KR20010050231A - 진공발생용 유니트 - Google Patents

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KR20010050231A
KR20010050231A KR1020000050126A KR20000050126A KR20010050231A KR 20010050231 A KR20010050231 A KR 20010050231A KR 1020000050126 A KR1020000050126 A KR 1020000050126A KR 20000050126 A KR20000050126 A KR 20000050126A KR 20010050231 A KR20010050231 A KR 20010050231A
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다까다 요시유끼
에스엠씨 가부시키 가이샤
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    • F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
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    • F04F5/48—Control
    • F04F5/52—Control of evacuating pumps

Abstract

압축공기공급포트(36)에 연통하는 제1 통로(48), 진공포트(62)에 연통하는 제6 통로(64), 전자밸브용 배기포트(38)에 연통하는 제8 통로(116)을 각각 실질적으로 평행하게 배설하고, 본체부(20)에 압력유체공급용 전자밸브(22), 진공파괴용 전자밸브(24), 유량조정나사(114), 흡인필터(94) 및 진공압력스위치(96)를 순서대로 직렬로 배설한다.

Description

진공발생용 유니트 {Vacuum-Generating Unit}
본 발명은 예를 들어, 흡착용 패드 등의 흡착수단에 부압을 공급할 수 있는 진공발생용 유니트에 관한 것이다.
종래부터 흡착용 패드에 부압을 공급하는 수단으로서 진공발생용 유니트가 이용되고 있다. 이러한 진공발생용 유니트는 일반적으로 부압을 발생시키는데 사용되는 이젝터, 튜브를 통해 흡착용 패드 등의 흡착수단에 연통접속되는 진공포트, 상기 이젝터 및 진공포트에 압축공기를 공급하거나 또는 차단하는 압력유체공급용 전자밸브 및 진공파괴용 전자밸브가 설치된 밸브기구, 및 상기 진공포트에 발생하는 부압을 검출하는 진공스위치부로 구성된다.
이와 같은 종래 기술에 관한 진공발생용 유니트의 개략 동작에 대해 설명한다.
밸브기구부를 통해 이젝터에 압축공기를 공급하여 부압을 발생시킨다. 상기 이젝터에 의해 발생된 부압은 진공포트에 접속된 튜브를 통해 흡착용 패드에 공급되고, 흡착용 패드에 발생된 부압작용에 의해 공작물이 흡착된다. 이와 같이 하여 흡착용 패드에 흡착유지된 공작물은 로보트아암의 변위작용하에 소정의 위치까지 반송된다.
이어서 흡착용 패드에 의해 지지된 공작물을 이탈시키는 경우, 압축공기를 밸브기기구부에서 진공포트로 연통하는 통로를 통해 흡착용 패드로 이송됨에 따라 상기 흡착용 패드의 부압상태가 해제된다. 그 결과, 공작물이 흡착용 패드에서 떨어져 소정 위치로 반송된다.
종래부터 본체부의 긴쪽 방향과 실질적으로 직교하는 폭방향의 크기를 감축함에 따라 가능한 한 소형화 및 경량화하고자 하는 요청이 있다. 예를 들어 복수개의 진공발생 유니트를 연설하여 매니폴드화한 경우, 본체부의 폭방향의 크기를 감축함에 따라 상당히 소형화 및 경량화된 전자밸브 매니폴드가 얻어지고, 설치공간을 유효하게 이용할 수 있게 된다.
본 발명은 상기의 요청을 감안하여 된 것으로, 본체부의 긴쪽방향과 실질적으로 직교하는 폭방향의 크기를 감축하여 소형화 및 경량화할 수 있는 진공발생용 유니트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 진공발생 유니트의 축방향을 따른 개략 종단면도,
도 2는 도 1의 화살표 A방향에서 본 사시도,
도 3은 도 1의 화살표 B방향에서 본 사시도,
도 4는 도 1의 진공발생용 유니트를 구성하는 제1 ON/OFF 밸브의 확대 종단면도,
도 5는 도 4의 제1 ON/OFF 밸브의 밸브플러그가 오른쪽 방향으로 변위하여 온상태로 될 때의 동작설명도,
도 6은 진공압력스위치를 구성하는 제1 케이싱과 제2 케이싱의 체결수단을 나타낸 분해사시도,
도 7은 도 1에 도시된 진공발생용 유니트의 회로구성도.
(부호의 설명)
10: 진공발생용 유니트 12, 14, 16, 18: 블록부재
20: 본체부 22: 압력유체공급용 전자밸브 24: 진공파괴용 전자밸브
28: 노즐 30: 디퓨저 32: 이젝터 36: 압력공기공급포트
38: 전자밸브배기포트 40, 44: 챔버 42, 46: ON/OFF 밸브
48, 50, 52, 54, 56, 64, 70, 98, 116: 통로 58, 60: 파일로트통로
62: 진공포트 72: 밸브플러그 94: 흡인필터 96: 진공압력스위치
102, 104: 케이싱 110: 돌기부 112: 체결용 홀부
도 1에서 참조번호 10은 본 발명의 실시예에 의한 진공발생용 유니트를 나타낸다.
상기 진공발생유니트(10)는 긴쪽방향을 따라 직렬로 연결된 제1 블록부재(1 2), 제2 블록부재(14), 제3 블록부재(16) 및 제4 블록부재(18)로 된 본체부(20); 상기 본체부(20)의 상면부에 배설된 압력유체공급용 전자밸브(22) 및 진공파괴용 전자밸브(24)로 된 전자밸브(26); 상기 본체부(20)의 내부에 배설되고, 노즐(28) 및 디퓨저(30)를 갖는 이젝터부(32); 및 상기 제4 블록부재(18)에 장착되는 공작물의 흡착상태를 확인하는 검출부(34)로 구성된다. 상기 노즐(28)은 제2 블록부재(14 )와 일체로 형성될 수도 있다. 또한 상기 압력유체공급용 전자밸브(22) 및 진공파괴용 전자밸브(24)는 각각 동일한 구성요소로 되어 있으며, 노르말크로스타입으로 설정되어 있다. 또 상기 압력유체공급용 전자밸브(22) 및 진공파괴용 전자밸브(24)는 노르말크로스타입으로 한정되는 것은 아니며, 미도시된 노르말오픈타입의 전자밸브, 자기지지형 전자밸브 또는 타이머부착 전자밸브를 사용할 수도 있다.
상기 제1 내지 제4 블록부재(12, 14, 16, 18)은 각각 실질적으로 동일한 크기의 폭을 가지며, 편평한 얇은 벽구조로 형성되어 있다(도 2 및 도 3 참조). 제1 블록부재(12)의 일측면에는 이젝터부(32)에 압축공기를 공급하기 위한 압축공기공급포트(압력유체공급포트: 36)가 형성되고, 상기 압축공기공급포트(36)에 근접하는 상부측에는 전자밸브용 배기포트(38)가 형성되어 있다. 또 제1 블록부재(12)의 챔버(40) 내에는 파이로트압의 공급작용하에 오프상태에서 온상태로 절환되는 제1 ON/OFF 밸브(42)가 배설되고, 제2 블록부재(14)의 챔버(44) 내에는 파이로트압의 공급작용하에 오프상태에서 온상태로 절환하는 제2 ON/OFF 밸브(46)가 배설된다.
압축공기공급포트(36)는 제1 블록부재(12) 및 제2 블록부재(14)의 거의 중앙부를 따라 소정의 길이만큼 연재하는 제1 통로(48)에 연통하고, 상기 제1 통로(48)에서 분지하여 압력유체공급용 전자밸브(22)에 연통하는 제2 통로(50) 및 진공파괴용 전자밸브(24)에 연통하는 제3 통로(52)가 형성되어 있다.
또 상기 제1 통로(48)에서 분지하여 제1 ON/OFF 밸브(42)에 연통하는 제4 통로(54), 및 제2 ON/OFF 밸브(46)에 연통하는 제5 통로(56)가 형성되고, 상기 제4 통로(54) 및 제5 통로(56)를 통해 제1 ON/OFF 밸브(42) 및 제2 ON/OFF 밸브(46)에 각각 압축공기가 공급된다.
압력유체공급용 전자밸브(22)와 제1 ON/OFF 밸브(42)와의 사이에는 상기 압력유체공급용 전자밸브(22)를 작동하여 온상태로 함에 따라 상기 제1 ON/OFF 밸브(42)에 파이로트압을 공급하는 제1 파이로트통로(58)가 형성되고, 진공파괴용 전자밸브(24)와 제2 ON/OFF 밸브(46)와의 사이에는 상기 진공파괴용 전자밸브(24)를 작동하여 온상태로 함에 따라 상기 제2 ON/OFF 밸브(46)에 파이로트압을 공급하는 제2 파이로트통로(60)가 형성되어 있다.
이젝터부(32)를 형성하는 노즐(28)과 디퓨저(30)와의 사이에는 진공포트(62)에 연통되고, 제1 통로(48)와 실질적으로 평행하게 연재하는 제6 통로(64)가 형성되며, 상기 이젝터부(32)에서 발생하는 부압은 튜브 등을 통해 접속된 미도시된 흡착용패드 등의 흡착수단에 공급된다. 디퓨저(30)는 제3 블록부재(16)에 형성된 배기포트(66)에 연통되고, 이젝터부(32)에 공급된 압축공기는 공기배기포트(배출포트: 66)에 연통하는 사이렌서(silencer; 68: 도 7 참조)를 통해 외부로 배기된다.
제2 ON/OFF 밸브(46)에는 제6 통로(64)에 연통되며, 실질적으로 평행하게 연재하는 제7 통로(70)가 접속되고, 상기 제2 ON/OFF 밸브(46)가 온상태로 됨에 따라 제7 통로(70)를 통해 압축공기가 공급된다. 따라서, 진공포트(62)에 연통되는 제6 통로(64)에 압축공기(정압)가 공급됨에 따라 부압상태가 해제된다.
제1 ON/OFF 밸브(42) 및 제2 ON/OFF 밸브(46)는 각각 동일한 구성요소로 되어 있고, 도 4에 도시된 바와 같이, 실질적으로 수평방향으로 소정의 거리만큼 변위자재하게 설치된 밸브플러그(72)와, 상기 밸브플러그(72)를 둘러싸도록 원통상으로 형성되고 상기 챔버(40) 내에 고정된 리테이너(retainer: 74)를 갖는다. 상기 밸브플러그(72)의 일측면의 외주면에는 상기 리테이너(74)의 착지부(76)에 착지되어 챔버(40)를 폐쇄하는 제1 링부재(78)가 장착되고, 상기 밸브플러그(72)의 타단측의 외주면에는 리테이너(74)의 내벽면을 따라 섭동하는 제2 링부재(80)가 장착되어 있다. 상기 제1 및 제2 링부재(78, 80)는 천연고무 또는 합성고무 등의 탄성재료로 형성되어 있다.
또 상기 밸브플러그(72)에는 상기 밸브플러그(72)의 거의 중앙부에서 제1 링부재(78)까지 연재되는 계단형 환상홈(82)이 형성되고, 리테이너(74)의 계단부(84)에 당접함에 따라 밸브플러그(72)의 오른쪽방향으로 변위량을 규제하는 스토퍼부(8 6)가 형성되어 있다. 상기 리테이너(74)에는 계단형 환상홈(82)에 연통하는 홀부(8 8)가 형성되어 있다. 또한 참조번호 90은 패킹을 나타내고, 참조번호 92는 O링을 나타낸다.
상기 제4 통로(54)을 통해 공급되는 압축공기의 작용하에 밸브플러그(72)가 도 4에 도시된 바와 같이, 왼쪽방향으로 변위하고, 제1 링부재(78)가 리테이너(74)의 착지부(76)에 착지함에 따라 챔버(40)가 폐쇄됨으로써 제1 ON/OFF 밸브(42)가 오프상태로 된다. 한편, 압력유체공급용 전자밸브(22)의 작용하에 제1 파이로트통로(58)를 통해 공급되는 파이로트압에 의해 밸브플러그(72)가 도 5에 도시된 바와 같이, 오른쪽 방향으로 변위하고, 제1 링부재(78)가 착지부(76)로부터 떨어짐에 따라 제1 ON/OFF 밸브(42)가 온상태로 된다. 이 경우, 제4 통로(54)를 통해 공급된 압축공기는 도 5의 화살표방향과 같이 계단형 환상홈(82) 및 제1 링부재(78)와 착지부(76)와의 사이의 공간을 경유하여 이젝터부(32)로 도출된다.
따라서 제1 ON/OFF 밸브(42)가 오프상태인 경우, 이젝터부(32)에 대한 압축공기의 공급이 정지되고, 상기 제1 ON/OFF 밸브(42)가 온상태로 됨에 따라 압축공기가 이젝터부(32)로 공급된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 검출부(34)는 부압작용하에 진공포트(62)로부터 흡인된 공기중에 포함되어 있는 먼지등을 제거하기 위한 흡인필터(94)와, 내부에 미도시된 반도체압력센서가 설치되고, 미리 설정된 문턱값에 도달할 때 검출신호를 도출하는 진공압력스위치(96)를 포함한다. 상기 흡인필터(94) 및 진공압력스위치(9 6)는 각각 제4 블록부재(18)와 기밀하게 연결된다.
상기 진공압력스위치(96)는 제6 통로(64)에 연통하는 통로(98)를 통해 흡착용 패드에 공급되는 부압을 도입하고, 상기 도입된 압력유체의 부압을 미도시된 반도체압력센서에 의해 검출함에 따라 공작물의 흡착상태를 확인하는 기능을 한다. 또한 상기 통로(98) 중에 미도시된 반도체압력센서를 보호하기 위한 필터(미도시)를 설치하는 것이 바람직하다. 또 진공압력스위치(96)의 조작수단으로는 트리머타입, 또는 업버튼 및 다운버튼을 포함하는 푸쉬타입일 수도 있다.
또 진공압력스위치(96)는 도 6에 도시된 바와 같이, 체결수단(100)을 통해 일체로 연결된 제1 케이싱(102) 및 제2 케이싱(104)과, 상기 제1 케이싱(102) 및 제2 케이싱(104)으로 형성된 내부공간에 배설되는 회로기판(106)과, 커버플레이트( 108)을 갖는다. 상기 체결수단(100)은 제1 케이싱(102)의 개구부 근방의 측벽면에 형성된 다수개의 돌기부(110)와, 제2 케이싱(104)의 측벽면에 형성되고, 상기 돌기부(110)가 삽입되는 체결용 홀부(112)로 구성된다.
또한 도 1에서 참조번호 114는 제2 ON/OFF 밸브(46)가 온상태로됨에 따라 제7 통로(70)를 유통하는 진공파괴용 압력유체의 유량을 조정하는 유량조정나사를 나타내고, 참조번호 116은 압력유체공급용 전자밸브(22) 및 진공파괴용 전자밸브(2 4)와 전자밸브용 배기포트(38)를 각각 연통시키는 제8 통로를 나타낸다. 상기 제8 통로(116)는 제1 통로(48)와 실질적으로 평행하도록 배치되어 있다.
본 발명의 실시예에 따른 진공발생용 유니트(10)는 기본적으로 이상과 같이 구성된 것으로, 그 작동 및 작용효과에 대해 도 7에 도시된 회로구성도에 기초하여 설명한다. 또한 기초상태에서는 압력유체공급용 전자밸브(22) 및 진공파괴용 전자밸브(24)는 각각 오프상태에 있는 것으로 추정된다.
미도시된 압축공기공급원으로부터 공급된 압축공기는 압축공기공급포트(36)를 통해 제1 통로(48)로 도입된다. 제1 통로(48)에 도입된 압축공기는 상기 제1 통로(48)에 연통하는 제1 ON/OFF 밸브(42)의 챔버(40) 내에 공급되고, 상기 압축공기의 작용하에 밸브플러그(72)가 도 4에 도시된 바와 같이, 왼쪽방향으로 변위되며, 상기 제1 ON/OFF 밸브(42)가 오프상태로 된다.
이와 같은 상태에서 미도시된 컨트롤러로부터 출력된 온신호에 의해 압력유체공급용 전자밸브(22)가 온상태로 된다. 또한 이 때 진공파괴용 전자밸브(24)는 오프상태 그대로이다. 상기 압력유체공급용 전자밸브(22)가 온상태가 됨에 따라 제1 파이로트통로(58)를 통해 제1 ON/OFF 밸브(42)에 파이로트압이 공급되고, 상기 파이로트압의 압압작용으로 밸브플러그(72)가 오른쪽방향으로 변위하여 제1 ON/OFF 밸브(42)가 온상태로 된다. 상기 제1 ON/OFF 밸브(42)가 온상태가 됨에 따라 제1 통로(48)로 도입된 압축공기는 제1 ON/OFF 밸브(42)를 통과하여 이젝터부(32)로 공급된다.
이젝터부(32)에서는 노즐(28)의 노즐구멍으로부터 디퓨저(30)를 향하여 압축공기가 토출됨에 따라 부압이 발생되고, 이 부압은 제6 통로(64) 및 진공포트(62)에 접속된 튜브를 통해 미도시된 흡착용 패드로 공급된다.
따라서, 미도시된 로보트 아암을 조작함에 따라 흡착용 패드가 공작물에 접촉되고, 부압작용하에 흡착용 패드가 공작물을 흡착하면 부압이 다시 상승하고, 이 부압은 진공압력스위치(96)의 미도시된 반도체압력센서에 의해 검출된다. 상기 반도체압력센서에 의해 검출된 흡착확인신호는 미도시된 컨트롤러로 이송되고, 상기 컨트롤러는 흡착확인신호를 수취함에 따라 흡착용 패드에 의해 공작물이 확실하게 흡착되는 것을 확인한다.
이어서, 공작물이 소정의 거리만큼 이동한 후, 상기 흡착용 패드의 부압을 해제하여 공작물을 소정의 위치로 이탈시키는 경우에 대해 설명한다.
미도시된 컨트롤러는 압력유체공급용 전자밸브(22)에 오프신호를 도입한다. 이 결과, 압력유체공급용 전자밸브(22)가 오프상태로 됨에 따라 제1 ON/OFF 밸브(42)가 오프상태로 되고, 이젝터부(32)에 대한 압축공기의 공급이 정지되며, 진공포트(62)로부터 흡착용 패드에 대한 부압의 공급이 정지된다.
한편, 미도시된 컨트롤러는 진공파괴용 전자밸브(24)에 온신호를 도출하여 상기 진공파괴용 전자밸브(24)를 온상태로 한다. 상기 진공파괴용 전자밸브(24)가 온상태로 됨에 따라 제2 파이로트통로(60)를 통해 제2 ON/OFF 밸브(46)에 파이로트압이 공급되며, 상기 파이로트압의 압압작용하에 밸브플러그(72)가 오른쪽방향으로 변위되고 제2 ON/OFF 밸브(46)가 온상태로 된다. 상기 제2 ON/OFF 밸브(46)가 온상태로 됨에 따라 제1 통로(48)에 도입된 압축공기는 제2 ON/OFF 밸브(46)를 통과하고, 제7 통로(70) 및 제6 통로(64)를 경유하여 진공포트(62)로 공급된다. 이 결과, 압축공기공급포트(36)로부터 공급된 압축공기(정압)는 진공포트(62)를 경유하여 흡착용 패드에 공급되고, 상기 흡착용패드의 공작물에 대한 흡착상태가 해제된다.
공작물이 흡착용 패드로부터 이탈됨에 따라 부압상태로부터 대기압상태로 되고, 상기 대기압을 미도시된 반도체압력센서로 검출하고, 반도체압력센서는 미도시된 컨트롤러에 공작물 이탈신호를 이송한다. 컨트롤러는 상기 공작물이탈신호를 수취함에 따라 흡착용 패드로부터 공작물이 이탈되는지를 확인한다. 이와 같이 하여 흡착용 패드를 확실하게 이탈시킬 수 있다.
본 실시예에서는 압축공기공급포트(36)에 연통하는 제1 통로(48)와, 진공포트(62)에 연통하는 제6 통로(64)와, 전자밸브용 배기포트(38)에 연통하는 제8 통로 (116)를 각각 실질적으로 평행하게 배치하며, 본체부(20)의 하부에 제1 ON/OFF 밸브(42)를 배치하고, 상부측에 제2 ON/OFF 밸브(46)를 각각 제1 통로(48)와 실질적으로 평행하게 배치한다. 또 본 실시예에서는 본체부(20)의 상부에 압력유체공급용 전자밸브(22), 진공파괴용 전자밸브(24), 유량조정나사(114), 흡인필터(94) 및 진공압력스위치(96)를 각각 순차적으로 직렬로 탑재한다.
본 실시예에서는 이와 같은 배치에 따라 본체부(20)의 축방향과 실질적으로 직교하는 폭방향의 크기를 억제하고, 소형화 및 경량화할 수 있다, 따라서 진공발생용 유니트(10)가 설치되는 공간을 유효하게 이용할 수 있다.
또 본 실시예에서는 진공압력스위치(96)의 제1 케이싱(102)과 제2 케이싱(10 4)을 다수개의 돌기부(110)와 체결용 홀부(112)로 된 체결수단에 의해 일체로 연결함에 따라 조립작업을 간편하게 행할 수 있다는 이점이 있다.
또한 본 실시예에 따른 진공발생용 유니트(10)를 다수개 연설하여 매니폴드화할 수도 있다.
본 발명에 의하면 본체부의 축방향과 실질적으로 직교하는 폭방향의 크기를 억제하여 소형화 및 경량화할 수 있다. 따라서 진공발생용 유니트가 설치되는 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다.

Claims (6)

  1. 압력유체공급원에 접속된 압력유체공급포트(36), 흡착수단에 접속되는 진공포트(62), 상기 압력유체공급포트(36)로부터 공급된 압력유체를 외부로 배출하는 배출포트(66)가 설치된 본체부(20)와,
    상기 압력유체공급포트(36)로부터 공급된 압력유체의 작용하에 부압을 발생시키는 이젝터부(32)와,
    상기 본체부(20)에 탑재된 전자밸브부(26) 및 검출부(34)를 구비하며,
    상기 압력유체공급포트(36)에 연통하는 통로(48), 상기 진공포트(62)에 연통하는 통로(64), 전자밸브용 배기포트(38)에 연통하는 통로(116)가 각각 실질적으로 평행하게 배설된 것을 특징으로 하는 진공발생용 유니트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 본체부(20)에는 압력유체공급용 전자밸브(22), 진공파괴용 전자밸브(24), 유량조절나사(114), 필터(94) 및 진공압력스위치(96)를 순서대로 직렬로 배설되는 것을 특징으로 하는 진공발생용 유니트.
  3. 제1항에 있어서, 상기 압력유체공급포트(36)에 연통되는 통로(48)에 대해 제1 ON/OFF 밸브(42) 및 제2 ON/OFF 밸브(46)가 실질적으로 평행하게 배설되고, 상기 제1 ON/OFF 밸브(42)는 압력유체공급용 전자밸브(22)로부터 공급되는 파이로트압의 작용하에 오프상태에서 온상태로 절환되며, 상기 제2 ON/OFF 밸브(46)는 진공파괴용 전자밸브(24)로부터 공급되는 파이로트압의 작용하에 오프상태에서 온상태로 절환되는 것을 특징으로 하는 진공발생용 유니트.
  4. 제2항에 있어서, 상기 진공압력스위치(96)는 제1 케이싱(102)과 제2 케이싱(104)을 가지며, 상기 제1 케이싱(102)에 형성된 다수개의 돌기부(11)를 제2 케이싱(104)에 형성된 다수개의 체결용 홀부(112)에 각각 삽입함으로써 제1 케이싱(102)과 제2 케이싱(104)이 조립되는 것을 특징으로 하는 진공발생용 유니트.
  5. 제1항에 있어서, 상기 본체부(20)는 각각 편평한 얇은 벽구조로 형성되어 있으며 긴쪽방향을 따라 직렬로 연결된 제1 블록(12), 제2 블록(14), 제3 블록(16) 및 제4 블록(18)으로 구성되며, 상기 제1 블록(12), 상기 제2 블록(14), 상기 제3 블록(16) 및 상기 제4 블록(18)은 각각 실질적으로 동일한 크기의 폭(W)을 갖는 것을 특징으로 하는 진공발생용 유니트.
  6. 제3항에 있어서, 상기 제1 ON/OFF 밸브(42) 및 상기 제2 ON/OFF 밸브(46)는, 실질적으로 수평방향으로 소정의 거리만큼 변위자재하게 설치된 밸브플러그(72), 상기 밸브플러그(72)를 둘러싸도록 원통상으로 형성되고 상기 챔버(40) 내에 고정된 리테이너(74), 상기 밸브플러그(72)의 일측면에 설치되고 상기 리테이너(74)의 착지부(76)에 착지되어 상기 챔버(40)를 폐쇄하는 제1 링부재(78), 및 상기 밸브플러그(72)의 타측면에 설치되고 상기 리테이너(74)의 내벽면을 따라 섭동하는 제2 링부재(80)를 포함하는 동일한 구성요소로 되어 있는 것을 특징으로 하는 진공발생용 유니트.
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