KR20030043645A - 인덕터부품 및 그 인덕턴스값 조정방법 - Google Patents

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KR20030043645A
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Abstract

(과제)Q특성의 열화가 적고 또한 소형인 인덕터부품 및 그 인덕턴스값 조정방법을 제공한다.
(해결수단)직사각형 형상의 절연성기판(11) 상에는 소용돌이 형상의 코일패턴(12)이 포토리소그래피법으로 형성되어 있다. 코일패턴(12)은 기판(11)의 우측 짧은 변의 근방에 짧은 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12c, 12d)의 전극폭(W1)이 다른 패턴부분의 전극폭(W0)과 비교하여 굵게 설정되어 있다. 패턴부분(12c)과 패턴부분(12d)의 전극간격(G1)도, 다른 패턴부분의 전극간격(G0)과 비교하여 넓게 설정되어 있다. 인덕터부품(21)의 인덕턴스를 원하는 인덕턴스값에 가깝게 하기 위해 내리지 않으면 안되는 경우에는, 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 코일패턴(12)의 패턴부분(12c, 12d)의 전극폭을 코일패턴(12)의 내측으로 굵게 하여 W2(＞W1)로 설정하고, 인덕턴스값을 조정한다.

Description

인덕터부품 및 그 인덕턴스값 조정방법{INDUCTOR ELEMENT AND METHOD OF ADJUSTING INDUCTANCE VALUE THEREOF}
본 발명은 인덕터부품, 특히 고주파회로 등에 사용되는 인덕터부품 및 그 인덕턴스값 조정방법에 관한 것이다.
휴대전화단말기 등의 이동체 통신기기의 소형화에 따라, 이들 이동체 통신기기 내에서 사용되는 전자부품에 대한 소형화의 요구가 강하다. 그러나, 종래의 적층형 인덕터부품의 인덕턴스값 조정은 수층있는 코일패턴 중 한층 이상의 코일패턴의 모든 부분의 패턴폭을 하나같이 굵게 하거나, 가늘게 하여 행하고 있었다.
그러나, 적층형 인덕터부품의 소형화가 더욱 진행되고, 패턴폭이 미세해지면, 도 8의 (A)에 나타내는 바와 같이, 동일층 상에 수패턴의 소용돌이코일패턴(1)이 형성되는 일이 많아진다. 이와 같은 경우, 인덕턴스값 조정을 위해 코일패턴(1)의 패턴폭을 패턴의 중심을 기준으로 하여 굵게 하면, 동일층 상의 코일패턴(1)의 사이즈가 커지게 되고, 인덕터부품의 소형화의 장해가 된다.
그래서, 동일층 상의 코일패턴(1)의 사이즈가 커지는 것을 방지하기 위해, 코일패턴(1)의 내측을 향해 패턴폭을 굵게 하면, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이 내경이 좁은 코일패턴(2)이 된다. 이와 같은 코일패턴(2)을 갖는 인덕터부품은 Q특성이 나빴다.
또, 내경이 좁은 짧은 변 방향에 있어서, 코일패턴의 일부로서 형성되는 층간접속용 비아패드(1a)(도 8의 (A)참조)를 형성하는 영역을 확보하는 것이 곤란했다.
그래서, 본 발명의 목적은 Q특성의 열화가 적고 또한 소형의 인덕터부품 및 그 인덕턴스값 조정방법을 제공하는 것에 있다.
도 1은 본 발명에 관한 인덕터부품의 일실시예를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1에 이어지는 제조절차를 나타내는 사시도.
도 3은 도 2에 이어지는 제조절차를 나타내는 사시도.
도 4는 도 3에 이어지는 제조절차를 나타내는 사시도.
도 5는 본 발명에 관한 인덕턴스값 조정방법의 일례를 설명하기 위한 평면도.
도 6은 본 발명에 관한 인덕턴스값 조정방법의 다른의 예를 설명하기 위한 평면도.
도7은 본 발명에 관한 인덕턴스값 조정방법의 또 다른 예를 설명하기 위한 평면도.
도 8은 종래의 인덕턴스값 조정방법을 설명하기 위한 평면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
11 : 절연성기판 12, 16 : 코일패턴
G0, G1, G2, G3, G4 : 전극간격 W0, W1, W2, W3, W4 : 전극폭
이상의 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 인던터부품은 직사각형 형상의 절연성기판과, 포토리소그래피법으로 형성되고, 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비하고, 코일패턴에 있어서, 절연성기판의 2개의 짧은 변 중 1개 이상의 짧은 변의 근방에 짧은 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극폭이나 전극간격을 나머지 패턴부분, 예를 들면 절연성기판의 긴 변 근방에 긴 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극폭이나 전극간격보다 굵게 하거나, 넓게 하고 있다.
또, 본 발명에 관한 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법은 직사각형 형상의 절연성기판과, 포토리소그래피법으로 형성되고, 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비한 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법으로서, 코일패턴에 있어서, 절연성기판의 1개 이상의 짧은 변 근방에 짧은 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극폭이나 전극간격의 치수를 증가 또는 감소시킴으로써, 인덕턴스값을 조정하고 있다. 또는 상기 코일패터 중 1개 이상의 코일패턴에 있어서, 절연성기판의 1개 이상의 긴 변의 근방에 상기 긴 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극폭이나 전극간격의 치수를 감소시킴으로써, 인덕턴스값을 올리고 있다.
여기서, 「절연성기판 상을 주회하는」이란, 절연성기판의 상면에 형성된 것뿐만 아니라. 절연층 등을 통해 절연성기판의 상부에 형성된 코일패턴도 포함한다.
이상의 구성에 의해, 한정된 부품사이즈 내에서 인덕턴스값의 미세조정이 가능해짐과 아울러, Q특성열화를 최소한으로 억제할 수 있다.
(실시예)
이하, 본 발명에 관한 인덕터부품 및 그 인덕턴스값 조정방법의 실시예에 관해서 첨부의 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명에 관한 인덕터부품의 코일패턴은 포토리소그래피법을 이용하여 형성된다. 즉, 도 1에 나타내는 바와 같이, 직사각형 형상의 절연성기판(11)의 상면을 평활한 편이 되도록 연마한 후, 스퍼터링이나 증착 등의 박막형성법, 또는 스크린인쇄 등의 후막형성법을 이용하여, 절연성기판(11)의 상면전면에 도체재료막을 형성한다. 다음에, 포토리소그래피법을 이용하여, 소용돌이형상의 코일패턴(12)을 절연성기판(11)의 상면에 형성한다. 코일패턴(12)의 전극두께는 8~12㎛정도이다. 또한, 절연성기판의 상면에 절연성재료를 형성한 후, 그 상면에 코일패턴을 형성해도 된다.
포토리소그래패법은 예를 들면, 이하에 설명하는 방법이다. 절연성기판(11)의 상면에 형성된 도체재료막의 상면전체에 포토레지스트막(예를 들면, 감광성수지막 등)을 스핀코트 또는 인쇄에 의해 형성한다. 다음에, 포토레지스트막의 상면에, 소정의 화상패턴이 형성된 마스크필름을 피복하고, 자외선 등을 조사하는 등의 방법에 의해, 포토레지스트막의 원하는 부분을 경화시킨다. 다음에, 경화된 부분을남기고 포토레지스트막을 벗긴 후, 노출된 부분의 도체재료막을 에칭으로 제거하고, 원하는 코일패턴(12)을 형성한다. 이 후, 경화한 포토레지스트막을 제거한다. 그리고, 이와 같은 이른바 포토리소그래피기술을 이용한 방법에 있어서, 습식에칭법, 건식에칭법, 리프트오프법, 애디티브법, 세미애디티브법 등의 주지의 공법이 적절히 채용된다.
더욱이, 별도의 포토리소그래피법으로서, 절연성기판(11)의 상면에 감광성 도체재료 페이스트를 도포하여 도체재료막을 형성하고, 그 후, 소정의 화상패턴이 형성된 마스크필름을 피복시켜 노광하여, 현상하는 방법이라도 된다. 특히, 감광성 도체재료 페이스트를 이용하면, 도체재료막의 막두께가 두꺼운 상태에서 미세가공이 가능해지고, 본 발명의 실시에 있어서는 저손실을 확보할 수 있다. 또, 노선간의 간격을 좁게 할 수 있다.
소용돌이형상 코일패턴(12)은 그 한쪽의 층간접속용 비아패트(12a)가 소용돌이패턴의 내측에 위치하고, 다른쪽의 단부(12b)가 소용돌이패턴의 외측에 위치하여 절연성기판(11)의 좌변에 노출되고 있다. 절연성기판(11)의 재료로서는 유리, 유리세라믹스, 알루미나, 페라이트, Si, SiO2등이 이용된다. 코일패턴(12)의 재료로서는 예를 들면 Cu, Au, Ag-Pd 등의 도체재료 페이스트나 감광성 도체재료 페이스트 등이 사용된다.
다음에, 도 2에 나타내는 바와 같이, 개구부(15a)를 갖는 절연체층(15)이 형성된다. 즉, 액상의 절연성재료를 절연성기판(11)의 상면의 전면에 스핀코트 또는인쇄법 등에 의해 도포, 건조 및 소성하여 절연체층(15)을 형성한다. 절연성재료에는 예를 들면 감광성 폴리이미드수지나 감광성 유리페이스트 등이 사용된다. 통상의 폴리이미드수지나 유리페이스트를 사용하면, 원하는 패턴으로 가공하기 위해서는 레지스트층을 형성하고, 상기 레지스트층을 가공할 필요가 있다. 그러나, 감광성 폴리이미드수지나 감광성 유리페이스트를 사용하면, 직접 전면도포된 감광성재료를 가공할 수 있기 때문에, 레지스트도포 및 레지스트박리의 공정을 생략할 수 있어, 효율적인 가공공정이 된다.
다음에, 절연체층(15)의 상면에 소정의 화상패턴이 형성된 마스크필름을 피복시키고, 자외선 등을 조사하는 등의 방법에 의해 절연체층(15)의 원하는 부분을 경화시킨다. 다음에, 절연체층(15)의 미경화부분을 제거하고, 개구부(15a)를 형성한다. 개구부(15a)에는 소용돌이형상의 코일패턴(12)의 층간접속용 비아패드(12a)가 노출되어 있다.
다음에, 도 3에 나타내는 바와 같이, 도체재료로 이루어지는 소용돌이형상의 코일패턴(16)이 코일패턴(12) 등을 형성한 경우와 같은 방법, 즉, 포토리소그래피법에 의해 형성된다. 절연체층(15)의 개구부(15a)에는 도체재료가 충전되어 비아홀(18)로 된다. 또한, 최상층의 코일패턴(16)은 반드시 소용돌이형상의 코일패턴일 필요는 없고, 비아패드(12a)의 위치로부터 절연성기판(11)의 우변까지 직선상으로 인출된 것이라도 된다.
코일패턴(16)의 한쪽의 단부(16a)는 비아홀(18)을 통해 코일패턴(12)의 층간접속용 비아패드(12a)에 전기적으로 접속하고 있다. 코일패턴(16)의 다른쪽의단부(16b)는 절연성기판(11)의 우변에 노출되어 있다. 코일패턴(12)과 코일패턴(16)은 같은 회전수가 아니라도 되며, 또한 내경이 같지 않아도 된다.
다음에, 도 4에 나타내는 바와 같이, 액상의 절연성재료를 절연성기판(11)의 상면측 전면에 스핀코트 또는 인쇄 등에 의해 도포, 건조 및 소성하여, 코일패턴(16)을 피복한 절연체층(15)으로 한다.
다음에 절연성기판(11)의 좌우의 측면부에, 각각 입출력 외부전극(19, 20)을 설치한다. 입력외부전극(19)은 코일패턴(12)의 단부(12b)에 전기적으로 접속하고, 출력외부전극(20)은 코일패턴(16)의 단부(16b)에 전기적으로 접속하고 있다. 외부전극(19, 20)은 Ag, Ag-Pd, Cu, NiCr, NiCu, Ni 등의 도전성페이스트를 도포하고, 녹여붙인 위에 습식전해도금에 의해 Ni, Sn, Sn-Pb 등의 금속막이 형성되거나, 또, 스퍼터링, 증착, 인쇄, 포토리소그래피법 등에 의해 형성된다.
다음에, 이 인덕터부품(21)의 인덕턴스값 조정방법에 관해서 설명한다. 도 5의 (A)에 나타내는 바와 같이, 직사각형 형상의 절연성기판(11)(본 실시예에서는 긴 변의 길이:짧은 변의 길이=2:1이며, 구체적 수치예로서는 0.6㎜×0.3㎜, 또는 1.0㎜×0.5㎜) 상에는 코일패턴(12)이 포토리소그래피법으로 형성되어 있다. 코일패턴(12)(예를 들면 전극폭은 15∼30㎛의 범위, 전극간격은 15~25㎛의 범위)은 기판(11)의 우측 짧은 변의 근방에 짧은 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12c, 12d)의 전극폭(W1)이 다른 패턴부분의 전극폭(W0)과 비교하여 굵게 설정되어 있다. 본 실시예에서는 전극폭(W1)이 예를 들면 25㎛, 전극폭(W0)이 예를 들면 15㎛이다. 또, 패턴부분(12c)과 패턴부분(12d)의 전극간격(G1)도, 다른 패턴부분의전극간격(G0)과 비교하여 넓게 설정되어 있다. 코일패턴(16)도 마찬가지로 설정되어 있다. 본 실시예에서는 전극간격(G1)이 예를 들면 25㎛, 전극간격(G0)이 예를 들면 15㎛이다.
그리고, 이 인덕터부품(21)의 인덕턴스를 원하는 인덕턴스값에 가깝게 하기 위해 내리지 않으면 안되는 경우에는 도 5의 (B)에 나타내는 바와 같이, 코일패턴(12)의 패턴부분(12c, 12d)의 전극폭을 코일패턴(12)의 내측으로 굵게 하여 W2(＞W1)로 설정하고, 인덕턴스값을 조정한다. 단, 전극간격(G1)은 바꾸지 않는다. 전극폭(W2)은 다른 패턴부분의 전극폭(W0)의 1.5~2.5배로 하는 것이 바람직하다. 1.5배보다 작으면, 인덕턴스가 조금밖에 변화하지 않고, 인덕턴스값의 실효있는 조정이 불가능하기 때문이다. 한편, 2.5배를 넘으면, 긴 변의 길이:짧은 변의 길이=2:1의 사이즈비를 갖는 절연성기판(11)에서는 코일패턴(12)의 긴 변 방향의 내경이 짧은 변 방향의 내경보다 좁아지고, 코일패턴(12)의 내경에 여유를 갖게하는 본 발명의 효과를 얻을 수 없게 되기 때문이다.
또, 인덕터부품(21)의 인덕턴스를 내리지 않으면 안되는 경우에는, 도 5의 (C)에 나타내는 바와 같이, 코일패턴(12)의 패턴부분(12c, 12d)의 전극간격을 코일패턴(12)의 내측으로 넓게 하여 G2(＞G1)로 설정하고, 인덕턴스값을 조정해도 된다. 전극폭(W1)은 바꾸지 않는다. 전극간격(G2)은 다른 패턴부분의 전극간격(G0)의 1.5~2.5배로 하는 것이 바람직하다.
또한, 도 5의 (B), (C)에서는 기판(11)의 우측 짧은 변의 근방에 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12c, 12d)의 전극폭이나 전극간격만을 변경하고 있지만,이들의 변경만으로는 인덕턴스값 조정이 충분하지 않는 경우에는 기판(11)의 좌측 짧은 변의 근방에 짧은 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12e, 12f)의 전극폭이나 전극간격도 굵거나, 넓게 하여 조정한다. 이것으로도 아직 인덕턴스값 조정이 충분하지 않은 경우에는, 코일패턴(16)이 같은 패턴부분의 전극폭이나 전극간격을 굵게 하거나, 넓게 하여 더욱 조정한다.
이와 같이 코일패턴(12)에 있어서, 기판(11)의 짧은 변의 근방에 짧은 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분 12c~12f만의 전극폭이나 전극간격을 코일패턴(12)의 내측으로 굵게 하거나, 넓게 하고 있기 때문에, 한정된 부품사이즈 내에서의 인덕턴스값의 미세조정이 가능하다. 즉, 층간접속용 비아패드(12a, 16a)를 형성하는 영역을 확보하면서 인덕턴스값을 조정할 수 있다. 또, 코일패턴(12)의 내경도, 공간이 좁은 짧은 변 방향의 내경은 인덕턴스값 조정 전후에서 변화하지 않으므로, Q특성열화를 최소한으로 억제할 수 있다. 더욱이, 패턴부분(12c~12f)의 전극폭이나 전극간격이 굵게 되거나, 넓게 되기 때문에, 코일패턴(12)의 미세가공조건이 느슨해지고, 제조가격을 저감할 수 있다. 또, 코일패턴(12)의 좌우 어느 한쪽만을 패턴부분(12c, 12d) 또는 패턴부분(12e, 12f)의 전극폭(또는 전극간격)을 바꾼 경우, 인덕터부품(21)의 방향성 판별이 용이해진다.
역으로, 인덕터부품(21)의 인덕턴스를 올리지 않으면 안되는 경우에는 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 코일패턴(12)의 패턴부분(12c, 12d)의 전극폭을 외측으로 가늘게 하여 W3(＜W1)로 설정하고, 인덕턴스값을 조정한다. 단, 전극간격(G1)은 바꾸지 않는다. 또는 도 6의 (C)에 나타내는 바와 같이,코일패턴(12)의 패턴부분(12c, 12d)의 전극간격을 좁게 하여 G3(＜G1)으로 설정하고, 인덕턴스값을 조정한다. 단, 전극폭(W1)은 바꾸지 않는다. 이들만으로는 인덕턴스값 조정이 충분하지 않는 경우에는, 기판(11)의 좌측 짧은 변의 근방에 짧은 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12e, 12f)의 전극폭이나 전극간격도 가늘게 하거나, 좁게 하여 조정한다. 이것으로도 아직 인덕턴스값 조정이 충분하지 않은 경우에는, 코일패턴(16)이 같은 패턴부분의 전극폭이나 전극간격을 가늘게 하거나, 좁게 하여 더욱 조정한다.
또, 인덕터부품(21)의 인덕턴스를 올리지 않으면 안되는 경우에는 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 기판(11)의 상측 긴 변의 근방에 긴 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12g, 12h)의 전극폭을 외측으로 가늘게 하여 W4(＜W0)로 설정하고, 인덕턴스값을 조정해도 된다. 단, 전극간격(G0)은 바꾸지 않는다. 전극폭(W4)은 전극폭(W0)의 2/5~2/3배로 하는 것이 바람직하다.
또, 인덕터부품(21)의 인덕턴스를 올리지 않으면 안되는 경우에는, 도 7의 (C)에 나타내는 바와 같이, 코일패턴(12)의 패턴부분(12g, 12h)의 전극간격을 좁게 하여 G4(＜G0)로 설정하여, 인덕턴스값을 조정해도 된다. 단, 전극폭(W0)은 바꾸지 않는다. 전극폭(G4)은 전극간격(G0)의 2/5~2/3배로 하는 것이 바람직하다.
또한, 도 7의 (B), (C)에서는 기판(11)의 상측 긴 변의 근방에 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12g, 12h)의 전극폭이나 전극간격만을 변경하고 있지만, 이들의 변경만으로는 인덕턴스값 조정이 충분하지 않은 경우에는, 기판(11)의 하측 긴 변의 근방에 긴 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12i, 12j)의 전극폭이나 전극간격도 가늘게 하거나, 좁게 하여 조정한다. 이것으로도 아직 인덕턴스값 조정이 충분하지 않는 경우에는, 기판(11)의 짧은 변의 근방에 설치되어 있는 패턴(12c~12f)의 전극폭이나 전극간격을 가늘게 하거나, 좁게 하고, 더욱이, 코일패턴(16)이 같은 패턴부분의 전극폭이나 전극간격을 가늘게 하거나, 좁게하여 조정한다.
이와 같이, 코일패턴(12)에 있어서, 기판(11)의 긴 변의 근방에 긴 변에 대하여 평행하게 설치되어 있는 패턴부분(12h~12j)의 전극폭이나 전극간격을 코일패턴(12)의 외측으로 가늘게 하거나, 좁게 하는 것만으로, 인덕턴스값의 미세조정을 용이하게 할 수 있다. 또, 코일패턴(12)의 내경에 관해서, 공간이 넓은 긴 변 방향의 내경은 인덕턴스값 조정 전후에서 변화하지 않고, 공간이 좁은 짧은 변 방향의 내경은 패턴부분(12h~12j)의 전극폭 등을 좁게 하는만큼 넓힐 수 있으므로, Q특성도 열화하지 않는다.
또한, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 그 요지의 범위내에서 여로가지로 변경할 수 있다.
상기 실시예는 개별생산의 경우를 예로 하여 설명하고 있지만, 양산하는 경우에는 복수의 인덕터를 구비한 모기판(웨이퍼)의 상태에서 제조하고, 최종공정에서 다이싱, 스크라이브 브레이크, 레이저 등의 공법에 의해 제품사이즈마다 잘라내는 방법이 효과적이다.
더욱이, 인덕터부품은 회로패턴이 형성되어 있는 프린트기판 상에 직접 코일패턴을 형성함으로써 구성된 것이라도 된다. 또, 코일패턴의 형상은 임의로서, 상기 실시예의 소용돌이형상 외에, 꾸불꾸불한 형상 등이라도 된다.
또, 상기 실시예의 인덕터부품은 코일패턴이 2층인 것이지만, 필요에 따라서 1층으로 하거나, 3층 이상으로 해도 되는 것은 말할 것도 없다. 2층 이상의 다층구조로 하면, 코일패턴의 선로길이를 길게 할 수 있고, 보다 높은 인덕턴스를 얻을 수 있다.
이상의 설명으로부터 분명하듯이, 본 발명에 의하면, 한정된 부품사이즈 내에서의 인덕턴스값의 미세조정이 가능해짐과 아울러, Q특성열화를 최소한으로 억제할 수 있다.
또, 코일패턴을 포토리소그래피법에 의해 형성하고 있기 때문에, 스크린인쇄법과 비교하여 패턴두께나 패턴폭을 격차가 적고 또한 정확하게 재현할 수 있고, 정밀도가 높은 인덕턴스값 조정을 행할 수 있다.

Claims (8)

  1. 직사각형 형상의 절연성기판; 및
    포토리소그래피법으로 형성되고, 상기 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비하고,
    상기 코일패턴에 있어서, 상기 절연성기판의 2개의 짧은 변 중 1개 이상의 짧은 변의 근방에 짧은 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극폭이 나머지 패턴부분의 전극폭보다 굵은 것을 특징으로 하는 인덕터부품.
  2. 직사각형 형상의 절연성기판; 및
    포토리소그래피법으로 형성되고, 상기 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비하고,
    상기 코일패턴에 있어서, 상기 절연성기판의 2개의 짧은 변 중 1개 이상의 짧은 변의 근방에 짧은 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극간격이 나머지 패턴부분의 전극간격보다 넓은 것을 특징으로 하는 인덕터부품.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 코일패턴이 소용돌이패턴인 것을 특징으로 하는 인덕터부품.
  4. 직사각형 형상의 절연성기판과, 포토리소그래피법으로 형성되고, 상기 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비한 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법으로서,
    상기 코일패턴에 있어서, 상기 절연성기판의 1개 이상의 짧은 변의 근방에 상기 짧은 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극폭의 치수를 증가 또는 감소시킴으로써, 인덕턴스값을 조정하는 것을 특징으로 하는 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법.
  5. 직사각형 형상의 절연성기판과, 포토리소그래피법으로 형성되고, 상기 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비한 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법으로서,
    상기 코일패턴에 있어서, 상기 절연성기판의 1개 이상의 짧은 변의 근방에 상기 짧은 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극간격의 치수를 증가 또는 감소시킴으로써, 인덕턴스값을 조정하는 것을 특징으로 하는 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법.
  6. 직사각형 형상의 절연성기판과, 포토리소그래피법으로 형성되고, 상기 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비한 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법으로서,
    상기 코일패턴에 있어서, 상기 절연성기판의 1개 이상의 긴 변의 근방에 상기 긴 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극폭의 치수를감소시킴으로써, 인덕턴스값을 올리는 것을 특징으로 하는 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법.
  7. 직사각형 형상의 절연성기판과, 포토리소그래피법으로 형성되고, 상기 절연성기판 상을 주회하는 1개 이상의 코일패턴을 구비한 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법으로서,
    상기 코일패턴에 있어서, 상기 절연성기판의 1개 이상의 긴 변의 근방에 상기 긴 변 방향에 대하여 대략 평행하게 설치되어 있는 패턴부분의 전극간격의 치수를 감소시킴으로써, 인덕턴스값을 올리는 것을 특징으로 하는 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법.
  8. 제 4항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코일패턴이 소용돌이패턴인 것을 특징으로 하는 인덕터부품의 인덕턴스값 조정방법.
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