JP2001074000A - 真空発生用ユニット - Google Patents
真空発生用ユニットInfo
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- JP2001074000A JP2001074000A JP25064399A JP25064399A JP2001074000A JP 2001074000 A JP2001074000 A JP 2001074000A JP 25064399 A JP25064399 A JP 25064399A JP 25064399 A JP25064399 A JP 25064399A JP 2001074000 A JP2001074000 A JP 2001074000A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
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- F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
- F04F5/16—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
- F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
-
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- F04F5/48—Control
- F04F5/52—Control of evacuating pumps
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本体部の長手方向と略直交する幅方向の寸法を
減縮して小型・軽量化を図ることが可能な真空発生用ユ
ニットを提供することにある。 【解決手段】圧縮空気供給ポート３６に連通する第１通
路４８、真空ポート６２に連通する第６通路６４、電磁
弁用排気ポート３８に連通する第８通路１１６をそれぞ
れ略平行に配設し、しかも、本体部２０に、圧力流体供
給用電磁弁２２、真空破壊用電磁弁２４、流量調整ねじ
１１４、サクションフィルタ９４および真空圧力スイッ
チ９６を順次直列に配設する。
減縮して小型・軽量化を図ることが可能な真空発生用ユ
ニットを提供することにある。 【解決手段】圧縮空気供給ポート３６に連通する第１通
路４８、真空ポート６２に連通する第６通路６４、電磁
弁用排気ポート３８に連通する第８通路１１６をそれぞ
れ略平行に配設し、しかも、本体部２０に、圧力流体供
給用電磁弁２２、真空破壊用電磁弁２４、流量調整ねじ
１１４、サクションフィルタ９４および真空圧力スイッ
チ９６を順次直列に配設する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、吸着用パ
ッド等の吸着手段に対して負圧を供給することが可能な
真空発生用ユニットに関する。
ッド等の吸着手段に対して負圧を供給することが可能な
真空発生用ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、吸着用パッドに負圧を供給す
る手段として真空発生用ユニットが利用されている。こ
の種の真空発生用ユニットは、一般的に、負圧を発生さ
せるエゼクタと、チューブを介して吸着用パッド等の吸
着手段に連通接続される真空ポートと、前記エゼクタや
真空ポートに圧縮空気を送給し、あるいは遮断する圧力
流体供給用電磁弁および真空破壊用電磁弁が設けられた
弁機構部と、前記真空ポートに発生する負圧を検出する
真空スイッチ部等から構成される。
る手段として真空発生用ユニットが利用されている。こ
の種の真空発生用ユニットは、一般的に、負圧を発生さ
せるエゼクタと、チューブを介して吸着用パッド等の吸
着手段に連通接続される真空ポートと、前記エゼクタや
真空ポートに圧縮空気を送給し、あるいは遮断する圧力
流体供給用電磁弁および真空破壊用電磁弁が設けられた
弁機構部と、前記真空ポートに発生する負圧を検出する
真空スイッチ部等から構成される。
【０００３】このような従来技術に係る真空発生用ユニ
ットの概略動作について説明する。
ットの概略動作について説明する。
【０００４】弁機構部を介してエゼクタに圧縮空気を供
給し負圧を発生させる。前記エゼクタで発生した負圧
は、真空ポートに接続されたチューブを通じて吸着用パ
ッドに送給され、吸着用パッドに発生した負圧作用によ
ってワークが吸着される。このようにして吸着用パッド
に吸着保持されたワークは、ロボットのアームの変位作
用下に所定の位置まで搬送される。
給し負圧を発生させる。前記エゼクタで発生した負圧
は、真空ポートに接続されたチューブを通じて吸着用パ
ッドに送給され、吸着用パッドに発生した負圧作用によ
ってワークが吸着される。このようにして吸着用パッド
に吸着保持されたワークは、ロボットのアームの変位作
用下に所定の位置まで搬送される。
【０００５】次に、吸着用パッドに保持されたワークを
離脱させる場合、圧縮空気を弁機構部から真空ポートに
連通する通路を介して吸着用パッドに送給することによ
り、前記吸着用パッドの負圧状態が解除される。この結
果、ワークが吸着用パッドから離間し所望の位置に搬送
される。
離脱させる場合、圧縮空気を弁機構部から真空ポートに
連通する通路を介して吸着用パッドに送給することによ
り、前記吸着用パッドの負圧状態が解除される。この結
果、ワークが吸着用パッドから離間し所望の位置に搬送
される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来から、
本体部の長手方向と略直交する幅方向の寸法を減縮する
ことにより、できるだけ小型・軽量化したいという要請
がある。例えば、複数の真空発生ユニットを連設してマ
ニホールド化した場合、本体部の幅方向の寸法を減縮す
ることにより、極めて小型・軽量な電磁弁マニホールド
が得られ、設置された空間の有効利用を図ることができ
るからである。
本体部の長手方向と略直交する幅方向の寸法を減縮する
ことにより、できるだけ小型・軽量化したいという要請
がある。例えば、複数の真空発生ユニットを連設してマ
ニホールド化した場合、本体部の幅方向の寸法を減縮す
ることにより、極めて小型・軽量な電磁弁マニホールド
が得られ、設置された空間の有効利用を図ることができ
るからである。
【０００７】本発明は、前記要請に鑑みてなされたもの
であり、本体部の長手方向と略直交する幅方向の寸法を
減縮して小型・軽量化を図ることが可能な真空発生用ユ
ニットを提供することを目的とする。
であり、本体部の長手方向と略直交する幅方向の寸法を
減縮して小型・軽量化を図ることが可能な真空発生用ユ
ニットを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、圧力流体供給源に接続される圧力流体
供給ポート、吸着手段に接続される真空ポートおよび前
記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体を外部に
排出する排出ポートが設けられた本体部と、前記圧力流
体供給ポートから供給された圧力流体の作用下に負圧を
発生させるエゼクタ部と、前記本体部に搭載される電磁
弁部および検出部と、を備え、前記圧力流体供給ポート
に連通する通路、前記真空ポートに連通する通路、電磁
弁用排気ポートに連通する通路がそれぞれ略平行に配設
されることを特徴とする。
めに、本発明は、圧力流体供給源に接続される圧力流体
供給ポート、吸着手段に接続される真空ポートおよび前
記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体を外部に
排出する排出ポートが設けられた本体部と、前記圧力流
体供給ポートから供給された圧力流体の作用下に負圧を
発生させるエゼクタ部と、前記本体部に搭載される電磁
弁部および検出部と、を備え、前記圧力流体供給ポート
に連通する通路、前記真空ポートに連通する通路、電磁
弁用排気ポートに連通する通路がそれぞれ略平行に配設
されることを特徴とする。
【０００９】この場合、前記本体部に、圧力流体供給用
電磁弁、真空破壊用電磁弁、流量調整ねじ、フィルタお
よび真空圧力スイッチを順次直列に配設するとよい。ま
た、前記圧力流体供給ポートに連通する通路に対して第
１オン／オフ弁および第２オン／オフ弁が略平行に配設
され、前記第１オン／オフ弁は、圧力流体供給用電磁弁
から供給されるパイロット圧の作用下にオフ状態からオ
ン状態に切り換わり、前記第２オン／オフ弁は、真空破
壊用電磁弁から供給されるパイロット圧の作用下にオフ
状態からオン状態に切り換わるように設けるとよい。
電磁弁、真空破壊用電磁弁、流量調整ねじ、フィルタお
よび真空圧力スイッチを順次直列に配設するとよい。ま
た、前記圧力流体供給ポートに連通する通路に対して第
１オン／オフ弁および第２オン／オフ弁が略平行に配設
され、前記第１オン／オフ弁は、圧力流体供給用電磁弁
から供給されるパイロット圧の作用下にオフ状態からオ
ン状態に切り換わり、前記第２オン／オフ弁は、真空破
壊用電磁弁から供給されるパイロット圧の作用下にオフ
状態からオン状態に切り換わるように設けるとよい。
【００１０】また、前記真空圧力スイッチは、第１ケー
シングと第２ケーシングとを有し、前記第１ケーシング
に形成された複数の突起部を第２ケーシングに形成され
た複数の係止用孔部にそれぞれ挿入して第１ケーシング
と第２ケーシングとを組み付けるとよい。
シングと第２ケーシングとを有し、前記第１ケーシング
に形成された複数の突起部を第２ケーシングに形成され
た複数の係止用孔部にそれぞれ挿入して第１ケーシング
と第２ケーシングとを組み付けるとよい。
【００１１】本発明によれば、通路の配置を前記のよう
に設け、さらに、本体部に対して圧力流体供給用電磁
弁、真空破壊用電磁弁、流量調整ねじ、フィルタおよび
真空圧力スイッチを順次直列に配設することにより、本
体部の長手方向と略直交する幅方向の寸法を抑制するこ
とができる。
に設け、さらに、本体部に対して圧力流体供給用電磁
弁、真空破壊用電磁弁、流量調整ねじ、フィルタおよび
真空圧力スイッチを順次直列に配設することにより、本
体部の長手方向と略直交する幅方向の寸法を抑制するこ
とができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係る真空発生用ユニット
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。
について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照し
ながら以下詳細に説明する。
【００１３】図１において、参照数字１０は、本発明の
実施の形態に係る真空発生用ユニットを示す。
実施の形態に係る真空発生用ユニットを示す。
【００１４】この真空発生用ユニット１０は、長手方向
に沿って直列に連結された第１ブロック体１２、第２ブ
ロック体１４、第３ブロック体１６および第４ブロック
体１８からなる本体部２０と、前記本体部２０の上面部
に配設された圧力流体供給用電磁弁２２および真空破壊
用電磁弁２４からなる電磁弁部２６と、前記本体部２０
の内部に配設され、ノズル２８およびディフューザ３０
を有するエゼクタ部３２と、前記第４ブロック体１８に
装着されワークの吸着状態を確認する検出部３４とから
構成される。前記ノズル２８は、第２ブロック体１４と
一体化して形成してもよい。なお、前記圧力流体供給用
電磁弁２２および真空破壊用電磁弁２４は、それぞれ同
一構成要素からなり、ノーマルクローズタイプに設定さ
れている。また、前記圧力流体供給用電磁弁２２および
真空破壊用電磁弁２４はノーマルクローズタイプに限定
されるものではなく、図示しないノーマルオープンタイ
プの電磁弁、自己保持型電磁弁あるいはタイマー付電磁
弁等を用いてもよい。
に沿って直列に連結された第１ブロック体１２、第２ブ
ロック体１４、第３ブロック体１６および第４ブロック
体１８からなる本体部２０と、前記本体部２０の上面部
に配設された圧力流体供給用電磁弁２２および真空破壊
用電磁弁２４からなる電磁弁部２６と、前記本体部２０
の内部に配設され、ノズル２８およびディフューザ３０
を有するエゼクタ部３２と、前記第４ブロック体１８に
装着されワークの吸着状態を確認する検出部３４とから
構成される。前記ノズル２８は、第２ブロック体１４と
一体化して形成してもよい。なお、前記圧力流体供給用
電磁弁２２および真空破壊用電磁弁２４は、それぞれ同
一構成要素からなり、ノーマルクローズタイプに設定さ
れている。また、前記圧力流体供給用電磁弁２２および
真空破壊用電磁弁２４はノーマルクローズタイプに限定
されるものではなく、図示しないノーマルオープンタイ
プの電磁弁、自己保持型電磁弁あるいはタイマー付電磁
弁等を用いてもよい。
【００１５】前記第１乃至第４ブロック体１２、１４、
１６、１８は、それぞれ略同一の幅寸法を有し、扁平な
薄肉状に形成されている（図２および図３参照）。第１
ブロック体１２の一側面には、エゼクタ部３２に圧縮空
気を供給するための圧縮空気供給ポート（圧力流体供給
ポート）３６が形成され、前記圧縮空気供給ポート３６
に近接する上部側には、電磁弁用排気ポート３８が形成
されている。また、第１ブロック体１２の室４０内に
は、パイロット圧の供給作用下にオフ状態からオン状態
に切り換わる第１オン／オフ弁４２が配設され、第２ブ
ロック体１４の室４４内には、パイロット圧の供給作用
下にオフ状態からオン状態に切り換わる第２オン／オフ
弁４６が配設される。
１６、１８は、それぞれ略同一の幅寸法を有し、扁平な
薄肉状に形成されている（図２および図３参照）。第１
ブロック体１２の一側面には、エゼクタ部３２に圧縮空
気を供給するための圧縮空気供給ポート（圧力流体供給
ポート）３６が形成され、前記圧縮空気供給ポート３６
に近接する上部側には、電磁弁用排気ポート３８が形成
されている。また、第１ブロック体１２の室４０内に
は、パイロット圧の供給作用下にオフ状態からオン状態
に切り換わる第１オン／オフ弁４２が配設され、第２ブ
ロック体１４の室４４内には、パイロット圧の供給作用
下にオフ状態からオン状態に切り換わる第２オン／オフ
弁４６が配設される。
【００１６】圧縮空気供給ポート３６は、第１ブロック
体１２および第２ブロック体１４の略中央部に沿って所
定長だけ延在する第１通路４８に連通し、前記第１通路
４８から分岐して圧力流体供給用電磁弁２２に連通する
第２通路５０および真空破壊用電磁弁２４に連通する第
３通路５２が形成されている。また、前記第１通路４８
から分岐して第１オン／オフ弁４２に連通する第４通路
５４および第２オン／オフ弁４６に連通する第５通路５
６が形成され、前記第４通路５４および第５通路５６を
介して第１オン／オフ弁４２および第２オン／オフ弁４
６にそれぞれ圧縮空気が供給される。
体１２および第２ブロック体１４の略中央部に沿って所
定長だけ延在する第１通路４８に連通し、前記第１通路
４８から分岐して圧力流体供給用電磁弁２２に連通する
第２通路５０および真空破壊用電磁弁２４に連通する第
３通路５２が形成されている。また、前記第１通路４８
から分岐して第１オン／オフ弁４２に連通する第４通路
５４および第２オン／オフ弁４６に連通する第５通路５
６が形成され、前記第４通路５４および第５通路５６を
介して第１オン／オフ弁４２および第２オン／オフ弁４
６にそれぞれ圧縮空気が供給される。
【００１７】さらに、圧力流体供給用電磁弁２２と第１
オン／オフ弁４２との間には、前記圧力流体供給用電磁
弁２２を付勢してオン状態とすることにより前記第１オ
ン／オフ弁４２にパイロット圧を供給する第１パイロッ
ト通路５８が形成され、真空破壊用電磁弁２４と第２オ
ン／オフ弁４６との間には、前記真空破壊用電磁弁２４
を付勢してオン状態とすることにより前記第２オン／オ
フ弁４６にパイロット圧を供給する第２パイロット通路
６０が形成されている。
オン／オフ弁４２との間には、前記圧力流体供給用電磁
弁２２を付勢してオン状態とすることにより前記第１オ
ン／オフ弁４２にパイロット圧を供給する第１パイロッ
ト通路５８が形成され、真空破壊用電磁弁２４と第２オ
ン／オフ弁４６との間には、前記真空破壊用電磁弁２４
を付勢してオン状態とすることにより前記第２オン／オ
フ弁４６にパイロット圧を供給する第２パイロット通路
６０が形成されている。
【００１８】エゼクタ部３２を構成するノズル２８とデ
ィフューザ３０との間には、真空ポート６２に連通し、
第１通路４８と略平行に延在する第６通路６４が形成さ
れ、前記エゼクタ部３２において発生する負圧は、チュ
ーブ等を介して接続された図示しない吸着用パッド等の
吸着手段に供給される。ディフューザ３０は、第３ブロ
ック体１６に形成された排気ポート６６に連通し、エゼ
クタ部３２に供給された圧縮空気はこの排気ポート（排
出ポート）６６に連通するサイレンサ６８（図７参照）
を通じて外部に排気される。
ィフューザ３０との間には、真空ポート６２に連通し、
第１通路４８と略平行に延在する第６通路６４が形成さ
れ、前記エゼクタ部３２において発生する負圧は、チュ
ーブ等を介して接続された図示しない吸着用パッド等の
吸着手段に供給される。ディフューザ３０は、第３ブロ
ック体１６に形成された排気ポート６６に連通し、エゼ
クタ部３２に供給された圧縮空気はこの排気ポート（排
出ポート）６６に連通するサイレンサ６８（図７参照）
を通じて外部に排気される。
【００１９】第２オン／オフ弁４６には第６通路６４に
連通し且つ略平行に延在する第７通路７０が接続され、
前記第２オン／オフ弁４６がオン状態となることにより
第７通路７０を介して圧縮空気が供給される。従って、
真空ポート６２に連通する第６通路６４に圧縮空気（正
圧）が供給されることにより負圧状態が解除される。
連通し且つ略平行に延在する第７通路７０が接続され、
前記第２オン／オフ弁４６がオン状態となることにより
第７通路７０を介して圧縮空気が供給される。従って、
真空ポート６２に連通する第６通路６４に圧縮空気（正
圧）が供給されることにより負圧状態が解除される。
【００２０】第１オン／オフ弁４２および第２オン／オ
フ弁４６は、それぞれ同一構成要素からなり、図４に示
されるように、略水平方向に所定距離だけ変位自在に設
けられた弁体７２と、前記弁体７２を囲繞するように円
筒状に形成され、前記室４０内に固定されたリテーナ７
４とを有する。前記弁体７２の一端側の外周面には、前
記リテーナ７４の着座部７６に着座して室４０を閉塞す
る第１リング体７８が装着され、前記弁体７２の他端側
の外周面には、リテーナ７４の内壁面に沿って摺動する
第２リング体８０が装着されている。前記第１および第
２リング体７８、８０は、天然ゴムまたは合成ゴム等の
弾性材料によって形成されている。
フ弁４６は、それぞれ同一構成要素からなり、図４に示
されるように、略水平方向に所定距離だけ変位自在に設
けられた弁体７２と、前記弁体７２を囲繞するように円
筒状に形成され、前記室４０内に固定されたリテーナ７
４とを有する。前記弁体７２の一端側の外周面には、前
記リテーナ７４の着座部７６に着座して室４０を閉塞す
る第１リング体７８が装着され、前記弁体７２の他端側
の外周面には、リテーナ７４の内壁面に沿って摺動する
第２リング体８０が装着されている。前記第１および第
２リング体７８、８０は、天然ゴムまたは合成ゴム等の
弾性材料によって形成されている。
【００２１】また、前記弁体７２には、該弁体７２の略
中央部から第１リング体７８まで延在する段付環状溝８
２が形成され、さらに、リテーナ７４の段部８４に当接
することにより弁体７２の右方向への変位量を規制する
ストッパ部８６が形成されている。前記リテーナ７４に
は、段付環状溝８２に連通する孔部８８が形成されてい
る。なお、参照数字９０は、パッキンを示し、参照数字
９２は、Ｏリングを示している。
中央部から第１リング体７８まで延在する段付環状溝８
２が形成され、さらに、リテーナ７４の段部８４に当接
することにより弁体７２の右方向への変位量を規制する
ストッパ部８６が形成されている。前記リテーナ７４に
は、段付環状溝８２に連通する孔部８８が形成されてい
る。なお、参照数字９０は、パッキンを示し、参照数字
９２は、Ｏリングを示している。
【００２２】前記第４通路５４を介して供給される圧縮
空気の作用下に、弁体７２が図４に示されるように左方
向に変位し、第１リング体７８がリテーナ７４の着座部
７６に着座することにより室４０が閉塞され、第１オン
／オフ弁４２がオフ状態となる。一方、圧力流体供給用
電磁弁２２の付勢作用下に第１パイロット通路５８を介
して供給されるパイロット圧によって弁体７２が図５に
示されるように右方向に変位し、第１リング体７８が着
座部７６から離間することにより第１オン／オフ弁４２
がオン状態となる。この場合、第４通路５４を介して供
給された圧縮空気は、図５中、矢印で示すように、段付
環状溝８２並びに第１リング体７８と着座部７６との間
の空間を経由してエゼクタ部３２に導出される。
空気の作用下に、弁体７２が図４に示されるように左方
向に変位し、第１リング体７８がリテーナ７４の着座部
７６に着座することにより室４０が閉塞され、第１オン
／オフ弁４２がオフ状態となる。一方、圧力流体供給用
電磁弁２２の付勢作用下に第１パイロット通路５８を介
して供給されるパイロット圧によって弁体７２が図５に
示されるように右方向に変位し、第１リング体７８が着
座部７６から離間することにより第１オン／オフ弁４２
がオン状態となる。この場合、第４通路５４を介して供
給された圧縮空気は、図５中、矢印で示すように、段付
環状溝８２並びに第１リング体７８と着座部７６との間
の空間を経由してエゼクタ部３２に導出される。
【００２３】従って、第１オン／オフ弁４２がオフ状態
にある場合、エゼクタ部３２に対する圧縮空気の供給が
停止され、前記第１オン／オフ弁４２がオン状態となる
ことにより、圧縮空気がエゼクタ部３２に供給される。
にある場合、エゼクタ部３２に対する圧縮空気の供給が
停止され、前記第１オン／オフ弁４２がオン状態となる
ことにより、圧縮空気がエゼクタ部３２に供給される。
【００２４】検出部３４は、負圧作用下に真空ポート６
２から吸引された空気中に含まれる塵埃等を除去するた
めのサクションフィルタ９４と、内部に図示しない半導
体圧力センサが配設され、予め設定された閾値に到達し
たときに検出信号を導出する真空圧力スイッチ９６とを
含む。前記サクションフィルタ９４および真空圧力スイ
ッチ９６は、それぞれ第４ブロック体１８と気密に連結
される。
２から吸引された空気中に含まれる塵埃等を除去するた
めのサクションフィルタ９４と、内部に図示しない半導
体圧力センサが配設され、予め設定された閾値に到達し
たときに検出信号を導出する真空圧力スイッチ９６とを
含む。前記サクションフィルタ９４および真空圧力スイ
ッチ９６は、それぞれ第４ブロック体１８と気密に連結
される。
【００２５】前記真空圧力スイッチ９６は、第６通路６
４に連通する通路９８を介して吸着用パッドに供給され
る負圧を導入し、前記導入された圧力流体の負圧を図示
しない半導体圧力センサによって検出することにより、
ワークの吸着状態を確認する機能を営む。なお、前記通
路９８中に、図示しない半導体圧力センサを保護するた
めのフィルタ（図示せず）を設けるとよい。また、真空
圧力スイッチの操作手段としては、トリマータイプある
いはアップボタン、ダウンボタンを含むプッシュタイプ
のいずれであってもよい。
４に連通する通路９８を介して吸着用パッドに供給され
る負圧を導入し、前記導入された圧力流体の負圧を図示
しない半導体圧力センサによって検出することにより、
ワークの吸着状態を確認する機能を営む。なお、前記通
路９８中に、図示しない半導体圧力センサを保護するた
めのフィルタ（図示せず）を設けるとよい。また、真空
圧力スイッチの操作手段としては、トリマータイプある
いはアップボタン、ダウンボタンを含むプッシュタイプ
のいずれであってもよい。
【００２６】また、真空圧力スイッチ９６は、図６に示
されるように、係止手段１００を介して一体的に連結さ
れる第１ケーシング１０２および第２ケーシング１０４
と、前記第１ケーシング１０２および第２ケーシング１
０４によって形成された内部空間に配設される回路基板
１０６と、カバープレート１０８とを有する。前記係止
手段１００は、第１ケーシング１０２の開口部近傍の側
壁面に形成された複数の突起部１１０と、第２ケーシン
グ１０４の側壁面に形成され、前記突起部１１０が挿入
される係止用孔部１１２とから構成される。
されるように、係止手段１００を介して一体的に連結さ
れる第１ケーシング１０２および第２ケーシング１０４
と、前記第１ケーシング１０２および第２ケーシング１
０４によって形成された内部空間に配設される回路基板
１０６と、カバープレート１０８とを有する。前記係止
手段１００は、第１ケーシング１０２の開口部近傍の側
壁面に形成された複数の突起部１１０と、第２ケーシン
グ１０４の側壁面に形成され、前記突起部１１０が挿入
される係止用孔部１１２とから構成される。
【００２７】なお、図１において、参照数字１１４は、
第２オン／オフ弁４６がオン状態となることにより、第
７通路７０を流通する真空破壊用の圧力流体の流量を調
整する流量調整ねじを示し、参照数字１１６は、圧力流
体供給用電磁弁２２および真空破壊用電磁弁２４と電磁
弁用排気ポート３８とをそれぞれ連通させる第８通路を
示し、この第８通路１１６は第１通路４８と略平行とな
るように配置されている。
第２オン／オフ弁４６がオン状態となることにより、第
７通路７０を流通する真空破壊用の圧力流体の流量を調
整する流量調整ねじを示し、参照数字１１６は、圧力流
体供給用電磁弁２２および真空破壊用電磁弁２４と電磁
弁用排気ポート３８とをそれぞれ連通させる第８通路を
示し、この第８通路１１６は第１通路４８と略平行とな
るように配置されている。
【００２８】本発明の実施の形態に係る真空発生用ユニ
ット１０は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について図７に示す
回路構成図に基づいて説明する。なお、初期状態におい
ては、圧力流体供給用電磁弁２２および真空破壊用電磁
弁２４は、それぞれ、オフ状態にあるものとする。
ット１０は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について図７に示す
回路構成図に基づいて説明する。なお、初期状態におい
ては、圧力流体供給用電磁弁２２および真空破壊用電磁
弁２４は、それぞれ、オフ状態にあるものとする。
【００２９】図示しない圧縮空気供給源から供給された
圧縮空気は、圧縮空気供給ポート３６を介して第１通路
４８に導入される。第１通路４８に導入された圧縮空気
は、前記第１通路４８に連通する第１オン／オフ弁４２
の室４０内に供給され、前記圧縮空気の作用下に、弁体
７２が図４に示されるように左方向に変位して、前記第
１オン／オフ弁４２がオフ状態になっている。
圧縮空気は、圧縮空気供給ポート３６を介して第１通路
４８に導入される。第１通路４８に導入された圧縮空気
は、前記第１通路４８に連通する第１オン／オフ弁４２
の室４０内に供給され、前記圧縮空気の作用下に、弁体
７２が図４に示されるように左方向に変位して、前記第
１オン／オフ弁４２がオフ状態になっている。
【００３０】このような状態において、図示しないコン
トローラから出力されたオン信号によって圧力流体供給
用電磁弁２２をオン状態とする。なお、このとき真空破
壊用電磁弁２４は、オフ状態のままである。前記圧力流
体供給用電磁弁２２がオン状態となることにより、第１
パイロット通路５８を介して第１オン／オフ弁４２にパ
イロット圧が供給され、前記パイロット圧の押圧作用下
に弁体７２が右方向に変位して第１オン／オフ弁４２が
オン状態となる。前記第１オン／オフ弁４２がオン状態
となることにより第１通路４８に導入された圧縮空気は
第１オン／オフ弁４２を通過してエゼクタ部３２に供給
される。
トローラから出力されたオン信号によって圧力流体供給
用電磁弁２２をオン状態とする。なお、このとき真空破
壊用電磁弁２４は、オフ状態のままである。前記圧力流
体供給用電磁弁２２がオン状態となることにより、第１
パイロット通路５８を介して第１オン／オフ弁４２にパ
イロット圧が供給され、前記パイロット圧の押圧作用下
に弁体７２が右方向に変位して第１オン／オフ弁４２が
オン状態となる。前記第１オン／オフ弁４２がオン状態
となることにより第１通路４８に導入された圧縮空気は
第１オン／オフ弁４２を通過してエゼクタ部３２に供給
される。
【００３１】エゼクタ部３２では、ノズル２８のノズル
孔からディフューザ３０に向かって圧縮空気が噴出する
ことにより負圧が発生し、この負圧は、第６通路６４お
よび真空ポート６２に接続されたチューブを介して図示
しない吸着用パッドに供給される。
孔からディフューザ３０に向かって圧縮空気が噴出する
ことにより負圧が発生し、この負圧は、第６通路６４お
よび真空ポート６２に接続されたチューブを介して図示
しない吸着用パッドに供給される。
【００３２】従って、図示しないロボットのアームを操
作することによって吸着用パッドがワークに接触し、負
圧作用下に吸着用パッドがワークを吸着すると負圧がさ
らに上昇し、この負圧は真空圧力スイッチ９６の図示し
ない半導体圧力センサによって検出される。前記半導体
圧力センサによって検出された吸着確認信号は、図示し
ないコントローラに送られ、前記コントローラは、吸着
確認信号を受け取ることにより、吸着用パッドによって
ワークが確実に吸着されたことを確認する。
作することによって吸着用パッドがワークに接触し、負
圧作用下に吸着用パッドがワークを吸着すると負圧がさ
らに上昇し、この負圧は真空圧力スイッチ９６の図示し
ない半導体圧力センサによって検出される。前記半導体
圧力センサによって検出された吸着確認信号は、図示し
ないコントローラに送られ、前記コントローラは、吸着
確認信号を受け取ることにより、吸着用パッドによって
ワークが確実に吸着されたことを確認する。
【００３３】次に、ワークが所定距離だけ移動した後、
前記吸着用パッドの負圧を解除してワークを所定位置に
離脱させる場合について説明する。
前記吸着用パッドの負圧を解除してワークを所定位置に
離脱させる場合について説明する。
【００３４】図示しないコントローラは、圧力流体供給
用電磁弁２２にオフ信号を導出する。この結果、圧力流
体供給用電磁弁２２がオフ状態となることにより第１オ
ン／オフ弁４２がオフ状態となり、エゼクタ部３２に対
する圧縮空気の供給が停止し、真空ポート６２から吸着
用パッドに対する負圧の供給が停止する。
用電磁弁２２にオフ信号を導出する。この結果、圧力流
体供給用電磁弁２２がオフ状態となることにより第１オ
ン／オフ弁４２がオフ状態となり、エゼクタ部３２に対
する圧縮空気の供給が停止し、真空ポート６２から吸着
用パッドに対する負圧の供給が停止する。
【００３５】一方、図示しないコントローラは、真空破
壊用電磁弁２４にオン信号を導出し、前記真空破壊用電
磁弁２４をオン状態にする。前記真空破壊用電磁弁２４
がオン状態となることにより、第２パイロット通路６０
を介して第２オン／オフ弁４６にパイロット圧が供給さ
れ、前記パイロット圧の押圧作用下に弁体７２が右方向
に変位して第２オン／オフ弁４６がオン状態となる。前
記第２オン／オフ弁４６がオン状態となることにより、
第１通路４８に導入された圧縮空気は、第２オン／オフ
弁４６を通過し、第７通路７０および第６通路６４を経
由して真空ポート６２に供給される。この結果、圧縮空
気供給ポート３６から供給された圧縮空気は、真空ポー
ト６２を経由して吸着用パッドに圧縮空気が供給され、
該吸着用パッドのワークに対する吸着状態が解除され
る。
壊用電磁弁２４にオン信号を導出し、前記真空破壊用電
磁弁２４をオン状態にする。前記真空破壊用電磁弁２４
がオン状態となることにより、第２パイロット通路６０
を介して第２オン／オフ弁４６にパイロット圧が供給さ
れ、前記パイロット圧の押圧作用下に弁体７２が右方向
に変位して第２オン／オフ弁４６がオン状態となる。前
記第２オン／オフ弁４６がオン状態となることにより、
第１通路４８に導入された圧縮空気は、第２オン／オフ
弁４６を通過し、第７通路７０および第６通路６４を経
由して真空ポート６２に供給される。この結果、圧縮空
気供給ポート３６から供給された圧縮空気は、真空ポー
ト６２を経由して吸着用パッドに圧縮空気が供給され、
該吸着用パッドのワークに対する吸着状態が解除され
る。
【００３６】ワークが吸着用パッドから離脱することに
より負圧状態から大気圧状態となり、前記大気圧を図示
しない半導体圧力センサによって検出し、半導体圧力セ
ンサは、図示しないコントローラにワーク離脱信号を送
る。コントローラは、前記ワーク離脱信号を受け取るこ
とにより、吸着用パッドからワークが離脱したことを確
認する。このようにして吸着用パッドからワークを確実
に離脱させることができる。
より負圧状態から大気圧状態となり、前記大気圧を図示
しない半導体圧力センサによって検出し、半導体圧力セ
ンサは、図示しないコントローラにワーク離脱信号を送
る。コントローラは、前記ワーク離脱信号を受け取るこ
とにより、吸着用パッドからワークが離脱したことを確
認する。このようにして吸着用パッドからワークを確実
に離脱させることができる。
【００３７】本実施の形態では、圧縮空気供給ポート３
６に連通する第１通路４８と、真空ポート６２に連通す
る第６通路６４と、電磁弁用排気ポート３８に連通する
第８通路１１６とを、それぞれ略平行に配置し、また、
本体部２０の下部側に第１オン／オフ弁４２を、上部側
に第２オン／オフ弁４６を、それぞれ第１通路４８と略
平行となるように配置している。さらに、本実施の形態
では、本体部２０の上部に、圧力流体供給用電磁弁２
２、真空破壊用電磁弁２４、流量調整ねじ１１４、サク
ションフィルタ９４および真空圧力スイッチ９６をそれ
ぞれ順次直列に搭載している。
６に連通する第１通路４８と、真空ポート６２に連通す
る第６通路６４と、電磁弁用排気ポート３８に連通する
第８通路１１６とを、それぞれ略平行に配置し、また、
本体部２０の下部側に第１オン／オフ弁４２を、上部側
に第２オン／オフ弁４６を、それぞれ第１通路４８と略
平行となるように配置している。さらに、本実施の形態
では、本体部２０の上部に、圧力流体供給用電磁弁２
２、真空破壊用電磁弁２４、流量調整ねじ１１４、サク
ションフィルタ９４および真空圧力スイッチ９６をそれ
ぞれ順次直列に搭載している。
【００３８】本実施の形態では、このように配置するこ
とにより、本体部２０の軸線方向と略直交する幅方向の
寸法を抑制して、小型・軽量化を図ることができる。従
って、真空発生用ユニット１０が設置されるスペースの
有効利用を図ることができる。
とにより、本体部２０の軸線方向と略直交する幅方向の
寸法を抑制して、小型・軽量化を図ることができる。従
って、真空発生用ユニット１０が設置されるスペースの
有効利用を図ることができる。
【００３９】また、本実施の形態では、真空圧力スイッ
チ９６の第１ケーシング１０２と第２ケーシング１０４
とを、複数の突起部１１０と係止用孔部１１２とからな
る係止手段によって一体的に連結することにより、組み
付け作業を簡便に行うことができるという利点がある。
チ９６の第１ケーシング１０２と第２ケーシング１０４
とを、複数の突起部１１０と係止用孔部１１２とからな
る係止手段によって一体的に連結することにより、組み
付け作業を簡便に行うことができるという利点がある。
【００４０】なお、本実施の形態に係る真空発生用ユニ
ット１０を複数個連設してマニホールド化してもよいこ
とは勿論である。
ット１０を複数個連設してマニホールド化してもよいこ
とは勿論である。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【００４２】すなわち、本体部の軸線方向と略直交する
幅方向の寸法を抑制して、小型・軽量化を図ることがで
きる。従って、真空発生用ユニットが設置されるスペー
スの有効利用を図ることができる。
幅方向の寸法を抑制して、小型・軽量化を図ることがで
きる。従って、真空発生用ユニットが設置されるスペー
スの有効利用を図ることができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る真空発生用ユニット
の軸線方向に沿った概略縦断面図である。
の軸線方向に沿った概略縦断面図である。
【図２】図１の矢印Ａ方向からみた矢視図である。
【図３】図１の矢印Ｂ方向からみた矢視図である。
【図４】図１の真空発生用ユニットを構成する第１オン
／オフ弁の拡大縦断面図である。
／オフ弁の拡大縦断面図である。
【図５】図４の第１オン／オフ弁の弁体が右方向に変位
してオン状態となったときの動作説明図である。
してオン状態となったときの動作説明図である。
【図６】真空圧力スイッチを構成する第１ケーシングと
第２ケーシングとの係止手段を示す分解斜視図である。
第２ケーシングとの係止手段を示す分解斜視図である。
【図７】図１に示す真空発生用ユニットの回路構成図で
ある。
ある。
１０…真空発生用ユニット １２、１４、１
６、１８…ブロック体 ２０…本体部 ２２…圧力流体
供給用電磁弁 ２４…真空破壊用電磁弁 ２８…ノズル ３０…ディフューザ ３２…エゼクタ
部 ３６…圧縮空気供給ポート ３８…電磁弁用
排気ポート ４０、４４…室 ４２、４６…オ
ン／オフ弁 ４８、５０、５２、５４、５６、６４、７０、９８、１
１６…通路 ５８、６０…パイロット通路 ６２…真空ポー
ト ７２…弁体 ９４…サクショ
ンフィルタ ９６…真空圧力スイッチ １０２、１０４
…ケーシング １１０…突起部 １１２…係止用
孔部
６、１８…ブロック体 ２０…本体部 ２２…圧力流体
供給用電磁弁 ２４…真空破壊用電磁弁 ２８…ノズル ３０…ディフューザ ３２…エゼクタ
部 ３６…圧縮空気供給ポート ３８…電磁弁用
排気ポート ４０、４４…室 ４２、４６…オ
ン／オフ弁 ４８、５０、５２、５４、５６、６４、７０、９８、１
１６…通路 ５８、６０…パイロット通路 ６２…真空ポー
ト ７２…弁体 ９４…サクショ
ンフィルタ ９６…真空圧力スイッチ １０２、１０４
…ケーシング １１０…突起部 １１２…係止用
孔部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠山 隆史 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H079 AA18 AA23 BB01 CC19 DD02 DD09 DD16 DD42 DD52
Claims (4)
- 【請求項１】圧力流体供給源に接続される圧力流体供給
ポート、吸着手段に接続される真空ポートおよび前記圧
力流体供給ポートから供給された圧力流体を外部に排出
する排出ポートが設けられた本体部と、 前記圧力流体供給ポートから供給された圧力流体の作用
下に負圧を発生させるエゼクタ部と、 前記本体部に搭載される電磁弁部および検出部と、 を備え、前記圧力流体供給ポートに連通する通路、前記
真空ポートに連通する通路、電磁弁用排気ポートに連通
する通路がそれぞれ略平行に配設されることを特徴とす
る真空発生用ユニット。 - 【請求項２】請求項１記載の真空発生用ユニットにおい
て、 前記本体部には、圧力流体供給用電磁弁、真空破壊用電
磁弁、流量調整ねじ、フィルタおよび真空圧力スイッチ
が順次直列に配設されることを特徴とする真空発生用ユ
ニット。 - 【請求項３】請求項１または２記載の真空発生用ユニッ
トにおいて、 前記圧力流体供給ポートに連通する通路に対して第１オ
ン／オフ弁および第２オン／オフ弁が略平行に配設さ
れ、前記第１オン／オフ弁は、圧力流体供給用電磁弁か
ら供給されるパイロット圧の作用下にオフ状態からオン
状態に切り換わり、前記第２オン／オフ弁は、真空破壊
用電磁弁から供給されるパイロット圧の作用下にオフ状
態からオン状態に切り換わることを特徴とする真空発生
用ユニット。 - 【請求項４】請求項２記載の真空発生用ユニットにおい
て、 前記真空圧力スイッチは、第１ケーシングと第２ケーシ
ングとを有し、前記第１ケーシングに形成された複数の
突起部を第２ケーシングに形成された複数の係止用孔部
にそれぞれ挿入することにより第１ケーシングと第２ケ
ーシングとが組み付けられることを特徴とする真空発生
用ユニット。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25064399A JP3678950B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 真空発生用ユニット |
| KR10-2000-0050126A KR100387364B1 (ko) | 1999-09-03 | 2000-08-28 | 진공발생용 유니트 |
| TW089117585A TW448268B (en) | 1999-09-03 | 2000-08-30 | Vacuum-generating unit |
| DE10042488A DE10042488B4 (de) | 1999-09-03 | 2000-08-30 | Vakuumerzeugungseinheit |
| US09/654,130 US6416295B1 (en) | 1999-09-03 | 2000-09-01 | Vacuum-generating unit |
| CNB001264540A CN1136396C (zh) | 1999-09-03 | 2000-09-01 | 真空发生设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25064399A JP3678950B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 真空発生用ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001074000A true JP2001074000A (ja) | 2001-03-21 |
| JP3678950B2 JP3678950B2 (ja) | 2005-08-03 |
Family
ID=17210921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25064399A Expired - Fee Related JP3678950B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 真空発生用ユニット |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6416295B1 (ja) |
| JP (1) | JP3678950B2 (ja) |
| KR (1) | KR100387364B1 (ja) |
| CN (1) | CN1136396C (ja) |
| DE (1) | DE10042488B4 (ja) |
| TW (1) | TW448268B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107191632A (zh) * | 2017-06-13 | 2017-09-22 | 苏州卫水环保科技有限公司 | 一种组合八通阀 |
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| KR100454082B1 (ko) | 2001-10-15 | 2004-10-26 | 한국뉴매틱(주) | 진공 발생/파기 장치 |
| KR100433284B1 (ko) * | 2001-11-01 | 2004-05-28 | 한국뉴매틱(주) | 진공이송 시스템용 부압 발생/해제 장치 |
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