KR20010049853A - 세라믹 슬러리, 세라믹 슬러리 조성물, 세라믹 그린 시트및 다층 세라믹 전자 부품의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
분산성(D90(㎛)) | 비표면적증가율(%) | 시트의 표면 거칠기(Ra(nm)) | 시트의 밀도 비(실측 밀도/이론 밀도) | 쇼트율(%) | 정전 용량의온도 특성 | |
실시예1 | 0.45 | 8 | 60 | 1.00 | 3.0 | X7R |
실시예2 | 0.45 | 8 | 60 | 1.00 | 3.0 | X7R |
실시예3 | 0.42 | 8 | 55 | 1.00 | 3.0 | X7R |
실시예4 | 0.42 | 8 | 55 | 1.00 | 1.5 | X7R |
실시예5 | 0.42 | 8 | 55 | 1.00 | 0.5 | X7R |
실시예6 | 0.45 | 8 | 60 | 1.00 | 3.0 | X7R |
비교예1 | 0.60 | 30 | 110 | 0.80 | 50 | B |
비교예2 | 0.60 | 7 | 110 | 0.80 | 45 | X7R |
분산성(D90(㎛)) | 비표면적증가율(%) | 시트의 표면 거칠기(Ra(nm)) | 시트의 밀도 비(실측 밀도/이론 밀도) | 쇼트율(%) | 정전 용량의온도 특성 | |
실시예9 | 0.45 | 8 | 60 | 1.00 | 3.0 | X7R |
실시예10 | 0.45 | 8 | 60 | 1.00 | 3.0 | X7R |
실시예11 | 0.42 | 8 | 55 | 1.00 | 3.0 | X7R |
실시예12 | 0.42 | 8 | 55 | 1.00 | 1.5 | X7R |
실시예13 | 0.42 | 8 | 55 | 1.00 | 0.5 | X7R |
실시예14 | 0.45 | 8 | 60 | 1.00 | 3.0 | X7R |
비교예5 | 0.60 | 30 | 110 | 0.80 | 50 | B |
비교예6 | 0.60 | 7 | 110 | 0.80 | 45 | X7R |
Claims (43)
- 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말을 분산매(dispersion solvent)와 혼합하고, 이 세라믹 분말을 볼, 비드 등의 분산 매체를 이용한 매체형 분산법에 의하여 분쇄(disintegration)하여, 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 혼합·분쇄 단계; 및상기 혼합·분쇄 슬러리를 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시켜서 분산 슬러리를 얻는 고압 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서, 바인더를 첨가한 상태에서, 상기 매체형 분산법에 의하여 혼합·분쇄를 행하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말을, 바인더를 함유하지 않는 분산매와 혼합하고, 이 세라믹 분말을 볼, 비드 등의 분산 매체를 이용한 매체형 분산법에 의하여 분쇄하여 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 혼합·분쇄 단계; 및상기 혼합·분쇄 슬러리에 바인더를 첨가하고, 얻어진 혼합물을 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시킴으로써, 분산 슬러리를 얻는 고압 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말을, 바인더를 함유하지 않는 분산매와 혼합하고, 이 세라믹 분말을 볼, 비드 등의 분산 매체를 이용한 매체형 분산법에 의하여 분쇄하여 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 혼합·분쇄 단계;상기 혼합·분쇄 슬러리를 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시켜서, 일차 분산 슬러리를 얻는 일차 고압 분산 단계; 및상기 일차 분산 슬러리에 바인더를 첨가하고, 얻어진 혼합물을 다시 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시킴으로써, 이차 분산 슬러리(최종 분산 슬러리)를 얻는 이차 고압 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말을, 바인더를 함유하지 않는 분산매와 혼합하고, 이 세라믹 분말을 볼, 비드 등의 분산 매체를 이용한 매체형 분산법에 의하여 분쇄하여, 일차 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 일차 혼합·분쇄 단계;상기 일차 혼합·분쇄 슬러리에 바인더를 첨가하고, 얻어진 혼합물을 볼, 비드 등의 분산 매체를 이용한 매체형 분산법에 의하여 분쇄하여, 이차 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 이차 혼합·분쇄 단계; 및상기 이차 혼합·분쇄 슬러리를 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시킴으로써 분산 슬러리를 얻는 고압 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 1항 내지 제 5항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반한 후, 상기 바인더를 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 1항 내지 제 5항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하여 바인더 혼합 용액을 형성한 후, 이 바인더 혼합 용액을 40∼100℃에서 가열환류시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 1항 내지 제 5항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 분산 슬러리(최종 분산 슬러리)의 점도가 0.01∼0.1Pas인 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 1항 내지 제 5항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 매체형 분산법이 볼 밀 또는 비드 밀을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 1항 내지 제 9항 중의 어느 한 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 세라믹 슬러리를, 소정의 기재상에 시트 형상으로 성형하여, 두께가 0.1∼10㎛인 세라믹 그린 시트를 형성하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법.
- 제 1항 내지 제 9항 중의 어느 한 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 세라믹 슬러리를 사용하여 세라믹 그린 시트를 형성하고, 이 세라믹 그린 시트 복수개를 비금속(base metal) 내부 전극과 함께 적층하고, 이 적층체를 절단, 소성한 후, 외부 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말 및 분산매를 함유하는 혼합 슬러리를, 세라믹 분말에 1000Pa이상의 최대 전단 응력을 인가할 수 있는 유속으로 고압하에서 소정의 유로를 통과시킴으로써, 상기 혼합 슬러리 중의 세라믹 분말을 분산시키는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말 및 분산매를 함유하는 혼합 슬러리를, 벽면 전단 속도 106(l/s)이상으로 고압하에서 소정의 유로를 통과시킴으로써, 상기 혼합 슬러리 중의 세라믹 분말을 분산시키는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 혼합 슬러리는 100㎏/㎠이상의 압력하에서 상기 유로를 통과하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 유로의 길이와 대표직경의 비(길이/대표 직경) RL/D가 30≤RL/D≤1000의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법:단, 상기 유로의 대표 직경은, 축방향에 수직인 방향의 단면 형상이(a)직사각형인 경우에는 단변,(b)원형인 경우에는 직경,(c)타원인 경우에는 단경(short diameter),(d)그 외의 경우에는 유체의 평균 깊이(=4×유로 단면적/총 웨트 길이)를 나타낸다.
- 제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 유로가 소정의 길이를 갖는 실질적으로 직선부를 가짐과 아울러, 상기 실질적으로 직선부의 상류측 및 하류측에, 벤딩 각도가 100도이하인 벤트부(bent portion) 또는 곡률 반경이 3㎜이하인 만곡부가 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 12항 내지 제 16항 중의 어느 한 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 세라믹 슬러리를, 소정의 기재상에 시트 형상으로 성형하여, 두께가 0.1∼10㎛인 세라믹 그린 시트를 형성하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법.
- 제 12항 내지 제 16항 중의 어느 한 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 세라믹 슬러리를 사용하여 세라믹 그린 시트를 형성하고, 이 세라믹 그린 시트 복수개를 비금속 내부 전극과 함께 적층하고, 이 적층체를 절단, 소성한 후, 외부 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말과 분산매의 혼합물을, 100㎏/㎠이상의 압력하에서 분사하여, 상기 혼합물을 100m/s이상의 속도로 경질 재료로 이루어지는 고체벽에 충돌시켜서, 소망의 상태까지 세라믹 분말을 분쇄하여 분산시킴으로써 혼합·분쇄 슬러리를 얻는, 충격력형 고압 분산법에 의한 혼합·분쇄 단계; 및상기 혼합·분쇄 슬러리를, 세라믹 분말에 1000Pa이상의 최대 전단 응력 또는 106(l/s)이상의 벽멱 전단 속도를 인가할 수 있는 유속으로, 100㎏/㎠이상의 고압하에서 소정의 유로를 통과시킴으로써 분산시키는, 전단 응력형 고압 분산법에 의한 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말 및 분산매의 혼합물을, 복수의 대향하는 노즐로부터 100㎏/㎠이상의 압력하에서 분사하고, 상기 세라믹 분말과 분산매를 50m/s이상의 속도로 서로 충돌시켜서, 소망의 상태까지 세라믹 분말을 분쇄하여 분산시킴으로써 혼합·분쇄 슬러리를 얻는, 충격력형 고압 분산법에 의한 혼합·분쇄 단계; 및상기 혼합·분쇄 슬러리를, 세라믹 분말에 1000Pa이상의 최대 전단 응력 또는 106(l/s)이상의 벽멱 전단 속도를 인가할 수 있는 유속으로, 100㎏/㎠이상의 고압하에서 소정의 유로를 통과시킴으로써 분산시키는, 전단 응력형 고압 분산법에 의한 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 19항 또는 제 20항에 있어서, 상기 혼합물에 바인더를 첨가한 상태에서, 상기 충격력형 고압 분산법에 의하여 혼합·분쇄를 행하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 19항 또는 제 20항에 있어서, 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말과, 바인더를 함유하지 않는 분산매를 혼합하고, 상기 세라믹 분말을 상기 충격력형 고압 분산법에 의하여 분쇄하여, 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 혼합·분쇄 단계; 및상기 혼합·분쇄 슬러리에 바인더를 첨가하고, 얻어진 혼합물을 상기 전단 응력형 고압 분산법에 의하여 분산시키는 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 19항 또는 제 20항에 있어서, 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말과, 바인더를 함유하지 않는 분산매를 혼합하고, 상기 세라믹 분말을 상기 충격력형 고압 분산법에 의하여 분쇄하여, 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 혼합·분쇄 단계;상기 혼합·분쇄 슬러리를, 상기 전단 응력형 고압 분산법에 의하여 분산시켜서, 일차 분산 슬러리를 얻는 일차 분산 단계; 및상기 일차 분산 슬러리에 바인더를 첨가하고, 얻어진 혼합물을 다시 상기 전단 응력형 고압 분산법에 의하여 분산시켜서, 이차 분산 슬러리(최종 분산 슬러리)를 얻는 이차 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 19항 또는 제 20항에 있어서, 세라믹 전자 부품의 제조에 사용되는 세라믹 슬러리의 제조 방법이며,평균 입경이 0.01∼1㎛인 세라믹 분말과, 바인더를 함유하지 않는 분산매를 혼합하고, 상기 세라믹 분말을 상기 충격력형 고압 분산법에 의하여 분쇄하여, 일차 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 일차 혼합·분쇄 단계;상기 일차 혼합·분쇄 슬러리에 바인더를 첨가하고, 얻어진 혼합물을 상기 충격력형 고압 분산법에 의하여 분쇄하여, 이차 혼합·분쇄 슬러리를 얻는 이차 혼합·분쇄 단계; 및상기 이차 혼합·분쇄 슬러리를 상기 전단 응력형 고압 분산법에 의하여 분산시켜서, 분산 슬러리를 얻는 분산 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 21항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하고, 상기 혼합물을, 1000Pa이상의 최대 전단 응력, 또는 106(l/s)이상의 벽멱 전단 속도를 인가할 수 있는 유속으로 100㎏/㎠이상의 고압하에서 소정의 유로를 통과시키는 전단 응력형 고압 분산법에 의하여, 상기 바인더를 분산시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 21항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하여 바인더 혼합 용액을 형성한 후, 이 바인더 혼합 용액을 40∼100℃에서 가열환류시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 19항 또는 제 20항에 있어서, 상기 분산 슬러리(최종 분산 슬러리)의 점도가 0.003∼0.1Pas인 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 19항 내지 제 27항 중의 어느 한 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 세라믹 슬러리를, 소정의 기재상에 시트 형상으로 성형하여, 두께가 0.1∼10㎛인 세라믹 그린 시트를 형성하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법.
- 제 19항 내지 제 27항 중의 어느 한 항에 기재된 방법에 의하여 제조된 세라믹 슬러리를 사용하여 세라믹 그린 시트를 형성하고, 이 세라믹 그린 시트 복수개를 비금속 내부 전극과 함께 적층하고, 이 적층체를 절단, 소성한 후, 외부 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 세라믹 분말, 분산제, 바인더 및 용매를 함유하는 세라믹 슬러리 조성물의 제조 방법이며,적어도(a)세라믹 분말;(b)분산제; 및(c)용매와 바인더를 혼합하여 용액을 형성하고, 상기 바인더를 상기 용액내에 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시켜서 얻어진 바인더 용액;을 소정의 비율로 혼합하고,얻어진 혼합물을 분산시키는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리 조성물의 제조 방법.
- 제 30항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합하여 용액을 형성하고, 상기 바인더를 상기 용액내에 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시킨 후, 상기 용액을 여과함으로써 조제한 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리 조성물의 제조 방법.
- 세라믹 분말, 분산제, 바인더 및 용매를 함유하는 세라믹 슬러리 조성물이며,상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합하여 용액을 형성하고, 상기 바인더를 상기 용액내에 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리 조성물.
- 제 32항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합하여 용액을 형성하고, 상기 바인더를 상기 용액내에 100㎏/㎠이상의 고압하에서 분산시킨 후, 상기 용액을 여과함으로써 조제한 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리 조성물.
- 제 32항 또는 제 33항에 있어서, 상기 세라믹 분말의 평균 입경이 0.01∼1㎛임을 특징을 하는 세라믹 슬러리 조성물.
- 제 32항 내지 제 34항 중의 어느 한 항에 기재된 세라믹 슬러리 조성물을, 소정의 기재상에 시트 형상으로 성형하여, 세라믹 그린 시트를 형성하는 것을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법.
- 제 35항에 있어서, 상기 세라믹 그린 시트의 두께가 0.1∼10㎛임을 특징으로 하는 세라믹 그린 시트의 제조 방법.
- 제 35항 또는 제 36항에 기재된 제조 방법에 의하여 제조된 세라믹 그린 시트를, 비금속 내부 전극과 함께 적층하고, 이 적층체를 절단, 소성한 후, 그 위에 외부 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 다층 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
- 제 22항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하고, 상기 혼합물을, 1000Pa이상의 최대 전단 응력, 또는 106(l/s)이상의 벽멱 전단 속도를 인가할 수 있는 유속으로 100㎏/㎠이상의 고압하에서 소정의 유로를 통과시키는 전단 응력형 고압 분산법에 의하여, 상기 바인더를 분산시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법
- 제 23항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하고, 상기 혼합물을, 1000Pa이상의 최대 전단 응력, 또는 106(l/s)이상의 벽멱 전단 속도를 인가할 수 있는 유속으로 100㎏/㎠이상의 고압하에서 소정의 유로를 통과시키는 전단 응력형 고압 분산법에 의하여, 상기 바인더를 분산시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법
- 제 24항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하고, 상기 혼합물을, 1000Pa이상의 최대 전단 응력, 또는 106(l/s)이상의 벽멱 전단 속도를 인가할 수 있는 유속으로 100㎏/㎠이상의 고압하에서 소정의 유로를 통과시키는 전단 응력형 고압 분산법에 의하여, 상기 바인더를 분산시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법
- 제 22항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하여 바인더 혼합 용액을 형성한 후, 이 바인더 혼합 용액을 40∼100℃에서 가열환류시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 23항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하여 바인더 혼합 용액을 형성한 후, 이 바인더 혼합 용액을 40∼100℃에서 가열환류시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
- 제 24항에 있어서, 상기 바인더로서, 용매와 바인더를 혼합, 교반하여 바인더 혼합 용액을 형성한 후, 이 바인더 혼합 용액을 40∼100℃에서 가열환류시켜서 얻어진 바인더 용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 슬러리의 제조 방법.
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