JP2005163619A - 真空発生用ユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】装置全体の外径寸法を縮減して小型・軽量化を図ると共に、製造コストを低減することにある。
【解決手段】本体部20は、樹脂製材料からなる第1〜第3ブロック体12、14、16によって構成され、前記第3ブロック体16の内部にノズル孔28とディフューザ孔30とを一体的に形成し、前記ノズル孔28とディフューザ孔30との間に吸引通路64を設ける。
【選択図】図2
【解決手段】本体部20は、樹脂製材料からなる第1〜第3ブロック体12、14、16によって構成され、前記第3ブロック体16の内部にノズル孔28とディフューザ孔30とを一体的に形成し、前記ノズル孔28とディフューザ孔30との間に吸引通路64を設ける。
【選択図】図2
Description
本発明は、例えば、吸着用パッド等の吸着手段に対して負圧を供給することが可能な真空発生用ユニットに関する。
従来から、吸着用パッドに負圧を供給する手段として真空供給装置が利用されている。この種の真空供給装置は、一般的に、負圧を発生させるエゼクタと、チューブを介して吸着用パッド等の吸着手段に連通接続される真空ポートと、前記エゼクタや真空ポートに圧縮空気を送給し、あるいは遮断する圧力流体供給用電磁弁及び真空破壊用電磁弁が設けられた弁機構部と、前記真空ポートに発生する負圧を検出する真空スイッチ等から構成される(例えば、特許文献1参照)。
この場合、前記エゼクタは、それぞれ別体で形成されるノズルとディフューザとからなり、ボデイの孔部内に同軸状にそれぞれ組み付けられる。
このような従来技術に係る真空供給装置の概略動作について説明する。
弁機構部を介してエゼクタに圧縮空気を供給し負圧を発生させる。前記エゼクタで発生した負圧は、真空ポートに接続されたチューブを通じて吸着用パッドに送給され、吸着用パッドに発生した負圧作用によってワークが吸着される。このようにして吸着用パッドに吸着保持されたワークは、ロボットのアームの変位作用下に所定の位置まで搬送される。
次に、吸着用パッドに保持されたワークを離脱させる場合、圧縮空気(正圧)を弁機構部から真空ポートに連通する通路を介して吸着用パッドに送給することにより、前記吸着用パッドの負圧状態が解除される。この結果、ワークが吸着用パッドから離間し所望の位置に搬送される。
ところで、従来から、外径寸法を縮減することによりできるだけ小型・軽量化を図ると共に、組み付け工数を削減して製造コストを低減したいという要請がある。例えば、複数の真空供給装置を連設してマニホールド化した場合、装置全体の外径寸法を縮減することにより、極めて小型・軽量な電磁弁マニホールドが得られ、設置された空間の有効利用を図ることができるからである。
本発明は、前記要請に鑑みてなされたものであり、装置全体の外径寸法を縮減して小型・軽量化を図ると共に、製造コストを低減することが可能な真空発生用ユニットを提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明は、圧力流体供給源に接続される圧力流体供給ポート、吸着手段に接続される真空ポート及び前記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体を外部に排出する排出ポートが設けられた本体部と、
前記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体の作用下に負圧を発生させるエゼクタ部と、
を備え、
前記エゼクタ部は、本体部の内部に一体的に形成されたノズル孔とディフューザ孔とからなることを特徴とする。
前記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体の作用下に負圧を発生させるエゼクタ部と、
を備え、
前記エゼクタ部は、本体部の内部に一体的に形成されたノズル孔とディフューザ孔とからなることを特徴とする。
この場合、前記本体部を樹脂製材料からなる複数のブロック体によって構成し、前記ブロック体の内部にノズル孔とディフューザ孔とが一体的に形成されるとよい。また、前記真空ポートから導出される負圧を検出する圧力センサが設けられ、前記圧力センサは、管継手を介して本体部に対して着脱且つ交換自在に装着されるとよい。
本発明によれば、本体部の内部にノズル孔とディフューザ孔とを一体的に形成することにより、例えば、従来技術においてボデイの孔部内に別個の部材によって構成されたノズル及びディフューザが不要となり、装置全体の小型・軽量化を図ることができる。
本発明によれば、以下の効果が得られる。
すなわち、本体部の内部にノズル孔とディフューザ孔とを一体的に形成することにより、装置全体の外径寸法を縮減して小型・軽量化を図ると共に、部品点数の削減及び組み付け工数の削減によって製造コストを低減することができる。
本発明に係る真空発生用ユニットについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
図1及び図2において、参照数字10は、本発明の実施の形態に係る真空発生用ユニットを示す。
この真空発生用ユニット10は、樹脂製材料によって形成され、長手方向に沿って連結された第1ブロック体12、第2ブロック体14、及び第3ブロック体16からなる本体部20と、前記本体部20の上面部に配設された圧力流体供給用電磁弁22及び真空破壊用電磁弁24からなる電磁弁部26と、前記第3ブロック体16の内部に一体的に形成されたノズル孔28及びディフューザ孔30からなるエゼクタ部32と、後述する真空ポートから導出される負圧を検出する検出部34とから構成される。
なお、前記圧力流体供給用電磁弁22及び真空破壊用電磁弁24は、それぞれ同一構成要素からなり、ノーマルクローズタイプに設定されている。また、前記圧力流体供給用電磁弁22及び真空破壊用電磁弁24はノーマルクローズタイプに限定されるものではなく、図示しないノーマルオープンタイプの電磁弁、自己保持型電磁弁あるいはタイマ付電磁弁等を用いてもよい。
前記第1〜第3ブロック体12、14、16は、それぞれ略同一の幅寸法を有し、薄肉状に形成されている(図1参照)。第1ブロック体12には、エゼクタ部32に対して圧縮空気(正圧)を供給するための圧縮空気供給ポート(圧力流体供給ポート)36が形成される。
また、第2ブロック体14の室40内には、パイロット圧の供給作用下にオフ状態からオン状態に切り換わる第1オン/オフ弁42が配設され、第3ブロック体16の室内には、パイロット圧の供給作用下にオフ状態からオン状態に切り換わる図示しない第2オン/オフ弁が配設される。
圧縮空気供給ポート36は、略L字状に屈曲する第1通路48を介して、第1オン/オフ弁42が配設された第1ブロック体12の室40内に連通するように設けられる。前記第1通路48から分岐する図示しない第2通路は、圧力流体供給用電磁弁22に連通するように形成され、前記第1通路48から分岐する図示しない第3通路は、真空破壊用電磁弁24に連通するように形成されている。また、前記第1通路48から分岐して第2オン/オフ弁(図示せず)に連通する図示しない第4通路が形成される。
さらに、圧力流体供給用電磁弁22と第1オン/オフ弁42との間には、図2に示されるように、前記圧力流体供給用電磁弁22を付勢してオン状態とすることにより前記第1オン/オフ弁42にパイロット圧を供給する第1パイロット通路58が形成され、真空破壊用電磁弁24と図示しない第2オン/オフ弁との間には、前記真空破壊用電磁弁24を付勢してオン状態とすることにより前記第2オン/オフ弁(図示せず)にパイロット圧を供給する第2パイロット通路60が形成されている。
エゼクタ部32は、例えば、樹脂一体成形によって形成された第3ブロック体16に設けられ、図3に示されるように、前記第3ブロック体16の内部に一体的に形成されたノズル孔28とディフューザ孔30とを有する。前記ノズル孔28とディフューザ孔30は、同軸状にそれぞれ配置され、該ノズル孔28は小径なオリフィスからなり、一方、ディフューザ孔30は、ノズル孔28よりも直径が大なる孔部によって所定長だけ軸線方向に沿って延在するように形成される。
エゼクタ部32を構成するノズル孔28とディフューザ孔30との間には、真空ポート62に連通し、略L字状に屈曲する吸引通路64が形成され、前記エゼクタ部32において発生する負圧は、チューブ等を介して管継手65に接続された図示しない吸着用パッド等の吸着手段に供給される。
ディフューザ孔30の終端は、第3ブロック体16に形成された排気ポート(排出ポート)66に連通し、エゼクタ部32に供給された圧縮空気はこの排気ポート66に連通するサイレンサ68を通じて外部に排気される。
真空破壊用電磁弁24がオン状態となることにより図示しない第2オン/オフ弁にパイロット圧が供給される。パイロット圧が供給されて図示しない第2オン/オフ弁がオン状態となり、真空ポート62に連通する吸引通路64に圧縮空気(正圧)が供給されることにより負圧状態が解除される。
第1オン/オフ弁42及び図示しない第2オン/オフ弁は、それぞれ同一構成要素からなり、略水平方向に所定距離だけ変位自在に設けられた弁体72と、前記弁体72を囲繞するように円筒状に形成され、前記室40内に固定されたリテーナ74とを有する(図2参照)。
前記弁体72の一端側の外周面には、前記リテーナ74の着座部76に着座して室40を閉塞する第1リング体78が装着され、前記弁体72の他端側の外周面には、リテーナ74の内壁面に沿って摺動する第2リング体80が装着されている。前記第1及び第2リング体78、80は、天然ゴムまたは合成ゴム等の弾性材料によって形成されている。
第1オン/オフ弁42がオフ状態にある場合、エゼクタ部32に対する圧縮空気の供給が停止され、前記第1オン/オフ弁42がオン状態となることにより、圧縮空気がエゼクタ部32に供給される。
検出部34は、前記吸引通路64に連通する図示しない連通路を介して吸着用パッドに供給される負圧を導入してその圧力を検出する圧力センサ82を有する。前記圧力センサ82は、図4に示されるように、第3ブロック体16にねじ部を介して連結された管継手84に対して着脱自在に装着され、該圧力センサ82から出力される検出信号はリード線86を介して、例えば、図示しない外部コントローラ等に導出される。
この場合、管継手84を介して圧力センサ82が着脱自在に装着されることにより、図示しない真空スイッチを装着したときと比較して装置全体の小型・軽量化を図ることができる。また、作業者は、真空ポート62から導出される負圧の負圧レンジに対応した圧力センサ82を任意に選択することができると共に、簡便に他の圧力センサ82と交換することができる。
なお、図2示されるように、圧力流体供給用電磁弁22と真空破壊用電磁弁24との間には、真空破壊用の圧力流体の流量を調整する流量調整ねじ88が設けられる。前記流量調整ねじ88の摘み部88aを把持して所定方向に回動させることにより、円筒体90との螺回作用下に通路に臨むテーパ部88bを変位させて通路を流通する圧力流体の流量を調整することができる。
本発明の実施の形態に係る真空発生用ユニット10は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、初期状態においては、圧力流体供給用電磁弁22及び真空破壊用電磁弁24は、それぞれ、オフ状態にあるものとする。
図示しない圧縮空気供給源から供給された圧縮空気は、圧縮空気供給ポート36を介して第1通路48に導入される。第1通路48に導入された圧縮空気は、前記第1通路48に連通する第1オン/オフ弁42の室40内に供給され、前記圧縮空気の作用下に弁体72が図2中の左方に変位して、前記第1オン/オフ弁42がオフ状態となっている。
このような状態において、図示しないコントローラから出力されたオン信号によって圧力流体供給用電磁弁22をオン状態とする。なお、このとき真空破壊用電磁弁24は、オフ状態のままである。
前記圧力流体供給用電磁弁22がオン状態となることにより、第1パイロット通路58を介して第1オン/オフ弁42にパイロット圧が供給され、前記パイロット圧の押圧作用下に弁体72が図2中の右方に変位して第1オン/オフ弁42がオン状態となる。前記第1オン/オフ弁42がオン状態となることにより第1通路48に導入された圧縮空気は第1オン/オフ弁42を通過してエゼクタ部32に供給される。
エゼクタ部32では、ノズル孔28からディフューザ孔30に向かって圧縮空気を噴出することにより負圧が発生し、この負圧は、吸引通路64及び真空ポート62に接続されたチューブを介して図示しない吸着用パッドに供給される。
従って、図示しないロボットのアームを操作することによって吸着用パッドがワークに接触し、負圧作用下に吸着用パッドがワークを吸着すると負圧がさらに上昇し、この負圧は検出部34の圧力センサ82によって検出される。前記圧力センサ82によって検出された検出信号は、図示しないコントローラに送られ、前記コントローラは、前記圧力センサ82からの検出信号を受け取ることにより、吸着用パッドによってワークが確実に吸着されたことを確認する。
次に、ワークが所定距離だけ移動した後、前記吸着用パッドの負圧を解除してワークを所定位置に離脱させる場合について説明する。
図示しないコントローラは、圧力流体供給用電磁弁22にオフ信号を導出する。この結果、圧力流体供給用電磁弁22がオフ状態となることにより第1オン/オフ弁42がオフ状態となり、エゼクタ部32に対する圧縮空気の供給が停止し、真空ポート62から吸着用パッドに対する負圧の供給が停止する。
一方、図示しないコントローラは、真空破壊用電磁弁24にオン信号を導出し、前記真空破壊用電磁弁24をオン状態にする。前記真空破壊用電磁弁24がオン状態となることにより、第2パイロット通路60を介して図示しない第2オン/オフ弁にパイロット圧が供給され、前記パイロット圧の押圧作用下に弁体72が変位して第2オン/オフ弁がオン状態となる。前記第2オン/オフ弁がオン状態となることにより、第1通路48に導入された圧縮空気は、第2オン/オフ弁を通過して真空ポート62に供給される。この結果、圧縮空気供給ポート36から供給された圧縮空気は、真空ポート62を経由して吸着用パッドに圧縮空気が供給され、該吸着用パッドのワークに対する吸着状態が解除される。
ワークが吸着用パッドから離脱することにより負圧状態から大気圧状態となり、前記大気圧を圧力センサ82によって検出し、前記圧力センサ82は、図示しないコントローラにワークが離脱したことを示す検出信号を送る。コントローラは、前記検出信号を受け取ることにより、吸着用パッドからワークが離脱したことを確認する。このようにして吸着用パッドからワークを確実に離脱させることができる。
本実施の形態では、本体部20を構成する第3ブロック体16の内部にノズル孔28とディフューザ孔30とを一体的に形成することにより、装置全体の小型・軽量化を図ることができる。従って、真空発生用ユニット10が設置されるスペースの有効利用を図ることができる。
なお、本実施の形態に係る真空発生用ユニット10を複数個連設してマニホールド化してもよいことは勿論である。
次に、図5に示される変形例に係るエゼクタ100と、図6に示される比較例に係るエゼクタ200とを対比して説明する。
前記変形例に係るエゼクタ100では、樹脂製材料からなる単一のブロック体102の内部にノズル孔104とディフューザ孔106とが同軸状に一体的に形成されている。前記ノズル孔104とディフューザ孔106との間には、吸引ポート108が形成されている。前記ブロック体102の一方には、ノズル孔104に向かって圧力流体を供給する供給ポート110が形成され、反対側のブロック体102の他方には、ディフューザ孔106から導出される圧力流体を排出する排気ポート112が形成される。
前記比較例に係るエゼクタ200では、内部にディフューザ孔202が形成されたブロック体203と、前記ブロック体203の開口部204内にOリング206を介して気密に装着され、ノズル孔208が形成されたノズル部210とからなる2つの部材によって構成される。前記ノズル部210には、供給ポート212とノズル孔208とが一体的に形成され、ねじ部214を介してブロック体203の開口部204内に連結される。
なお、前記ブロック体203には、開口部204に連通する吸引ポート216と、ディフューザ孔202に連通する排気ポート218とがそれぞれ形成される。
従って、変形例に係るエゼクタ100では、比較例に係るエゼクタ200と比較してノズル部210及びOリング206が不要となり、単一のブロック体102のみによって構成することができることから部品点数が削減されると共に、ブロック体203に対するノズル部210の組み付け作業が不要となる。この結果、変形例に係るエゼクタ100では、部品点数の削減及び組み付け工数の削減によって製造コストを低減することができる。
10…真空発生用ユニット 12、14、16…ブロック体
20…本体部 22…圧力流体供給用電磁弁
24…真空破壊用電磁弁 28…ノズル孔
30…ディフューザ孔 32…エゼクタ部
36…圧縮空気供給ポート 40…室
42…オン/オフ弁 58、60…パイロット通路
62…真空ポート 64…吸引通路
20…本体部 22…圧力流体供給用電磁弁
24…真空破壊用電磁弁 28…ノズル孔
30…ディフューザ孔 32…エゼクタ部
36…圧縮空気供給ポート 40…室
42…オン/オフ弁 58、60…パイロット通路
62…真空ポート 64…吸引通路
Claims (3)
- 圧力流体供給源に接続される圧力流体供給ポート、吸着手段に接続される真空ポート及び前記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体を外部に排出する排出ポートが設けられた本体部と、
前記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体の作用下に負圧を発生させるエゼクタ部と、
を備え、
前記エゼクタ部は、本体部の内部に一体的に形成されたノズル孔とディフューザ孔とからなることを特徴とする真空発生用ユニット。 - 請求項1記載の真空発生用ユニットにおいて、
前記本体部は、樹脂製材料からなる複数のブロック体からなり、前記ブロック体の内部にノズル孔とディフューザ孔とが一体的に形成されることを特徴とする真空発生用ユニット。 - 請求項1記載の真空発生用ユニットにおいて、
前記真空ポートから導出される負圧を検出する圧力センサが設けられ、前記圧力センサは、管継手を介して本体部に対して着脱且つ交換自在に装着されることを特徴とする真空発生用ユニット。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003403175A JP2005163619A (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | 真空発生用ユニット |
DE102004057882A DE102004057882A1 (de) | 2003-12-02 | 2004-11-30 | Vakuumerzeugungseinheit |
US10/998,662 US20050118032A1 (en) | 2003-12-02 | 2004-11-30 | Vaccum-generating unit |
KR1020040100020A KR20050053339A (ko) | 2003-12-02 | 2004-12-01 | 진공발생장치 |
CNA200410097962XA CN1624337A (zh) | 2003-12-02 | 2004-12-02 | 真空产生单元 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003403175A JP2005163619A (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | 真空発生用ユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005163619A true JP2005163619A (ja) | 2005-06-23 |
Family
ID=34616771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003403175A Pending JP2005163619A (ja) | 2003-12-02 | 2003-12-02 | 真空発生用ユニット |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050118032A1 (ja) |
JP (1) | JP2005163619A (ja) |
KR (1) | KR20050053339A (ja) |
CN (1) | CN1624337A (ja) |
DE (1) | DE102004057882A1 (ja) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102004057882A1 (de) | 2005-07-07 |
KR20050053339A (ko) | 2005-06-08 |
US20050118032A1 (en) | 2005-06-02 |
CN1624337A (zh) | 2005-06-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050817 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080701 |