JP5017203B2

JP5017203B2 - セラミックスラリー組成物の製造方法

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Publication number: JP5017203B2
Application number: JP2008192008A
Authority: JP
Inventors: 淳間瀬; 英彦田中
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2008-07-25
Filing date: 2008-07-25
Publication date: 2012-09-05
Anticipated expiration: 2028-07-25
Also published as: JP2010030796A

Description

本発明は、積層圧電素子、積層セラミックコンデンサ等のセラミック電子部品の製造に用いられるセラミックスラリー組成物の製造方法に関する。

積層圧電素子や積層セラミックコンデンサ等のセラミック電子部品は、多くの場合、セラミック粉末に、分散媒、分散剤、バインダ、可塑剤等を、所定の割合で配合した原料を、分散装置を用いて混合し、セラミックスラリー組成物を得て、そのセラミックスラリー組成物を、ドクターブレード法等の手段によって、所定の厚さのセラミックグリーンシートに成形し、乾燥させた後、セラミックグリーンシートに導電材料で電極を形成し、その電極を形成したセラミックグリーンシートを積層し、グリーンシート積層成形体を得て、そのグリーンシート積層成形体を熱処理し、焼結させる、といった過程を経て、製造される。

このようなセラミック電子部品の製造において、最終製品の寸法精度や形状精度を向上させ、形状欠陥等を回避するためには、グリーンシート積層成形体を焼成する際の焼成収縮の割合を安定化させることが大切である。そして、グリーンシート積層成形体の焼成収縮の割合を安定化させるためには、セラミックスラリー組成物を均質化（同質化、ホモジナイズ）することが重要であり、中でもバインダ成分を均質化することが最も重要である、と考えられる。

尚、関連する先行技術文献として、特許文献１〜４を挙げることが出来る。この中で、例えば、特許文献１にはセラミックスラリー組成物の製造方法が開示され、特許文献２では水性複合樹脂分散液の製造方法が開示されている。

特許第３５３８７０６号公報特許第３４０３８２８号公報特公昭６４−９０４５号公報特開２０００−３５４７４９号公報

しかしながら、これら従来の技術は、何れも高圧で分散させることを特徴とするものであり、特許文献１では１０ＭＰａ（１００ｋｇ／ｃｍ^２）以上、特許文献２では１０〜５００ＭＰａ（１００〜５０００ｋｇ／ｃｍ^２）の圧力で分散させることとしている。このような高圧処理では、強い分散効果が期待出来るものの、電気使用量は多くなり、治具磨耗によるメンテナンス頻度は増加するので、ランニングコストの点で不利である。又、処理条件が不安定であると、圧力が高いことが変動因子となるため、操作に十分な配慮が必要となる場合がある。

本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題は、ランニングコストが低く、処理条件に厳格性を要求されない、均質化したセラミックスラリー組成物を得る手段を提供することにある。研究が重ねられた結果、以下の手段によって、上記の課題が解決されることが見出され、本発明の完成に至った。

即ち、本発明によれば、バインダを溶媒で溶解してバインダ溶液を得た後、そのバインダ溶液に対し、ホモジナイザを用いて、５ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満の低圧で、複数回の分散処理を行い、その後、分散処理を行ったバインダ溶液に、セラミックス粉末、分散剤、可塑剤を混合して、セラミックスラリー組成物を得る過程を有する、セラミックスラリー組成物の製造方法が提供される。

分散処理の圧力は、好ましくは、７ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満、より好ましくは、８ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満である。この圧力は、例えば、ポンプによって押圧されることによって生じる圧力である。分散処理の回数は、好ましくは、２回以上、６回以下、より好ましくは、４回又は５回である。

分散処理を行ったバインダ溶液に、セラミックス粉末、分散剤、可塑剤を混合する手段としては、例えば、ビーズミル、ボールミル、サンドミル等の使用を挙げることが出来る。

バインダ溶液を構成するバインダとしては、例えば、メチルセルロース、ヒドロキシプロポキシルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ボリビニルブチラール等が挙げられる。

溶媒は、用いるバインダによって選択することが出来るが、例えば、水、トルエン、キシレン、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール等を挙げることが出来る。

セラミックス粉末としては、例えば、ジルコニア、炭化珪素、珪素−炭化珪素系複合材料、窒化珪素、コージェライト（コージェライト化材料）、ムライト、アルミナ、スピネル、炭化珪素−コージェライト系複合材料、リチウムアルミニウムシリケート、チタン酸アルミニウム、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ系金属、あるいは、ジルコン酸チタン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、マンガンタングステン酸鉛、コバルトニオブ酸鉛、チタン酸バリウム、チタン酸ナトリウムビスマス、チタン酸ビスマスネオジウム、ニオブ酸カリウムナトリウム、タンタル酸ストロンチウムビスマス、更には、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸カリウム等を挙げることが出来る。

セラミック粉末の粒径としては、例えば、平均粒子径（ＪＩＳＲ１６２９）が０．０１μｍ以上、１０μｍ以下のものが挙げられる。

分散剤としては、例えば、ポリカルボン酸塩、ラウリン酸塩、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤、ステアリン酸、アクリル酸系ポリマー等を挙げることが出来る。

可塑剤としては、例えば、ポリエチレングリコール、フタル酸エステル等を挙げることが出来る。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法においては、ホモジナイザは、筒状のバルブシートと、その筒状のバルブシートの一の端面にバルブシートと間隙を開けて備わる柱状のバルブディスク（弁体）と、バルブシート及びバルブディスクの外側に、その間隙に対応した位置に備わるブレーカーリングと、を有するホモバルブを具備し、そのホモバルブの筒状のバルブシートの内部（空間）が、バルブディスクの側において、（バインダ溶液の入口側から出口側へ向けて）一旦、狭窄し、（その後、間隙に向けて）一の端面に向けてテーパー状に広がる形状を呈するものであり、（ホモジナイザを用いてバインダ溶液に対して行われる）分散処理が、バインダ溶液を、筒状のバルブシートの狭窄した部分を経て、筒状のバルブシートの内側（内部の側）から間隙に通し、外側に向けて（高速で）吐出してブレーカーリングに衝突させる処理を含むことが好ましい。

ホモバルブのバルブシートは、一旦、狭窄してから、テーパー状に広がる形状を呈するが、狭窄する部分の内径は、圧力損失が大きくなりすぎない程度に、小さい方が好ましい。又、狭窄する部分を短くすることが好ましく、そうすることによって、圧力損失を抑制することが出来る。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法は、分散処理を行ったバインダ溶液に、セラミックス粉末、分散剤、可塑剤を混合して、セラミックスラリー組成物を得る過程を有するので、少なくとも、含有するバインダ溶液が、確実に分散され、均質化しており、その結果、セラミックスラリー組成物としても均質化している。そのため、本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法によって得られたセラミックスラリー組成物を成形したセラミックグリーンシートで構成されるグリーンシート積層成形体は、焼成時に、収縮の割合が安定する。よって、最終製品であるセラミック電子部品の寸法精度や形状精度は向上し、形状欠陥等が発生し難い。又、セラミックスラリー組成物を低溶剤率化する（溶剤である溶媒を少なくする）ことが出来、それによってセラミックスラリー組成物の溶剤を除去する乾燥工程における挙動を安定させるとともに、環境への影響を改善することが可能である。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法は、バインダ溶液に対し、５ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満の低圧で分散処理を行うので、電気使用量が少なく、且つ、治具磨耗も進行し難いのでメンテナンス頻度も減少する。よって、ランニングコストは抑制される。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法は、バインダ溶液に対し、低圧で複数回の分散処理を行って、所定の分散度（分散の程度）に調整する（均質化を図る）ので、確実に分散することが出来、その一方において、求める分散度に対し、処理条件を調整し易く、高圧の場合に比すれば、操作に厳格性を要求されず、簡便である。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法は、その好ましい態様において、ホモバルブの筒状のバルブシートの内部が、バルブディスクの側において、一旦、狭窄し、テーパー状に広がる形状を呈するものであり、分散処理が、バインダ溶液を、筒状のバルブシートの狭窄した部分を経て、バルブシートの内側から間隙に通し、外側に向けて吐出してブレーカーリングに衝突させる処理を含むものである。即ち、本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法においては、好ましくは、バインダ溶液は、ホモバルブの入口から出口に向けて、バルブシートの狭窄した部分を通り、その後、テーパー状に広がった形状に沿って間隙に向かい、間隙から吐出され、高速でブレーカーリングに当たる、という過程を経て、処理される。狭窄による乱流によってバインダ溶液の混合が促進され、且つ、テーパー状に広がる形状に沿った流れによって、間隙から角度をもった広い範囲に吐出されるため、急速な常圧化によって、泡の収縮が高密度に行われ、キャビテーション効果が高まり、分散能力も向上すると推測される。狭窄した部分は、バインダ溶液の混合に加え、テーパー状の部分の長さを大きく（長く）とれることにも寄与している。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法では、バインダ溶液に対し、低圧で複数回の分散処理を行うが、好ましい態様においては、その際に、圧力の設定を変えることによって、分散処理の回数（パス回数）による到達限界粘度（分散度）を調節することが出来る。例えば、ホモバルブの間隙の寸法を調整し、それによって分散処理の圧力を変更し（＝分散力を変更し）、結果として、パス回数を繰り返したときの到達限界粘度を決めることが可能である。具体的には、例えば、圧力が９．９ＭＰａ、パス回数が１回で、所望の粘度を得た場合、既述のように、処理条件の安定性に欠ける場合がある。そのような場合に、圧力をさらに低圧へ変更し、パス回数を増やすことによって、安定して所望の粘度（分散度）を得る分散処理を行うことが可能となる。

尚、本発明において、分散度や分散能力は、処理によるバインダ溶液の粘度、又は粘度低下率で測ることが出来る。粘度が低くなれば、分散された（分散度が上がった、分散能力が向上した）と判断する。又、本明細書において、分散、均質、同質等の語を用いるが、分散は、バインダ溶液に対して行う具体的な処理（分散させる）、又はバインダ溶液において起こる具体的な現象（分散する）であり、その結果、バインダ溶液が均質になる（均質化される）という関係になる。同質は、均質と同義である。

以下、本発明について、適宜、図面を参酌しながら、実施形態を説明するが、本発明はこれらに限定されて解釈されるべきものではない。本発明に係る要旨を損なわない範囲で、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良、置換を加え得るものである。例えば、図面は、好適な本発明に係る実施形態を表すものであるが、本発明は図面に表される態様や図面に示される情報により制限されない。本発明を実施し又は検証する上では、本明細書中に記述されたものと同様の手段若しくは均等な手段が適用され得るが、好適な手段は、以下に記述される手段である。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法は、バインダを溶媒で溶解してバインダ溶液を得た後、そのバインダ溶液に対し、特徴あるホモバルブを具備するホモジナイザを用いて、５ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満の低圧で、複数回の分散処理を行い、その後、分散処理を行ったバインダ溶液に、セラミックス粉末、分散剤、可塑剤を混合して、セラミックスラリー組成物を得る過程を有するものである。本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法においては、バインダ溶液に対し、特徴あるホモバルブを具備するホモジナイザを用いて、５ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満の低圧で、複数回の分散処理を行うところに本質があり、分散処理を行ったバインダ溶液に、セラミックス粉末、分散剤、可塑剤を混合して、セラミックスラリー組成物を得るところについては、従来知られた手段を採用して行えばよい。

そこで、以下、先ず、本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法において用いられるホモジナイザについて説明する。ホモジナイザ（均質化装置、同質化装置）は、バインダ溶液に対し、低圧で、複数回の分散処理を行うための、分散装置ということが出来る。

図１Ａ、図１Ｂは、ホモジナイザの一の実施形態を示す図であり、図１Ａは、ホモジナイザの一部であるホモバルブを正面から見た断面図であり、図１Ｂは、ホモジナイザの一部であるホモバルブの右側面図である。図１Ａ、図１Ｂに示されるホモバルブ１０は、バルブシート１１と、バルブディスク１２と、ブレーカーリング１３と、を具備する。

バルブシート１１は、筒状（例えば円筒状）を呈し、バインダ溶液（被処理液）が通る空間を有する。そして、バルブディスク１２は、柱状を呈し、筒状のバルブシート１１の端面に、バルブシート１１と間隙１５を開けて備わる。即ち、筒状のバルブシート１１の端面部分と、柱状のバルブディスク１２の端面と、によって間隙１５が形成される。そして、図１Ａにおいて、左側がバインダ溶液の入口１４であり、右側が出口１６である。

バルブシート１１において、バルブディスク１２の側（図１Ａでは右側）において、バルブシート１１の実体部分が迫り出すことにより（厚くなることにより）、バインダ溶液の流路にあたるバルブシート１１の内部空間は、一旦、狭窄し、その後、間隙１５に向けて、テーパー状に広がる形状を呈している。又、ブレーカーリング１３は、バルブシート１１及びバルブディスク１２の外側であり間隙１５に対応した位置に備わる。

バルブシート１１の内部空間は狭窄するが、この狭窄の程度は、圧力損失を考慮し、狭窄していない部分の内径Ａに対し、狭窄している部分の内径Ｂが、６０％以上、９０％以下となるようにすることが好ましい。より好ましくは７５％（Ａ：Ｂが４：３）である。内径Ａ及び内径Ｂは、処理すべきバインダ溶液の量（流量）によって決定されるが、例えば、内径Ａを３〜１０ｍｍ、内径Ｂを２〜９ｍｍ程度に設定することが出来る。狭窄している部分の長さＣは、圧力損失を考慮し、２ｍｍ以下とすることが好ましい。

バルブシート１１の内部空間は、狭窄した後に、テーパー状に広がる形状を呈するが、この広がりの角度θ（筒状のバルブシート１１の軸方向に対する角度、図１Ａを参照）は、３５°以上、５５°以下であることが好ましい。より好ましい角度θは、４５°である。

間隙１５の長さＤは、０．５ｍｍ以下であることが好ましい。バルブシート１１及びバルブディスク１２と、ブレーカーリング１３と、の間隔Ｇは、０．５ｍｍ以上、２ｍｍ以下とすることが好ましい。

バルブシート１１の長さＥ、及び、バルブシート１１（バルブディスク１２）の外径Ｆは、バルブシート１１の内径Ａとの関係等に基づいて、適宜、決定される。例えば、バルブシート１１の長さＥを２０〜５０ｍｍ、バルブシート１１の外径Ｆを５〜２０ｍｍ程度に設定することが出来る。

次に、上記したホモバルブ１０を有するホモジナイザを用いた場合を例にとって、バインダ溶液の１回の分散処理について説明する。本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法においては、この（１回の）分散処理が、繰り返し、複数回、行われる。

バインダ溶液（被処理液）は、入口１４から入り、例えば、プランジャ式ポンプによって、５ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満の低圧で押圧され、間隙１５に向けて、バルブシート１１の狭窄している部分を通り抜ける。このとき、狭窄による乱流によって、バインダ溶液の混合が促進され、そして、バルブディスク１２によってバルブシート１１の端面の殆どが閉じられているので、バインダ溶液は、テーパー状に広がった形状に沿って間隙１５に向かい、間隙１５から吐出される。このとき、キャビテーション効果が生じ、バインダ溶液（バインダ）は、又、分散される。次いで、間隙１５から出たバインダ溶液は、高速でブレーカーリング１３に当たる。このとき、衝撃効果が生じるので、バインダ溶液（バインダ）は、更に、分散される。そして、十分に分散されたバインダ溶液（処理（済）液）は、出口１６から排出される。

以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

（実施例１、参考例１）ポリビニルブチラール（バインダ）２０質量部を、トルエン／ＩＰＡ＝５０／５０混合溶媒（溶剤）１００質量部に溶解して、バインダ溶液を得た。分散処理前の、そのバインダ溶液の粘度を測定したところ、２．６５Ｐａ・ｓであった。

次いで、得られたバインダ溶液に対し、ホモジナイザを用いて、９．９ＭＰａの圧力で、４回の分散処理を行った。使用したホモジナイザは、既述の、ホモバルブ１０（図１Ａ及び図１Ｂを参照）を具備するホモジナイザであり、加圧手段は、プランジャ式ポンプである。圧力は、所定流量下において、ホモバルブの間隙を微調整することによって、設定した。分散処理１回毎に、バインダ溶液の粘度を測定したところ、処理回数（パス回数）１回（実施例１（１））で２．１６Ｐａ・ｓ（粘度低下率１８．５％）、２回（実施例１（２））で１．７０Ｐａ・ｓ、３回（実施例１（３））で１．５１Ｐａ・ｓ、４回（実施例１（４））で１．３９Ｐａ・ｓ（粘度低下率４７．５％）であった。又、２０．０ＭＰａの圧力で、１回の分散処理を行った後のバインダ溶液の粘度を測定したところ（参考例１（２））、１．６７Ｐａ・ｓ（粘度低下率３７．０％）であった。実施例１の結果を、図２に表わす。又、実施例１のうち実施例１（１）の結果を用い、これを参考例１（１）とし、これと参考例１（２）の結果を合わせて、参考例１として図３に表わす。

（比較例１〜４）ホモジナイザとして、従来の三和機械株式会社製のホモゲナイザー（商品名）のうち低圧用標準ホモバルブを備えたものを使用し、１０ＭＰａの圧力で、４回の分散処理を行った。それ以外の条件は実施例１と同様である。分散処理１回毎に、バインダ溶液の粘度を測定したところ、処理回数（パス回数）１回（比較例１）で２．３３Ｐａ・ｓ、２回（比較例２）で２．２１Ｐａ・ｓ、３回（比較例３）で２．１５Ｐａ・ｓ、４回（比較例４）で２．０７Ｐａ・ｓであった。比較例１〜４の結果を、図２に表わす。

（比較例５〜９）ホモジナイザとして、従来の三和機械株式会社製のホモゲナイザー（商品名）のうち高圧用標準ホモバルブを備えたものを使用し、１０ＭＰａの圧力で（比較例５）１回の分散処理を行った。それ以外の条件は実施例１と同様である。分散処理の後で、バインダ溶液の粘度を測定したところ、２．４１Ｐａ・ｓであった。同様にして、３０ＭＰａの圧力（比較例６）、５０ＭＰａの圧力（比較例７）、７０ＭＰａの圧力（比較例８）、９０ＭＰａの圧力（比較例９）で１回の分散処理を行い、分散処理の後で、バインダ溶液の粘度を測定したところ、それぞれ、２．１２Ｐａ・ｓ（比較例６）、１．９２Ｐａ・ｓ（比較例７）、１．７９Ｐａ・ｓ（比較例８）、１．６６Ｐａ・ｓ（比較例９）であった。比較例５〜９の結果を、図３に表わす。

（比較例１０、１１）ホモジナイザの代わりに、湿式ジェットミル（株式会社スギノマシン製、スターバースト）を使用し、７５ＭＰａの圧力で（比較例１０）１回の分散処理を行った。それ以外の条件は実施例１と同様である。分散処理の後で、バインダ溶液の粘度を測定したところ、１．６０Ｐａ・ｓであった。同様にして、１００ＭＰａの圧力（比較例１１）で１回の分散処理を行い、分散処理の後で、バインダ溶液の粘度を測定したところ、１．３５Ｐａ・ｓであった。比較例１０、１１の結果を、図３に表わす。

図２に表わされた実施例１及び比較例１〜４の結果より、本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法の分散処理によれば、複数回の分散処理を行うことによって、従来の手段であれば１００ＭＰａという高圧による分散処理と、同等か又はそれ以上に、粘度を低下させる（分散させる）ことが出来る。尚、参考までに、ホモバルブ１０（図１Ａ及び図１Ｂを参照）を具備するホモジナイザを使用すると、図３に表わされた参考例１及び比較例５〜１１の結果より、低圧であっても、１回の分散処理で、バインダ溶液の粘度を大きく低下させる（十分に分散させる）ことが可能である。

尚、実施例１及び参考例１で使用したホモジナイザのホモバルブ１０（図１Ａ及び図１Ｂを参照）の寸法は、バルブシート１１の内径Ａが４ｍｍであり、内径Ｂが３ｍｍであり、狭窄している部分の長さＣが２ｍｍであり、バルブシート１１の内部空間の狭窄した後のテーパー状に広がる角度θは４５°である。又、間隙１５の長さＤは０．５ｍｍである。バルブシート１１及びバルブディスク１２と、ブレーカーリング１３と、の間隔Ｇは１ｍｍである。そして、バルブシート１１の長さＥは３０ｍｍであり、バルブシート１１（バルブディスク１２）の外径Ｆは８ｍｍである。

又、図４は、比較例１〜９で使用したホモジナイザ（三和機械株式会社製のホモゲナイザー（商品名））を示す図であり、ホモジナイザの一部であるホモバルブを正面から見た断面図であり、図１Ａに対応する図である。この三和機械株式会社製のホモゲナイザー（商品名）は、ホモバルブにおいて、筒状のバルブシートの内部が、狭窄しておらず、テーパー状に広がる形状を呈してはいないものである。三和機械株式会社製のホモゲナイザー（商品名）においては、各部材の名称は、実際には本明細書における名称と異なるが、本明細書においては、比較の便宜上、各部材の名称は、本明細書における名称（ホモバルブ１０及びそれを構成する部材の名称）を用いるものとする。図４に示されるホモバルブ２０は、バルブシート２１と、バルブディスク２２と、ブレーカーリング２３と、を具備する。バルブシート２１は、筒状を呈し、バインダ溶液（被処理液）が通る空間を有する。そして、バルブディスク２２は、柱状を呈し、筒状のバルブシート２１の端面に、バルブシート２１と間隙２５を開けて備わる。図４において、左側がバインダ溶液の入口２４であり、右側が出口２６である。ブレーカーリング２３は、バルブシート２１及びバルブディスク２２の外側であり間隙２５に対応した位置に備わる。比較例１〜４で使用した低圧用標準ホモバルブも、比較例５〜９で使用した高圧用標準ホモバルブも、同じ図４に示される形態を呈するものであるが、寸法は異なる。比較例１〜４で使用した低圧用ホモバルブの寸法は、バルブシート２１の内径Ａが７ｍｍであり、バルブシート２１の実体部分の厚さに相当する間隙２５の長さＤは２．５ｍｍである。バルブシート２１及びバルブディスク２２と、ブレーカーリング２３と、の間隔Ｇは１ｍｍである。そして、バルブシート２１の長さＥは３０ｍｍであり、バルブシート２１（バルブディスク２２）の外径Ｆは１２ｍｍである。一方、比較例５〜９で使用した高圧用ホモバルブの寸法は、バルブシート２１の内径Ａが４ｍｍであり、バルブシート２１の実体部分の厚さに相当する間隙２５の長さＤは２．０ｍｍである。バルブシート２１及びバルブディスク２２と、ブレーカーリング２３と、の間隔Ｇは１ｍｍである。そして、バルブシート２１の長さＥは３０ｍｍであり、バルブシート２１（バルブディスク２２）の外径Ｆは８ｍｍである。

実施例における粘度は、粘度計（パーフィジカ社製ＭＣ−１、せん断率（ＳｈｅａｒＲａｔｅ）１００（１／ｓ））で測定した。又、粘度低下率は、次の式で求めた。
粘度低下率＝（分散処理前の粘度−分散処理後の粘度）／分散処理前の粘度
（せん断率（ＳｈｅａｒＲａｔｅ）は１００（１／ｓ）とする）

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法は、あらゆるセラミックスラリー組成物を製造する手段として、利用される。特に、積層圧電素子、積層セラミックコンデンサ等のセラミック電子部品の製造に用いられるセラミックスラリー組成物を製造する手段として、好適に利用することが出来る。

本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法において用いられるホモジナイザの一の実施形態を示す図であり、ホモバルブを正面から見た断面図である。本発明に係るセラミックスラリー組成物の製造方法において用いられるホモジナイザの一の実施形態を示す図であり、ホモバルブの右側面図である。実施例の結果を表わすグラフである。実施例の結果を表わすグラフである。実施例のうち比較例１〜９で使用されたホモジナイザを示す図であり、ホモバルブを正面から見た断面図である。

符号の説明

１０：ホモバルブ、１１：バルブシート、１２：バルブディスク、１３：ブレーカーリング、１４：入口、１５：間隙、１６：出口。

Claims

バインダを溶媒で溶解してバインダ溶液を得た後、
そのバインダ溶液に対し、ホモジナイザを用いて、５ＭＰａ以上、１０ＭＰａ未満の低圧で、複数回の分散処理を行い、
その後、前記分散処理を行ったバインダ溶液に、セラミックス粉末、分散剤、可塑剤を混合して、セラミックスラリー組成物を得る過程を有し、
前記ホモジナイザは、
筒状のバルブシートと、その筒状のバルブシートの一の端面にバルブシートと間隙を開けて備わる柱状のバルブディスクと、前記バルブシート及びバルブディスクの外側であり前記間隙に対応した位置に備わるブレーカーリングと、を有するホモバルブを具備し、そのホモバルブの筒状のバルブシートの内部が、前記バルブディスクの側において、一旦、狭窄し、前記一の端面に向けてテーパー状に広がる形状を呈するものであり、
前記分散処理が、
バインダ溶液を、前記筒状のバルブシートの狭窄した部分を経て、前記筒状のバルブシートの内側から前記間隙に通し、外側に向けて吐出して前記ブレーカーリングに衝突させる処理を含むセラミックスラリー組成物の製造方法。