KR20020072259A - 반도체 장치의 제조방법 및 반도체 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 장치의 제조방법에 관한 것이다. 이 방법은 TEOS(테트라에톡시 실란)와 상기 TEOS의 산화에 필요한 농도보다 낮은 농도의 O3을 소오스 가스에 함유하는 화학 기상 증착법에 의해 피형성체 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와, 상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하도록 다마신 트렌치를 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와, 상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

반도체 장치의 제조방법 및 반도체 장치{METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE}
본 발명은 반도체 장치의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 저유전율을 갖는 층간 절연막을 구비하는 반도체 장치의 제조방법에 관한 것이다.
근년 반도체 장치에서 고집적화로의 발전은 배선 간격의 협폭화를 초래하였다. 배선 간의 간격이 좁아짐으로써 배선 간의 정전 용량이 증가함에 따라, 저유전률을 갖는 층간 절연막의 형성에 대한 요구가 대두되었다.
최근 LSI 장치의 고집적도의 진전에 따라, 배선이 소형화, 다층화되었다. 또한 배선 간의 정전 용량도 증가하였다. 이러한 정전 용량의 증가는 동작 속도의 현격한 감소를 야기하였다. 이에 따라 이점에 대한 개선이 강력하게 요구되었다. 개선 수단의 하나로서, 배선 간의 정전용량을 감소시키는 방법이 연구되었다. 이 방법은 현재 층간 절연막으로서 사용되는 SiO2보다 유전률이 낮은 층간 절연막을 사용한다.
현재 연구중인 저유전률 층간 절연막의 예로는 (1) SiOF막 (2)저유전률 유기 절연막이 있다. 이들에 대해 상세히 설명한다.
(1) SiOF막
SiOF막은 F를 함유하는 소오스 가스를 사용하여 SiO2의 Si-O결합 일부를 Si-F 결합으로 치환하여 형성된다. 이 SiOF막은 막의 F의 농도가 증가함에 따라 단조 감소하는 비유전률(relative dielectric constant)을 갖는다.
이와 같은 SiOF막을 형성함에 있어서, 몇 가지 방법이 보고되어 있다(월간지 "Semiconductor World"의 1996년 2월 발행의 82페이지 참조). 이들 방법 중에서 가장 유망한 것은 SiH4, O2및 SiF4를 소오스 가스으로 사용하여 고밀도 플라즈마 강화 CVD법(HDPCVD법)에 의해 SiOF막을 형성하는 방법이다. 이 방법에 의해 형성된 SiOF막의 비유전률은 3.1~4.0의 범위(막의 F의 농도에 따라 변함)이다. 이 값은 종래로부터 층간 절연막로 사용되어 온 SiO2의 비유전률 4.0보다 낮다.
(2) 저유전률 유기 절연막
SiOF막보다도 유전률이 낮은 절연재(3.0 미만)로서, 저유전률 유기 절연막에 관심이 모아지고 있다. 표 1은 보고된 저유전률 유기 절연막의 몇 가지 예와 각각의 유전률 및 열분해 온도를 나타낸다.
그러나, 막의 F의 농도의 증가가 내흡습성(moisture absorption resistance)의 감소로 이어지는 점에서 SiOF막은 불리하다. 내흡습성의 감소는 트랜지스터 특성과 상부 배리어 금속층의 접착에 영향을 주기 때문에 심각한 문제를 야기한다.
저유전률 유기 절연막에는 실리콘 웨이퍼 또는 SiO2막과의 불량한 접촉으로 인해 박리되기 쉽다. 또한 열분해 온도가 400℃이므로 내열성이 낮다는 점에서 유기 절연막은 불리하다. 내열성의 열화는 고온에서의 웨이퍼 어닐링에 문제를 일으킨다.
본 발명의 목적은 양호한 내흡습성과 내열성을 갖는 저유전률 층간 절연막을 구비하는 반도체 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 상기 방법을 사용한 반도체 장치를 제공하는 것이다.
도 1a~도 1g는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 층간 절연막을 형성하는 방법을 각각 나타내는 단면도.
도 2a~도 2l은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 층간 절연막을 형성하는 방법을 각각 나타내는 단면도.
도 3a~도 3i는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 층간 절연막을 형성하는 방법을 각각 나타내는 단면도.
도 4a~도 4n은 본 발명의 제 4 실시예에 의한 층간 절연막을 형성하는 방법을 각각 나타내는 단면도.
본 발명의 청구항 제 1 항 기재의 반도체 제조방법에 따르면, TEOS(테트라에톡시 실란)와 상기 TEOS의 산화에 필요한 농도보다 낮은 농도의 O3을 소오스 가스에 함유하는 화학 기상 증착법에 의해 피형성체 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와, 상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하는 다마신 트렌치를 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와, 상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 청구항 제 2 항 기재의 반도체 장치의 제조방법에 따르면, 피형성체 상에 하지 절연막을 형성하는 단계와, TEOS(테트라에톡시 실란)와 상기 TEOS의 산화에 필요한 농도보다 낮은 농도의 O3을 소오스 가스에 함유하는 화학 기상 증착법에 의해 상기 하지 절연막 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와, 상기 하지 절연막과 상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하는 다마신 트랜치를 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와, 상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 청구항 제 3 항 기재의 발명에 따르면, 피형성체를 Cl(염소) 플라즈마 처리하는 단계와, TEOS(테트라에톡시 실란)와 O3을 함유하는 소오스 가스를 사용하는 화학 기상 증착법에 의해 상기 피형성체 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와, 상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하는 다마신 트랜치를 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와, 상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 청구항 제 4항 기재의 발명에 따르면, 피형성체 상에 하지 절연막을 형성하는 단계와, 상기 하지 절연막을 Cl(염소) 플라즈마 처리하는 단계와, TEOS(테트라에톡시 실란)와 O3을 함유하는 소오스 가스를 사용하는 화학 기상 증착법에 의해 상기 하지 절연막 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와, 상기 하지 절연막과 상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하도록 다마신 트렌치를 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와, 상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와, 상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 청구항 제 5항 기재의 발명에 따르면, 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 측벽 절연막은 상기 다마신 트렌치를 형성한 후, 상기 다공성 SiO2막 위와 상기 다마신 트렌치의 측부 및 저부에 제 2절연막을 형성하고, 상기 제 2절연막을 상기 다마신 트렌치의 측부에 형성된 제 2절연막의 부분이 남고, 상기 다마신 트렌치의 저부에서 상기 피형성체의 표면이 노출되도록 이방성 에칭하는 것에 의해 형성된다.
본 발명의 청구항 제 6항 기재의 발명에 따르면, 제 1항 내지 제 4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 배리어 금속막을 형성한 후, 상기 다공성 SiO2막 및 상기 배리어 금속막 상에 피복 절연막을 형성한다.
본 발명의 청구항 제 7항 기재의 발명에 따르면, 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 SiO2막을 형성한 후, 상기 다공성 SiO2막을 H(수소) 플라즈마 처리한다.
본 발명의 청구항 제 8항 기재의 발명에 따르면, 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조된 반도체 장치를 제공한다.
(실시예)
이하, 첨부한 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
(제 1 실시예)
도 1a~도 1g는 본 발명의 제 1 실시예를 각각 나타내는 단면도이다.
도 1a에 나타낸 바와 같이, 실리콘 기판(101) 상에 BPSG (borophospho silicate glass)막(102)을 형성한다. 다음에, BPSG막(102) 상에 알루미늄막을 형성한 후, 알루미늄막을 패터닝하여 알루미늄 배선층(103)을 형성한다. 이와 같이 형성된 실리콘 기판(101), BPSG막(102) 및 알루미늄 배선층(103)에 의해 피형성체 (104)가 구성된다.
다음에 도 1b에 나타낸 바와 같이, 피형성체(104) 상에 SiO2막(105)(하지 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(105)은 SiH4와 N2O가 소오스 가스으로서 사용된 플라즈마 강화 CVD법(플라즈마 강화 화학 기상 증착법)에 의해 형성되고, 이 SiO2막(105)의 막 두께는 100nm이다.
도 1c에 나타낸 바와 같이, SiO2막(105)(하지 절연막) 상에 다공성 SiO2막 (106)을 형성한다. 이 다공성 SiO2막(106)은 플라즈마 강화 CVD법(플라즈마 강화 화학 기상 증착법)에 의해 형성되며, CVD법의 소오스 가스에는 저농도의 O3(O3of low concentration)와O2가 포함되어 있다. 여기서 저농도의 O3은 TEOS를 산화하는 데에 필요한 것보다 농도가 낮은 O3을 의미한다. 구체적으로는 TEOS의 유량이 25sccm이고 O2의 유량이 7.5slm이면, 유량비로서 1~2%의 O3이 O2에 포함되어 있다.
또한, 유량 1~3slm의 N2(질소)가 소오스 가스에 함유되어 있다. SiO2막(106)의 형성 동안 실리콘 기판(101)의 온도는 400℃로 유지된다.
일반적으로, TEOS와 O3을 소오스 가스으로서 사용하는 상압(常壓) CVD법의 경우, 형성된 SiO2막에 대해서는 다음과 같은 것이 알려져 있다. 즉, 소오스 가스에서 O3의 농도가 증가됨에 따라, TEOS의 산화가 웨이퍼 상에서 더욱 빠르게 진행하여 유동성을 갖는 SiO2막이 형성된다. 반대로 O3의 농도가 감소하면, TEOS의 산화가 충분하게 행하여 지지 않는다. 따라서 O3의 농도가 낮으면, 웨이퍼상에 형성되는 SiO2막의 막내에 많은 CH 또는 OH기가 잔류한다. 특히 하지막이 SiO2막인 경우에는, 저농도의 O3와 TEOS에 의해 표면이 거친 SiO2막의 비정상적인 성장이 발생한다.
다공성 SiO2막(106)은 상기한 SiO2막의 비정상 성장을 이용하여 형성되고, 막중에 많은 보이드를 가지고 있다.
다음에, 도 1d에 나타낸 바와 같이, 다공성 SiO2막(106)에 대하여 H(수소) 플라즈마 처리가 행하여 진다.
이 H 플라즈마 처리는 600sccm의 H2를 쳄버(도시 생략)에 공급하고, RF 전력을 쳄버 내에서 서로 대향하는 상부 및 하부 전극(도시 생략)에 인가하여 수행된다. RF 전력은 상부 전극에 13.56MHz의 주파수와 50W의 전력으로 인가된다. 한편, 하부 전극에 인가되는 RF 전력은 400kHz의 주파수와 400W의 전력을 갖는다. H 플라즈마 처리가 진행되는 동안, 쳄버 내의 압력은 0.1~0.2Torr이고, 실리콘 기판(101)의 온도는 400℃로 유지된다. 또한 H 플라즈마 처리 시간은 60초이다.
H 플라즈마 처리는 보이드의 표면에서 Si-O 결합의 Si의 현수 결합을 Si-H 결합으로 치환한다. 따라서 OH기와 물은 Si의 현수 결합에 결합하는 것이 어렵게됨으로 필름의 내흡습성을 향상시킨다.
다음에, 도 1e에 나타낸 바와 같이, 다공성 SiO2막(106) 상에 SiO2막(107)을 형성한다. 이 SiO2막(107)은 상압 CVD법에 의해 형성되고, O2, O3및 TEOS를 함유하는 소오스 가스이 사용된다. 이 때에 TEOS의 유량은 25sccm이고, O2의 유량은 7.5slm이다. 또한, O2는 유량비로 O3의 5~6%를 함유하고, 이는 TEOS를 산화하기에 충분한 농도이다. 따라서 상술한 바와 같이, SiO2막(107)은 유동성을 갖는다. 따라서, SiO2막(107)은 그의 아래에 형성된 SiO2막(106)의 표면에 요철이 형성되어 있더라도, 거의 매끈한 표면 형상을 갖도록 형성되어, 자기 평탄화가 행하여진다.
또한, 유량비 1~3의 N2(질소)가 소오스 가스에 함유된다. 실리콘 기판(101)의 온도는 SiO2막(107)의 형성 동안 400℃로 유지된다.
이어서, 도 1f에 나타낸 바와 같이, SiO2막(107) 및 알루미늄 배선층의 볼록부(103a) 상에 형성된 다공성 SiO2막(106)은 CMP법(화학적 기계 연마법)에 의해 연마되어 평탄화된다. 연마를 수행한 후에, 알루미늄 배선막의 볼록부(103a)에 형성된 SiO2막(105)(하지 절연막)과, SiO2막(105)의 오목부에 형성된 다공성 SiO2막 (106)이 표면에 노출된다.
다음에, 도 1g에 나타낸 바와 같이, 알루미늄 배선층의 볼록부(103a)에 형성된 SiO2막(105)(하지 절연막)의 상부, 및 알루미늄 배선층의 오목부(103b)에 형성된 SiO2막(106)의 상부에 SiO2막(108)(피복 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(108)은 플라즈마 강화 CVD법에 의해 형성된다. 이 때에 사용되는 소오스 가스은 SiH4와 N2O이고, SiO2막(108)의 막 두께는 100nm이다.
이상과 같이 형성된 SiO2막(105)(하지 절연막), SiO2막(106), SiO2막(108)(피복 절연막)에 의해 피형성체(104)상에 내열성 및 내흡습성이 양호한 저유전율의 층간 절연막이 형성되게 된다. 즉, SiO2막(106)은 다공성이고, 그의 유전률은 2.0~3.0으로된다. 이 값은 통상의 SiO2막의 비유전율 4.0보다 작다. 또한 다공성 SiO2막(106) 상에 통상의 SiO2막(108)이 형성되므로, SiO2막(106)으로 수분이 침입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, SiO2막(106)에 대한 H 플라즈마 처리는 SiO2막 (106)의 내흡습성을 향상시킬 수 있다.
또한, SiO2막(105,106,108)은 주로 Si와 O로 되어 있으므로 종래의 유기 절연막에 비해 양호한 내열성을 가진다.
(제 2 실시예)
도 2a~ 도 2l은 제 2 실시예를 각각 나타내는 단면도이다.
제 2 실시예는 제 1 실시예를 다마신 공정에 적용한 경우이다.
먼저, 도2a에 나타낸 바와 같이, 실리콘 기판(201) 상에 BPSG (borophospho silicate glass)막(202)을 형성하고, 그 위에 알루미늄층을 형성한 후에, 알루미늄층을 패터닝하여 알루미늄 배선층(203)을 형성한다. 이에 의해 실리콘 기판(201), BPSG막(202) 및 알루미늄 배선층(203)이 피형성체(204)를 구성한다.
이어서, 도 2b에 나타낸 바와 같이, 알루미늄 배선층(203) 상에 두께 100nm의 SiO2막(205)(하지 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(205)은 소오스 가스으로서 SiH4와 N2O를 사용한 플라즈마 강화 CVD법(플라즈마 강화 화학 기상 증착법)에 의해 형성한다.
다음에, 도 2c에 나타낸 바와 같이, SiO2막(205)(하지 절연막)상에 두께 500nm의 SiO2막(206)을 형성한다. 이 SiO2막(206)은 소오스 가스이 O2와 저농도의 O3및 TEOS(테트라에톡시 실란)를 포함하는 상압 CVD법(상압 화학 기상 증착법)에 의해 형성한다.
여기서, 저농도의 O3은 TEOS를 산화하는 데에 필요한 것보다 농도가 낮은 O3을 의미한다. 구체적으로는 TEOS의 유량이 25sccm이고 O2의 유량이 7.5slm이면, 유량비로서 1~2%의 O3이 O2에 포함되어 있다.
제 1 실시예에서 설명한 바와 같이, 저농도의 O3이 사용되므로, SiO2막(206)에는 다공성이 제공된다. 따라서 많은 보이드가 SiO2막(206)에 형성된다.
또한, 유량 1~3slm의 N2(질소)가 소오스 가스에 함유되어 있다. SiO2막(206)의 형성 동안 실리콘 기판(201)의 온도는 400℃로 유지된다.
다음에, 도 2d에 나타낸 바와 같이, 다공성 SiO2막(106)에 대하여 H(수소) 플라즈마 처리가 행하여 진다. H(수소) 플라즈마 처리에 대한 공정 조건은 제 1실시예에서 설명한 것과 동일하다. 즉, 600sccm의 H2를 쳄버(도시 생략)에 공급하고, RF 전력을 쳄버 내에서 서로 대향하는 상부 및 하부 전극(도시 생략)에 인가하여 행하여 진다. 그리고, RF 전력은 상부 전극에 13.56MHz의 주파수와 50W의 전력으로 인가된다. 한편, 하부 전극에 인가되는 RF 전력은 400kHz의 주파수와 400W의 전력을 갖는다. 또한 H 플라즈마 처리가 진행되는 동안, 쳄버 내의 압력은 0.1 ~0.2Torr이고, 실리콘 기판(201)의 온도는 400℃로 유지된다. 또한 H 플라즈마 처리 시간은 60초이다.
H 플라즈마 처리에 의해 보이드의 표면의 Si-O 결합중의 Si의 현수 결합이 Si-H 결합으로 치환된다. 따라서, OH기와 물은 Si의 현수 결합에 결합하는 것이 어렵게 되므로 막의 내흡습성이 향상된다.
이어서, 도 2e에 나타낸 바와 같이, SiO2막(205, 206)을 패터닝하여 다마신 트렌치(trench)(207)를 형성한다. 이 다마신 트렌치(207)는 SiO2막(206) 아래에 형성되어 있는 알루미늄 배선층(203)까지 도달한다.
다음에, 도 2f에 나타낸 바와 같이, SiO2막(206) 상부와 다마신 트렌치(207)의 측부 및 저부에 SiO2막(208)(제2 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(208)은 플라즈마 강화 CVD법에 의해 형성되고, SiH4와 N2O가 소오스 가스으로서 사용된다. 다마신 트렌치(207)의 측부에 형성된 SiO2막(208)에 의해, 나중에 다마신 트렌치(207)의 내부에 매립된 동(Cu)이 SiO2막(206)의 내부로 확산하는 것을 방지할 수 있다.
이어서, 도 2g에 나타낸 바와 같이, SiO2막(208)(제2 절연막)을 이방적으로 에칭한다. 이에 의해, 다마신 트렌치(207)의 저부에 형성된 SiO2막(208)은 제거되지만, 다마신 트렌치(207)의 측부에 형성된 SiO2막(208)은 제거되지 않는다. 잔류하는 SiO2막(208)은 다마신 트렌치(207)의 측부에 측벽 절연막을 형성한다.
이어서, 도 2h에 나타낸 바와 같이, 다마신 트렌치(207)의 내부 및 SiO2막 (206) 상에 Cu(동)도금막(209)이 형성된다. 다마신 트렌치(207)의 내부에 형성된 Cu 도금막(209)은 Cu 배선으로서 사용된다.
다음에, 도 2i에 나타낸 바와 같이, SiO2막(206) 상에 형성된 Cu도금막(209)을 CMP법(화학적 기계 연마법)에 의해 연마하여 제거한다. 이에 따라 Cu도금막은 다마신 트렌치(207)의 내부에만 남는다.
이어서, 도 2j에 나타낸 바와 같이, 다마신 트렌치(207) 상에 배리어 금속 TiN막(210)을 형성한다. 이에 따라 다마신 트렌치(207)의 내부의 Cu가 나중에 다마신 트렌치(207) 상에 형성된 SiO2막으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 도 2k에 나타낸 바와 같이, 패터닝에 의해 다마신 트렌치(207) 상에 형성된 TiN막(210a)을 남기고 다른 부분에 형성된 TiN막(210)은 에칭하여 제거한다.
이어서, 도 2l에 나타낸 바와 같이, SiO2막(206)과 TiN막(210a) 상에 SiO2막(211)(피복 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(211)은 SiH4와 N2O가 소오스 가스으로 사용되는 플라즈마 강화 CVD법으로 형성한다.
상기 공정에 의해, 피형성체(204)상에 내열성 및 내흡습성이 양호한 저유전율의 층간 절연막이 형성되게 된다. 즉 SiO2막(206)은 다공성을 가지고 있고, 그의 비유전률은 2.0~3.0이다. 그리고, 이 값은 통상의 SiO2막의 비유전율 4.0보다 작은 값이다. 또, 다공성 SiO2막(206) 상에 통상의 SiO2막(211)(피복 절연막)이 형성되어 있으므로, SiO2막(206)으로 수분이 침입하는 것을 방지할 수 있다.
또한, SiO2막(206)에 대한 H 플라즈마 처리는 SiO2막(206)의 내흡습성을 향상시킬 수 있다.
또한, SiO2막(206,211)은 주로 Si와 O로 되어 있으므로 종래의 유기 절연막에 비해 양호한 내열성을 가진다.
(제 3 실시예)
도 3a~ 도 3i는 제 3실시예를 각각 나타내는 단면도이다.
먼저, 도 3a에 나타낸 바와 같이, 실리콘 기판(301) 상에 BPSG (borophospho silicate glass)막(302)을 형성한다. 그리고, BPSG막(302) 상에 알루미늄층을 형성한 후에, 알루미늄층을 패터닝하여 알루미늄 배선층(303)을 형성한다. 이와 같이 형성된 실리콘 기판(301), BPSG막(302) 및 알루미늄 배선층(303)이 피형성체 (304)를 구성한다.
이어서, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 피형성체(304) 상에 SiO2막(305)(하지 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(305)은 SiH4와 N2O가 소오스 가스으로 사용하는 플라즈마 강화 CVD법(플라즈마 강화 화학 기상 증착법)으로 형성되고, SiO2막(305)의 막 두께는 100nm이다.
이어서, 도 3c에 나타낸 바와 같이, SiO2막(305)(하지 절연막)에 대하여 Cl(염소) 플라즈마 처리가 행하여 진다.
이 Cl 플라즈마 처리는 600sccm의 Cl2를 쳄버(도시 생략)에 공급하고, RF 전력을 쳄버 내에서 서로 대향하는 상부 및 하부 전극(도시 생략)에 인가하여 수행된다. RF 전력은 상부 전극에 13.56MHz의 주파수와 100W의 전력으로 인가된다. 한편, 하부 전극에 인가되는 RF 전력은 400kHz의 주파수와 400W의 전력을 갖는다. Cl 플라즈마 처리가 진행되는 동안, 쳄버 내의 압력은 0.2Torr이고, 실리콘 기판(301)의 온도는 400℃로 유지된다.
Cl(염소) 플라즈마 처리된 SiO2막(305)(하지 절연막) 상에 두께 500nm의 SiO2막(306)을 형성한다. 이 SiO2막(306)은 소오스 가스이 O2, O3및 TEOS(테트라에톡시 실란)를 함유하는 상압 CVD법(상압 화학 기상 증착법)에 의해 형성된다. TEOS의 유량이 25sccm이고 O2의 유량이 7.5slm이면, 유량비로 4~6%의 O3이 O2에 포함되어 있다. 또한, 유량 1~3slm의 N2(질소)가 소오스 가스에 함유되어 있다. 또한,SiO2막(306)이 형성되는 동안 실리콘 기판(301)의 온도는 400℃로 유지된다.
이 때에 Cl(염소) 원자가 잔류한 표면의 일부에는 SiO2막(306)의 성장이 방지된다. 따라서, 많은 보이드가 SiO2막(306)에 형성된다. 이에 따라 SiO2막(306)에 많은 보이드가 형성되어 다공성이 제공된다.
이어서, 도 3e에 나타낸 바와 같이, 다공성 SiO2막(306)을 H(수소) 플라즈마 처리한다.
H 플라즈마 처리의 공정 조건은 제 1 및 제 2 실시예와 동일하다. 즉, 600sccm의 H2를 쳄버(도시 생략)에 공급하고, RF 전력을 쳄버 내에서 서로 대향하는 상부 및 하부 전극(도시 생략)에 인가하여 수행된다. RF 전력은 상부 전극에 13.56MHz의 주파수와 50W의 전력으로 인가된다. 한편, 하부 전극에 인가되는 RF 전력은 400kHz의 주파수와 400W의 전력을 갖는다.
또한, H 플라즈마 처리가 진행되는 동안, 쳄버 내의 압력은 0.1~0.2Torr이고, 실리콘 기판(101)의 온도는 400℃로 유지된다. 또한, H 플라즈마 처리 시간은 60초이다.
H 플라즈마 처리는 보이드의 표면에서 Si-O 결합의 Si의 현수 결합을 Si-H 결합으로 치환한다. 따라서, Si의 현수 결합에 OH기나 물이 결합하기 어렵게되어 필름의 내흡습성이 향상된다.
이어서, 도 3f에 나타낸 바와 같이, 다공성 SiO2막(306) 상에 SiO2막(307)이형성된다. 이 SiO2막(307)은 플라즈마 강화 CVD법에 의해 형성된다.
다음에, 도 3g에 나타낸 바와 같이, SiO2막(307) 상에 두께가 200nm인 SiO2막 (308)(제 1 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(308)은 상압 CVD법에 의해 형성되고, O2, O3및 TEOS를 함유하는 소오스 가스이 사용된다. 이 때 소오스 가스의 O3의 농도가 통상보다 높으므로, 유동성이 SiO2막(308)에 제공된다. 그 결과, 아래에 형성된 SiO2막(307)의 표면에 요철이 형성되어 있더라도, SiO2막(308)은 거의 매끈한 표면 형상을 갖도록 형성되고, 자체 평탄화가 수행된다.
이 경우, 미리 형성된 SiO2막(307)에 의해 유동성을 갖는 SiO2막(308)이 SiO2막(306)의 보이드로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
이어서, 도 3h에 나타낸 바와 같이, 표면을 평탄화하기 위해서 SiO2막(307) 및 SiO2막( 308)(제 1 절연막)을 에칭한다. 이 에칭은 SiO2막(308)이 완전히 제거되지 않도록 수행한다.
다음에 도 3i에 나타낸 바와 같이, 에칭에 의해 제거되지 않고 남아 있는 SiO2막(306), SiO2막(307) 및 SiO2막(308)(제 1 절연막)의 상부에 SiO2막(309)(피복 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(309)은 플라즈마 강화 CVD법에 의해 형성되고, 그 막 두께는 100nm이다.
이상과 같이 형성된 SiO2막(305)(하지 절연막), SiO2막(306,307), SiO2막 (308)(제 1 절연막) 및 SiO2막(309)(피복 절연막)에 의해, 피형성체(304)상에 저유전률의 내열성 및 내흡습성이 양호한 층간 절연막로 형성되게 된다. 즉, SiO2막 (306)은 다공성이고, 유전률이 2.0~3.0으로 된다. 이 값은 통상의 SiO2막의 4.0보다 작다.
또한, SiO2막(306)에 대한 H 플라즈마 처리는 SiO2막(306)의 내흡습성을 향상시킬 수 있다.
또한, 통상의 SiO2막(307, 308, 309)이 다공성 SiO2막(306) 상에 형성되므로, 습기가 SiO2막(306)으로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
또한, SiO2막(305,306, 307, 308, 309)은 주로 Si와 O로 되어 있으므로 종래의 유기 절연막에 비해 양호한 내열성을 갖는다.
(제 4 실시예)
제 4 실시예는 제 3 실시예를 다마신 공정에 적용한 경우이다.
도 4a~ 도 4n은 제 4 실시예를 각각 나타내는 단면도이다.
먼저, 도 4a에 나타낸 바와 같이, 실리콘 기판(401) 상에 BPSG (borophospho silicate glass)막(402)을 형성한다. BPSG막(402) 상에 알루미늄층을 형성한 후에, 알루미늄층을 패터닝하여 알루미늄 배선층(403)을 형성한다. 실리콘 기판(401), BPSG막(402) 및 알루미늄 배선층(403)이 피형성체(404)를 구성한다.
이어서, 도 4b에 나타낸 바와 같이, 알루미늄 배선층(403) 상에 두께 100nm의 SiO2막(405)(하지 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(405)은 SiH4와 N2O가 소오스 가스으로 사용되는 플라즈마 강화 CVD법(플라즈마 강화 화학 기상 증착법)으로 형성되고, 다음에 도 4c에 나타낸 바와 같이, SiO2막(405)(하지 절연막)을 Cl(염소) 플라즈마 처리한다.
이 Cl 플라즈마 처리는 600sccm의 Cl2를 쳄버(도시 생략)에 공급하고, RF 전력을 쳄버 내에서 서로 대향하는 상부 및 하부 전극(도시 생략)에 인가하여 수행된다. RF 전력은 상부 전극에 13.56MHz의 주파수와 100W의 전력으로 인가된다. 한편, 하부 전극에 인가되는 RF 전력은 400kHz의 주파수와 400W의 전력을 갖는다. Cl 플라즈마 처리가 진행되는 동안, 쳄버 내의 압력은 0.2Torr이고, 실리콘 기판 (401)의 온도는 400℃로 유지된다.
Cl(염소) 플라즈마 처리된 SiO2막(405)(하지 절연막) 상에 두께 500nm의 SiO2막(406)을 형성한다. 이 SiO2막(406)은 소오스 가스이 O2, O3및 TEOS(테트라에톡시 실란)를 포함하는 상압 CVD법(상압 화학 기상 증착법)에 의해 형성된다. TEOS의 유량이 25sccm이고 O2의 유량이 7.5slm이면, 유량비로 4~6%의 O3이 O2에 포함되어 있다. 또한, 유량 1~3slm의 N2(질소)가 소오스 가스에 함유되어 있다. 또한, SiO2막(406)이 형성되는 동안 실리콘 기판(401)의 온도는 400℃로 유지된다.
이 때에 Cl(염소) 원자가 잔류한 SiO2막(405)의 표면의 일부에는 SiO2막 (406)의 성장이 방지된다. 그 결과 SiO2막(406)에 많은 보이드가 형성되어, SiO2막(406)은 다공성을 갖게 된다.
이어서, 도 4e에 나타낸 바와 같이, 다공성 SiO2막(406)에 H(수소) 플라즈마 처리를 행한다.
H 플라즈마 처리의 공정 조건은 제 1 및 제 3 실시예와 동일하다. 즉 600sccm의 H2를 쳄버(도시 생략)에 공급하고, RF 전력을 쳄버 내에서 서로 대향하는 상부 및 하부 전극(도시 생략)에 인가하여 수행된다. RF 전력은 상부 전극에 13.56MHz의 주파수와 50W의 전력으로 인가된다. 한편, 하부 전극에 인가되는 RF 전력은 400kHz의 주파수와 400W의 전력을 갖는다. 또한 H 플라즈마 처리가 진행되는 동안, 쳄버 내의 압력은 0.1~0.2Torr이고, 실리콘 기판(101)의 온도는 400℃로 유지된다. 또한, H 플라즈마 처리 시간은 60초이다.
H 플라즈마 처리는 보이드의 표면의 Si-O 결합중의 Si의 현수 결합을 Si-H 결합으로 치환한다. 따라서, OH기와 물이 Si의 현수 결합에 하는 것이 어렵도록 만들어짐으로써 필름의 내흡습성을 향상시킨다.
이어서, 도 4f에 나타낸 바와 같이, 다공성 SiO2막(406) 상에 SiO2막(407)을 형성한다. 이 SiO2막(407)은 플라즈마 강화 CVD법에 의해 형성되고, SiH4와 N2O가 소오스 가스으로서 사용된다. 이 SiO2막(407)에 의해 SiO2막(407) 상에 나중에 형성되는 Cu 도금막의 Cu가 다공성 SiO2막(406)으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.
이어서, 도 4g에 나타낸 바와 같이, SiO2막(405)(하지 절연막), SiO2막(406, 407)을 패터닝하여 다마신 트렌치(408)를 형성한다. 이 다마신 트렌치(408)는 SiO2막(405) 아래에 형성되어 있는 알루미늄 배선층(403)에 도달한다.
다음에, 도 4h에 나타낸 바와 같이, SiO2막(407)의 상부 및 다마신 트렌치 (408)의 측부와 저부에 SiO2막(409)(제 2 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(409)은 플라즈마 강화 CVD법에 의해 형성된다. 다마신 트렌치(408)의 측부에 형성된 SiO2막(409)에 의해, 다마신 트렌치(408)에 나중에 매립된 Cu가 다공성 SiO2막(406)에 확산되는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 도 4i에 나타낸 바와 같이, SiO2막(409)(제 2 절연막)을 이방성 에칭한다. 그 결과 SiO2막(409)은 다마신 트렌치(408)의 측부에 형성된 것을 제외한 나머지는 제거되어, 알루미늄 배선층(403)에 도달하는 콘택홀이 다마신 트렌치 (408)의 저부에 형성된다. 그리고 다마신 트렌치(408)의 측부에 잔류하는 SiO2막 (409)은 측벽 절연막을 형성한다. SiO2막(407)은 에칭으로 제거되지 않고 다공성 SiO2막(406) 상에 남는다.
이어서, 도 4j에 나타낸 바와 같이, 다마신 트렌치(408)의 내부 및 SiO2막(407)상에 Cu도금막(410)을 형성한다. 다마신 트렌치(408)에 형성된 Cu도금막(410)이 Cu 배선층으로서 사용된다.
다음에, 도 4k에 나타낸 바와 같이, SiO2막(407) 상에 형성된 Cu도금막(410)이 CMP법에 의해 연마되어 제거된다. 그 결과 Cu도금막(410)은 다마신 트렌치(408)에만 잔류한다.
이어서, 도 4l에 나타낸 바와 같이, 다마신 트렌치(408) 상에 배리어 금속 TiN막(411)을 형성한다. 그 결과, 다마신 트렌치(408) 내부의 Cu가 나중에 다마신 트렌치(408) 상에 형성된 SiO2막으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.
도 4m에 나타낸 바와 같이, 패터닝에 의해 다마신 트렌치(408) 상에 형성된 TiN막(411a)을 남기고 다른 부분에 형성된 TiN막(411)을 에칭하여 제거한다.
이어서, 도 4n에 나타낸 바와 같이, SiO2막(407)과 TiN막(411a) 상에 SiO2막 (412)(피복 절연막)을 형성한다. 이 SiO2막(412)은 SiH4와 N2O가 소오스 가스으로서 사용하는 플라즈마 강화 CVD법으로 형성된다. 이상에 의해, 피형성체(404)상에 저유전률의 내열성 및 내흡습성이 양호한 층간 절연막이 형성되게 된다. 즉, SiO2막(406)은 다공성을 가지고 있고, 그의 유전률이 2.0~3.0으로된다. 이 값은 통상의 SiO2막의 4.0보다 작다.
또한, SiO2막(406)에 대한 H 플라즈마 처리는 SiO2막(406)의 내흡습성을 향상시킬 수 있다.
또한, 다공성 SiO2막(406) 상에 통상의 SiO2막(407)과 SiO2막(412)(피복 절연막)이 형성되므로, SiO2막(406)에 습기가 침투하는 것을 방지할 수 있다.
또한, SiO2막(406,407,412)은 주로 Si와 O로 되어 있으므로 종래의 유기 절연막에 비해 양호한 내열성을 가진다.
본 발명의 반도체 장치의 제조방법에 의하면, 첫째, 다공성 SiO2막이 피형성체(object to be formed) 상에 형성된다. 이 다공성 SiO2막은 TEOS(테트라에톡시 실란)와 O3을 함유하는 소오스 가스를 사용하는데, O3의 농도는 TEOS를 산화하는 데 필요한 농도보다 낮다. 따라서 많은 보이드가 막에 형성된다. 환언하면, 이와 같이 해서 SiO2막에 다공성이 제공된다.
따라서 다공성 SiO2막은 다공성이 없는 통상의 SiO2막보다 유전률이 낮다
또한, SiO2막이 다공성 SiO2막 상에 형성된다. O3의 농도가 TEOS를 산화하기에 충분하도록 TEOS와 O3을 함유하는 소오스 가스를 사용하는 화학 기상 증착법으로 SiO2막이 형성된다. 따라서, 이와 같이 해서 형성된 SiO2막은 CH기와 OH기를 포함하지 않는 고밀도 SiO2막이 된다.
따라서, 다공성 SiO2막 상에 형성된 SiO2막이 고밀도이므로, 다공성 SiO2막으로 습기가 침투하는 것을 막을 수 있어, 양호한 내습성을 갖는 층간 절연막이 형성될 수 있다.
또한, 이들 SiO2막이 주로 Si와 O로 되어 있으므로, 종래 기술의 유기 절연막에 비해서 양호한 내열성을 나타낼 것으로 기대된다.
둘째, 본 발명의 반도체 장치의 제조방법에 의하면, 피형성체를 Cl(염소) 플라즈마 처리한다. 그 결과 Cl(염소) 원자가 피형성체의 표면의 일부에 잔류한다. 이어서, 소오스 가스으로서 TEOS와 O3을 포함하는 화학 기상 증착법에 의해 피형성체 상에 다공성 SiO2막이 형성된다. 이 때, Cl(염소) 원자가 잔류한 표면의 일부에는 SiO2막의 성장이 방지된다. 그 결과 많은 보이드가 SiO2막에 형성된다. 환언하면, 이와 같이 해서 형성된 SiO2막에 다공성이 제공된다.
따라서, SiO2막은 다공성이 없는 통상의 SiO2막보다 유전률이 낮다.
또한, 이들 SiO2막이 주로 Si와 O로 되어 있으므로, 종래 기술의 유기 절연막에 비해서 양호한 내열성을 나타낼 것으로 기대된다.
셋째, 본 발명의 반도체 장치의 방법에 의하면, 피형성체 상에 형성되어 있는 다공성 SiO2막 상에 제 1 절연막을 형성하고, 피형성체를 Cl(염소) 플라즈마 처리한다. 제 1 절연막이 에칭되어 평탄화된 후에 피복 절연막이 형성된다.
환언하면, 피복 절연막에 의해 다공성 SiO2막으로 습기가 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서 표면이 평평하고 내흡습성 및 내열성이 양호한 층간 절연막을 형성할 수 있다.
또한, 상기 다공성 SiO2막의 형성 방법은 다마신(damascene) 공정에 적용될 수 있다. 다마신 공정에 의하면, 열 저항이 작은 Cu(동) 배선층이 형성될 수 있다. Cu(동) 배선층을 상기 다공성 SiO2막에 결합함으로써 배선의 기생 정전 용량이 작고 데이터 처리 속도가 빠른 반도체 장치를 제공할 수 있다.
넷째, 본 발명의 반도체 장치의 제조방법에 의하면, 상기 다공성 SiO2막의 형성 후에 H(수소) 플라즈마 처리가 수행된다. 따라서 보이드의 표면의 Si-O 결합에서 Si의 현수 결합(dangling bond)이 Si-H 결합으로 치환된다.
따라서, 보이드의 표면으로부터의 습기의 침투가 방지되고, 양호한 내흡습성을 갖는 층간 절연막을 형성할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 양호한 내흡습성과 내열성을 갖는 저유전률 층간 절연막을 구비하는 반도체 장치를 제공할 수 있다.

Claims (8)

  1. TEOS(테트라에톡시 실란)와 상기 TEOS의 산화에 필요한 농도보다 낮은 농도의 O3을 소오스 가스에 함유하는 화학 기상 증착법에 의해 피형성체 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와,
    상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하는 다마신 트렌치를 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와,
    상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  2. 피형성체 상에 하지 절연막을 형성하는 단계와,
    TEOS(테트라에톡시 실란)와 상기 TEOS의 산화에 필요한 농도보다 낮은 농도의 O3을 소오스 가스에 함유하는 화학 기상 증착법에 의해 상기 하지 절연막 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와,
    상기 하지 절연막과 상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하는 다마신 트랜치를 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와,
    상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  3. 피형성체를 Cl(염소) 플라즈마 처리하는 단계와,
    TEOS(테트라에톡시 실란)와 O3을 함유하는 소오스 가스를 사용하는 화학 기상 증착법에 의해 상기 피형성체 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와,
    상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하는 다마신 트랜치를 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와,
    상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  4. 피형성체 상에 하지 절연막을 형성하는 단계와,
    상기 하지 절연막을 Cl(염소) 플라즈마 처리하는 단계와,
    TEOS(테트라에톡시 실란)와 O3을 함유하는 소오스 가스를 사용하는 화학 기상 증착법에 의해 상기 하지 절연막 상에 다공성 SiO2막을 형성하는 단계와,
    상기 하지 절연막과 상기 다공성 SiO2막에 상기 피형성체에 도달하도록 다마신 트렌치를 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치의 측부에 측벽 절연막을 형성하는 단계와,
    상기 다마신 트렌치 내부에 금속막을 매립하는 단계와,
    상기 금속막 상에 배리어 금속막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측벽 절연막은 상기 다마신 트렌치를 형성한 후, 상기 다공성 SiO2막 위와 상기 다마신 트렌치의 측부 및 저부에 제 2절연막을 형성하고, 상기 제 2절연막을 상기 다마신 트렌치의 측부에 형성된 제 2절연막의 부분이 남고, 상기 다마신 트렌치의 저부에서 상기 피형성체의 표면이 노출되도록 이방성 에칭하는 것에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  6. 제 1항 내지 제 4항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 배리어 금속막을 형성한 후, 상기 다공성 SiO2막 및 상기 배리어 금속막 상에 피복 절연막을 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  7. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 다공성 SiO2막을 형성한 후, 상기 다공성 SiO2막을 H(수소) 플라즈마 처리하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
  8. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조된 반도체 장치.
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