DE10042488A1 - Vakuumerzeugungseinheit - Google Patents

Vakuumerzeugungseinheit

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    • F04F5/52Control of evacuating pumps

Abstract

Ein erster Durchgang (48), der mit einem Druckfluidzufuhranschluss (36) in Verbindung steht, ein sechster Durchgang (64), der mit einem Vakuumanschluss (62) in Verbindung steht, und ein achter Durchgang (116), der mit einer Luftablassöffnung (38) für ein solenoidbetätigtes Ventil in Verbindung steht, sind parallel zueinander angeordnet. Außerdem sind ein solenoidbetätigtes Druckfluidzufuhrventil (22), ein solenoidbetätigtes Vakuumunterbrechungsventil (24), eine Durchflussrateneinstellschraube (114), ein Saugfilter (94) und ein Vakuumdruckschalter (96) nacheinander in Reihe in einem Grundkörperabschnitt (20) angeordnet.

Description

Hintergrund der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumerzeugungseinheit, mit der ein negativer Druck (Unterdruck) einem Saugmittel mit beispielsweise einem Saugnapf zugeführt werden kann.
Vakuumerzeugungseinheiten wurden bisher als Mittel für die Zufuhr von Unterdruck zu einem Saugnapf verwendet. Eine solche Vakuumerzeugungseinheit weist im allgemeinen beispielsweise einen Ejektor, der zur Erzeugung des Unterdruckes verwendet wird, einen Vakuumanschluss, der über eine Rohrleitung mit einem Saugmittel, beispielsweise einem Saugnapf, verbunden ist, einen Ventilmechanismusabschnitt, der mit einem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil und einem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil für die Zufuhr und das Absperren von Druckluft zu/von dem Ejektor bzw. dem Vakuumanschluss versehen ist, und einen Vakuumschalterabschnitt auf, der zur Feststellung des an dem Vakuumanschluss erzeugten Unterdruckes verwendet wird.
Der Betrieb einer Vakuumerzeugungseinheit gemäß dem Stand der Technik, wie er oben beschrieben wurde, wird nachfolgend schematisch erläutert.
Die Druckluft wird über den Ventilmechanismusabschnitt dem Ejektor zugeführt, um den Unterdruck zu erzeugen. Der Unterdruck, der durch den Ejektor erzeugt wird, wird dem Saugnapf über ein mit dem Vakuumanschluss verbundenes Rohr zugeführt. Ein Werkstück wird entsprechend der an dem Saugnapf erzeugten Wirkung des Unterdruckes angezogen. Das von dem Saugnapf angezogene und gehaltene Werkstück wird entsprechend einer Verschiebung eines Roboterarmes zu einer festgelegten Position transportiert.
Anschließend wird das Werkstück, das von dem Saugnapf gehalten wird, von diesem freigegeben, wenn die Druckluft (positiver Druck) über den mit dem Vakuumanschluss kommunizierenden Durchgang von dem Ventilmechanismusabschnitt dem Saugnapf zugeführt wird. Dementsprechend wird der Unterdruckzustand des Saugnapfes aufgehoben. Als Folge hiervon wird das Werkstück von dem Saugnapf getrennt und zu einer gewünschten Position transportiert.
Allgemein wird gefordert, dass eine möglichst geringe Größe und ein möglichst geringes Gewicht der Gesamtvorrichtung er­ reicht werden soll, indem die Dimension des Grundkörperab­ schnitts in Breitenrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Längserstreckung reduziert wird. Dies hat folgenden Grund: Wenn eine Vielzahl von Vakuumerzeugungseinheiten miteinander verbunden wird, um einen Verteiler zu bilden, wird bei Reduzierung der Dimensionen des Grundkörperabschnitts in Dickenrichtung ermöglicht, einen solenoidbetätigten Ventil­ verteiler mit extrem geringer Größe und niedrigem Gewicht zu erhalten, wobei der Installationsraum effizient genutzt wird.
Zusammenfassung der Erfindung
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vakuumerzeugungseinheit vorzuschlagen, die es ermöglicht, eine geringe Größe und ein niedriges Gewicht zu erreichen, indem die Dimensionen des Grundkörperabschnitts in Dickenrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Längserstreckung reduziert werden.
Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Weitere Vorteile, Merkmale und Ziele der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels und der Zeichnung.
Kurze Beschreibung der Zeichnung
Fig. 1 zeigt einen schematischen Längsschnitt in einer Axialrichtung einer Vakuumerzeugungseinheit gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 zeigt eine Ansicht in Richtung eines Pfeiles A in Fig. 1;
Fig. 3 zeigt eine Ansicht in Richtung eines Pfeiles B in Fig. 1;
Fig. 4 zeigt einen vergrößerten Längsschnitt, der ein erstes ON/OFF-Ventil für die in Fig. 1 gezeigte Vakuumerzeugungseinheit darstellt;
Fig. 5 zeigt die durchzuführende Operation, wenn ein Ventilstopfen des ersten ON/OFF-Ventiles gemäß Fig. 4 nach rechts verschoben wird, um einen ON-Zustand zu erhalten;
Fig. 6 zeigt eine perspektivische Explosionsdarstellung, die Befestigungsmittel für ein erstes Gehäuse und ein zweites Gehäuse für einen Vakuumdruckschalter darstellt, und
Fig. 7 zeigt ein Schaltkreisdiagramm der in Fig. 1 gezeigten Vakuumerzeugungseinheit.
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Die Vakuumerzeugungseinheit 10 weist einen Grundkörperabschnitt 20 mit einem ersten Blockelement 12, einem zweiten Blockelement 14, einem dritten Blockelement 16 und einem vierten Blockelement 18, die in Längsrichtung in Reihe miteinander verbunden sind, einen solenoidbetätigten Ventilabschnitt 26, der aus einem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22 und einem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil 24 besteht, die an oberen Oberflächenabschnitten des Grundkörperabschnitts 20 angeordnet sind, einen Ejektorabschnitt 32, der im Inneren des Grundkörperabschnitts 20 angeordnet ist und eine Düse 28 und einen Diffusor 30 aufweist, und einen Feststellabschnitt 34 auf, der an dem vierten Blockelement 18 angebracht ist, um einen Anziehungszustand eines Werkstücks zu bestätigen. Die Düse 28 kann einstückig mit dem zweiten Blockelement 14 ausgebildet sein. Das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 und das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 bestehen jeweils aus den gleichen Aufbauelementen. Sie sind jeweils als normalerweise geschlossene Ausführungsformen ausgestaltet. Das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 und das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 sind jedoch nicht auf die normalerweise geschlossene Ausführungsform beschränkt. Vielmehr kann auch vorgesehen sein, dass sie ein nicht dargestelltes, normalerweise offenes solenoidbetätigtes Ventil, ein selbsthaltendes Ventil, ein selbsthaltendes solenoidbetätigtes Ventil oder ein mit einem Timer ausgestattetes solenoidbetätigtes Ventil sind.
Die ersten bis vierten Blockelemente 12, 14, 16, 18 weisen im Wesentlichen jeweils die gleiche Breitendimension auf und sind jeweils in einer flachen, dünnwandigen Gestalt ausgebildet (vgl. Fig. 2 und 3). Ein Druckluftzufuhranschluss (Druckfluid­ zufuhranschluss) 36, der für die Zufuhr der unter Druck stehenden Luft zu dem Ejektorabschnitt 32 verwendet wird, ist an einer ersten Seitenfläche des ersten Blockelements 12 ausgebildet. Eine Luftablassöffnung 38 für das solenoid­ betätigte Ventil ist an einem oberen Seitenabschnitt ausge­ bildet, der nahe dem Druckluftzufuhranschluss 36 angeordnet ist. Ein erstes ON/OFF-Ventil 42, das entsprechend der Zufuhr der Pilotdruckes von dem OFF-Zustand zu dem ON-Zustand umgeschaltet wird, ist in einer Kammer 40 des ersten Block­ elements 12 angeordnet. Ein zweites ON/OFF-Ventil 46, das gemäß der Zufuhr des Pilotdruckes von dem OFF-Zustand zu dem ON-Zustand umgeschaltet wird, ist in einer Kammer 44 des zweiten Blockelements 14 angeordnet.
Der Druckluftzufuhranschluss 36 steht mit einem ersten Durchgang 48 in Verbindung, der sich um eine festgelegte Länge zusammen mit im Wesentlichen zentralen Abschnitten der ersten und zweiten Blockelemente 12, 14 erstreckt. Ein zweiter Durch­ gang 50, der mit dem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22 in Verbindung steht, und ein dritter Durchgang 52, der mit dem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil 24 in Verbindung steht, zweigen jeweils in im Wesentlichen senk­ rechter Richtung von dem ersten Durchgang 48 ab.
Ein vierter Durchgang 54, der mit dem ersten ON/OFF-Ventil 42 in Verbindung steht, und ein fünfter Durchgang 56, der mit dem zweiten ON/OFF-Ventil 46 in Verbindung steht, zweigen in im Wesentlichen senkrechter Richtung von dem ersten Durchgang 48 ab. Die unter Druck stehende Luft wird dem ersten ON/OFF- Ventil 42 und dem zweiten ON/OFF-Ventil 46 über den vierten Durchgang 54 bzw. den fünften Durchgang 56 zugeführt.
Ein erster Pilotdurchgang 58, der für die Zufuhr des Pilotdruckes zu dem ersten ON/OFF-Ventil 42 verwendet wird, indem das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 auf ON geschaltet wird, ist zwischen dem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22 und dem ersten ON/OFF-Ventil 42 ausgebildet. Ein zweiter Pilotdurchgang 60, der für die Zufuhr des Pilotdruckes zu dem zweiten ON/OFF-Ventil 46 verwendet wird, indem das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 auf ON geschaltet wird, ist zwischen dem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil 24 und dem zweiten ON/OFF-Ventil 46 ausgebildet.
Ein sechster Durchgang 64, der mit einem Vakuumanschluss 62 in Verbindung steht und sich im Wesentlichen parallel zu dem ersten Durchgang 48 erstreckt, ist zwischen dem Diffusor 30 und der Düse 28 des Ejektorabschnitts 32 ausgebildet. Der Unterdruck, der in dem Ejektorabschnitt 32 erzeugt wird, wird einem nicht dargestellten Saugmittel, beispielsweise einem über ein Rohr oder dergleichen angeschlossenen Saugnapf, zugeführt. Der Diffusor 30 steht mit einer Luftablassöffnung 66 in Verbindung, die in dem dritten Blockelement 16 ausgebildet ist. Die unter Druck stehene Luft, die dem Ejektorabschnitt 32 zugeführt wird, wird über einen Schalldämpfer 68 (vgl. Fig. 7), der mit der Luftablassöffnung (Ablassöffnung) 66 in Verbindung steht, abgeführt.
Ein siebter Durchgang 70, der mit dem sechsten Durchgang 64 in Verbindung steht und sich im Wesentlichen parallel hierzu erstreckt, ist mit dem zweiten ON/OFF-ventil 46 verbunden. Wenn das zweite ON/OFF-Ventil 46 in dem ON-Zustand ist, wird die unter Druck stehende Luft über den siebten Durchgang 70 zugeführt. Daher wird der Unterdruckzustand durch Zufuhr der Druckluft (positiver Druck) zu dem sechsten Durchgang 64, der mit dem Vakuumanschluss 62 in Verbindung steht, aufgehoben.
Das erste ON/OFF-Ventil 42 und das zweite ON/OFF-Ventil 46 bestehen jeweils aus den gleichen Aufbauelementen. Wie in Fig. 4 dargestellt ist, ist ein Ventilstopfen 72 vorgesehen, der in im Wesentlichen horizontaler Richtung um eine festgelegte Strecke verschieblich angeordnet ist, und ein Rückhalter 74, der eine zylindrische Gestalt aufweist, um den Ventilstopfen 72 zu umgeben, und in der Kammer 40 befestigt ist. Ein erstes Ringelement 78, das auf einem Sitzabschnitt 76 des Rückhalters 74 aufsitzt, um die Kammer 40 zu schließen, ist an der äußeren Umfangsfläche des Ventilstopfens 72 an einer ersten Seite angebracht. Ein zweites Ringelement 80, das entlang der inneren Wandfläche des Rückhalters 74 gleiten kann, ist an der äußeren Umfangsfläche des Ventilstopfens 72 an einer zweiten Seite angebracht. Jedes der ersten und zweiten Ringelemente 78, 80 besteht aus einem elastischen Material, wie natürlichem oder synthetischem Gummi.
Eine abgestufte, ringförmige Nut 82, die sich von einem im Wesentlichen zentralen Abschnitt des Ventilstopfens 72 zu dem ersten Ringelement 78 erstreckt, ist für den Ventilstopfen 72 ausgebildet. Außerdem ist ein Stopperabschnitt 86, der gegen einen Stufenabschnitt 84 des Rückhalters 74 anliegt, um den rechtsgerichteten Verschiebungsweg des Ventilstopfens 72 zu regulieren, vorgesehen. Eine Öffnung 88, die mit der abgestuften Ringnut 82 in Verbindung steht, ist für den Rückhalter 74 vorgesehen. Das Bezugszeichen 90 kennzeichnet eine Dichtung, während das Bezugszeichen 92 einen O-Ring bezeichnet.
Der Ventilstopfen 72 wird, wie in Fig. 4 gezeigt, entsprechend der durch den vierten Durchgang 54 zugeführten Druckluft nach links verschoben. Das erste Ringelement 78 wird auf den Sitzabschnitt 76 des Rückhalters 74 aufgesetzt, so dass die Kammer 40 geschlossen ist. Als Folge hiervon ist das erste ON/OFF-Ventil 42 in dem OFF-Zustand. Andererseits wird der Ventilstopfen 42 mit Hilfe des von dem ersten Pilotdurchgang 58 entsprechend der Betätigungswirkung des solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventils 22 zugeführten Pilotdruckes nach rechts verschoben, wie in Fig. 5 gezeigt. Das erste Ringelement 78 wird von dem Sitzabschnitt 72 abgehoben, so dass das erste ON/OFF-Ventil 42 in dem ON-Zustand ist. Bei dieser Anordnung wird die Druckluft, die über den vierten Durchgang 54 zugeführt wird, über die abgestufte, ringförmige Nut 82 und den Raum zwischen dem ersten Ringelement 78 und dem Sitzabschnitt 76 zu dem Ejektorabschnitt 32 geleitet, wie es durch Pfeile in Fig. 5 dargestellt ist.
Daher wird, wenn das erste ON/OFF-Ventil 42 in dem OFF-Zustand ist, die Zufuhr von Druckluft zu dem Ejektorabschnitt 32 gestoppt. Wenn das erste ON/OFF-Ventil 42 im ON-Zustand ist, wird die Druckluft dem Ejektorabschnitt 32 zugeführt.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, umfasst der Feststellabschnitt 34 einen Saugfilter 94, der dazu verwendet wird, Staub oder dergleichen, der in der von dem Vakuumanschluss 62 unter der Wirkung des Unterdruckes angesaugten Luft enthalten ist, zu entfernen, und einen Vakuumdruckschalter 96, der einen nicht dargestellten Halbleiterdrucksensor im Inneren aufweist, um beim Erreichen eines voreingestellten Schwellenwertes ein Feststellsignal abzuleiten. Der Saugfilter 94 und der Vakuumdruckschalter 96 sind jeweils luftdicht mit dem vierten Blockelement 18 verbunden.
Der Vakuumdruckschalter 96 dient der Bestätigung des Anziehungszustandes des Werkstückes durch Einführen des dem Saugnapf über einen Durchgang 98, der mit dem sechsten Durchgang 64 in Verbindung steht, zugeführten Unterdruckes, und Feststellen des eingeführten Unterdruckes des Druckfluides mit Hilfe des nicht dargestellten Halbleiterdrucksensors. Es wird bevorzugt, dass ein Filter (nicht dargestellt) zum Schutz des nicht dargestellten Drucksensors in dem Durchgang 98 vorgesehen ist. Die Betätigungsmittel für den Vakuumdruckschalter 96 können entweder vom Trimmer-Typ (nicht dargestellt) oder vom Druck-Typ (nicht dargestellt) mit einem Auf-Knopf und einem Ab-Knopf sein.
Wie in Fig. 6 dargestellt ist, weist der Vakuumdruckschalter 96 ein erstes Gehäuse 102 und ein zweites Gehäuse 104, die mit Hilfe eines Befestigungsmittels 100 einstückig miteinander verbunden sind, eine Schaltplatine 106, die in einem durch das erste Gehäuse 102 und das zweite Gehäuse 104 gebildeten Innenraum angeordnet ist, und eine Abdeckplatte 108 auf. Die Befestigungsmittel 100 weisen eine Vielzahl von Vorsprüngen 110 auf, die an einer Seitenwandfläche des ersten Gehäuses 102 in der Nähe der Öffnung ausgebildet sind, und Befestigungslöcher 112, die an einer Seitenwandfläche des zweiten Gehäuses 104 ausgebildet sind, und in die die Vorsprünge 110 eingesetzt sind.
In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 114 eine Durchflussrateneinstellschraube zum Einstellen der Durchflussrate des Druckfluids zum Unterbrechen des Vakuums, dem durch den siebten Durchgang 70 fließenden Druckfluids, wenn das zweite ON/OFF-Ventil 46 in dem ON-Zustand ist. Das Bezugszeichen 116 bezeichnet einen achten Durchgang zur Herstellung einer Verbindung zwischen der Luftablassöffnung 38 für das solenoidbetätigte Ventil und dem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22 bzw. dem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil 24. Der achte Durchgang 116 ist so angeordnet, dass er im Wesentlichen parallel zu dem ersten Durchgang 48 verläuft.
Die Vakuumerzeugungseinheit 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend werden ihre Betriebs-, Funktions- und Wirkungsweise auf der Basis eines Schaltkreisdiagramms, wie es in Fig. 7 gezeigt ist, erläutert. Es wird angenommen, dass das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 und das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 im Ursprungszustand jeweils in dem OFF-Zustand sind.
Die Druckluft, die von einer nicht dargestellten Druckluftzufuhrquelle zugeführt wird, wird über den Druckluftzufuhranschluss 36 in den ersten Durchgang 48 eingeführt. Die Druckluft, die in den ersten Durchgang 48 eingeführt wird, wird der Kammer 40 des ersten ON/OFF-Ventils 42, die mit dem ersten Durchgang 48 in Verbindung steht, zugeführt. Der Ventilstopfen 72 wird entsprechend der Wirkung der Druckluft nach links verschoben, wie es in Fig. 4 gezeigt ist. Das erste ON/OFF-Ventil 42 ist im OFF-Zustand.
In einer solchen Situation ist das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 in dem ON-Zustand entsprechend dem ON-Signal, das von einem nicht dargestellten Controller (Steuerung) ausgegeben wird. Zu dieser Zeit ist das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 immer noch in dem OFF-Zustand. Wenn das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 in dem ON-Zustand ist, wird der Pilotdruck über den ersten Pilotdurchgang 58 dem ersten ON/OFF-Ventil 42 zugeführt. Der Ventilstopfen 72 wird entsprechend der Druckwirkung des Pilotdruckes nach rechts verschoben, so dass das erste ON/OFF-Ventil 42 in dem ON- Zustand ist. Wenn das erste ON/OFF-Ventil 42 in dem ON-Zustand ist, tritt die Druckluft, die in den ersten Durchgang 48 eingeführt wird, durch das erste ON/OFF-Ventil 42 hindurch und wird dem Ejektorabschnitt 32 zugeführt.
In dem Ejektorabschnitt 32 wird die Druckluft von der Düsenöffnung der Düse 28 zu dem Diffusor 30 ausgestoßen, so dass der Unterdruck erzeugt wird. Der Unterdruck wird über den sechsten Durchgang 64 und das mit dem Vakuumanschluss 62 verbundene Rohr dem nicht dargestellten Saugnapf zugeführt.
Dadurch tritt der nicht dargestellte Saugnapf mit dem Werkstück in Kontakt, indem ein nicht dargestellter Roboterarm betätigt wird. Wenn der Saugnapf das Werkstück entsprechend der Wirkung des Unterdruckes anzieht, wird der Unterdruck weiter erhöht. Der Unterdruck wird durch den nicht dargestellten Halbleiterdrucksensor des Vakuumdruckschalters 96 festgestellt. Das Bestätigungssignal für die Anziehung, das von dem Halbleiterdrucksensor festgestellt wird, wird dem nicht dargestellten Controller zugeführt. Wenn der Controller ein Anziehungsbestätigungssignal empfängt, wird bestätigt, dass das Werkstück zuverlässig von dem Saugnapf angezogen wird.
Nachfolgend wird eine Erläuterung eines Prozesses gegeben, bei dem der Unterdruck des Saugnapfes aufgehoben wird, um das Werkstück an einer festgelegten Position freizugeben, nachdem das Werkstück um eine festgelegte Strecke bewegt wurde.
Der nicht dargestellte Controller leitet das OFF-Signal zu dem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil 22. Als Folge hiervon ist das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22 in dem OFF-Zustand, und damit ist das erste ON/OFF-Ventil 42 in dem OFF-Zustand. Die Zufuhr der Druckluft zu dem Ejektor­ abschnitt 32 wird gestoppt, und die Zufuhr des Unterdruckes von dem Vakuumanschluss 62 zu dem Saugnapf wird gestoppt.
Andererseits leitet der nicht dargestellte Controller das ON- Signal zu dem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil 24, so dass das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24 in dem ON-Zustand ist. Wenn das solenoidbetätigte Vakuum­ unterbrechungsventil 24 in dem ON-Zustand ist, wird der Pilotdruck über den zweiten Pilotdurchgang 60 dem zweiten ON/OFF-Ventil 46 zugeführt. Der Ventilstopfen 42 wird entsprechend der Druckwirkung des Pilotdruckes nach rechts verschoben, und das zweite ON/OFF-Ventil 46 ist in dem ON- Zustand. Wenn das zweite ON/OFF-Ventil 46 in dem ON-Zustand ist, tritt die Druckluft, die in den ersten Durchgang 48 eingeführt wird, durch das zweite ON/OFF-Ventil 46 hindurch und wird über den zweiten Durchgang 70 und den sechsten Durchgang 64 dem Vakuumanschluss 62 zugeführt. Als Folge hier­ von wird die Druckluft (positiver Druck) der von dem Druck­ luftzufuhranschluss 36 zugeführt wird, über den Vakuum­ anschluss 62 dem Saugnapf zugeführt. Der Anziehungszustand des Saugnapfes relativ zu dem Werkstück wird aufgehoben.
Wenn das Werkstück von dem Saugnapf freigegeben wird, wird der Zustand von dem Unterdruckzustand zu dem Atmosphärendruckzustand geändert. Der Atmosphärendruck wird durch den nicht dargestellten Halbleiterdrucksensor festgestellt. Der Halbleiterdrucksensor gibt das Werkstückfreigabesignal an den nicht dargestellten Controller weiter. Wenn der Controller das Werkstückfreigabesignal erhält, wird bestätigt, dass das Werkstück von dem Saugnapf freigegeben ist. Auf diese Weise ist es möglich, das Werkstück zuverlässig von dem Saugnapf freizugeben.
Bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind der erste Durchgang 48, der mit dem Druckluftzufuhranschluss 36 in Verbindung steht, der sechste Durchgang 64, der mit dem Vakuumanschluss 62 in Verbindung steht, und der achte Durchgang 116, der mit der Luftablassöffnung 38 des solenoid­ betätigten Ventiles in Verbindung steht, im Wesentlichen parallel zueinander angeordnet. Außerdem sind das erste ON/OFF-Ventil 42, das an der Unterseite des Grundkörper­ abschnitts 20 angeordnet ist, und das zweite ON/OFF-Ventil 46, das an dessen Oberseite angeordnet ist, im Wesentlichen parallel zu dem ersten Durchgang 48 angeordnet. Außerdem werden bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung das solenoidbetätigte Druckfluidzufuhrventil 22, das solenoidbetätigte Vakuumunterbrechungsventil 24, die Durchflussrateneinstellschraube 114, der Saugfilter 94 und der Vakuumdruckschalter 96 nacheinander in Reihe an den oberen Abschnitten des Grundkörperabschnitts 20 getragen.
Die Anordnung, wie sie oben für die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, ermöglicht es, die Dimensionen des Grundkörperabschnitts 20 in Breitenrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Axialrichtung zu unterdrücken und eine geringe Größe und ein niedriges Gewicht zu realisieren. Daher ist es möglich, den Raum, in dem die Vakuumerzeugungseinheit 10 installiert wird, effizient zu nutzen.
Außerdem ist die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dahingehend vorteilhaft, dass die Montage einfach durchgeführt werden kann, indem das erste Gehäuse 102 und das zweite Gehäuse 104 des Vakuumdruckschalters 96 mit Hilfe der Befestigungsmittel, die aus einer Vielzahl von Vorsprüngen 110 und den Befestigungslöchern 112 bestehen, einstückig miteinander verbunden werden.
Es versteht sich, dass eine Vielzahl von einzelnen Vakuumerzeugungseinheiten 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung miteinander zu einem Verteiler erbunden werden kann.

Claims (6)

1. Vakuumerzeugungseinheit mit:
einem Grundkörperabschnitt (20), der einen mit einer Druckfluidzufuhrquelle verbundenen Druckfluidzufuhranschluss (36), einen mit einem Saugmittel verbundenen Vakuumanschluss (62) und eine Ablassöffnung (66) zum Ablassen eines von dem Druckfluidzufuhranschluss (36) zugeführten Druckfluides nach außen aufweist;
einem Ejektorabschnitt (32) zur Erzeugung eines Unterdruckes entsprechend der Wirkung des von dem Druckfluidzufuhranschluss (36) zugeführten Druckfluides; und
einem solenoidbetätigten Ventilabschnitt (26) und einem Feststellabschnitt (34), die von dem Grundkörperabschnitt (20) getragen werden, wobei:
ein Durchgang (48), der mit dem Druckfluidzufuhranschluss (36) in Verbindung steht, ein Durchgang (64), der mit dem Vakuum­ anschluss (62) in Verbindung steht, und ein Durchgang (116), der mit einer Luftablassöffnung (38) für ein solenoidbetätigtes Ventil in Verbindung steht, im Wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind.
2. Vakuumerzeugungseinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein solenoidbetätigtes Druckfluidzufuhrventil (22), ein solenoidbetätigtes Vakuumunterbrechungsventil (24), eine Durchflussrateneinstellschraube (114), ein Filter (94) und ein Vakuumdruckschalter (96) nacheinander in Reihe in dem Grundkörperabschnitt (20) angeordnet sind.
3. Vakuumerzeugungseinheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes ON/OFF-Ventil (42) und ein zweites ON/OFF-Ventil (46) im Wesentlichen parallel zu dem Durchgang (48), der mit dem Druckfluidzufuhranschluss (36) in Verbindung steht, angeordnet sind, dass das erste ON/OFF- Ventil (42) entsprechend einer Wirkung eines Pilotdruckes, der von dem solenoidbetätigten Druckfluidzufuhrventil (22) zugeführt wird, von einem OFF-Zustand in einen ON-Zustand umgeschaltet wird, und dass das zweite ON/OFF-Ventil (46) entsprechend der Wirkung eines von einem solenoidbetätigten Vakuumunterbrechungsventil (24) zugeführten Pilotdruckes von einem OFF-Zustand in einen ON-Zustand umgeschaltet wird.
4. Vakuumerzeugungseinheit nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Vakuumdruckschalter (96) ein erstes Gehäuse (102) und ein zweites Gehäuse (104) aufweist, und dass das erste Gehäuse (102) und das zweite Gehäuse (104) zusammengesetzt werden, indem eine Vielzahl von Vorsprüngen (110) an dem ersten Gehäuse (102) in eine Vielzahl von Befestigungslöchern (112) an dem zweiten Gehäuse (104) eingesetzt werden.
5. Vakuumerzeugungseinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörperabschnitt (20) aus einem ersten Block (12), einem zweiten Block (14), einem dritten Block (16) und einem vierten Block (18) besteht, die in Längsrichtung in Reihe miteinander verbunden sind und jeweils eine flache, dünnwandige Gestalt aufweisen, und dass der erste Block (12), der zweite Block (14), der dritte Block (16) und der vierte Block (18) jeweils eine im Wesentlichen identische Breitendimension (W) aufweisen.
6. Vakuumerzeugungseinheit nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das erste ON/OFF-Ventil (42) und das zweite ON/OFF-Ventil (46) jeweils einen Ventilstopfen (72), der um eine festgelegte Strecke in im Wesentlichen horizontaler Richtung verschieblich vorgesehen ist, einen Rückhalter (74), der eine zylindrische Gestalt aufweist, um den Ventilstopfen (72) zu umgeben, und in einer Kammer (40) befestigt ist, ein erstes Ringelement (78), das an einer ersten Endseite des Ventilstopfens (72) vorgesehen und auf einem Sitzabschnitt (76) des Rückhalters (74) aufgesetzt ist, um die Kammer (40) zu verschließen, und ein zweites Ringelement (78), das an einer zweiten Endseite des Ventilstopfens (72) vorgesehen ist und entlang einer inneren Wandfläche des Rückhalters (74) gleiten kann, aufweisen.
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