JP3387455B2 - セラミックスラリー、セラミックグリーンシート及び積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
電子部品の製造に使用されるセラミックスラリー及びセ
ラミックグリーンシートの製造方法、並びに積層セラミ
ック電子部品の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサやセラミック
多層基板などの積層セラミック電子部品は、通常、セラ
ミックグリーンシートを積層、圧着し、熱処理して、セ
ラミックや電極を焼結させる工程を経て製造されてい
る。

【０００３】例えば、図１に示すように、セラミック素
子１中に内部電極２が配設されているとともに、セラミ
ック素子１の両端部に、交互に異なる側の端面に引き出
された内部電極２と導通するように一対の外部電極３
ａ，３ｂが配設された構造を有する積層セラミックコン
デンサを製造する場合、通常は、以下のような方法で製
造されている。

【０００４】(１)まず、上述のようにして製造したセラ
ミックグリーンシートに容量形成用の内部電極を配設す
ることにより、電極配設シート１１（図２）を形成す
る。(２) 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所
定枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設され
ていないセラミックグリーンシート（外層用シート）２
１を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側
が交互に異なる側の端面に引き出された積層体（積層圧
着体）を形成する。(３) そして、この積層圧着体を所定の条件で焼成してセ
ラミックを焼結させた後、焼成後の積層体（セラミック
素子）１（図１）の両端部に導電性ペーストを塗布、焼
付けして、内部電極２と導通する外部電極３ａ，３ｂ
（図１）を形成する。これにより、図１に示すような積
層セラミックコンデンサが得られる。

【０００５】また、積層セラミック多層基板などの他の
積層セラミック電子部品も、セラミックグリーンシート
を積層する工程を経て製造されている。

【０００６】ところで、積層セラミック電子部品の製造
に用いられるセラミックグリーンシートは、一般に、セ
ラミック粉末を、分散媒（溶媒）、分散剤、バインダ
ー、可塑剤などと所定の割合で配合し、ビーズミル、ボ
ールミル、アトライタ、ペイントシェーカ、サンドミル
などの媒体型分散機を用いて混合・解砕することにより
製造したセラミックスラリーを、ドクターブレード法な
どの方法により所定の厚さのシートに成形した後、乾燥
させることにより製造されている。

【０００７】しかしながら、近年、積層セラミックコン
デンサをはじめとする種々の積層セラミック電子部品に
対しては、他の電子素子に対するのと同様に、小型化、
高性能化が求められるようになっている。そして、その
ためには、積層セラミック電子部品の製造に用いられる
セラミックグリーンシートを薄くすることが必要にな
り、近年は、厚みが１０μm以下の極めて薄いセラミッ
クグリーンシートを用いることが必要になりつつある。

【０００８】このように、厚みの薄いセラミックグリー
ンシートを製造しようとすると、セラミックグリーンシ
ートの製造に用いられるセラミックスラリーとして、セ
ラミック原料粉末が十分に分散しているものを用いるこ
とが必要となり、そのためには、セラミック原料粉末と
して、平均粒径が０．０１〜１．０μmの微粉末のセラ
ミック原料を用いることが必要になる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、セラミ
ック粉末を、分散媒（溶媒）、分散剤、バインダー、可
塑剤などと所定の割合で配合し、ビーズミル、ボールミ
ル、アトライタ、ペイントシェーカー、サンドミルなど
の媒体型分散機を用いて混合・解砕する、従来のセラミ
ックスラリーの製造方法では、１．０μm以下のセラミ
ック微粉末を十分に分散させることは困難で、均一に分
散されたセラミックスラリーを得ることができず、厚み
が薄く、しかも高品質なセラミックグリーンシートを製
造することは困難であるのが実情である。

【００１０】すなわち、上述の従来の方法で製造したセ
ラミックスラリーを用いて製造したセラミックグリーン
シートは、(１)表面の円滑性が十分ではない、(２)高密
度のものが得られず、引張り強度が不十分である、(３)
バインダーや可塑剤などの樹脂の分布が不均一となり、
積層後の焼成工程における収縮率が部位によりばらつ
き、十分な寸法精度が得られない、というような問題点
がある。なお、これらの問題点は、高重合度のバインダ
ーを用いる場合に特に顕著になる。

【００１１】また、従来のセラミックスラリーの製造方
法では、分散性を向上させるために玉石を充填したボー
ルミルや、ビーズを充填したビーズミルを用いて、強制
的な衝突あるいは衝撃力を付与してセラミック粉末を分
散させる方法が用いられる場合があるが、その場合、衝
突や衝撃による解砕力が大きすぎて、セラミック粉末へ
のダメージが大きくなり、セラミック粉末の結晶性の低
下や、比表面積の増加を招き、所望の電気特性を備えた
積層セラミック電子部品を得ることができなくなるとい
う問題点がある。

【００１２】また、セラミック粉末を含むスラリーを高
圧に加圧して流動させ、衝突や衝撃力によってセラミッ
ク粉末を分散させる高圧分散の方法が用いられる場合も
あるが、高圧分散のみでは、ボールミルやビーズミルな
どの媒体型分散法のような強制的な衝突あるいは衝撃力
による解砕の方法に比べて解砕力が小さいため、強固に
凝集した凝結粒子を十分に解砕することは困難で、十分
に分散されたセラミックスラリーを製造することができ
ず、高品質なセラミックグリーンシートを得ることがで
きないという問題点がある。

【００１３】本願発明は、このような背景に鑑みてなさ
れたものであり、セラミック粉末に過度のダメージを与
えることなく、セラミック粉末を均一に分散させること
が可能で、セラミック電子部品の製造に用いるのに適し
たセラミックスラリーを効率よく製造することが可能な
セラミックスラリーの製造方法、及びセラミックグリー
ンシート並びに積層セラミック電子部品の製造方法を提
供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願発明（請求項１）のセラミックスラリーの製造
方法は、セラミック電子部品の製造に用いられ、セラミ
ック粉末と、バインダーと、分散媒を含有するセラミッ
クスラリーの製造方法であって、平均粒径が０．０１〜
１μmのセラミック粉末と分散媒とを、溶媒とバインダ
ーを混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散さ
せたバインダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混
合したバインダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流
させたバインダー溶液が添加された状態で、玉石やビー
ズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法により混合・解
砕して混合・解砕スラリーを得る混合・解砕工程と、前
記混合・解砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の圧力で
高圧分散させることにより分散スラリーを得る高圧分散
工程とを具備することを特徴としている。

【００１５】平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック
粉末と分散媒（溶媒）とを、溶媒とバインダーを混合撹
拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバイン
ダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバイ
ンダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させたバイ
ンダー溶液が添加された状態で、玉石やビーズなどの分
散媒体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合
・解砕スラリーを得た後、この混合・解砕スラリーを、
１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させることによ
り、セラミック粉末が十分に分散された分散スラリーを
得ることが可能になる。すなわち、媒体型分散法と高圧
分散法を組み合わせてセラミック粉末を分散させること
により、セラミック粉末の結晶性を損なったり、比表面
積が過度に大きくなったりすることを抑制しつつ、セラ
ミック粉末を均一に分散させることが可能になり、高品
質のセラミックスラリーを製造することが可能になる。

【００１６】また、本願発明（請求項１）のセラミック
スラリーの製造方法においては、バインダー溶液とし
て、溶媒とバインダーとを混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以
上の圧力で高圧分散させたバインダー溶液、又は溶媒と
バインダーとを撹拌混合したバインダー混合溶液を４０
〜１００℃で加熱還流させたバインダー溶液を用いてい
るので、バインダーを直接添加する場合に生じるような
ゲルの発生を抑制、防止して、セラミック粉末の分散性
をさらに向上させることが可能になる。なお、溶媒とバ
インダーとを撹拌混合し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高
圧分散させたバインダー溶液を用いた場合、バインダー
を直接添加する場合に生じるようなゲルの発生を抑制、
防止することが可能になり、また、溶媒とバインダーと
を撹拌混合したバインダー混合溶液を４０〜１００℃で
加熱還流させたバインダー溶液を用いた場合、バインダ
ーをより確実に溶解させた状態（μmサイズの凝集のな
い状態）で添加することが可能になる。なお、本願発明
においては、分散媒として、分散剤、可塑剤、帯電防止
剤を含むものを用いることが可能であり、さらに他の添
加剤を含むものを用いることも可能である。

【００１７】また、本願発明における、高圧分散とは、
例えば、高圧に加圧した被分散液を壁に衝突させたり、
テーパを付けて径を徐々に絞った流路を通過させたりし
て、分散を行わしめるように構成された高圧分散装置を
用いて、スラリーの分散を行う方法を意味する広い概念
である。

【００１８】また、本願発明は、セラミック粉末の平均
粒径（電子顕微鏡で求めた平均の一次粒径）が、０．０
１〜１μmの範囲にある場合に、特に有利に適用される
が、０．０１〜１μmの範囲を超える場合にも適用する
ことが可能である。

【００１９】また、本願発明（請求項２）のセラミック
スラリーの製造方法は、セラミック電子部品の製造に用
いられ、セラミック粉末と、バインダーと、分散媒を含
有するセラミックスラリーの製造方法であって、平均粒
径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と分散媒とを、
玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法によ
り混合・解砕して混合・解砕スラリーを得る混合・解砕
工程と、前記混合・解砕スラリーを、溶媒とバインダー
を混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させ
たバインダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合
したバインダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流さ
せたバインダー溶液が添加された状態で、１００kg／cm
^２ 以上の圧力で高圧分散させることにより分散スラリー
を得る高圧分散工程とを具備することを特徴としてい
る。

【００２０】混合・解砕工程では前記バインダー溶液を
添加せず、混合・解砕して得た混合・解砕スラリーに、
溶媒とバインダーを混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧
力で高圧分散させたバインダー溶液、又は溶媒とバイン
ダーとを撹拌混合したバイン ダー混合溶液を４０〜１０
０℃で加熱還流させたバインダー溶液を添加し、１００
kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させることにより、セラ
ミック粉末がさらによく分散された分散スラリーを得る
ことができるようになる。

【００２１】すなわち、バインダーは、一部がゲル状に
なって分散媒中に存在することがあり、そのような状態
で媒体型分散法によりセラミック粉末を混合・解砕する
よりも、バインダーを添加する前にセラミック粉末と分
散媒とを媒体型分散法により混合・解砕することによ
り、混合・解砕の効率を向上させることが可能になり、
最終的なセラミック粉末の分散性をより向上させること
ができるようになる。

【００２２】また、本願発明（請求項３）のセラミック
スラリーの製造方法は、セラミック電子部品の製造に用
いられるセラミックスラリーの製造方法において、平均
粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と、バインダ
ーを含有していない分散媒とを、玉石やビーズなどの分
散媒体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して混合
・解砕スラリーを得る混合・解砕工程と、前記混合・解
砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散さ
せることにより一次分散スラリーを得る一次高圧分散工
程と、前記一次分散スラリーに、溶媒とバインダーとを
混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させた
バインダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合し
たバインダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させ
たバインダー溶液を添加し、さらに１００kg／cm^２以上
の圧力で高圧分散させることにより二次分散スラリー
（最終分散スラリー）を得る二次高圧分散工程とを具備
することを特徴としている。

【００２３】セラミック粉末と、バインダーを含有して
いない分散媒とを、媒体型分散法により混合・解砕した
混合・解砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の圧力で高
圧分散させることにより得た一次分散スラリーに、溶媒
とバインダーとを混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力
で高圧分散させたバインダー溶液、又は溶媒とバイン ダ
ーとを撹拌混合したバインダー混合溶液を４０〜１００
℃で加熱還流させたバインダー溶液を添加し、さらに１
００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させるようにした場
合、セラミック粉末に過度のダメージを与えることな
く、セラミック粉末を均一に分散させることが可能にな
り、高品質のセラミックスラリーを製造することが可能
になる。

【００２４】また、本願発明（請求項４）のセラミック
スラリーの製造方法は、セラミック電子部品の製造に用
いられるセラミックスラリーの製造方法において、平均
粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と、バインダ
ーを含有していない分散媒とを、玉石やビーズなどの分
散媒体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して一次
混合・解砕スラリーを得る一次混合・解砕工程と、前記
一次混合・解砕スラリーに、溶媒とバインダーとを混合
撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバイ
ンダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバ
インダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させたバ
インダー溶液を添加し、玉石やビーズなどの分散媒体を
用いる媒体型分散法により混合・解砕して二次混合・解
砕スラリーを得る二次混合・解砕工程と、前記二次混合
・解砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分
散させることにより分散スラリーを得る高圧分散工程と
を具備することを特徴としている。

【００２５】セラミック粉末と、バインダーを含有して
いない分散媒とを、媒体型分散法により混合・解砕した
一次混合・解砕スラリーに、溶媒とバインダーとを混合
撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバイ
ンダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバ
インダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させたバ
インダー溶液を添加し、再び、媒体型分散法により混合
・解砕することにより得られた二次混合・解砕スラリー
を、１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散させるように
した場合にも、セラミック粉末に過度のダメージを与え
ることなく、セラミック粉末を均一に分散させることが
可能になり、高品質のセラミックスラリーを製造するこ
とが可能になる。

【００２６】また、請求項５のセラミックスラリーの製
造方法は、前記分散スラリー（最終分散スラリー）の粘
度が０．０１〜０．１Pasであることを特徴としてい
る。

【００２７】分散スラリー（最終分散スラリー）の粘度
が０．０１〜０．１Pasとなるようにした場合、シート
状に成形したセラミックグリーンシートを作製する工程
で用いるのに適したセラミックスラリーを得ることがで
きるようになり、本願発明をさらに実効あらしめること
ができる。

【００２８】また、請求項６のセラミックスラリーの製
造方法は、前記媒体型分散法がボールミル又はビーズミ
ルによる方法であることを特徴としている。

【００２９】媒体型分散法として、ボールミル又はビー
ズミルを用いる方法を適用した場合、確実にセラミック
の凝結粒子を解砕することができるようになり、本願発
明を実効あらしめることができる。なお、本願発明にお
いては、上述のボールミル及びビーズミルの他に、例え
ば、アトライタ、ペイントシェーカ、サンドミルなどの
媒体型分散機などを用いる方法を適用することも可能で
ある。

【００３０】また、本願発明（請求項７）のセラミック
グリーンシートの製造方法は、本願発明（請求項１〜
６）の方法により製造されたセラミックスラリーを、所
定の基材上にシート状に成形して、厚さが０．１〜１０
μmのセラミックグリーンシートを形成することを特徴
としている。

【００３１】請求項１〜６の方法により製造されたセラ
ミックスラリーにおいては、平均粒径が０．０１〜１μ
mのセラミック粉末が分散媒に十分に分散しており、こ
れをシート状に成形することにより、厚さが薄く（０．
１〜１０μm）、高品質のセラミックグリーンシートを
確実に製造することが可能になる。すなわち、表面の円
滑性に優れ、高密度で、引張り強度が大きく、しかも、
バインダーや可塑剤などの樹脂の分布が均一な、積層セ
ラミック電子部品の製造に用いるのに適したセラミック
グリーンシートを得ることが可能になる。そして、この
セラミックグリーンシートを用いて積層セラミック電子
部品を製造した場合、所望の特性を有する高品質で信頼
性の高い積層セラミック電子部品を得ることが可能にな
る。

【００３２】また、本願発明（請求項８）の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、本願発明（請求項１〜６）
の方法により製造されたセラミックスラリーを用いてセ
ラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリー
ンシートを卑金属内部電極とともに積層、切断、焼成し
た後、外部電極を形成することを特徴としている。

【００３３】本願発明の方法により製造されたセラミッ
クスラリーを用いてセラミックグリーンシートを形成
し、該セラミックグリーンシートを卑金属内部電極とと
もに積層、切断、焼成した後、外部電極を形成すること
により、所望の特性を有する高品質で信頼性の高い積層
セラミック電子部品を得ることが可能になる。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。本
願発明を実施するにあたっては、セラミック粉末の種類
や具体的な組成に特別の制約はなく、チタン酸バリウム
系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸鉛系などの誘
電体セラミック粉末、フェライト系などの磁性体セラミ
ック粉末、圧電体セラミック粉末、アルミナ、シリカな
どの絶縁体セラミック粉末などの種々のセラミック粉末
を用いたセラミックスラリーに広く適用することが可能
である。

【００３５】また、セラミック粉末の粒径については、
基本的には高圧分散装置を通過する径であれば問題なく
適用できるが、従来の分散方法では分散が困難とされて
いる、電子顕微鏡で求めた平均粒径が０．０１〜１μm
のセラミック粉末に適用されるとき、この発明による効
果が最も発揮される。

【００３６】また、セラミック粉末は、添加物や夾雑物
を含有していてもよい。例えば、セラミック粉末がチタ
ン酸バリウムを主成分としている場合に、添加剤として
ガラス、酸化マグネシウム、酸化マンガン、酸化バリウ
ム、希土類酸化物、酸化カルシウム成分などを含有して
いてもよい。

【００３７】また、本願発明においては、分散媒（溶
媒）の種類に特別の制約はなく、例えば、トルエン、キ
シレンなどの芳香族系や、エチルアルコール、イソプロ
ピルアルコール、ブチルアルコールなどのアルコール系
などの分散媒（溶媒）を用いることが可能であり、ま
た、これらのうちの１種を単独で使用してもよく、ま
た、混合して用いてもよい。また、分散媒としては、さ
らに他の有機溶剤を用いることも可能であり、また、水
を用いることも可能である。

【００３８】また、本願発明において用いることが可能
な分散剤としては、カルボン酸塩、スルホン酸塩、リン
酸塩などのアニオン系分散剤が好ましい例として挙げら
れる。また、より好ましいものとしては、金属イオンを
含まないポリカルボン酸タイプのものが挙げられる。な
お、分散剤に特別の制約はなく、その他の種々の分散剤
を用いることも可能である。

【００３９】また、バインダーとしては、ポリビニルブ
チラール樹脂、セルロース系樹脂、アクリル系樹脂、酢
酸ビニル樹脂などを用いることが可能であるが、目的と
するセラミックグリーンシートに応じて、適宜その種類
及び量が選択される。

【００４０】また、可塑剤としては、ポリエチレングリ
コール、フタル酸エステルなどの種々の可塑剤が適宜用
いられる。また、その量は、目的とするセラミックグリ
ーンシートに応じて選択される。

【００４１】なお、上述のセラミック粉末、分散媒、分
散剤、可塑剤などの添加物についての諸条件は、本願の
すべての請求項の発明にあてはまるものである。

【００４２】［参考例１］(１) 市販の、粒径０．２μmの誘電体材料（ここではチ
タン酸バリウム系セラミック粉末）１００重量部に対
し、アニオン系分散剤２重量部、バインダーとしてアク
リル樹脂系のバインダー１０重量％溶液８０重量部、可
塑剤としてフタル酸エステルであるジオクチルフタレイ
ト（以下「ＤＯＰ」）１．４重量部、分散媒（溶剤）と
してトルエンとエタノールそれぞれ５０重量部を配合す
るとともに、これに、直径２mmのジルコニア製の玉石５
００重量部を添加する。(２) 次いで、この配合スラリーを、５時間ボールミルに
より混合・解砕する。(３) それから、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕
スラリーを、高圧分散装置により、圧力１３００kg/cm
^２、処理量３００cc/minで２０回処理してセラミックグ
リーンシート製造用の分散スラリー（最終分散スラリ
ー）を得る。

【００４３】そして、このようにして得た分散スラリー
の分散性を、マイクロトラック社製の粒度分布測定装置
により評価した。その結果、粒度分布の積算９０％粒子
径（Ｄ９０）は０．４５μmであった。また、この分散
スラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱バインダーを
行った後、比表面積を測定したところ、元の比表面積に
対する増加率は８％であった。

【００４４】次に、この分散スラリーを、ドクターブレ
ード法によりシート状に成形してセラミックグリーンシ
ートを作製した。そして、作製したセラミックグリーン
シートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定
し、さらにセラミックグリーンシートの密度比として、
実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求め
た。その結果、Ｒａは６０nmで、密度比は１．００であ
った。

【００４５】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて、図１に示すように、セラミック素子１中に内部電
極２が配設されているとともに、セラミック素子１の両
端部に、交互に異なる側の端面に引き出された内部電極
２と導通するように一対の外部電極３ａ，３ｂが配設さ
れた構造を有する積層セラミックコンデンサを製造し
た。

【００４６】なお、積層セラミックコンデンサの製造方
法は以下の通りである。(１) まず、上述のようにして作製したセラミックグリー
ンシートに、Ｎｉペーストをスクリーン印刷することに
より、容量形成用の内部電極が配設された電極配設シー
トを形成する。(２) 次に、図２に示すように、電極配設シート１１を所
定枚数（ここでは７０層）積層し、さらにその上下両面
側に電極の配設されていないセラミックグリーンシート
（外層用シート）２１を積層、圧着することにより、各
内部電極２の一端側が交互に異なる側の端面に引き出さ
れた積層体（積層圧着体）を形成する。(３) そして、この積層圧着体を、ダイサーにより所定の
サイズにカットした後、脱バインダー及び焼成を行う。
脱バインダーは、窒素雰囲気中で熱処理することにより
行う。また、焼成は、弱還元性雰囲気で所定の温度に加
熱することにより行う。(４) それから、焼成後の積層体（セラミック素子）１の
両端部に銀を導電成分とする導電性ペーストを塗布、焼
付けすることにより、内部電極２と導通する外部電極３
ａ，３ｂ（図１）を形成する。これにより、図１に示す
ような、Ｎｉを内部電極２とする積層セラミックコンデ
ンサが得られる。

【００４７】上記のようにして製造した積層セラミック
コンデンサのショート率（ショート発生率）を測定した
結果、３．０％と良好であった。また、静電容量の温度
特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００４８】［参考例２］(１) まず、市販の、粒径０．２μmの誘電体材料（ここ
ではチタン酸バリウム系セラミック粉末）１００重量部
に対し、アニオン系分散剤２重量部、トルエンとエタノ
ールをそれぞれ３５重量部配合するとともに、直径２mm
のジルコニア製の玉石５００重量部を添加する。(２) 次いで、この配合スラリーを５時間ボールミルによ
り混合・解砕する。(３) その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕ス
ラリーを取り出し、これに、予め、バインダーとしてア
クリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤としてＤ
ＯＰ１．４重量部、溶媒としてトルエンとエタノールそ
れぞれ３５重量部をあわせて撹拌溶解することにより調
製しておいたバインダー溶液を添加する。(４) 次いで、高圧分散装置により、圧力１３００kg/cm
^２、処理量３００cc/minで１５回処理してセラミックグ
リーンシート製造用の分散スラリー（最終分散スラリ
ー）を得る。

【００４９】そして、このようにして得た分散スラリー
の分散性を、マイクロトラック社製の粒度分布測定装置
により評価した。その結果、Ｄ９０は０．４５μmであ
った。また、この分散スラリーを乾燥し、５００℃に加
熱して脱バインダーを行った後、比表面積を測定したと
ころ、元の比表面積に対する増加率は８％であった。

【００５０】次に、この分散スラリーを、ドクターブレ
ード法によりシート状に成形してセラミックグリーンシ
ートを作製した。そして、作製したセラミックグリーン
シートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定
し、さらにセラミックグリーンシートの密度比として、
実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求め
た。その結果、Ｒａは６０nmで、密度比は１．００であ
った。

【００５１】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを製造した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記参考例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。製造した積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、３．０％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００５２】［参考例３］(１) まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料（ここで
はチタン酸バリウム系セラミック粉末）１００重量部に
対し、アニオン系分散剤２重量部、トルエンとエタノー
ルそれぞれ３５重量部を配合するとともに、直径２mmの
ジルコニア製の玉石５００重量部を添加する。(２) それから、この配合スラリーを５時間ボールミルに
より混合・解砕する。(３) その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕ス
ラリーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００
kg/cm^２、処理量３００cc/minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。(４) 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダー
としてアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤
としてＤＯＰ１．４重量部、溶媒としてトルエンとエタ
ノールそれぞれ３５重量部をあわせて撹拌溶解すること
により調製しておいたバインダー溶液を添加する。(５) それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３
００kg/cm^２、処理量３００cc/minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。

【００５３】そして、このようにして得た最終分散スラ
リーの分散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装
置により評価した。その結果、Ｄ９０は０．４２μmで
あった。また、この最終分散スラリーを乾燥し、５００
℃に加熱して脱バインダーを行った後、比表面積を測定
したところ、元の比表面積に対する増加率は８％であっ
た。

【００５４】次に、この分散スラリーを、ドクターブレ
ード法によりシート状に成形してセラミックグリーンシ
ートを作製した。そして、作製したセラミックグリーン
シートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定
し、さらにセラミックグリーンシートの密度比として、
実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求め
た。その結果、Ｒａは５５nmで、密度比は１．００であ
った。

【００５５】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを製造した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記参考例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。得られた積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、３．０％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００５６】［参考例４］バインダーをポリビニルブチラールに変更したこと以外
は、上記参考例１と同じ条件で分散スラリーを製造する
とともに、この分散スラリーからセラミックグリーンシ
ートを作製した。この参考例で製造した分散スラリーの
分散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置によ
り評価した。その結果、Ｄ９０は０．４５μmであっ
た。また、この分散スラリーを乾燥し、５００℃に加熱
して脱バインダーを行った後、比表面積を測定したとこ
ろ、元の比表面積に対する増加率は８％であった。

【００５７】次に、この分散スラリーを、ドクターブレ
ード法によりシート状に成形してセラミックグリーンシ
ートを作製した。そして、作製したセラミックグリーン
シートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により測定
し、さらにセラミックグリーンシートの密度比として、
実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を求め
た。その結果、Ｒａは６０nmで、密度比は１．００であ
った。

【００５８】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを作 製した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記参考例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。得られた積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、３．０％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００５９】［実施例１］(１) まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料（ここで
はチタン酸バリウム系セラミック粉末）１００重量部に
対し、アニオン系分散剤２重量部、トルエンとエタノー
ルそれぞれ３５重量部配合するとともに、直径２mmのジ
ルコニア製の玉石５００重量部を添加する。(２) それから、この配合スラリーを５時間ボールミルに
より混合・解砕する。(３) その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕ス
ラリーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００
kg/cm^２、処理量３００cc/minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。(４) 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダー
としてアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤
としてＤＯＰ１．４重量部、溶媒としてトルエンとエタ
ノールそれぞれ３５重量部をあわせて撹拌溶解し、さら
に、６５℃で５時間、加熱還流を行って調製しておいた
バインダー溶液を添加する。(５) それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３
００kg/cm^２、処理量３００cc/minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。

【００６０】このようにして得た最終分散スラリーの分
散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置により
評価した。その結果、Ｄ９０は０．４２μmであった。
また、この最終分散スラリーを乾燥し、５００℃に加熱
して脱バインダーを行った後、比表面積を測定したとこ
ろ、元の比表面積に対する増加率は８％であった。

【００６１】次に、この最終分散スラリーを、ドクター
ブレード法によりシート状に成形してセラミックグリー
ンシートを作製した。そして、作製したセラミックグリ
ーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により
測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比とし
て、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を
求めた。その結果、Ｒａは５５nmで、密度比は１．００
であった。

【００６２】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを製造した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記参考例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。得られた積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、１．５％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００６３】［実施例２］(１) まず、市販の粒径０．２μmの誘電体材料（ここで
はチタン酸バリウム系セラミック粉末）１００重量部に
対し、アニオン系分散剤２重量部、トルエンとエタノー
ルそれぞれ３５重量部配合するとともに、直径２mmのジ
ルコニア製の玉石５００重量部を添加する。(２) それから、このスラリーを５時間ボールミルにより
混合・解砕する。(３) その後、ボールミルで混合・解砕した混合・解砕ス
ラリーを取り出し、高圧分散装置により、圧力１３００
kg/cm^２、処理量３００cc/minで１０回処理して分散ス
ラリー（一次分散スラリー）を得る。(４) 次に、この一次分散スラリーに、予め、バインダー
としてアクリル樹脂系のバインダー１０重量部、可塑剤
としてＤＯＰ１．４重量部、溶媒としてトルエンとエタ
ノールそれぞれ３５重量部をあわせて撹拌溶解した後、
さらに、高圧分散装置により、圧力１０００kg/cm^２、
処理量３００cc/minで５回処理することにより調製して
おいたバインダー溶液を添加する。(５) それから、さらに、高圧分散装置により、圧力１３
００kg/cm^２、処理量３００cc/minで５回処理してセラ
ミックグリーンシート製造用の二次分散スラリー（最終
分散スラリー）を得る。

【００６４】このようにして得た最終分散スラリーの分
散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置により
評価した。その結果、Ｄ９０は０．４２μmであった。
また、この最終分散スラリーを乾燥し、５００℃に加熱
して脱バインダーを行った後、比表面積を測定したとこ
ろ、元の比表面積に対する増加率は８％であった。

【００６５】次に、この最終分散スラリーを、ドクター
ブレード法によりシート状に成形してセラミックグリー
ンシートを作製した。そして、作製したセラミックグリ
ーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡により
測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比とし
て、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密度）を
求めた。その結果、Ｒａは５５nmで、密度比は１．００
であった。

【００６６】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを作製した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記参考例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。得られた積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、０．５％と良好であった。また、静
電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであった。

【００６７】［比較例１］ 分散機を上記参考例１〜４，実施例１，２で用いた高圧
分散装置から、サンドミルに変えたこと以外は、上記参
考例１と同様の条件で分散スラリーを製造するととも
に、分散スラリーからセラミックグリーンシートを作製
した。この比較例の方法で製造した分散スラリーの分散
性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置により評
価した。その結果、Ｄ９０は０．６０μmであった。ま
た、この分散スラリーを乾燥し、５００℃に加熱して脱
バインダーを行った後、比表面積を測定したところ、元
の比表面積に対する増加率は３０％であった。

【００６８】次に、この比較例の分散スラリーを、ドク
ターブレード法によりシート状に成形してセラミックグ
リーンシートを作製した。そして、得られたセラミック
グリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡に
より測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比
として、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密
度）を求めた。その結果、Ｒａは１１０nmで、密度比は
０．８０であった。

【００６９】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを作製した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記参考例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。得られた積層セラミックコンデンサのショート
率を測定した結果、ショート率は５０％と高かった。ま
た、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものでは
なかった。

【００７０】［比較例２］ 高圧分散装置によりスラリーを分散する際の圧力を１３
００kg/cm^２から５０kg/cm^２に変更したこと以外は、上
記参考例１と同様の条件で分散スラリーを製造するとと
もに、分散スラリーからセラミックグリーンシートを作
製した。この比較例の方法で製造した分散スラリーの分
散性をマイクロトラック社製の粒度分布測定装置により
評価した。その結果、Ｄ９０は０．６０μmであった。
また、この分散スラリーを乾燥し、５００℃に加熱して
脱バインダーを行った後、比表面積を測定したところ、
元の比表面積に対する増加率は７％であった。

【００７１】次に、この比較例の分散スラリーを、ドク
ターブレード法によりシート状に成形してセラミックグ
リーンシートを作製した。そして、得られたセラミック
グリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を原子間力顕微鏡に
より測定し、さらにセラミックグリーンシートの密度比
として、実測密度と理論密度の比（実測密度／理論密
度）を求めた。その結果、Ｒａは１１０nmで、密度比は
０．８０であった。

【００７２】次に、このセラミックグリーンシートを用
いて積層セラミックコンデンサを作製した。なお、積層
セラミックコンデンサの製造方法は、上記参考例１の場
合と同様であることから、重複を避けるため、説明を省
略する。得られた積層セラミックコンデンサのショート
率を測定したが、ショート率は４５％と高かった。ま
た、静電容量の温度特性は、Ｘ７Ｒを満足するものであ
った。

【００７３】なお、上記参考例１〜４、実施例１，２、
比較例１及び２において得た分散スラリー（最終分散ス
ラリー）の分散性、脱バインダー後の比表面積、作製し
たセラミックグリーンシートの表面粗さ、密度比、セラ
ミックグリーンシートを用いて製造した積層セラミック
コンデンサのショート率及び静電容量の温度特性に関す
るデータを表１にまとめて示す。

【００７４】

【表１】

【００７５】なお、本願発明は、上記の発明の実施の形
態及び実施例に限定されるものではなく、セラミック粉
末や分散媒の種類、媒体型分散法の種類、高圧分散を行
うのに用いる高圧分散装置の具体的な構成、分散剤、可
塑剤、帯電防止剤などの添加物の種類や添加量その他に
関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形
を加えることが可能である。

【００７６】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
セラミックスラリーの製造方法は、平均粒径が０．０１
〜１μmのセラミック粉末と分散媒（溶媒）とを、溶媒
とバインダーを混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で
高圧分散させたバインダー溶液、又は溶媒とバインダー
とを撹拌混合したバインダー混合溶液を４０〜１００℃
で加熱還流させたバインダー溶液が添加された状態で、
玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散法によ
り混合・解砕して得た混合・解砕スラリーを、１００kg
／cm^２以上の圧力で高圧分散させるようにしており、媒
体型分散法と高圧分散法を組み合わせてセラミック粉末
の分散を行うようにしているので、媒体型分散法のみに
より分散を行う場合のように、セラミック粉末の結晶性
を損なったり、比表面積が過度に大きくなったりするこ
とを抑制することが可能になるとともに、高圧分散のみ
の場合のように、凝結粒子の解砕が不十分になることを
抑制することが可能になり、セラミック粉末の過度のダ
メージを与えることなく、セラミック粉末を均一に分散
させて、高品質のセラミックスラリーを効率よく製造す
ることができる。すなわち、本願発明のセラミックスラ
リーの製造方法によれば、媒体型分散法により凝結した
粒子が効率よく解砕され、高圧分散により過剰な粉砕を
回避した理想的なスラリーの分散設計が可能になる。ま
た、バインダー溶液として、溶媒とバインダーとを混合
撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバイ
ンダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバ
インダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させたバ
インダー溶液を用いているので、バインダーを直接添加
する場合に生じるようなゲルの発生を抑制、防止して、
セラミック粉末の分散性をさらに向上させることが可能
になる。また、このように分散性の良好なセラミックス
ラリーを用いて製造したセラミックグリーンシートは、
高密度で、表面の平滑性に優れているため、該セラミッ
クグリーンシートを用いて積層セラミック電子部品を製
造した場合、ショート率を低下させて信頼性を向上させ
ることが可能になる。また、セラミック粉末へのダメー
ジが小さいために、所望の特性の再現性を向上させるこ
とができる。

【００７７】また、本願発明（請求項２）のセラミック
スラリーの製造方法のように、混合・解砕工程では前記
バインダー溶液を添加せず、混合・解砕して得た混合・
解砕スラリーに、溶媒とバインダーを混合撹拌し１００
kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバインダー溶液、
又は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバインダー混合
溶液を４０〜１００℃で加熱還流させたバインダー溶液
を添加して、１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させ
るようにした場合にも、セラミック粉末がさらによく分
散された分散スラリーを得ることができるようになる。

【００７８】すなわち、バインダーは、一部がゲル状に
なって分散媒中に存在することがあり、そのような状態
で媒体型分散法によりセラミック粉末を混合・解砕する
よりも、バインダーを添加する前にセラミック粉末と分
散媒とを媒体型分散法により混合・解砕することによ
り、混合・解砕の効率を向上させることが可能になり、
最終的なセラミック粉末の分散性をより向上させること
ができるようになる。

【００７９】また、本願発明（請求項３）のセラミック
スラリーの製造方法のように、セラミック粉末と、バイ
ンダーを含有していない分散媒とを、媒体型分散法によ
り混合・解砕した混合・解砕スラリーを、１００kg／cm
^２以上の圧力で高圧分散させることにより得た一次分散
スラリーに、溶媒とバインダーとを混合撹拌し１００kg
／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバインダー溶液、又
は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバインダー混合溶
液を４０〜１００℃で加熱還流させたバインダー溶液を
添加し、さらに１００kg／cm^２以上の圧力で高圧分散さ
せるようにした場合、セラミック粉末に過度のダメージ
を与えることなく、セラミック粉末を均一に分散させる
ことが可能になり、高品質のセラミックスラリーを製造
することが可能になる。

【００８０】また、本願発明（請求項４）のセラミック
スラリーの製造方法のように、セラミック粉末と、バイ
ンダーを含有していない分散媒とを、媒体型分散法によ
り混合・解砕した一次混合・解砕スラリーに、溶媒とバ
インダーとを混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高
圧分散させたバインダー溶液、又は溶媒とバインダーと
を撹拌混合したバインダー混合溶液を４０〜１００℃で
加熱還流させたバインダー溶液を添加し、再び、媒体型
分散法により混合・解砕することにより得られた二次混
合・解砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の圧力で高圧
分散させるようにした場合にも、セラミック粉末に過度
のダメージを与えることなく、セラミック粉末を均一に
分散させることが可能になり、高品質のセラミックスラ
リーを製造することが可能になる。

【００８１】また、請求項５のセラミックスラリーの製
造方法のように、分散スラリー（最終分散スラリー）の
粘度が０．０１〜０．１Pasとなるようにした場合、シ
ート状に成形したセラミックグリーンシートを作製する
工程で用いるのに適したセラミックスラリーを得ること
ができるようになり、本願発明をさらに実効あらしめる
ことができる。

【００８２】また、請求項６のセラミックスラリーの製
造方法のように、媒体型分散法として、ボールミル又は
ビーズミルを用いる方法を適用した場合、確実にセラミ
ックの凝結粒子を解砕することができるようになり、本
願発明を実効あらしめることができる。

【００８３】また、本願発明（請求項７）のセラミック
グリーンシートの製造方法は、本願発明（請求項１〜
６）の方法により製造された、平均粒径が０．０１〜１
μmのセラミック粉末が分散媒に十分に分散されたセラ
ミックスラリーを、所定の基材上にシート状に成形し
て、厚さが０．１〜１０μmのセラミックグリーンシー
トを形成するようにしているので、厚さが薄く（０．１
〜１０μm）、高品質のセラミックグリーンシートを確
実に製造することが可能になる。すなわち、表面の円滑
性に優れ、高密度で、引張り強度が大きく、しかも、バ
インダーや可塑剤などの樹脂の分布が均一な、積層セラ
ミック電子部品の製造に用いるのに適したセラミックグ
リーンシートを得ることが可能になる。

【００８４】また、本願発明（請求項８）の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、本願発明（請求項１〜６）
の方法により製造されたセラミックスラリーを用いてセ
ラミックグリーンシートを形成し、該セラミックグリー
ンシートを卑金属内部電極とともに積層、切断、焼成し
た後、外部電極を形成するようにしているので、所望の
特性を有する高品質で信頼性の高い積層セラミック電子
部品を得ることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】セラミックグリーンシートを積層して製造され
る積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図であ
る。

【図２】積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図
である。

【符号の説明】

１ セラミック素子 ２ 内部電極 ３ａ，３ｂ 外部電極 １１ 電極配設シート ２１ 外層用シート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C04B 35/622

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】セラミック電子部品の製造に用いられ、セ
   ラミック粉末と、バインダーと、分散媒を含有するセラ
   ミックスラリーの製造方法であって、 平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と分散媒
   とを、溶媒とバインダーを混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以
   上の圧力で高圧分散させたバインダー溶液、又は溶媒と
   バインダーとを撹拌混合したバインダー混合溶液を４０
   〜１００℃で加熱還流させたバインダー溶液が添加され
   た状態で、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型
   分散法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得る
   混合・解砕工程と、 前記混合・解砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の圧力
   で高圧分散させることにより分散スラリーを得る高圧分
   散工程とを具備することを特徴とするセラミックスラリ
   ーの製造方法。
2. 【請求項２】セラミック電子部品の製造に用いられ、セ
   ラミック粉末と、バインダーと、分散媒を含有するセラ
   ミックスラリーの製造方法であって、 平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と分散媒
   とを、玉石やビーズなどの分散媒体を用いる媒体型分散
   法により混合・解砕して混合・解砕スラリーを得る混合
   ・解砕工程と、 前記混合・解砕スラリーを、溶媒とバインダーを混合撹
   拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバイン
   ダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバイ
   ンダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させたバイ
   ンダー溶液が添加された状態で、１００kg／cm ^２ 以上の
   圧力で高圧分散させることにより分散スラリーを得る高
   圧分散工程とを具備することを特徴とするセラミックス
   ラリーの製造方法。
3. 【請求項３】セラミック電子部品の製造に用いられるセ
   ラミックスラリーの製造方法において、 平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と、バイ
   ンダーを含有していない分散媒とを、玉石やビーズなど
   の分散媒体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して
   混合・解砕スラリーを得る混合・解砕工程と、 前記混合・解砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の圧力
   で高圧分散させることにより一次分散スラリーを得る一
   次高圧分散工程と、 前記一次分散スラリーに、溶媒とバインダーとを混合撹
   拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させたバイン
   ダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合したバイ
   ンダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させたバイ
   ンダー溶液を添加し、さらに１００kg／cm^２以上の圧力
   で高圧分散させることにより二次分散スラリー（最終分
   散スラリー）を得る二次高圧分散工程とを具備すること
   を特徴とするセラミックスラリーの製造方法。
4. 【請求項４】セラミック電子部品の製造に用いられるセ
   ラミックスラリーの製造方法において、 平均粒径が０．０１〜１μmのセラミック粉末と、バイ
   ンダーを含有していない分散媒とを、玉石やビーズなど
   の分散媒体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して
   一次混合・解砕スラリーを得る一次混合・解砕工程と、 前記一次混合・解砕スラリーに、溶媒とバインダーとを
   混合撹拌し１００kg／cm ^２ 以上の圧力で高圧分散させた
   バインダー溶液、又は溶媒とバインダーとを撹拌混合し
   たバインダー混合溶液を４０〜１００℃で加熱還流させ
   たバインダー溶液を添加し、玉石やビーズなどの分散媒
   体を用いる媒体型分散法により混合・解砕して二次混合
   ・解砕スラリーを得る二次混合・解砕工程と、 前記二次混合・解砕スラリーを、１００kg／cm^２以上の
   圧力で高圧分散させることにより分散スラリーを得る高
   圧分散工程とを具備することを特徴とするセラミックス
   ラリーの製造方法。
5. 【請求項５】前記分散スラリー（最終分散スラリー）の
   粘度が０．０１〜０．１Pasであることを特徴とする請
   求項１〜４のいずれかに記載のセラミックスラリーの製
   造方法。
6. 【請求項６】前記媒体型分散法がボールミル又はビーズ
   ミルによる方法であることを特徴とする請求項１〜５の
   いずれかに記載のセラミックスラリーの製造方法。
7. 【請求項７】請求項１〜６の方法により製造されたセラ
   ミックスラリーを、所定の基材上にシート状に成形し
   て、厚さが０．１〜１０μmのセラミックグリーンシー
   トを形成することを特徴とするセラミックグリーンシー
   トの製造方法。
8. 【請求項８】請求項１〜６の方法により製造されたセラ
   ミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを形
   成し、該セラミックグリーンシートを卑金属内部電極と
   ともに積層、切断、焼成した後、外部電極を形成するこ
   とを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。