 지지하도록 판부재(124)를 배치하되, 이동지지핀들(122)이 기판의 장변을 기준으로 5분의 2 위치(즉, 제품영역 중 3장과 2장의 사이)를 지지하도록 판부재(124)를 배치할 수 있다. 또한, 가로로 배열된 7면 기판인 경우도, 이동지지핀들(122)이 기판의 장변을 기준으로 7분의 3 위치를 지지하도록 판부재(124)를 배치할 수 있다. 한편, 3면 기판인 경우에도, 이동지지핀들(122)이 기판의 장변을 기준으로 3분의 1 위치만을 지지하도록 판부재(124)를 배치할 수 있다. 이와 같이, 가로로 나열된 제품의 면수가 홀수인 경우, 제품영역과 제품영역 사이에 모두 이동지지핀들(122)을 배치하는 것이 아니라, 기판의 중심선에 대하여 일부 비대칭으로 배치할 수 있다. 이와 같이 배치함으로써 이동지지핀들의 수를 절감할 수 있다. 또한, 가로로 나열된 제품의 면수가 짝수인 경우, 적어도 기판의 중심선 상에 배치하면 좋고, 마찬가지로 지지핀들의 수를 절감할 수 있다.
한편, 앞서 살펴본 실시예에서는 고정지지핀들(112)을 이용하여 기판의 가장자리를 지지하며, 이동지지핀들(122)을 이용하여 기판의 중앙부를 지지하는 것으로 설명하고 있으나, 이는 다음과 같이 응용될 수 있다. 즉, 고정지지핀들(112)을 이용하여 기판의 중앙부(비제품영역)을 지지하고, 이동지지핀들(122)을 이용하여 가장자리를 지지하도록 함으로써, 다양한 크기를 가진 기판의 가장자리를 이동지지핀들(122)을 이용하여 지지할 수 있다.
본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.

Claims (6)

  1. 상부에 기판이 놓여지는 스테이지; 및
    상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 상기 스테이지의 상부면을 따라 이동하며, 상기 기판의 하부를 지지하는 이동지지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이동지지유닛은,
    상기 스테이지의 상부면에 제공되며, 상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 연장되는 가이드레일; 및
    상기 가이드레일을 따라 이동하여, 상기 기판의 하부에 위치하는 제1 위치 및 상기 기판의 하부로부터 이탈하는 제2 위치로 이동하는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지부재는,
    상기 가이드레일에 결합되며, 상기 가이드레일의 길이방향에 대해 대체로 수직한 판부재; 및
    상기 판부재의 상부면으로부터 돌출되도록 배치되는 복수의 이동지지핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 장치는 승강에 의해 상기 스테이지의 상부면으로부터 돌출되어 상기 기판의 가장자리를 지지하는 복수의 고정지지핀들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판지지장치.
  5. 복수의 이동지지핀들을 스테이지의 상부면을 따라 상기 스테이지의 일측으로부터 타측을 향해 이동시켜 스테이지 상에 놓여진 기판의 하부를 상기 이동지지핀들을 이용하여 지지하되,
    상기 이동지지핀들은 상기 기판의 하부에 위치하는 제1 위치 및 상기 기판의 하부로부터 이탈하는 제2 위치로 이동가능한 것을 특징으로 하는 기판지지방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 방법은 승강에 의해 상기 스테이지의 상부면으로부터 돌출되는 복수의 고정지지핀들을 이용하여 상기 기판의 가장자리를 지지하는 것을 더 포함하며,
    상기 이동지지핀들은 상기 기판의 중앙부를 지지하는 것을 특징으로 하는 기판지지방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101224578B1 (ko) * 2010-11-10 2013-01-22 주식회사 디엠케이 패널 지지체
KR101253730B1 (ko) * 2010-11-10 2013-04-12 주식회사 디엠케이 핀타입 패널 지지체
KR20200143774A (ko) * 2019-06-17 2020-12-28 세메스 주식회사 진공 건조 장치

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