WO2021241549A1

WO2021241549A1 - 制御装置及びロボットハンドシステム

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Publication number: WO2021241549A1
Application number: PCT/JP2021/019740
Authority: WO
Inventors: 俊介岩田; 至波多野; 篤史松本; 謙介及川; 穣佐藤
Original assignee: ニッタ株式会社
Priority date: 2020-05-25
Filing date: 2021-05-25
Publication date: 2021-12-02
Also published as: TW202200328A; JPWO2021241549A1

Abstract

アクチュエータの使い勝手を向上することができる制御装置及びロボットハンドシステムを提供する。制御装置１４Ａは、負圧を動力源とするアクチュエータ１２に接続可能であって、流入ポート６０と、排出ポート６２と、吸引ポート６４とを有する真空エジェクタ５２と、前記流入ポート６０とポンプ６６とを接続可能な流入配管５４Ａと、前記吸引ポート６４と前記アクチュエータ１２とを接続可能な吸引配管５８Ａと、前記排出ポート６２、前記真空エジェクタ５２、前記吸引ポート６４、及び前記吸引配管５８Ａを通る経路６５に設けられた第１バルブ５６とを備える。

Description

制御装置及びロボットハンドシステム

　本発明は、制御装置及びロボットハンドシステムに関する。

　アクチュエータとしてワークを把持することを目的とし、掌部と、掌部の周囲に突出して設けられ、前記掌部を厚さ方向に変形させることにより掌部に向かって倒れる複数の指部と、指部内に設けられた弾性部と、掌部の外周面の収縮を防ぐ形状保持部とを備えた把持装置が開示されている（特許文献１）。当該把持装置は、把持本体内を減圧することにより、掌部が、厚さ方向に変形し、指部が掌部へ向かって倒れるように弾性変形する。この把持装置は、複数の指部を有するため、サイズや形状が異なるワークを汎用的に把持することができ、把持本体内を減圧するのみで把持できるので制御が単純であり、また把持本体をワークに強く押し付ける必要もないため、食品のような柔軟なワークを傷めずに把持することができる。

特開２０１８－０６２０３８号公報

　上記特許文献１の把持装置は、動力源としての負圧を制御することができれば、掌部に対する指部の開き具合を制御することができるので、用途がより広がり、使い勝手が向上すると考えられる。

　本発明は、アクチュエータの使い勝手を向上することができる制御装置及びロボットハンドシステムを提供することを目的とする。

　本発明に係る制御装置は、負圧を動力源とするアクチュエータに接続可能な制御装置であって、流入ポートと、排出ポートと、吸引ポートとを有する真空エジェクタと、前記流入ポートとポンプとを接続可能な流入配管と、前記吸引ポートと前記アクチュエータとを接続可能な吸引配管と、前記排出ポート、前記真空エジェクタ、前記吸引ポート、及び前記吸引配管を通る経路に設けられた第１バルブとを備える。

　本発明に係る制御装置は、負圧を動力源とするアクチュエータに接続可能な制御装置であって、流入ポートと、排出ポートと、吸引ポートとを有する真空エジェクタと、前記流入ポートとポンプとを接続可能な流入配管と、前記吸引ポートと前記アクチュエータとを接続可能な吸引配管と、前記アクチュエータと、正圧を供給可能な正圧源とを接続可能な正圧配管とを備え、前記正圧配管は、第３バルブを有する。

　本発明に係る制御装置は、負圧を動力源とするアクチュエータに接続可能な制御装置であって、流入ポートと、排出ポートと、吸引ポートとを有する真空エジェクタと、前記流入ポートとポンプとを接続可能な複数の流入配管と、前記吸引ポートと前記アクチュエータとを接続可能な吸引配管とを備え、前記複数の流入配管が、それぞれ、サブ圧力調整バルブ、及びサブバルブを有し、前記複数の流入配管が、前記真空エジェクタに対し並列に接続された構造である。

　本発明に係るロボットハンドシステムは、上記制御装置と、上記アクチュエータとしての把持装置とを備える。

　本発明によれば、第１バルブ、第３バルブ、又はサブバルブを開閉することによって、アクチュエータを制御することができるので、使い勝手を向上することができる。

第１実施形態に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第１実施形態に係る把持装置を示す部分断面図である。第１実施形態に係るロボットハンドシステムの使用状態を示す概略図である。第１実施形態に係るロボットハンドシステムの使用状態を示す部分断面図である。第１実施形態の変形例１－１に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第１実施形態の変形例１－２に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第１実施形態の変形例１－３に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第１実施形態の変形例１－４に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第２実施形態に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第２実施形態の変形例２－１に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第２実施形態の変形例２－２に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第３実施形態に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第３実施形態の変形例３－１に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第３実施形態の変形例３－２に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。第３実施形態の変形例３－３に係るロボットハンドシステムを示す概略図である。

　以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。以下に示す実施形態及び変形例は、本発明の一例であり、本発明はこれに限られるものではない。各実施形態及び各変形例に関する以下の説明において、同様の構成については同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

１．第１実施形態
（全体構成）

　図１に示すロボットハンドシステム１０Ａは、アクチュエータとしての把持装置１２と、制御装置１４Ａとを備える。把持装置１２は、制御装置１４Ａが発生する所定の負圧を利用することによって、弾性変形し、ワークＷを把持するなどの所望の動作を行う。

（把持装置）

　把持装置１２は、袋状の把持本体１６を備える。把持本体１６は、気密性と弾性とを有する材料、例えば、天然ゴムや、合成ゴムなどで形成することができる。把持本体１６のＪＩＳ　Ｋ６２５３のデュロメータ硬さ試験(タイプＡ)に準じて測定した硬度は、６０～９０程度であるのが好ましい。

　図２に示すように把持本体１６は、掌部１８と、掌部１８の周囲に突出して設けられた複数（３個）の指部２０とを有する。掌部１８は略円盤状をなしている。指部２０は、掌部１８と一体に形成されており、掌部１８を囲むように放射状に３個設けられている。指部２０同士の間には、所定の間隔が形成されている。指部２０は、内面２２が掌部１８と一体に形成されている。

　把持本体１６は、指部２０が形成された側と反対側の、掌部１８の外縁を囲む位置に接続部２４が掌部１８と一体に形成されている。接続部２４は筒状であって、本図の場合、上端に円形の開口を有する。把持本体１６は、掌部１８から接続部２４に向かって外側に突出する向きに湾曲した外周面２６を有する。指部２０は、中実である。指部２０の内部の材質は、把持本体１６と同じ材質、または異なる材質でもよく、さらに均一である必要はなく、異種材料を組み合わせた複合材、フィラーなどの添加物を含んでもよい。

　把持本体１６の開口は、接続部２４に挿入されたケース２８によって密閉されている。ケース２８は、ステンレスなどの金属製、又はプラスチックなどの硬質の樹脂製であるのが好ましい。ケース２８は、中央に貫通穴４２を有する底部４４と、当該底部４４の外縁に一体に形成された筒状部４６と、円盤状の天部４８とを有する。天部４８は、継手３２が設けられている。継手３２は、シール材５０を介して天部４８にねじ止めされている。当該継手３２は、脱着部３０とワンタッチで連結される。

　脱着部３０は、ワンタッチ継手であり、一端が図示しないロボット本体の先端に設けられたアダプタプレートに接続され、他端がケース２８の継手３２に接続される。脱着部３０は、継手３２が差し込み方向に差し込まれると接続され、リリース部が差し込み方向に押されることによって接続が解除される。脱着部３０は、ワンタッチ継手に限らず、ねじによって継手３２と接続される継手でもよい。脱着部３０には、周面に複数の給排気口３４が設けられている。

　把持本体１６は、接続部２４と掌部１８の間に、掌部１８に比べ厚さ方向に変形しにくい高強度部３６を備える。高強度部３６は、把持本体１６の掌部１８の内部空間に配置されている。高強度部３６は、掌部１８以外、すなわち掌部１８の外周が収縮しないように、把持本体１６を保持する。高強度部３６の材質は、把持本体１６の減圧下において大きく変形しなければ足り、例えば硬質樹脂や金属を用いることができる。高強度部３６の材質は、必ずしも均一である必要はなく、異種材料を組み合わせた複合材でもよい。

　図２に示す高強度部３６は、変形した掌部１８を受け入れるガイド穴３８と、先端の外側に湾曲部４０とを有する枠状部材である。第１実施形態の場合、高強度部３６は、円筒状部材であって、全体として先端に向かって先細になっている。高強度部３６の先端は、指部２０の基端に接触している。湾曲部４０は、外側に向かって凸形状である。ガイド穴３８は、掌部１８に対応した高強度部３６の中央であって、内径が掌部１８と略同じ大きさであるのが好ましい。高強度部３６の基端は、ケース２８に接触している。

（制御装置）

　図１に示すように、制御装置１４Ａは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、第１バルブ５６を有する吸引配管５８Ａとを備える。真空エジェクタ５２は、圧縮気体を利用して負圧を発生させるものである。真空エジェクタ５２は、流入ポート６０と、排出ポート６２と、吸引ポート６４とを有する。流入ポート６０は、真空エジェクタ５２内において、図示しないノズル、ディフューザを介して排出ポート６２へ接続されている。吸引ポート６４は、ノズルの出口に接続されている。

　流入ポート６０は、流入配管５４Ａの一端が接続されている。流入配管５４Ａの他端は、ポンプ６６に接続されている。流入配管５４Ａは、他端側に第１圧力調整バルブ６８と、第１圧力調整バルブ６８と一端の間に第２バルブ７０とが設けられている。第１圧力調整バルブ６８は、ポンプ６６から供給された高圧の気体の圧力を所定の圧力へ下げる。第２バルブ７０は、流入配管５４Ａを開閉するバルブであり、例えば電磁弁を用いることができる。第１圧力調整バルブ６８で圧力が調整された気体は、第２バルブ７０が開いているとき、流入ポート６０へ送り込まれる。

　排出ポート６２は、サイレンサ６３を介して大気に開放されている。吸引ポート６４は、吸引配管５８Ａの一端が接続されている。吸引配管５８Ａの他端は、複数の給排気口３４の１つに接続されている。吸引配管５８Ａが接続された以外の給排気口３４は、プラグで塞がれる。

　排出ポート６２から、真空エジェクタ５２、吸引ポート６４、及び吸引配管５８Ａを通じて、外部と把持本体１６内を繋ぐ経路６５が形成されている。第１実施形態においては、経路６５における吸引配管５８Ａに、第１バルブ５６が設けられている。第１バルブ５６は、吸引配管５８Ａを開閉するバルブであり、例えば、電磁弁を用いることができる。第１バルブ５６を閉じたとき、第１バルブ５６から把持装置１２側は外部と遮断され、把持本体１６内が密閉される。

　流入ポート６０へ送り込まれた圧縮気体は、真空エジェクタ５２内のノズルにより絞られ、高速で放出されディフューザへ流入し、排出ポート６２から外部へ放出される。圧縮気体が高速で放出されたノズルの出口で、真空が発生する。ノズルの出口における負圧によって、吸引配管５８Ａから吸引ポート６４へ気体が吸い込まれる。流入ポート６０へ送り込まれた気体の圧力が高いほど、ノズルから放出される圧縮気体の速度が高くなり、吸引ポート６４の真空度が高く（すなわち、圧力が低く）なる。

　制御装置１４Ａは、ポンプ６６、第１バルブ５６、第１圧力調整バルブ６８、及び第２バルブ７０を統括的に制御する制御部（図示しない）を備えていてもよい。制御部は、例えば、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）等を適用でき、把持装置１２に対する把持動作プログラムや、開放動作プログラムなどに従って各種処理を実行し得る。

（動作及び効果）

　ロボットハンドシステム１０Ａの動作及び効果を説明する。図３に示すように、第１バルブ５６及び第２バルブ７０は、常時開とする。起動されたポンプ６６から圧縮気体６７が供給される。圧縮気体６７は、第１圧力調整バルブ６８で所定の圧力へ下げられ、第２バルブ７０を通って、流入ポート６０へ流入する。真空エジェクタ５２は、流入ポート６０へ圧縮気体６７が送り込まれることによって、排出ポート６２から気体７１を排出しながら、吸引ポート６４から気体６９を吸い込む。したがって吸引ポート６４に接続された吸引配管５８Ａを通じて、把持本体１６内の気体６９が吸引される。気体６９は、圧縮気体６７と共に排出ポート６２からサイレンサ６３を通って外部へ排出される（図３中、符号７１）。把持本体１６内の気体６９は、吸引ポート６４と把持本体１６内が同じ真空度になるまで吸引される。

　把持本体１６は、高強度部３６により掌部１８の外周面２６の形状が保持された状態を維持する。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形する（図４）。掌部１８が厚さ方向へ変形するのに伴い、指部２０の内面２２が掌部１８の中心へ引っ張られる。そうすると指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する。これにより指部２０は、主に内面２２がワークＷ表面に接触する。上記のように把持装置１２は、把持本体１６内を減圧することにより、掌部１８に対し指部２０を閉じ、ワークＷを把持することができる。指部２０の変形量は、把持本体１６内の真空度に応じて異なる。すなわち、指部２０の変形量は、把持本体１６内の真空度が高い（すなわち、圧力が低い）程、大きくなる。

　次いで、第２バルブ７０を閉じると、流入ポート６０への圧縮気体６７の供給が停止する。そうすると、吸引配管５８Ａ及び把持本体１６内の負圧によって、外部から気体が排出ポート６２へ流れ込む。気体は、経路６５を図１中の矢印の向きに流れ、把持本体１６内へ流入し、把持本体１６内の真空度を低下させる（すなわち、圧力を上昇させる）。把持本体１６内の真空度が低下するのに伴い、掌部１８がガイド穴３８から押し出される。掌部１８が押し出されるのに伴い、指部２０が開く。指部２０の開き具合が所望の状態となったタイミングで、第１バルブ５６を閉じ、把持本体１６内を密閉状態に保持する。把持本体１６内の真空度が一定に保持されるので、指部２０の開き具合が所望の状態で維持される。

　上記のように、第１バルブ５６が吸引配管５８Ａを閉じ、把持本体１６内を密閉した状態に保持することによって、指部２０の開き具合を所望の状態で維持することができる。このようにして、ロボットハンドシステム１０Ａは、第１バルブ５６を開閉するだけで、掌部１８に対する指部２０の開き具合を制御することができるので、使い勝手を向上することができる。

　上記実施形態では、指部２０を開くときに第１バルブ５６を閉じる場合について説明したが、本発明はこれに限らず、指部２０を閉じるときに第１バルブ５６を閉じてもよい。

（変形例１－１）

　図５を参照して第１実施形態の変形例１－１に係るロボットハンドシステム１０Ｂを説明する。ロボットハンドシステム１０Ｂは、把持装置１２と、制御装置１４Ｂとを備える。制御装置１４Ｂは、複数（３個）の真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ｂと、複数（３個）の吸引配管５８Ａとを備える。

　流入配管５４Ｂは、メイン流入配管７２と、分配管７４と、複数（３個）のサブ流入配管７６とを有する。メイン流入配管７２は、一端がポンプ６６に接続され、他端が分配管７４の一端に接続されている。メイン流入配管７２は、一端側に第１圧力調整バルブ６８と、第１圧力調整バルブ６８と他端の間に第２バルブ７０とが設けられている。

　分配管７４は、一端に一つの配管と、他端に複数（３個）の配管とを有する。分配管７４の一端はメイン流入配管７２の他端に接続されており、分配管７４の他端はそれぞれ複数のサブ流入配管７６の一端に接続されている。複数のサブ流入配管７６は、第１サブ流入配管７６Ａ、第２サブ流入配管７６Ｂ、及び第３サブ流入配管７６Ｃを有する。複数のサブ流入配管７６の他端は、複数の真空エジェクタ５２の流入ポート６０へそれぞれ接続されている。複数のサブ流入配管７６は、それぞれ、一端側にサブバルブ７８と、サブバルブ７８と他端の間にサブ圧力調整バルブ８０とが設けられている。複数のサブ流入配管７６に設けられたサブ圧力調整バルブ８０は、それぞれ異なる圧力に設定されている。例えば、第１サブ流入配管７６Ａに設けられた第１サブ圧力調整バルブ８０Ａの圧力を「低」、第２サブ流入配管７６Ｂに設けられた第２サブ圧力調整バルブ８０Ｂの圧力を「中」、第３サブ流入配管７６Ｃに設けられた第３サブ圧力調整バルブ８０Ｃの圧力を「高」と設定してもよい。

　複数の真空エジェクタ５２の吸引ポート６４は、それぞれ複数の吸引配管５８Ａの一端が接続されている。複数の吸引配管５８Ａの他端は、集合配管８２の一端に接続されている。複数の吸引配管５８Ａに、それぞれ第１バルブ５６が設けられている。１つのサブバルブ７８に対し真空エジェクタ５２を挟んで設けられた１つの第１バルブ５６を、前記サブバルブ７８に対する「セットの第１バルブ５６」と称する。集合配管８２は、一端に複数（３個）の配管と、他端に一つの配管とを有する。集合配管８２の他端は、給排気口３４に接続されている。

　第１サブ流入配管７６Ａに設けられたサブバルブ７８及びセットの第１バルブ５６を開き、第２サブ流入配管７６Ｂ及び第３サブ流入配管７６Ｃのサブバルブ７８及びセットの第１バルブ５６を閉じた状態で、ポンプ６６を起動すると、第１サブ流入配管７６Ａにのみ圧縮気体が供給される。圧縮気体は、第１サブ圧力調整バルブ８０Ａで所定（低）の圧力へ下げられ、流入ポート６０へ流入する。真空エジェクタ５２は、圧縮気体の圧力に応じて低い負圧で、吸引配管５８Ａ及び集合配管８２を通じて、把持本体１６から気体を吸引する。したがって把持本体１６内の真空度は低くなるので、指部２０の変形量は小さい。

　第２サブ流入配管７６Ｂに設けられたサブバルブ７８及びセットの第１バルブ５６を開き、第１サブ流入配管７６Ａ及び第３サブ流入配管７６Ｃのサブバルブ７８及びセットの第１バルブ５６を閉じた状態で、ポンプ６６を起動すると、第２サブ流入配管７６Ｂにのみ圧縮気体が供給される。圧縮気体は、第２サブ圧力調整バルブ８０Ｂで所定（中）の圧力へ下げられ、流入ポート６０へ流入する。真空エジェクタ５２は、圧縮気体の圧力に応じて中程度の負圧で、吸引配管５８Ａ及び集合配管８２を通じて、把持本体１６から気体を吸引する。したがって把持本体１６内の真空度は中程度となるので、指部２０の変形量は中程度である。

　第３サブ流入配管７６Ｃに設けられたサブバルブ７８及びセットの第１バルブ５６を開き、第１サブ流入配管７６Ａ及び第２サブ流入配管７６Ｂのサブバルブ７８及びセットの第１バルブ５６を閉じた状態で、ポンプ６６を起動すると、第３サブ流入配管７６Ｃにのみ圧縮気体が供給される。圧縮気体は、第３サブ圧力調整バルブ８０Ｃで所定（高）の圧力へ下げられ、流入ポート６０へ流入する。真空エジェクタ５２は、圧縮気体の圧力に応じて高い負圧で、吸引配管５８Ａ及び集合配管８２を通じて、把持本体１６から気体を吸引する。したがって把持本体１６内の真空度は高くなるので、指部２０の変形量は大きい。

　上記のように、本変形例１－１の場合、開閉するサブバルブ７８及びセットの第１バルブ５６を選択することによって、把持本体１６内の真空度を個別に管理することができるので、掌部１８に対する指部２０の開き具合を容易に制御することができる。ロボットハンドシステム１０Ｂは、第１バルブ５６を備えるので、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（変形例１－２）

　図６を参照して第１実施形態の変形例１－２に係るロボットハンドシステム１０Ｃを説明する。ロボットハンドシステム１０Ｃは、把持装置１２と、制御装置１４Ｃとを備える。

　制御装置１４Ｃは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ｃと、吸引配管５８Ｂとを備える。流入配管５４Ｃは、分配管７４と、複数（３個）のサブ流入配管８４とを有する。分配管７４の一端はポンプ６６に接続され、他端がそれぞれ複数のサブ流入配管８４の一端に接続されている。

　複数のサブ流入配管８４は、第１サブ流入配管８４Ａ、第２サブ流入配管８４Ｂ、及び第３サブ流入配管８４Ｃを有する。複数のサブ流入配管８４は、それぞれ、一端側に第２バルブ７０、第２バルブ７０の他端側にサブ圧力調整バルブ８０、及びサブ圧力調整バルブ８０と他端の間にサブバルブ７８が設けられている。複数のサブ流入配管８４に設けられたサブ圧力調整バルブ８０は、それぞれ異なる圧力に設定されている。例えば、第１サブ流入配管８４Ａに設けられた第１サブ圧力調整バルブ８０Ａの圧力を「低」、第２サブ流入配管８４Ｂに設けられた第２サブ圧力調整バルブ８０Ｂの圧力を「中」、第３サブ流入配管８４Ｃに設けられた第３サブ圧力調整バルブ８０Ｃの圧力を「高」と設定してもよい。

　複数のサブ流入配管８４の他端は、集合配管８２の一端に接続されている。集合配管８２の他端は、１つの真空エジェクタ５２の流入ポート６０に接続されている。真空エジェクタ５２の吸引ポート６４に、吸引配管５８Ｂの一端が接続されている。吸引配管５８Ｂの他端は給排気口３４に接続されている。図６では、吸引配管５８Ｂは、第１バルブ５６を備えていないが、第１バルブ５６を備えていてもよい。

　第１サブ流入配管８４Ａ、第２サブ流入配管８４Ｂ、及び第３サブ流入配管８４Ｃのいずれか１つに設けられた第２バルブ７０及びサブバルブ７８を開くことによって、変形例１－１と同様に、把持本体１６内の真空度を個別に管理することができるので、掌部１８に対する指部２０の開き具合を容易に制御することができる。ロボットハンドシステム１０Ｃは、第１バルブ５６を備えれば、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（変形例１－３）

　図７を参照して第１実施形態の変形例１－３に係るロボットハンドシステム１０Ｄを説明する。ロボットハンドシステム１０Ｄは、把持装置１２と、制御装置１４Ｄとを備える。制御装置１４Ｄは、複数（３個）の真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ｄと、複数（３個）の吸引配管５８Ａとを備える。

　流入配管５４Ｄは、メイン流入配管８６と、分配管７４と、複数（３個）のサブ流入配管８８とを有する。メイン流入配管８６は、一端がポンプ６６に接続され、他端が分配管７４の一端に接続されており、第１圧力調整バルブ６８が設けられている。第１圧力調整バルブ６８は、後述する複数の真空エジェクタ５２が同時に最高到達真空度に達するように、設定される。

　分配管７４の一端はメイン流入配管８６の他端に接続されており、分配管７４の他端はそれぞれ複数のサブ流入配管８８の一端に接続されている。複数のサブ流入配管８８は、第１サブ流入配管８８Ａ、第２サブ流入配管８８Ｂ、及び第３サブ流入配管８８Ｃを有する。複数のサブ流入配管８８の他端は、複数の真空エジェクタ５２の流入ポート６０へそれぞれ接続されている。複数のサブ流入配管８８は、それぞれ、第２バルブ７０が設けられている。

　複数の真空エジェクタ５２の吸引ポート６４に、複数の吸引配管５８Ａの一端がそれぞれ接続されている。複数の吸引配管５８Ａの他端はそれぞれ異なる給排気口３４に接続されている。複数の吸引配管５８Ａは、それぞれ第１バルブ５６が設けられている。１つの第２バルブ７０に対し真空エジェクタ５２を挟んで設けられた１つの第１バルブ５６を、前記第２バルブ７０に対する「セットの第１バルブ５６」と称する。

　第１サブ流入配管８８Ａに設けられた第２バルブ７０及びセットの第１バルブ５６を開き、第２サブ流入配管８８Ｂ及び第３サブ流入配管８８Ｃの第２バルブ７０及びセットの第１バルブ５６を閉じた状態で、ポンプ６６を起動すると、第１サブ流入配管８８Ａにのみ圧縮気体が供給される。第１サブ流入配管８８Ａに設けられた１つの真空エジェクタ５２で発揮し得る真空度に応じて、吸引配管５８Ａを通じて、把持本体１６から気体が吸引される。したがって、１つの真空エジェクタ５２で発生する真空度は低い（すなわち圧力は、より高い）ため、指部２０の変形量は、小さい。

　第１サブ流入配管８８Ａに設けられた第２バルブ７０及びセットの第１バルブ５６を開き、第２サブ流入配管８８Ｂに設けられた第２バルブ７０及びセットの第１バルブ５６を開き、第３サブ流入配管８８Ｃの第２バルブ７０及びセットの第１バルブ５６を閉じた状態で、ポンプ６６を起動すると、第１サブ流入配管８８Ａ及び第２サブ流入配管８８Ｂに圧縮気体が供給される。第１サブ流入配管８８Ａ及び第２サブ流入配管８８Ｂにそれぞれ設けられた２つの真空エジェクタ５２で発揮し得る真空度に応じて、吸引配管５８Ａを通じて、把持本体１６から気体が吸引される。したがって、２つの真空エジェクタ５２で発生する真空度は中程度のため、指部２０の変形量は、中程度である。

　全ての第２バルブ７０及びセットの第１バルブ５６を開いた状態で、ポンプ６６を起動すると、全てのサブ流入配管８８に圧縮気体が供給される。３つの真空エジェクタ５２で発揮し得る真空度に応じて、吸引配管５８Ａを通じて、把持本体１６から気体が吸引される。したがって、３つの真空エジェクタ５２で発生する真空度は高い（すなわち圧力は低い）ため、指部２０の変形量は、大きい。

　上記のように、本変形例１－３の場合、開閉する第２バルブ７０及びセットの第１バルブ５６を選択することによって、把持本体１６内の真空度を個別に管理することができるので、掌部１８に対する指部２０の開き具合を容易に制御することができる。ロボットハンドシステム１０Ｄは、第１バルブ５６を備えるので、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、３つの真空エジェクタ５２は、全て同一でもよいし、それぞれ異なる性能を有していてもよい。

（変形例１－４）

　図８を参照して第１実施形態の変形例１－４に係るロボットハンドシステム１０Ｅを説明する。ロボットハンドシステム１０Ｅは、把持装置１２と、制御装置１４Ｅとを備える。

　制御装置１４Ｅは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、吸引配管５８Ｃとを備える。吸引配管５８Ｃは、一端が吸引ポート６４に接続され、他端が給排気口３４に接続されている。真空エジェクタ５２の排出ポート６２は、排出配管９２の一端が接続されている。排出配管９２、排出ポート６２、真空エジェクタ５２、吸引ポート６４、及び吸引配管５８Ｃを通じて、外部と把持本体１６内を繋ぐ経路９３が形成されている。変形例１－４においては、経路９３における排出配管９２に、第１バルブ５６が設けられている。

　第１バルブ５６及び第２バルブ７０は常時開とする。起動されたポンプ６６から圧縮気体が流入ポート６０へ送り込まれることによって、吸引ポート６４に接続された吸引配管５８Ｃを通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。圧縮気体は、吸引された気体と共に排出ポート６２から第１バルブ５６を通って外部へ排出される。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する。

　次いで、第２バルブ７０を閉じると、流入ポート６０への気体の供給が停止する。そうすると、吸引配管５８Ｃ及び把持本体１６内の負圧によって、外部から気体が排出ポート６２へ流れ込む。気体は、経路９３を図８中の矢印の向きに流れ、把持本体１６内へ流入し、把持本体１６内の真空度を低下させる。把持装置１２は、把持本体１６内の真空度が低下するのに伴い、掌部１８がガイド穴３８から押し出される。掌部１８が押し出されるのに伴い、指部２０が開く。指部２０の開き具合が所望の状態となったタイミングで、第１バルブ５６を閉じ、把持本体１６内を密閉状態に保持する。把持本体１６内の真空度が一定に保持されるので、指部２０の開き具合が所望の状態で維持される。

　上記のように、第１バルブ５６及び第２バルブ７０が把持本体１６内を密閉した状態に保持することによって、指部２０の開き具合を所望の状態で維持することができる。このようにして、ロボットハンドシステム１０Ｅは、第１バルブ５６を排出配管９２に設けることによっても、掌部１８に対する指部２０の開き具合を制御することができる。

　変形例１－４では、指部２０を開くときに第１バルブ５６を閉じる場合について説明したが、本発明はこれに限らず、指部２０を閉じるときに第１バルブ５６を閉じてもよい。

２．第２実施形態

　図９を参照して本発明の第２実施形態に係るロボットハンドシステム１０Ｆを説明する。図９に示すロボットハンドシステム１０Ｆは、把持装置１２と、制御装置１４Ｆとを備える。制御装置１４Ｆは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、吸引配管５８Ｂと、正圧配管９４Ａとを備える。

　正圧配管９４Ａは、分配管７４と、複数のサブ正圧配管９６とを有する。分配管７４の一端は、吸引配管５８Ｂが接続された給排気口３４とは別の給排気口３４に接続されており、分配管７４の他端はそれぞれ複数のサブ正圧配管９６の一端に接続されている。複数のサブ正圧配管９６は、第１サブ正圧配管９６Ａ、第２サブ正圧配管９６Ｂ、及び第３サブ正圧配管９６Ｃを有する。複数のサブ正圧配管９６の他端は、それぞれ正圧源としての大気に開放されている。複数のサブ正圧配管９６は、一端側に第３バルブ９８と、第３バルブ９８と他端の間にスピードコントローラ１００とがそれぞれ設けられている。第３バルブ９８は、複数のサブ正圧配管９６を開閉するバルブであり、例えば電磁弁を用いることができる。

　スピードコントローラ１００は、それぞれ設定される流量が異なる。例えば、第１サブ正圧配管９６Ａに設けられたスピードコントローラ１００の流量を「大」、第２サブ正圧配管９６Ｂに設けられたスピードコントローラ１００の流量を「中」、第３サブ正圧配管９６Ｃに設けられたスピードコントローラ１００の流量を「小」と設定してもよい。

　第２バルブ７０は、常時開とする。全ての第３バルブ９８は、常時閉とする。起動されたポンプ６６から圧縮気体が流入ポート６０へ送り込まれることによって、吸引ポート６４に接続された吸引配管５８Ｂを通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する。

　次いで、いずれかの第３バルブ９８を開くと、スピードコントローラ１００から所定の流量の気体が第３バルブ９８を通じて正圧配管９４Ａへ流入する。正圧配管９４Ａへ流入した気体は、給排気口３４を通って把持本体１６内へ流入する。把持本体１６内の真空度は、吸引配管５８Ｂを通じて吸引される気体と、正圧配管９４Ａを通じて流入する気体のバランスで制御することができる。

　第１サブ正圧配管９６Ａに設けられた第３バルブ９８のみを開いた場合、正圧配管９４Ａを通じて流入する気体の流量が大きいので、把持本体１６内の真空度がより低くなる。したがって、指部２０の変形量は、小さい。

　第２サブ正圧配管９６Ｂに設けられた第３バルブ９８のみを開いた場合、正圧配管９４Ａを通じて流入する気体の流量が中程度であるので、指部２０の変形量は、中程度である。

　第３サブ正圧配管９６Ｃに設けられた第３バルブ９８のみを開いた場合、正圧配管９４Ａを通じて流入する気体の流量が小さいので、把持本体１６内の真空度がより高くなる。したがって、指部２０の変形量は、大きい。

　上記のように、第２実施形態の場合、開閉する第３バルブ９８を選択することによって、把持本体１６内の真空度を個別に管理することができるので、掌部１８に対する指部２０の開き具合を容易に制御することができる。ロボットハンドシステム１０Ｆは、第１バルブ５６を備えれば、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（変形例２－１）

　図１０を参照して第２実施形態の変形例２－１に係るロボットハンドシステム１０Ｇを説明する。図１０に示すロボットハンドシステム１０Ｇは、把持装置１２と、制御装置１４Ｇとを備える。

　制御装置１４Ｇは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ｅと、吸引配管５８Ｂと、正圧配管９４Ｂとを備える。流入配管５４Ｅは、一端がポンプ６６に接続され、他端が流入ポート６０へ接続されている。流入配管５４Ｅに、第１圧力調整バルブ６８が設けられている。

　正圧配管９４Ｂの一端は、流入配管５４Ｅの第１圧力調整バルブ６８の１次側に接続され、正圧源でもあるポンプ６６に接続されている。正圧配管９４Ｂの他端は、吸引配管５８Ｂが接続された給排気口３４とは別の給排気口３４に接続されている。正圧配管９４Ｂは、一端側に第２圧力調整バルブ１０２、第２圧力調整バルブ１０２の２次側に第３バルブ９８が設けられている。第２圧力調整バルブ１０２は、ポンプ６６から供給された高圧の気体の圧力を所定の圧力へ下げる。正圧配管９４Ｂの第２圧力調整バルブ１０２と第３バルブ９８の間に大気開放配管１０６の一端が接続されている。大気開放配管１０６は、リリーフバルブ１０４が設けられており、他端が大気に開放されている。リリーフバルブ１０４は、２次側の圧力が１次側の圧力より一定以上高くなった場合、バルブを開き、２次側から１次側へ気体を流す。

　第３バルブ９８は常時閉とする。起動されたポンプ６６から圧縮気体が流入ポート６０へ送り込まれることによって、吸引ポート６４に接続された吸引配管５８Ｂを通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する。

　圧縮気体は、正圧配管９４Ｂの一端にも供給され、第２圧力調整バルブ１０２によって所定の圧力に下げられ、第３バルブ９８の１次側へ供給される。第３バルブ９８を開くと、第２圧力調整バルブ１０２で圧力が調整された圧縮気体が正圧配管９４Ｂを通って把持本体１６内へ流入する。把持本体１６内の圧力は、吸引配管５８Ｂを通じて吸引される気体と、正圧配管９４Ｂを通じて流入する気体のバランスで制御することができる。

　吸引配管５８Ｂを通じて吸引される気体より正圧配管９４Ｂを通じて流入する気体が多くなり、把持本体１６内の圧力が一定以上に高くなった場合、リリーフバルブ１０４が開き、大気開放配管１０６を通じて把持本体１６内の気体を外部へ逃がす。

　ロボットハンドシステム１０Ｇは、第１バルブ５６を備えれば、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（変形例２－２）

　図１１を参照して第２実施形態の変形例２－２に係るロボットハンドシステム１０Ｈを説明する。図１１に示すロボットハンドシステム１０Ｈは、把持装置１２と、制御装置１４Ｈとを備える。制御装置１４Ｈは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、吸引配管５８Ａと、正圧配管１０９とを備える。

　正圧配管１０９の一端は、吸引配管５８Ａが接続された給排気口３４とは別の給排気口３４に接続されている。正圧配管１０９の他端は、正圧源としての注射筒１１０の先端に接続されている。正圧配管１０９に、第３バルブ９８が設けられている。

　注射筒１１０は、シリンジ１１２と、シリンジ１１２内を軸方向に移動可能なプランジャ１１４とを有する。プランジャ１１４は、エアシリンダ１１６に連結されている。エアシリンダ１１６は、シリンダーチューブ１１８と、シリンダーチューブ１１８に対し進退可能に設けられたピストンロッド１２０とを有する。シリンダーチューブ１１８には、配管１２２，１２４が設けられている。当該配管１２２，１２４を通じて、圧縮気体が給排気されることにより、ピストンロッド１２０がシリンダーチューブ１１８に対し進退可能となっている。ピストンロッド１２０の先端にプランジャ１１４が接続されている。

　第１バルブ５６及び第２バルブ７０は、常時開とする。第３バルブ９８は、常時閉とする。起動されたポンプ６６から圧縮気体が流入ポート６０へ送り込まれることによって、吸引ポート６４に接続された吸引配管５８Ａを通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する。ロボットハンドシステム１０Ｈは、第１バルブ５６を閉じ、指部２０を弾性変形した状態で保持する。

　吸引配管５８Ａを通じて吸引された後の把持本体１６内の圧力は、正圧配管１０９を通じて流入する、又は吸い出される気体によって制御することができる。例えば、第３バルブ９８を開き、エアシリンダ１１６を伸長させることによってシリンジ１１２内の気体をプランジャ１１４で押し出す。プランジャ１１４で押し出された気体は、正圧配管１０９へ流入し、第３バルブ９８を通って把持本体１６内へ流入する。そうすると、気体が流入した分だけ、把持本体１６内の真空度が低くなることによって、指部２０が掌部１８に対し開く。注射筒１１０は、少量の気体を押し出すことができるので、指部２０を小さな変形量で変形させることができる。

　エアシリンダ１１６は収縮させてもよい。第３バルブ９８を開き、エアシリンダ１１６を収縮させることによって正圧配管１０９を通じて把持本体１６内の気体を注射筒で吸い出す。そうすると、気体が吸い出された分だけ、把持本体１６内の真空度が高くなることによって、さらに指部２０が掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する。注射筒１１０は、少量の気体を吸い出すことができるので、指部２０を小さな変形量で変形させることができる。

　上記したように、注射筒１１０をエアシリンダ１１６で制御することによって、正圧配管１０９を通じて流入する、又は吸い出される気体を微調整することができるので、指部２０の開き具合を精度よく制御することができる。ロボットハンドシステム１０Ｈは、第１バルブ５６を備えるので、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

３．第３実施形態
　図１２を参照して本発明の第３実施形態に係るロボットハンドシステム１０Ｉを説明する。図１２に示すロボットハンドシステム１０Ｉは、把持装置１２と、制御装置１４Ｉとを備える。制御装置１４Ｉは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、吸引配管５８Ｄと、正圧配管９４Ｃとを有する。

　真空エジェクタ５２は、流入ポート６０と、排出ポート６２と、吸引ポート６４とを有する。流入配管５４Ａは、第１圧力調整バルブ６８と、第２バルブ７０とを有する。

　吸引配管５８Ｄの一端は、真空エジェクタ５２の吸引ポート６４に接続されている。吸引配管５８Ｄの他端は、複数の給排気口３４のうちの１つの給排気口３４に接続されている。この例では、脱着部３０の周面に２つの給排気口３４が設けられており、これら２つの給排気口３４のうち、図１２に示されている１つの給排気口３４に吸引配管５８Ｄが接続されている。図１２では、吸引配管５８Ｄが接続されていないもう１つの給排気口３４が紙面奥側に隠れている。

　吸引配管５８Ｄは、逆止弁１３０と、第１センサ１３１と、第２センサ１３２と、第３センサ１３３とを有する。

　逆止弁１３０は、吸引配管５８Ｄから真空エジェクタ５２の吸引ポート６４へ気体が流れることを許容し、真空エジェクタ５２の吸引ポート６４から吸引配管５８Ｄへ気体が流れることを禁止するように構成されている。

　第１センサ１３１、第２センサ１３２、及び第３センサ１３３は、吸引配管５８Ｄ内の圧力を検知する圧力センサである。第１センサ１３１、第２センサ１３２、及び第３センサ１３３は、逆止弁１３０と把持装置１２との間に設けられている。図１２では、逆止弁１３０から把持装置１２へ向かって、第１センサ１３１、第２センサ１３２、第３センサ１３３の順に配置されているが、第１センサ１３１、第２センサ１３２、第３センサ１３３の配置順はこれに限られない。第１センサ１３１、第２センサ１３２、及び第３センサ１３３は、図示しない電源と接続しており、電源から電力の供給が行われることにより作動する。

　第１センサ１３１は、吸引配管５８Ｄ内の圧力を検知し、検知した圧力が第１の閾値以下となった場合に第１検知信号を出力する。第１の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０２ＭＰａとされている。

　第２センサ１３２は、吸引配管５８Ｄ内の圧力を検知し、検知した圧力が第１の閾値より低い第２の閾値以下となった場合に第２検知信号を出力する。第２の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０４ＭＰａとされている。

　第３センサ１３３は、吸引配管５８Ｄ内の圧力を検知し、検知した圧力が第２の閾値より低い第３の閾値以下となった場合に第３検知信号を出力する。第３の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０６ＭＰａとされている。

　正圧配管９４Ｃの一端は、吸引配管５８Ｄが接続された給排気口３４とは別の給排気口３４に接続されている。正圧配管９４Ｃの他端は、正圧源としての大気に開放されている。正圧配管９４Ｃは、第３バルブ９８を有する。第３バルブ９８は、正圧配管９４Ｃを開閉するバルブであり、例えば、電磁弁を用いることができる。

　ロボットハンドシステム１０Ｉの動作及び効果を説明する。ロボットハンドシステム１０Ｉでは、制御装置１４Ｉによって、吸引配管５８Ｄ内が所望の圧力（以下、試験圧力と称する）となったときに第２バルブ７０を閉じる制御が行われる。試験圧力は、第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）、第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）、第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）の中から選択される。例えば、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するときの把持本体１６内の圧力を予め測定し、この測定値に基づき、試験圧力を選択することができる。この例では、把持本体１６内の圧力が第２の閾値よりも若干小さいときに、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するものとし、試験圧力として第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）が設定される場合を説明する。ポンプ６６から真空エジェクタ５２の流入ポート６０へ供給される圧縮気体は、第１圧力調整バルブ６８を調整することにより、吸引配管５８Ｄ内の圧力が第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）に達するような所定の正圧の値以上の圧力に設定される。

　第２バルブ７０は、常時開とする。第３バルブ９８は、常時閉とする。起動されたポンプ６６から第１圧力調整バルブ６８へ圧縮気体が供給される。圧縮気体は、第１圧力調整バルブ６８で所定の正圧の値以上の圧力に調整され、第２バルブ７０を通って、真空エジェクタ５２の流入ポート６０へ流入する。真空エジェクタ５２は、流入ポート６０へ圧縮気体が送り込まれることによって、排出ポート６２から外部へ気体を排出しながら、吸引ポート６４から吸引配管５８Ｄ内の気体を吸い込む。このときに吸引ポート６４へ吸い込まれる気体は、吸引配管５８Ｄのうち、吸引ポート６４と逆止弁１３０との間の一部の配管内の気体である。

　逆止弁１３０は、上記の一部の配管内の気体が吸引ポート６４へ吸い込まれることにより開く。逆止弁１３０は、圧縮気体が流入ポート６０へ流入し排出ポート６２から排出されている間、開いた状態が維持される。逆止弁１３０が開くことにより、吸引配管５８Ｄを通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。把持本体１６内から吸引された気体は、圧縮気体と共に排出ポート６２から外部へ排出される。この結果、把持本体１６内の真空度が上昇（すなわち圧力が低下）する。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する（図４参照）。

　吸引配管５８Ｄ内の圧力が第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）となった場合、第１センサ１３１は第１検知信号を出力する。制御装置１４Ｉは、第１センサ１３１が第１検知信号を出力した場合、吸引配管５８Ｄ内の圧力が試験圧力未満であると判定し、第２バルブ７０が開いた状態を維持する。圧縮気体が流入ポート６０へ継続して流入することにより、吸引ポート６４から吸引配管５８Ｄ内の気体と把持本体１６内の気体とが更に吸引され、把持本体１６内の真空度が更に上昇（すなわち圧力が更に低下）する。この結果、指部２０が掌部１８へ向かって更に倒れるように弾性変形する。

　吸引配管５８Ｄ内の圧力が第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）となった場合、第２センサ１３２は第２検知信号を出力する。制御装置１４Ｉは、第２センサ１３２が第２検知信号を出力した場合、吸引配管５８Ｄ内の圧力が試験圧力に達したと判定し、第２バルブ７０を閉じる制御を行う。第２バルブ７０が閉じられ、流入ポート６０への圧縮気体の流入が停止することにより、吸引配管５８Ｄ内から排出ポート６２への気体の排出が停止し、逆止弁１３０が閉じる。把持本体１６内が密閉され、把持本体１６内の圧力が試験圧力、すなわち第２の閾値に保持される。把持本体１６内の真空度が一定に保持されるので、指部２０の開き具合が所望の状態で維持される。把持装置１２は、吸引配管５８Ｄ内の圧力が試験圧力である第２の閾値となって第２バルブ７０が閉じられたことにより、ワークＷを把持することができる。このようにして、ロボットハンドシステム１０Ｉは、第２バルブ７０を閉じるタイミングを制御することにより、掌部１８に対する指部２０の開き具合を制御することができるので、使い勝手を向上することができる。

　第３バルブ９８を開くと、把持本体１６内の負圧によって、外部の気体が第３バルブ９８を通じて正圧配管９４Ｃへ流れ込む。正圧配管９４Ｃへ流れ込んだ気体は、給排気口３４を通って把持本体１６内へ流入し、把持本体１６内の真空度を低下させる（すなわち、圧力を上昇させる）。把持本体１６内の真空度が低下するのに伴い、掌部１８がガイド穴３８から押し出される。掌部１８が押し出されるのに伴い、指部２０が開く。これにより、ワークＷを手放すことができる。また、把持本体１６内へ流入した気体が吸引配管５８Ｄの他端へ流れ込むことにより、逆止弁１３０が開く。

（変形例３－１）

　図１３を参照して第３実施形態の変形例３－１に係るロボットハンドシステム１０Ｊを説明する。ロボットハンドシステム１０Ｊは、把持装置１２と、制御装置１４Ｊとを備える。制御装置１４Ｊは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、吸引配管５８Ｅとを有する。

　吸引配管５８Ｅは、第１バルブ５６と、第１センサ１３１と、第２センサ１３２と、第３センサ１３３とを有する。

　第１バルブ５６は、吸引配管５８Ｅを開閉するバルブであり、例えば、電磁弁を用いることができる。第１バルブ５６を閉じたとき、第１バルブ５６から把持装置１２側は外部と遮断され、把持本体１６内が密閉される。

　第１センサ１３１、第２センサ１３２、及び第３センサ１３３は、吸引配管５８Ｅ内の圧力を検知する圧力センサである。第１センサ１３１、第２センサ１３２、及び第３センサ１３３は、図１３では第１バルブ５６と把持装置１２との間に設けられているが、第１バルブ５６と真空エジェクタ５２との間に設けられていてもよい。図１３では、第１バルブ５６から把持装置１２へ向かって、第１センサ１３１、第２センサ１３２、第３センサ１３３の順に配置されているが、第１センサ１３１、第２センサ１３２、第３センサ１３３の配置順はこれに限られない。

　第１センサ１３１は、吸引配管５８Ｅ内の圧力を検知し、検知した圧力が第１の閾値以下となった場合に第１検知信号を出力する。第１の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０２ＭＰａとされている。

　第２センサ１３２は、吸引配管５８Ｅ内の圧力を検知し、検知した圧力が第１の閾値より低い第２の閾値以下となった場合に第２検知信号を出力する。第２の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０４ＭＰａとされている。

　第３センサ１３３は、吸引配管５８Ｅ内の圧力を検知し、検知した圧力が第２の閾値より低い第３の閾値以下となった場合に第３検知信号を出力する。第３の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０６ＭＰａとされている。

　ロボットハンドシステム１０Ｊの動作及び効果を説明する。ロボットハンドシステム１０Ｉでは、制御装置１４Ｊによって、吸引配管５８Ｅ内が所望の圧力（試験圧力）となったときに第１バルブ５６を閉じる制御が行われる。試験圧力は、第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）、第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）、第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）の中から選択される。例えば、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するときの把持本体１６内の圧力を予め測定し、この測定値に基づき、試験圧力を選択することができる。この例では、把持本体１６内の圧力が第３の閾値よりも若干小さいときに、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するものとし、試験圧力として第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）が設定される場合を説明する。ポンプ６６から真空エジェクタ５２の流入ポート６０へ供給される圧縮気体は、第１圧力調整バルブ６８を調整することにより、吸引配管５８Ｅ内の圧力が第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）に達するような所定の正圧の値以上の圧力に設定される。

　第１バルブ５６及び第２バルブ７０は、常時開とする。起動されたポンプ６６から第１圧力調整バルブ６８へ圧縮気体が供給される。圧縮気体は、第１圧力調整バルブ６８で所定の正圧の値以上の圧力に調整され、第２バルブ７０を通って、真空エジェクタ５２の流入ポート６０へ流入する。真空エジェクタ５２は、流入ポート６０へ圧縮気体が送り込まれることによって、排出ポート６２から外部へ気体を排出しながら、吸引ポート６４から吸引配管５８Ｅ内の気体を吸い込む。したがって吸引ポート６４に接続された吸引配管５８Ｅを通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。把持本体１６内から吸引された気体は、圧縮気体と共に排出ポート６２から外部へ排出される。この結果、把持本体１６内の真空度が上昇（すなわち圧力が低下）する。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する（図４参照）。

　吸引配管５８Ｅ内の圧力が第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）となった場合、第１センサ１３１は第１検知信号を出力する。制御装置１４Ｊは、第１センサ１３１が第１検知信号を出力した場合、吸引配管５８Ｅ内の圧力が試験圧力未満であると判定し、第１バルブ５６及び第２バルブ７０が開いた状態を維持する。圧縮気体が流入ポート６０へ継続して流入することにより、吸引ポート６４から吸引配管５８Ｅ内の気体と把持本体１６内の気体とが更に吸引され、把持本体１６内の真空度が更に上昇（すなわち圧力が更に低下）する。この結果、指部２０が掌部１８へ向かって更に倒れるように弾性変形する。

　吸引配管５８Ｅ内の圧力が第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）となった場合、第２センサ１３２は第２検知信号を出力する。制御装置１４Ｊは、第２センサ１３２が第２検知信号を出力した場合、吸引配管５８Ｅ内の圧力が試験圧力未満であると判定し、第１バルブ５６及び第２バルブ７０が開いた状態を維持する。圧縮気体が流入ポート６０へ継続して流入することにより、吸引ポート６４から吸引配管５８Ｅ内の気体と把持本体１６内の気体とが更に吸引され、把持本体１６内の真空度が更に上昇（すなわち圧力が更に低下）する。この結果、指部２０が掌部１８へ向かって更に倒れるように弾性変形する。

　吸引配管５８Ｅ内の圧力が第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）となった場合、第３センサ１３３は第３検知信号を出力する。制御装置１４Ｊは、第３センサ１３３が第３検知信号を出力した場合、吸引配管５８Ｅ内の圧力が試験圧力に達したと判定し、第１バルブ５６を閉じる制御を行う。第１バルブ５６が閉じられることにより、吸引配管５８Ｅ内から排出ポート６２への気体の排出が停止する。把持本体１６内が密閉され、把持本体１６内の圧力が試験圧力、すなわち第３の閾値に保持される。把持本体１６内の真空度が一定に保持されるので、指部２０の開き具合が所望の状態で維持される。この例では、把持本体１６内の圧力が第３の閾値よりも若干小さいときに、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触する。このため、把持装置１２は、吸引配管５８Ｅ内の圧力が試験圧力である第３の閾値となって第１バルブ５６が閉じられたことにより、ワークＷを把持することができる。このようにして、ロボットハンドシステム１０Ｊは、第１バルブ５６を閉じるタイミングを制御することにより、掌部１８に対する指部２０の開き具合を制御することができるので、使い勝手を向上することができる。

　第１バルブ５６を開くと、吸引配管５８Ｅ及び把持本体１６内の負圧によって、外部から気体が排出ポート６２へ流れ込む。排出ポート６２へ流れ込んだ気体は、吸引配管５８Ｅを通じて把持本体１６内へ流入し、把持本体１６内の真空度を低下させる（すなわち、圧力を上昇させる）。把持本体１６内の真空度が低下するのに伴い、掌部１８がガイド穴３８から押し出される。掌部１８が押し出されるのに伴い、指部２０が開く。これにより、ワークＷを手放すことができる。

　なお、制御装置１４Ｊは、第１バルブ５６を閉じるタイミングで、第１バルブ５６に加え更に第２バルブ７０を閉じてもよい。制御装置１４Ｊは、第１バルブ５６及び第２バルブ７０を閉じた後、第１バルブ５６を開閉し、把持本体１６内の真空度を調整してもよい。

　制御装置１４Ｊは、正圧配管９４Ｃを更に有してもよい。また、制御装置１４Ｊは、流入配管５４Ａの代わりに、流入配管５４Ｅを備えるものでもよい。すなわち、流入配管５４Ａは、第２バルブ７０を有しないものでもよい。

（変形例３－２）

　図１４を参照して第３実施形態の変形例３－２に係るロボットハンドシステム１０Ｋを説明する。ロボットハンドシステム１０Ｋは、把持装置１２と、制御装置１４Ｋとを備える。制御装置１４Ｋは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、吸引配管５８Ｄと、正圧配管９４Ｄと、集合配管１３４とを有する。

　吸引配管５８Ｄの一端は、真空エジェクタ５２の吸引ポート６４に接続されている。吸引配管５８Ｄの他端は、集合配管１３４に接続されている。吸引配管５８Ｄは、逆止弁１３０と、第１センサ１３１と、第２センサ１３２と、第３センサ１３３とを有する。

　正圧配管９４Ｄの一端は、流入配管５４Ａの第１圧力調整バルブ６８の２次側に接続されている。正圧配管９４Ｄの他端は、集合配管１３４に接続されている。正圧配管９４Ｄは、第３バルブ９８と、流量絞り弁１３５とを有する。第３バルブ９８は、正圧配管９４Ｄを開閉するバルブであり、例えば、電磁弁を用いることができる。流量絞り弁１３５は、第３バルブ９８と正圧配管９４Ｄの他端との間に設けられる。流量絞り弁１３５は、正圧配管９４Ｄを流れる気体の流量を制御する。流量絞り弁１３５を省略することも可能であるが、流量絞り弁１３５を有する変形例３－２では、流量絞り弁１３５により把持本体１６内へ流入する気体の流量が調整されるため、安全性を向上させることが可能となる。

　集合配管１３４は、吸引配管５８Ｄ及び正圧配管９４Ｄをアクチュエータとしての把持装置１２に接続する。集合配管１３４は、一端に二つの配管を有し、他端に一つの配管を有している。集合配管１３４の一端を構成する一方の配管は、吸引配管５８Ｄの他端に接続されている。集合配管１３４の一端を構成する他方の配管は、正圧配管９４Ｄの他端に接続されている。集合配管１３４の他端は、給排気口３４に接続されている。集合配管１３４は、リリーフバルブ１３６を有する。リリーフバルブ１３６は、集合配管１３４内の圧力が特定の圧力以上となった場合に集合配管１３４内の気体を大気に逃がすように構成されている。リリーフバルブ１３６を省略することも可能であるが、リリーフバルブ１３６を有する変形例３－２では、リリーフバルブ１３６により集合配管１３４内の圧力及び把持本体１６内の圧力が特定の圧力以上となることが確実に防止されるため、安全性を向上させることが可能となる。

　ロボットハンドシステム１０Ｋの動作及び効果を説明する。ロボットハンドシステム１０Ｋでは、制御装置１４Ｋによって、吸引配管５８Ｄ内が所望の圧力（試験圧力）となったときに第２バルブ７０を閉じる制御が行われる。試験圧力は、第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）、第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）、第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）の中から選択される。例えば、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するときの把持本体１６内の圧力を予め測定し、この測定値に基づき、試験圧力を選択することができる。この例では、把持本体１６内の圧力が第１の閾値よりも若干小さいときに、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するものとし、試験圧力として第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）が設定される場合を説明する。ポンプ６６から真空エジェクタ５２の流入ポート６０へ供給される圧縮気体は、第１圧力調整バルブ６８を調整することにより、吸引配管５８Ｄ内の圧力が第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）に達するような所定の正圧の値以上の圧力に設定される。

　逆止弁１３０は、上記の一部の配管内の気体が吸引ポート６４へ吸い込まれることにより開く。逆止弁１３０は、圧縮気体が流入ポート６０へ流入し排出ポート６２から排出されている間、開いた状態が維持される。逆止弁１３０が開くことにより、吸引配管５８Ｄ及び集合配管１３４を通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。把持本体１６内から吸引された気体は、圧縮気体と共に排出ポート６２から外部へ排出される。この結果、把持本体１６内の真空度が上昇（すなわち圧力が低下）する。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する（図４参照）。

　吸引配管５８Ｄ内の圧力が第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）となった場合、第１センサ１３１は第１検知信号を出力する。制御装置１４Ｋは、第１センサ１３１が第１検知信号を出力した場合、吸引配管５８Ｄ内の圧力が試験圧力に達したと判定し、第２バルブ７０を閉じる制御を行う。第２バルブ７０が閉じられ、流入ポート６０への圧縮気体の流入が停止することにより、吸引配管５８Ｄ内から排出ポート６２への気体の排出が停止し、逆止弁１３０が閉じる。把持本体１６内が密閉され、把持本体１６内の圧力が試験圧力、すなわち第１の閾値に保持される。把持本体１６内の真空度が一定に保持されるので、指部２０の開き具合が所望の状態で維持される。この例では、把持本体１６内の圧力が第１の閾値よりも若干小さいときに、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触する。このため、把持装置１２は、吸引配管５８Ｄ内の圧力が試験圧力である第１の閾値となって第２バルブ７０が閉じられたことにより、ワークＷを把持することができる。このようにして、ロボットハンドシステム１０Ｋは、第２バルブ７０を閉じるタイミングを制御することにより、掌部１８に対する指部２０の開き具合を制御することができるので、使い勝手を向上することができる。

　第２バルブ７０が閉じられた状態で第３バルブ９８を開くと、正圧源でもあるポンプ６６から圧縮気体が第１圧力調整バルブ６８を通って、正圧配管９４Ｄへ流入する。正圧配管９４Ｄへ流入した圧縮気体は、流量絞り弁１３５により所定の流量に制御され、集合配管１３４へ流入する。集合配管１３４へ流入した圧縮気体は、給排気口３４を通って把持本体１６内へ流入し、把持本体１６内の真空度を低下させる（すなわち、圧力を上昇させる）。把持本体１６内の真空度が低下するのに伴い、掌部１８がガイド穴３８から押し出される。掌部１８が押し出されるのに伴い、指部２０が開く。これにより、ワークＷを手放すことができる。また、集合配管１３４へ流入した圧縮気体が吸引配管５８Ｄの他端へ流れ込むことにより、逆止弁１３０が開く。

　なお、制御装置１４Ｋは、吸引配管５８Ｄの代わりに、吸引配管５８Ｅを備えるものでもよい。すなわち、逆止弁１３０の代わりに、第１バルブ５６を用いてもよい。制御装置１４Ｋは、吸引配管５８Ｅを備える場合、吸引配管５８Ｅ内が試験圧力となったときに第１バルブ５６を閉じる。制御装置１４Ｋは、第３バルブ９８を開くタイミングで、第３バルブ９８に加え更に第１バルブ５６を開く。

　正圧配管９４Ｄは、第２圧力調整バルブ１０２を更に有するものでもよい。第２圧力調整バルブ１０２は、正圧配管９４Ｄの一端と第３バルブ９８との間に設けられる。第２圧力調整バルブ１０２は、ポンプ６６から供給された高圧の気体の圧力を所定の圧力へ下げる。

（変形例３－３）

　図１５を参照して第３実施形態の変形例３－３に係るロボットハンドシステム１０Ｌを説明する。ロボットハンドシステム１０Ｌは、把持装置１２と、制御装置１４Ｌとを備える。制御装置１４Ｌは、真空エジェクタ５２と、流入配管５４Ａと、吸引配管５８Ｆと、正圧配管９４Ｃとを有する。

　真空エジェクタ５２は、流入ポート６０と、排出ポート６２と、吸引ポート６４とを有する。流入配管５４Ａは、第１圧力調整バルブ６８と、第２バルブ７０とを有する。正圧配管９４Ｃは、第３バルブ９８を有する。

　吸引配管５８Ｆは、逆止弁１３０と、第１センサ１３１と、第２センサ１３２と、第３センサ１３３と、電源１３７と、セレクトスイッチ１３８とを有する。

　逆止弁１３０は、吸引配管５８Ｆから真空エジェクタ５２の吸引ポート６４へ気体が流れることを許容し、真空エジェクタ５２の吸引ポート６４から吸引配管５８Ｆへ気体が流れることを禁止するように構成されている。

　第１センサ１３１は、吸引配管５８Ｆ内の圧力を検知し、検知した圧力が第１の閾値以下となった場合に第１検知信号を出力する。第１の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０２ＭＰａとされている。

　第２センサ１３２は、吸引配管５８Ｆ内の圧力を検知し、検知した圧力が第１の閾値より低い第２の閾値以下となった場合に第２検知信号を出力する。第２の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０４ＭＰａとされている。

　第３センサ１３３は、吸引配管５８Ｆ内の圧力を検知し、検知した圧力が第２の閾値より低い第３の閾値以下となった場合に第３検知信号を出力する。第３の閾値は、適宜変更することが可能であるが、この例ではゲージ圧で－０．０６ＭＰａとされている。

　電源１３７は、第１センサ１３１、第２センサ１３２、及び第３センサ１３３に対し、電力の供給を行う。

　セレクトスイッチ１３８は、第１センサ１３１と第２センサ１３２と第３センサ１３３とのうちのいずれか一つを電源１３７と接続する。

　ロボットハンドシステム１０Ｌの動作及び効果を説明する。ロボットハンドシステム１０Ｌでは、制御装置１４Ｌによって、吸引配管５８Ｆが所望の圧力（試験圧力）となったときに第２バルブ７０を閉じる制御が行われる。試験圧力は、第１の閾値（－０．０２ＭＰａ）、第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）、第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）の中から選択される。例えば、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するときの把持本体１６内の圧力を予め測定し、この測定値に基づき、試験圧力を選択することができる。制御装置１４Ｌは、選択された試験圧力に基づき、セレクトスイッチ１３８の切り替えを行うことにより、第１センサ１３１、第２センサ１３２、第３センサ１３３の中から作動させるセンサを設定する。この例では、把持本体１６内の圧力が第２の閾値よりも若干小さいときに、指部２０の内面２２がワークＷ表面に接触するものとし、試験圧力として第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）が設定される場合を説明する。制御装置１４Ｌは、セレクトスイッチ１３８の切り替えを行うことにより、電源１３７と第２センサ１３２とを接続する。ポンプ６６から真空エジェクタ５２の流入ポート６０へ供給される圧縮気体は、第１圧力調整バルブ６８を調整することにより、吸引配管５８Ｆ内の圧力が第３の閾値（－０．０６ＭＰａ）に達するような所定の正圧の値以上の圧力に設定される。

　第２バルブ７０は、常時開とする。第３バルブ９８は、常時閉とする。起動されたポンプ６６から第１圧力調整バルブ６８へ圧縮気体が供給される。圧縮気体は、第１圧力調整バルブ６８で所定の正圧の値以上の圧力に調整され、第２バルブ７０を通って、真空エジェクタ５２の流入ポート６０へ流入する。真空エジェクタ５２は、流入ポート６０へ圧縮気体が送り込まれることによって、排出ポート６２から外部へ気体を排出しながら、吸引ポート６４から吸引配管５８Ｆ内の気体を吸い込む。このときに吸引ポート６４へ吸い込まれる気体は、吸引配管５８Ｆのうち、吸引ポート６４と逆止弁１３０との間の一部の配管内の気体である。

　逆止弁１３０は、上記の一部の配管内の気体が吸引ポート６４へ吸い込まれることにより開く。逆止弁１３０は、圧縮気体が流入ポート６０へ流入し排出ポート６２から排出されている間、開いた状態が維持される。逆止弁１３０が開くことにより、吸引配管５８Ｆを通じて、把持本体１６内の気体が吸引される。把持本体１６内から吸引された気体は、圧縮気体と共に排出ポート６２から外部へ排出される。この結果、把持本体１６内の真空度が上昇（すなわち圧力が低下）する。そうすると掌部１８が、高強度部３６のガイド穴３８に吸い込まれるようにして厚さ方向に変形し、指部２０は、掌部１８へ向かって倒れるように弾性変形する（図４参照）。

　吸引配管５８Ｆ内の圧力が第２の閾値（－０．０４ＭＰａ）となった場合、第２センサ１３２は第２検知信号を出力する。制御装置１４Ｌは、第２センサ１３２が第２検知信号を出力した場合、吸引配管５８Ｆ内の圧力が試験圧力に達したと判定し、第２バルブ７０を閉じる制御を行う。第２バルブ７０が閉じられ、流入ポート６０への圧縮気体の流入が停止することにより、吸引配管５８Ｆ内から排出ポート６２への気体の排出が停止し、逆止弁１３０が閉じる。把持本体１６内が密閉され、把持本体１６内の圧力が試験圧力、すなわち第２の閾値に保持される。把持本体１６内の真空度が一定に保持されるので、指部２０の開き具合が所望の状態で維持される。把持装置１２は、吸引配管５８Ｆ内の圧力が試験圧力である第２の閾値となって第２バルブ７０が閉じられたことにより、ワークＷを把持することができる。このようにして、ロボットハンドシステム１０Ｌは、第２バルブ７０を閉じるタイミングを制御することにより、掌部１８に対する指部２０の開き具合を制御することができるので、使い勝手を向上することができる。

　第３バルブ９８を開くと、把持本体１６内の負圧によって、外部の気体が第３バルブ９８を通じて正圧配管９４Ｃへ流れ込む。正圧配管９４Ｃへ流れ込んだ気体は、給排気口３４を通って把持本体１６内へ流入し、把持本体１６内の真空度を低下させる（すなわち、圧力を上昇させる）。把持本体１６内の真空度が低下するのに伴い、掌部１８がガイド穴３８から押し出される。掌部１８が押し出されるのに伴い、指部２０が開く。これにより、ワークＷを手放すことができる。また、把持本体１６内へ流入した気体が吸引配管５８Ｆの他端へ流れ込むことにより、逆止弁１３０が開く。

　上記第３実施形態では、吸引配管内の圧力を検知する圧力センサとして、第１センサ１３１と第２センサ１３２と第３センサ１３３との３個の圧力センサを用いているが、圧力センサの数はこれに限らず、複数であればよい。

４．変形例

　本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲内で適宜変更することが可能である。上記実施形態において、「複数」は３個である場合について説明したが、本発明はこれに限らず、２個、又は４個以上でもよい。

　上記実施形態は、それぞれ組み合わせて適用することもできる。例えば、図７に示した制御装置１４Ｄに、図１０に示した正圧配管９４Ｂを組み合わせてもよい。また図８に示した制御装置１４Ｅに、図１１に示した正圧配管１０９を組み合わせてもよい。図１２及び図１４に示した吸引配管５８Ｄ、図１３に示した吸引配管５８Ｅに、図１５に示した吸引配管５８Ｆの電源１３７及びセレクトスイッチ１３８を組み合わせてもよい。図１２に示した制御装置１４Ｉ、図１３に示した制御装置１４Ｊ、図１５に示した制御装置１４Ｌに、図１４に示した正圧配管９４Ｄ及び集合配管１３４を組み合わせてもよい。

　本発明のアクチュエータは、把持装置である場合に限らない。例えば、本発明は、内部の圧力変化に応じて伸縮する伸縮部と、伸縮部が伸縮する動作に合わせて開閉動作する蝶番部とを備え、伸縮部に供給される空気の圧力変化に応じて蝶番部の角度を決定することによって駆動力を得るアクチュエータに適用してもよい。本発明は、複数の圧力室を有するチューブ状の本体を備え、本体に供給される空気の圧力変化に応じて推進力を発生させるアクチュエータに適用してもよい。

１０Ａ～１０Ｌ  ロボットハンドシステム
１２    把持装置（アクチュエータ）
１４Ａ～１４Ｌ  制御装置
５２    真空エジェクタ
５４Ａ～５４Ｅ  流入配管
５６    第１バルブ
５８Ａ～５８Ｆ  吸引配管
６０    流入ポート
６２    排出ポート
６４    吸引ポート
６５、９３      経路
６６    ポンプ
６８    第１圧力調整バルブ
７０    第２バルブ
９４Ａ～９４Ｄ  正圧配管
９８    第３バルブ
１００  スピードコントローラ
１０２  第２圧力調整バルブ
１０９  正圧配管
１１０  注射筒

Claims

負圧を動力源とするアクチュエータに接続可能な制御装置であって、
流入ポートと、排出ポートと、吸引ポートとを有する真空エジェクタと、
前記流入ポートとポンプとを接続可能な流入配管と、
前記吸引ポートと前記アクチュエータとを接続可能な吸引配管と、
前記排出ポート、前記真空エジェクタ、前記吸引ポート、及び前記吸引配管を通る経路に設けられた第１バルブと
を備える、制御装置。
前記流入配管は、第２バルブを有する、請求項１に記載の制御装置。
前記流入配管は、第１圧力調整バルブを有する、請求項２に記載の制御装置。
各々が前記真空エジェクタと同一構造を有する複数の真空エジェクタと、
前記複数の真空エジェクタに対し接続された、
各々が前記流入配管と同一構造を有する複数の流入配管と、
各々が前記吸引配管と同一構造を有する複数の吸引配管と
を備える、請求項１～３のいずれか１項に記載の制御装置。
請求項１～４のいずれか１項に記載の制御装置と、前記アクチュエータとしての把持装置とを備えた、ロボットハンドシステム。
負圧を動力源とするアクチュエータに接続可能な制御装置であって、
流入ポートと、排出ポートと、吸引ポートとを有する真空エジェクタと、
前記流入ポートとポンプとを接続可能な流入配管と、
前記吸引ポートと前記アクチュエータとを接続可能な吸引配管と、
前記アクチュエータと、正圧を供給可能な正圧源とを接続可能な正圧配管と
を備え、
前記正圧配管は、第３バルブを有する、制御装置。
各々が前記正圧配管と同一構造を有する複数の正圧配管を備え、
前記複数の正圧配管は、前記アクチュエータに対し並列に接続可能であり、それぞれスピードコントローラを有し、
前記スピードコントローラは大気に開放されている、
請求項６に記載の制御装置。
前記正圧配管が前記流入配管に接続されており、第２圧力調整バルブが設けられている、請求項６に記載の制御装置。
前記正圧配管が注射筒に接続されている、請求項６に記載の制御装置。
請求項６～９のいずれか１項に記載の制御装置と、前記アクチュエータとしての把持装置とを備えた、ロボットハンドシステム。
負圧を動力源とするアクチュエータに接続可能な制御装置であって、
流入ポートと、排出ポートと、吸引ポートとを有する真空エジェクタと、
前記流入ポートとポンプとを接続可能な複数の流入配管と、
前記吸引ポートと前記アクチュエータとを接続可能な吸引配管と
を備え、
前記複数の流入配管が、それぞれ、サブ圧力調整バルブ、及びサブバルブを有し、
前記複数の流入配管が、前記真空エジェクタに対し並列に接続された構造である、制御装置。
請求項１１に記載の制御装置と、前記アクチュエータとしての把持装置とを備えた、ロボットハンドシステム。
負圧を動力源とするアクチュエータに接続可能な制御装置であって、
流入ポートと、排出ポートと、吸引ポートとを有する真空エジェクタと、
前記流入ポートとポンプとを接続可能な流入配管と、
前記吸引ポートと前記アクチュエータとを接続可能な吸引配管と、
を備え、
前記吸引配管は、前記吸引配管内の圧力を検知する複数の圧力センサを有する、制御装置。
前記吸引配管は、前記吸引配管から前記吸引ポートへ気体が流れることを許容し、前記吸引ポートから前記吸引配管へ前記気体が流れることを禁止するように構成されている逆止弁を更に有し、
前記流入配管は、第２バルブを有する、請求項１３に記載の制御装置。
前記吸引配管は、第１バルブを更に有する、請求項１３に記載の制御装置。
前記アクチュエータと、正圧を供給可能な正圧源とを接続可能な正圧配管を更に備え、
前記正圧配管は、第３バルブを有する、請求項１３～１５のいずれか１項に記載の制御装置。
前記吸引配管及び前記正圧配管を前記アクチュエータに接続する集合配管を更に備え、
前記集合配管は、リリーフバルブを有し、
前記正圧配管は、流量絞り弁を更に有する、請求項１６に記載の制御装置。
前記吸引配管は、
前記複数の圧力センサに対し、電力の供給を行う電源と、
前記複数の圧力センサのうちのいずれか一つを前記電源と接続するセレクトスイッチと、
を更に有する、請求項１３～１７のいずれか１項に記載の制御装置。
請求項１３～１８のいずれか１項に記載の制御装置と、前記アクチュエータとしての把持装置とを備えた、ロボットハンドシステム。