TW448268B - Vacuum-generating unit - Google Patents

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TW448268B
TW448268B TW089117585A TW89117585A TW448268B TW 448268 B TW448268 B TW 448268B TW 089117585 A TW089117585 A TW 089117585A TW 89117585 A TW89117585 A TW 89117585A TW 448268 B TW448268 B TW 448268B
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TW089117585A
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Shigekazu Nagai
Yoshiharu Ito
Takashi Toyama
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Smc Kk
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Description

經濟部智莛財產局員工消货合作社?;3% Λ7 ----------___ B7____ 五、發明說明(1 ) 發明背 發明領域 本發明係關於一種真空產生機組,其可以供應負壓至 包括有’例如’一真空吸墊(sucii〇npad)之真空吸力裝置。 也關直 至目前為止’一種真空產生機組係用以做為供應負壓 至真二吸塾之裝置。此一真空產生機组大體上係包含喷射 器、真空口、閥機構部分、以及真空開關部分,其中該噴 射益係用以產生負壓,而該真空口係經由一管體而與諸如 真空吸塾之真空吸力裝置相連通’而該閥機構部分則係具 有壓力流體供應電磁控制閥與真空中斷電磁控制閥,其係 分別針對相聯結之噴射器及真空口而供應及截斷壓縮空 氣’而該真空開關部分則係用以偵測在真空口中所產生之 負壓。 上通與習知技術相關之真空產生機组的操作方式將概 要說明如下。 壓縮空氣係經由閥機構部分而供應至喷射器,以產生 負壓。由噴射器所產生之負壓係經由連接至真空α之管體 而被饋進至真空吸墊=一工件係隨著在真空吸墊上產生負 壓的動作而被吸住。由真空吸墊吸住且固定之工件係 機器手臂之位移動作而被運送至一預定的位置。 接著·當壓縮空氣(正壓)由閥機構部分經由與真空α 相連通之通道而饋進至真空吸墊時,該由真空吸墊所固定 之工伴便可以由真空吸墊上被釋放。因此 該真空吸塾便 -------------裝--------訂----------線 (請先閱讀背面之;t意事項再填罵本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^1 /1 « 9 h d •τ ^ A7 ____ B7 五、發明說明(2 ) 由負壓狀態下解除。藉此’工件便可以自真空吸整脫離而 被運送至希望的位置。 近來’基於以下之理由’整體裝置係有儘可能藉由降 低主體部分其在大致垂直於縱長方向之寬度方向上之尺寸 而減小尺寸以及減輕重量之要求。亦即,舉例來說,當複 數真空產生機組係彼此相互結合而構成歧管(manif〇ld) 時’若主體部分在寬度方向上之尺寸可以減少,則其便可 以獲得具有極小尺寸及重量輕的電磁控制閥歧管 (solenoid-operated valve manifold),且其可以有效地利用 裝設之空間。 發明概要 本發明之主要目的係要提供一種真空產生機組,其係 可以實現小尺寸以及輕重量之優點,這係藉由縮減主體部 分在大致垂直於縱長方向上之寬度方向上之尺寸而達成。 本發明上述及其他目的、特徵及優點係可以由以下之 說明並配合後附之圖式’而獲得更深入之瞭解,其中在圖 式t所示之本發明較佳實施例僅係做為示例性說明之用。 圖式之簡單說明 第1圖係顯示一概要縱向截面視圖,其係沿著依照本 發明之真空產生機組之軸長方向所取之視圖; 第2圖係顯示一視圖,其係沿著由第1圖箭頭a所示 方向觀之: 第3圖係顯示一視圖,其係沿著由第1圖箭頭b所示 方向觀之; (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝.------—訂*--------線 本紙張尺度適用中鸥舀家標準(CNS)A4規格(2〗〇 X 297公爱) 2 311778 經濟部智慧財產局員工消費合泎社印" A/ —____ _ B7 "" — 五、發明說明(3 ) 々第4圖係顯示-放大縱向戴面視圖,其中顯示用以構 成第1圖所示之真空產生機組之第一開/關閥; 第5圖係顯示當第4圖所示之第一 n M <弗開/關閩之閥塞位於 右邊而呈開啟狀態時所進行的操作; 第6圖係,立體分解視圖’其中顯示該用以構… 塵力開關之第-外殼及第二外殼之扣緊裝置;以及、: 第7圖係第1圖所示之真空產生機組之電路卒统。 立件標號說明 乐既 真空產生機組 主體部分 真空中斷電磁控制間 擴散器 壓縮空氣供應口 40、_44腔室 48 、 50 、 52 、 54 、 56 、 64 58、60嚮導通道 72 閥塞 96 真空壓力開關 110 突伸部 .10 20 24 30 36 12 ' 14 ' 16 ' 18塊狀構件 22 I力流體供應電磁控制f 28 喷嘴 32 喷射器部分 38 空氣排放口 42、46開/關閥 7〇、98、116 通道 62 真空口 94 吸氣過濾器 102、104 外殼 、112 固定孔 較佳實施例之tgl 真空產生機組1〇传 '、匕3 ,主體部分20,主體邱 係由第一塊狀構件丨2 ^ 〇| 第二塊狀構件1 4、第r地狀 I 6以及第四塊狀構件 , 8所構成,其中該四個塊狀错 彼此沿著縱長方向而奉 鬼狀榻 —---__遣仕—起;電磁控制閥部分〇 -3Π778 --------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作祍印製 Α7 Β7 五、發明說明(4 ) 由壓力流體供應電磁控制閥22以及真空中斷電磁控制閥 24所組合而成,係配置在主體部分2〇之上方表面部分; 喷射器部分32,係配置在主體部分2〇内部,且具有喷嘴 28以及擴散器30 ;以及偵測部分34,係安裝於第四塊狀 構件18上,用以確認工件被吸住之狀態。該喷嘴28可以 與第二塊狀構件14 一體成型。壓力流體供應電磁控制閥 22及真空中斷電磁控制閥24係分別由相同的結構元件所 構成,且其皆係設計成正常閉路型(n〇rmaUy 。 該壓力流體供應電磁控制閥22及真空中斷電磁控制閥24 並非僅侷限為正常閉路型。其亦可以使用,例如,一種圖 上未顯示之正常開路型電磁控制閥 '一種自控型-Μ· h〇ldlng type)電磁控制閥或者係配備有計時器之電磁控制 閥。 二 第一至第四塊狀構件12、14、16、18係分別具有大致 相同的寬度尺寸,且每-塊狀構件係形成具有扁平薄壁之 形狀(參照第2圖及第3圖)。壓縮空氣供應口 應口川係形成在第-塊狀構件12之第—側邊表 十該壓縮空氣供m6係、用以#應壓縮空氣至喷射器部 分32。使用於電磁控制閥之空氣排放口 38係形成在上側 部分而相當靠近該壓縮空氣供應口 36。第—_(〇n刪) 閥42係配置在第一塊狀構件12之腔室4〇中,其中該第一 開/關閥42係、可以依照嚮㈣力(pU()t p⑽叫之供應動 作而由關閉狀態切換至開啟狀態。第二開/關間杯係配置 在第二塊狀構件Η之腔室44中’其中該第二開 46 本紙張尺度中關家標準(CNS)A4舰(2iQ x 297公爱) 4 311778 --i ---I i I I i 丨 i I ! I I 訂---!11_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經-部智s?財產局員工消費合'"社£|! 五、發明說明〇 ; 係可以依照嚮導壓力之供應動作而由關閉狀態切換至開啟 狀態。 壓縮空氣供應口 36係與第一通道48相連通,第一通 道4 8係沿著該第一塊狀構件丨2及第二塊狀構件1 4之中央 部分而延伸一段預定之距離。第二通道50係與壓力流體供 應電磁控制閥22相連通,而第三通道52則係與真空中斷 電磁控制閥24相連通,其中該第二通道50及第三通道52
係由第一通道48沿著大致垂直之方向分岔出來Q 與第一開/關閥42相連通之第四通道5 4以及與該第二 開/關閥46相連通之第五通道56 »皆係由第一通道48沿 著大致垂直之方向分岔忠來。壓縮空氣係分別經由第四通 道54及第五通道56而供應至第一開/關閥42及第二開,,關 閥4 6。 第嚮導通道5 8係形成在壓力流體供應電磁控制閥 22與第一開/關閥42之間,其中該第一嚮導通道58係用 以在操作壓力流體供應電磁控制閥22使之開啟時將嚮導 壓力供應至第一開/關閥42。第二嚮導通道6〇係形成在真 空中斷電磁控制閥24與第二開/關閥46之間,其中該第二 嚮導通道60係用以在操作真空中斷電磁控制閥24使之 啟時將嚮導壓力供應至第二開/關閥46。 第六通道04係形成在構成噴射器部分32之擴 與喷嘴28之間,其中該第六通道6 = 通’且其係大致平行於第一通道48而延伸 Μ射窃部分 」叫產生之負壓係經由一連接管體而供應至圖上未 ---------------------訂'-------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^11778
4 4 3 2 β B Α7 五、發明說明(6 ) 示之真空吸力裝置(諸如一真空吸墊)。該擴散器3〇係與空 氣排放口 66相連通,其中該空氣排放口 66係形成在第三 塊狀構件16中。供應至噴射器部分32之壓縮空氣係經由 消音器68(參照第7圖)而排放至外界,其中該消音器 係與空氣排放口 66相連通。 第七通道70係連接至第二開/關閥46,其係與第六通 道64相連通且其係大致平行地延伸。當第二開/關閥乜處 在開啟狀態時,該壓縮空氣便由第七通道7〇來加以供應。 因此,該負壓狀態係可以藉由供應壓縮空氣(正壓)至與真 空口 62相連通之第六通道64而解除。 第一開/關閥42與第二開/關閥46係分別由相同之結 構元件所構成。如第4圖所示,該開/關閥係具有閥塞72 以及固持件74,該閥塞72係配置成可沿著水平方向而移 動一段預定之距離,而該固持件74係形成具有圓筒狀之外 形以包圍該閥塞72,且其係固定在腔室4〇中。第—環圈 構件78係安裝在閥塞72第一側邊之外周面上,其中=第 一環圈構件78係安裝在固持件74之座部76上以密封該腔 至40 〇第二環圈構件80係安裝於閥塞72第二側邊上之外 周面上,其中該第二環圈構件8〇係可以沿著固持件以之 内壁表面而滑動。該第一及第二環圈構件78、8〇係由—種 彈性材料所製成,諸如天然橡膠及人工合成橡移。 階狀環形凹槽82係形成在閥塞72上,其中該階狀環 形凹槽82係由閥塞72之大致中央部位延伸至第一環圈構 件78。再者’其係形成有推止件部分86,該播止件部公 本纸張尺度適用中關家標^"(CNS)A4規格(210 X 297公髮)-------_____ 6 311778 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 震·-------訂---------' 1 _ 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 經濟部智慧財產局員工消費合作,社^"卜
MIT'S A7 __B7_______ 五、發明說明(7 ) 86係用以抵靠住該固持件74之階狀部分84,以限制該閥 塞72在向右方向上之位移量。開孔88係形成在固持件74 上,其中該開孔88係與該階狀環形凹槽82相連通。元件 標號90係用以標示一墊圈,而元件標號92係用以標示一 0形環圈。 該閥塞72係可以隨著經由第四通道54供應壓縮空氣 的動作而向左邊移動,如第4圖所示。該第一環圈構件7 8 係安裝在該固持件74之座部76,並因此將腔室40加以密 封。因此,第一開/關閥42便處在關閉狀態。相反地,閥 塞72係可以藉由壓力流體供應電磁控制閥22之操作而在 經由第一嚮導通道58供應嚮導壓力的輔助下,向右邊方向 來移動,如第5圖所示。該第一環圈構件7 8便由座部7 6 上脫離,且因此第一開/關閥42便處在開啟狀態。在此一 設計中,該經由第四通道54所供應之壓縮空氣,係會經由 階狀環形凹槽82與介於第一環圈構件7 8及座部76之間的 空間而被傳送至噴射器部分3 2,如第5圖之箭頭所示。 因此,當第一開/關閥42位在關閉狀態時,該壓縮空 氣供應至噴射器部分3 2之動作便會中止。當第一開/關閥 42位在開啟狀態時,該壓縮空氣便會供應至噴射器部分 32。 如第1圖所示,偵測部分34係包括吸氣過濾器94以 及真空壓力開關96,其中該吸氣過濾器94係用以清除内 含在負壓作用下由真空口 62所柚離之空氣中之灰塵等等 物質‘而該真空壓乃開關96係包括圖上未顯示之本導體壓 UDi. i考甲中阐 a 家 公 ----—----Γ ---1 ---· 1 -----. I ί I I--i i --- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
4482 6 S A7 Β7 五、發明說明(8 ) 力感應器,其係配置在開關内部,用以當到達一預定之臨 界值之後,傳送出一偵測訊號。該吸氣過濾器94及真空壓 ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 力開關96係以氣密之方式而分別連接至第四塊狀構件 18 ° 泫真二壓力開關96之功能係用以確認該工件藉由與 第六通道64相連通之通道98而被供應至真空吸整之負愿 所吸住之狀態,以及拉Λ_ 藉由圖上未顯示之半導體壓力感應器 之輔助來偵測所導入之壓力流體的負壓。最好,在通道98 中係設置過減5| (圖卜矣、 園上未顯不),以保護該圖上未顯示之壓 力感應器。該真空壓力開關96之操作裝置可以係包括有向 上按鈕及向下按鈕之一種調整器型式(圖上未顯示)或者係 一種推壓桿型式(圖上未顯示)之裝置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第6圖所示,該真空壓力開關96係包括第一外殼 102以及第二外殼104、電路板1〇6以及蓋板1〇8,其中該 兩外殼係藉由扣緊裝置100而彼此一體式地結合在—起, 而該電路板106係配置在由第—外殼1〇2與第二外殼1〇4 所構成之内部空間中^該扣緊裝置i 〇〇係包含複數個突伸 部Π〇以及固定孔Π2,其中該突伸部11()係形成在第一 外殼1 02其位在開口附近之侧壁表面上,而該固定孔1 12 則係形成在第二外殼丨04之側壁表面上,且該固定孔n 2 係可使突伸部110插入於其中。 在第1圖中,元件標號U 4係用以標示一流率調整螺 絲’其係用以調整該用以中斷真空之壓力流體的流率,其 中當第二開/關閥46位在開啟狀態時,該壓力流體係流經 311778 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇χ 297公釐) 經濟部智慧財產局S工消費合Α社0¾ A7 .__ B7 — — "" -----— 五、發明說明(9 ) 該第七通道70。元件標號11 6係標示第八通道,其係用以 分別使電磁控制閥之空氣排放口 3 8與壓力流體供應電磁 控制閥22及真空中斷電磁控制閥24形成連通。該第八通 道Π6係配置成其可以大致平行於該第一通道48。 依照本發明之實施例之真空產生機組1 〇基本上係具 有如上述之結構。接下來’其操作、功能及效果將根據顯 示在第7圖中之電路系統圖來加以說明。其係假設在起始 狀態中,該壓力流體供應電磁控制閥22及真空中斷電磁控 制閥24係分別位在關閉狀態。 經由圖上未顯示之壓縮空氣供應源所供應之壓縮空 氣’係經由壓縮空氣供應口 36而導入至第一通道48中。 該導入至第一通道48中之壓縮空氣接著係被供應至第一 開/關閥42之腔室40中,其中該第一開關閥42係舆第一 通道48相連通。該閥塞72係隨著該壓縮空氣之作用而向 左邊移動,如第4圖所示H該第一開/關闊42便位 在關閉狀態。 在此一狀態中,該壓力流體供應電磁控制閥22係依照 開敗(ON)訊號而形成開啟狀態.其中該開啟訊號係由圖上 未顯,之控制器所傳送出來。在此同時,該真空中斷電磁 让制4 d係仍然保持關閉狀態。當壓力流體供應電磁控制 閥22位在開啟狀態時,嚮導壓力便經由第~嚮導通道58 而供應至第-開,/關閥42。閥塞72係會隨著嚮導壓力之加 壓動作而朝向右邊方向來移動’且因此造成該第一開,關閩 42位在開啟狀態:當該第-開,關㈣位在開啟狀態時, mi ~~~-- -- ^11778 裝.-------訂·--------線 (請先閉讀背面之生意事項再填寫衣頁) A7 B7 五、發明說明(w ) 則該導入至第-通道48之壓縮空氣便會通過該第一開/關 閥42,且該壓縮空氣便會被供應至喷射器部分中。 在噴射器部分32中,壓縮空氣係經由噴嘴28之喷嘴 口而朝向擴散器30噴出,而藉此便可以產生負壓。該負壓 接著便經由第六通道64以及連接至真空口 62之管體而供 應至圖上未顯示之真空吸塾。 因此,該圖上未顯示之真空吸墊便會藉由操作圖上未 顯示之機器手臂而與工件相接觸。當真空吸墊隨著負壓之 動作而吸住工件時,便可以進一步地增強該負壓。該負壓 係由真空壓力開關96之圖上未顯示之半導體壓力感應器 所偵測。由半導體壓力感應器所债測到之吸住狀態的確認 訊號係饋送至圖上未顯示之控制器。當該控制器接收到該 吸住狀態確認訊號時,其便可以相當可靠地確定工件由該 真空吸墊所吸住。 以下’將針對一程序來加以說明,其中該程序係在該 工件被移動一段預定距離之後,真空吸墊之負壓被解除而 釋放該工件。 圖上未顯示之控制器係傳送關閉訊號至壓力流體供應 電磁控制閥22。因此,壓力流體供應電磁控制閥22便會 位在關閉狀態,且因此該第一開/關閥42亦位在關閉狀 態。壓縮空氣供應至噴射器部分32之動作便會中止,且該 由真空口 62供應負壓至真空吸墊之供應動作亦會中止。 相反地,圖上未顯示之控制器係傳送一開啟訊號至真 空中斷電磁控制閥24,使得真空令斷電磁控制閥24位在 (請先閱讀背面之注意事項戽填寫本頁) 裝--------訂---------線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210x297公爱) 10 3Π778 B7 五、發明說明(11 ) 開啟狀態。當真空中斷電磁控制閥2 4位在開啟狀態時,嚮 導Μ力便經由第二嚮導通道6〇而供應至第二開/關閥46 3 該閥塞7 2便會隨著嚮導壓力之加壓動作而沿著向右之方 向來移動’且該第一開/關閥4 6便位在開啟狀態。當第二 開/關閥4 6位在開啟狀態時,則該導入至第一通道4 8之壓 縮空氣便會通過該第一開/關閱4 6,且其便可以經由第七 通道70及第六通道64而供應至真空口 62 ε因此,該由壓 縮空氣供應口 36所供應之壓綠空氣(正壓力)便會經由真空 口 〇而被供應至真空吸墊2由真空吸墊針對工件所進行之 吸住狀態便會被解除。 .當工件由真空吸#脫離時,該狀態便會由負壓狀態變 換成大氣壓力狀離。該大名陌 礼壓力係由圖上未顯示之半導體 壓力感應器所债丨丨。兮Ji禮 0 Μ 丁導體壓力感應器係將工件脫離訊 號傳送至圖上未顯示之押 制^當該控制器接收到工件脫 離訊號時,其便可 禮勿 〜工件已經由真空吸墊上脫離。依 照此方式,其便可α相咯 ㈢可靠地使工件由真空吸墊上脫 離。 在本發明之竇烯你丨Φ 严 見她1 j〒’使用於電磁控制閥之與壓縮空 氣供應口 36相遠;s夕泫 %通之第〜通道48、與真空口 62相連通之 第六通道64以及嗜盥办# 久為興工虱排放口 38相連通之第八通道 )糸.皮此乃別形成平行之配置。再者,㉟置在主體部分 下側之第~開剩42以及配置在其上側之第二開/ 關閥46係配置忐八釗取— ’m l 1叮於第一通道48 :再者,在本發 β之貫施例φ·,該歡.卜,土秘 ;-...__ ^叫體供應電磁控制閥、真空中斷 --------------------------------------- 'υ- : ir 請 先 閱 讀 t δ 之 注 意 事 項 再 $姑 萬裝 本 - 頁 訂 線 經濟部智慧財產局—二消f合作让£[7苫 Λ Iί 778 Λ4Β2 6 8 五、發明說明(l2 電磁控制閥24、流率調餐嫂錄 千硐埜螺絲114、吸氣過濾器94、以及 真空壓力開關96係相#嚴密地連續形成在該主體部分20 之上方部分。 在本發明上述實施例之設計中,其係可以降低該主體 部分20在大致垂直於軸長方向之寬度方向上的尺寸,並且 實現一小型化尺寸以及具有較輕的重量。因此,其便可以 相當有效率地運用該用以安裝真空產生機組1〇之空間。 ,再者本發明之實施例之優點係在於組裝操作係可以 相當方便地進行,這係藉由由複數個突伸部} 1〇及固定孔 Π2所組合成之扣緊裝置而將真空壓力開關%之第一外殼 102及第二外殼104 一體式地結合在一起而達成。 當然’複數個依照本發明之實施例之真空產生機組 10,係可以彼此相互結合在一起而構成一歧管。 — — — —— — til —-- *---I I I I « I I I I--I - 、 • \ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 12 311778

Claims (1)

  1. 經濟部智慧財產局員工消費合作,社印製 A8 B8 CS D8 六、申請專利範圍 ]一種真空產生機組,其包含: 主體部分(2〇),其係具有連接至壓力流體供應源之 壓縮空氣供應口(36)、連接至真空吸力裝置之真空口 (62) '以及用以將壓縮空氣供應口(3 6)所供應之壓力流 體排放至外界之排放口(66); 喷射器部分(32) ’其係用以依照由該壓縮空氣供應 口( 3 6)所供應之壓力流體的動作來產生負壓;以及 設在該主體部分(20)上之電磁控制閥部分(26)與偵 測部分(3 4),其中: 電磁控制閥中與該壓縮空氣供應口(36)相連通之 通道(4 8)、該真空口(6 2)相連連之通道(64)以空氣排放 口(38)相連通之通道(π6),係配置成大致平行。 2.如申請專利範圍第1項之真空產生機組,其中壓力流體 供應電磁控制閥(22)、真空中斷電磁控制閥(24)、流率 调整螺絲(U 4 )、吸氣過濾器(94)、以及真空壓力開關(96) 係連續地串連配置在該主體部分(20)中。 〇 ’如申請專利範圍第1項之真空產生機組,其中第一開/ 關閥(42)以及第二開/關閥(46)係配置成大致平行於與 及壓縮二氣供應口(36_)相連通之通道(48) ’而該第一開/ 關閥(4勹係依照由壓力流體供應電磁控制閥(22)所供應 4^^ '等.t ^ 之動作而由關閉狀態切換至開啟狀態,且該 第開關閩(46)係依照由該真空中斷電磁控制閥(24) 所供應 /、’ '、〜导壓力的動作而由關閉狀態切換至開啟狀 械張尺度 裝------訂-------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 「78 44B26 8 Λ8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 14 六、申請專利範圍 4-如申請專利範圍第2項之真空產生機組,其中該真空壓 力開關(96)係包括第一外殼(1〇2)以及第二外殼(1〇4), 且該第一外殼(102)及第二外殼(104)係藉由將複數個形 成在第一外殼(102)上之突伸部(11〇)插入至複數個形成 在第二外殼(104)中之固定孔(112),而彼此組合在一 起。 5. 如申請專利範圍第1項之真空產生機組,其中該主體部 分(20)係由第一塊狀構件(i 2)、第二塊狀構件(14)、第 二塊狀構件(16)以及第四塊狀構件(is)彼此沿著縱長方 向串連在一起所組合而成,且每一塊狀構件係皆具有薄 壁之形狀,且該第一塊狀構件〇 2)、第二塊狀構件(14)、 第二塊狀構件(16)以及第四塊狀構件(18)係分別具有相 同的寬度尺寸(W)。 6. 如申請專利範圍第3項之真空產生機組’其中該第一開 /關閥(42)及第二開/關閥(46)係皆由相同的結構元件所 構成,這些結構元件包括閥塞(72)、固持件(74)、第一 環圈構件(78)以及第二環圈構件(8〇),其中該閥塞(72) 係设成可以沿著大致水平之方向而位移—段預定之距 離,而該固持件(74)係具有圓筒狀外形以包圍該閥塞 (72),且其係固定在腔室(4〇)中,而該第一環圈構件(78) 係設在該閥塞(72)之第一端部側邊上,且其係座設在該 固持件(74)之座部(76)上,以密封該腔室(4〇),而該第 二環圈構件(80)係設在閥塞(72)之第二端部側邊上,且 —其i可以沿著該固持件(74)之肉辟志左&,他也_ 本紙張尺度適用中國國家橾準(叫八爾(2】.0:^^-望录面而,月動-- 311778 ---------*水------^--ΐτ------# (請先聞讀背面之注意事項再填窝本頁)
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