KR20000023067A - 금속분말과 그의 제조방법 및 도전성 페이스트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 입자 크기가 100nm 이하인 금속분말을 얻을 수 있고, 환원제에 의한 불순물의 혼입이 실질적으로 없는 액상법에 의한 금속분말의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따르면, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에, 수산화알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물을 용해시킴으로써 얻을 수 있는 환원제 용액을 준비함과 함께, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에 금속염을 용해시킴으로써 얻을 수 있는 금속염 용액을 준비하여, 이들 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합한다. 이에 의해, 금속염을 히드라진 또는 히드라진수화물에 의해 환원함으로써, 금속염에 함유되는 금속으로 이루어지는 금속분말을 석출시킨다.

Description

금속분말과 그의 제조방법 및 도전성 페이스트{Metallic powder, manufacturing method thereof and conductive paste}

본 발명은, 금속분말과 그 제조방법 및 도전성 페이스트에 관한 것으로서, 특히, 예를 들면, 적층 세라믹 전자 부품의 내부도체를 형성하기 위해 유리하게 사용되는 도전성 페이스트, 거기에 함유되는 금속분말 및 이와 같은 금속분말의 제조방법에 관한 것이다.

적층 세라믹 커패시터와 같은 적층 세라믹 전자부품의 내부도체를 형성하기 위해, 도전성 페이스트가 사용된다. 도전성 페이스트는 도전성분이 되는 금속분말을 함유하고 있다. 금속분말로서는 현재 니켈분말이 많이 이용되고 있다.

이와 같은 적층 세라믹 전자부품에서, 그 소형화 및 박층화가 진행됨에 따라, 내부도체에 포함되는 금속분말의 입자 크기도 작게 할 필요가 있다.

입자 크기가 작은 금속분말을 유리하게 제조할 수 있는 방법으로서, 예를 들면, 기상법(氣相法)이 있다. 하지만 기상법으로는 금속분말을 제조하기 위한 비용이 많이 든다는 문제가 있다.

한편, 액상법에 의해 입자 크기가 작은 금속분말을 제조하기 위한 방법이, 예를 들면, 일본국 특허공고공보 6-99143호에 기재되어 있다. 이 공보에는, 니켈분말의 제조방법이 기재되어 있으며, 이 방법은, 니켈염 용액을 수산화붕소나트륨과 같은 수산화붕화물의 환원액으로 액상 환원하는 공정을 거쳐, 입자 크기가 작은 니켈분말을 얻고자 하는 것이다. 하지만, 이 방법에 따르면, 붕소가 니켈 분말중에 합금 혹은 불순물로서 석출되기 때문에, 얻어진 니켈 분말은, 도전성 페이스트를 위한 도전성분으로서는 반드시 적합하다고 할 수 없다.

또한, 액상법에 의한 금속분말의 제조방법으로서, 일본국 특허공개공보 5-43921호에 기재된 것도 있다. 이 공보에는, 염기성 탄산니켈을 함유하는 용액을 환원하여 니켈분말을 제조하는 방법에 관한 것으로, 환원제로서 히드라진을 이용하는 방법이 기재되어 있다. 이 방법에 따르면, 히드라진을 환원제로 사용하기 때문에, 니켈분말중에 불순물이 혼입하는 일은 본질적으로 없다. 하지만, 얻어진 니켈분말은, 그 입자 크기가 100nm을 초과하고, 따라서, 박층화를 도모하여 내부도체를 형성하기 위해 도전성 페이스트에 포함시켜야 하는 도전성분으로서는 바람직하지 않다.

따라서 본 발명의 목적은, 입자 크기가 100nm 이하인 금속분말을 얻을 수 있고, 게다가 환원제에 의한 불순물의 혼입이 본질적으로 발생하지 않는, 액상법에 의한 금속분말의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은, 상술한 제조방법에 의해 얻어진 입자 크기가 100nm 이하이고, 게다가 환원제에 의한 불순물의 혼입이 실질적으로 없는 금속분말을 제공하고자 하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 적층 세라믹 전자부품의 박층화를 도모하는 내부도체를 형성하기 위해 유리하게 이용할 수 있는 도전성 페이스트를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명에 관한 금속분말의 제조방법은, 상술한 기술적 과제를 해결하기 위해, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에, 수산화알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물, 및 금속염을, 각각의 적어도 일부가 용해되어 있는 상태로 존재시키는 공정을 구비하며, 이 공정에서, 금속염을 히드라진 또는 히드라진수화물에 의해 환원함으로써, 금속염에 포함되는 금속으로 이루어지는 금속분말을 석출시키는 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같은 금속분말의 제조방법에서, 환원제인 히드라진 또는 히드라진수화물(이하, 양자를 포함하여 간단히 「히드라진」이라 부르기도 한다)은, 이에 의해 환원된 금속중에 불순물을 거의 석출시키지 않는 특징을 가지고 있다.

또한, 히드라진 또는 히드라진수화물이 금속을 환원할 때에는, 수산화물이온의 공급이 필요하고, 이와 같은 수산화물이온의 공급은, 수산화알칼리에 의해 행해진다. 또한, 강알칼리일수록 환원반응속도를 높일 수 있고, 그 결과, 얻어진 금속분말의 입자 크기를 작게 할 수 있다. 따라서, 알칼리 강도를 변화시킴으로써, 즉, 환원제 용액중의 수산화알칼리의 농도나 수산화알칼리의 종류를 변화시킴으로써, 석출되는 금속분말의 입자 크기를 제어할 수 있다. 또한, 알코올만으로 이루어지는 용매를 이용하는 경우에는, 수산화알칼리가 존재하지 않으면, 히드라진의 환원반응은 진행되지 않는다.

본 발명에 관한 금속분말의 제조방법에 있어서, 히드라진이나 금속염을 용해하기 위한 용매는, 물이 아니며, 알코올을 함유하는 용매가 사용된다. 이 경우, 알코올을 함유하는 용매로서는, 알코올만을 이용하여도 되고, 알코올과 물의 혼합액을 이용하여도 된다. 이와 같이, 용매를, 물만이 아니라, 알코올을 포함하는 용매로 함으로써, 단지 물만을 용매로서 이용하는 경우에 비해, 금속이온의 용해도를 낮출 수 있고, 그 때문에, 금속의 석출(析出) 속도를 높일 수 있으며, 석출하는 금속분말의 입자 크기를 작게 할 수 있다. 따라서 용매가 되는 알코올과 물의 혼합액중의 알코올 농도를 변화시킴으로써, 석출하는 금속분말의 입자 크기를 제어할 수도 있다.

바람직하게는, 상술한 바와 같은 용매중에 가성알코올과, 히드라진 또는 히드라진수화물, 및 금속액을 존재시킨 상태를 얻기 위해, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에 수산화알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물을 용해시킴으로써 얻어지는 환원제 용액을 준비함과 함께, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에 금속염을 용해시킴으로써 얻어지는 금속염 용액을 준비하고, 이들 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합한다.

상술한 용매에 함유되는 알코올의 농도는 10∼100용량%임이 바람직하다. 10용량% 미만이면, 종래의 물 속에서 환원하여 생성된 금속분말의 내부지름과 실질적인 차이가 없어지기 때문이다.

또한, 환원제 용액에 포함되는 수산화알칼리의 농도는, 사용한 히드라진 또는 히드라진수화물의 4배의 농도에서 10몰/리터 이하의 범위가 바람직하다. 히드라진 또는 히드라진수화물의 4배의 농도 미만이면 환원반응이 종료하지 않고, 한편, 10몰/리터를 초과하면 수산화알칼리가 용매에 용해하지 않게 되기 때문이다.

또한, 환원제 용액에 함유되는 히드라진 또는 히드라진수화물의 농도는, 화학양논적으로 금속염을 환원하는데 필요한 양에서 20몰/리터 이하의 범위인 것이 바람직하다. 화학양논적으로 금속염을 환원하는데 필요한 양 미만이면 환원반응이 종료하지 않고, 한편, 20몰/리터를 초과하면 히드라진은 상온에서 액체이기 때문에, 용매에 알코올을 이용한 효과가 줄어들기 때문이다.

또한, 금속염용액에 함유되는 금속염의 농도는, 10몰/리터 이하인 것이 바람직하다. 10몰/리터를 초과하면, 용매에 용해하지 않게 되기 때문이다.

본 발명은, 또한, 상술한 바와 같은 제조방법에 의해 얻어진 금속분말에도 적용될 수 있다.

이 금속분말은, 바람직하게는 100nm 이하의 입자 크기를 가지고 있다.

또한, 본 발명은, 이와 같은 금속분말을 함유하는 도전성 페이스트에도 적용될 수 있다.

이 도전성 페이스트는, 바람직하게는, 적층 세라믹 전자부품의 내부도체를 형성하기 위해 이용된다.

본 발명의 바람직한 한 실시형태를 따라 금속분말을 제조하고자 할 때, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에, 수산화알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물을 용해시킴으로써 얻을 수 있는 환원제 용액을 먼저 준비한다.

여기서, 알코올로서는, 바람직하게는, 메탄올, 에탄올, 프로판올 등의 1가 알코올의 적어도 한 종이 이용된다.

또한, 가성알코올로서는, 예를 들면, 수산화칼륨, 수산화나트륨, 수산화칼슘, 수산화바륨 및 수산화암모늄 중에서 선택된 적어도 한 종이 이용된다.

보다 특정적인 바람직한 실시형태에서는, 에탄올이 단독으로 용매로서 이용되고, 가성알코올로서, 수산화나트륨이 단독으로 이용된다. 그리고, 환원제 용액을 얻기 위해, 에탄올중에 수산화나트륨을 0.5∼5.0몰/리터의 몰 농도로 용해시킴과 함께, 히드라진 또는 히드라진수화물을, 금속염을 환원하기 위해 화학양논적으로 필요한 양에서 그 필요한 양의 15배까지의 범위에서 용해시킨다.

한편, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에 금속염을 용해시킴으로써 얻어지는 금속염 용액을 준비한다.

여기서, 알코올로서는, 상술한 환원제 용액의 경우와 마찬가지로, 메탄올, 에탄올, 프로판올 등의 1가 알코올의 적어도 한 종을 사용하는 것이 바람직하다. 1가 알코올은 일반적으로, 다가 알코올에 비해 금속염을 용해하는 능력이 높고, 금속분말의 생산성을 높일 수 있다.

또한, 금속염으로서는, 얻고자 하는 금속분말의 종류에 따라, 예를 들면, Au, Ag, Pd, Cu, Ni, Co, Fe 및 Mn 중에서 선택된 적어도 한 종의 금속원소를 포함하는 금속염이 이용된다. 이들의 예시한 금속원소를 포함하는 금속염은, 히드라진에 의해 환원됨으로써, 특정 금속을 단독 또는 합금으로 하여 석출할 수 있는 것이며, 또한 금속염에 포함되는 금속원소는 도전성을 나타내므로, 도전성 페이스트 등 전자부품을 위한 도전 재료로서 이용할 수 있다.

또한 금속염은, 예를 들면, 염화물, 황산염 및 질산염 중에서 선택된 적어도 한 종의 염으로 된다. 금속염은 알코올 또는 알코올과 물의 혼합액으로 이루어지는 용매에 양호하게 용해할 수 있는 것이 바람직하다.

보다 특정적인 바람직한 실시형태에서는, 에탄올이 단독으로 용매로서 이용되고, 금속염으로서 Au, Ag, Pd, Cu, Ni, Co, Fe 및 Mn 중에서 선택된 적어도 한 종의 금속원소를 포함하는 염화물이 단독으로 사용된다. 그리고, 금속염 용액을 얻기 위해, 에탄올 속에 염화물을 1.0×10^-2∼1.0몰/리터의 몰 농도에서 용해시킨다.

계속해서, 이와 같이 하여 얻어진 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합한다.

이 때, 환원제 용액과 금속염 용액의 온도는, 20℃∼60℃의 범위로 제어되는 것이 바람직하다. 또한, 혼합시 교반 상태에 있는 환원제 용액에 금속염 용액을 적하하도록 하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하여 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합함으로써, 금속염 용액에 함유되는 금속염이, 히드라진 또는 히드라진수화물에 의해 환원된다. 이에 의해, 환원제 용액과 금속염 용액의 혼합액중에, 입자 크기가 15nm∼100nm의 범위로 좁고 아울러 입자 크기가 균일한 금속분말의 침전이 생성된다. 또한, 이 금속분말은, 상술한 환원반응시, 가벼운(즉 간단히 해리할 수 있는) 응집체로서 석출되므로, 후공정에서, 회수가 용이하고, 따라서 우수한 생산성을 기대할 수 있다. 또한, 이 때, 환원제로서 히드라진을 이용하고 있으므로, 환원제에 의한 불순물이 금속분말에 혼입하는 일은 실질적으로 없다. 또한, 응집이 불충분한 경우에도, 별도로 첨가제를 가함으로써 용이하게 회수할 수 있다.

계속해서, 금속분말은 세정된 후 건조된다. 이에 의해, 원하는 금속분말을 추출할 수 있다.

추출된 금속분말을 적절한 비히클 성분 중에 분산시킴으로써, 도전성 페이스트를 얻을 수 있다. 이 도전성 페이스트는, 예를 들면, 적층 세라믹 커패시터의 내부전극 등 적층 세라믹 전자 부품의 내부도체를 형성하기 위해 이용된다.

상술한 도전성 페이스트에 함유되는 금속분말은, 환원제에 의한 불순물의 혼입이 실질적으로 없기 때문에, 도전성분으로서 우수할 뿐만 아니라, 입자 크기가 100nm 이하이므로, 이 금속분말을 함유하는 도전성 페이스트를 적층세라믹 전자부품의 내부도체를 형성하기 위해 이용함으로써, 적층 세라믹 전자 부품의 박층화에 유리하게 대응할 수 있다.

또한, 상술한 실시형태에서는, 환원제 용액과 금속염 용액을 각각 준비하고, 히드라진에 의한 금속염의 환원반응을 발생시키기 위해 이들 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 수산화알칼리를 용해하는 용액과, 히드라진을 용해하는 용액, 및 금속염을 용해하는 용액을 각각 준비하고, 환원반응을 일으키기 위해, 이들 3개의 용액을 혼합하여도 된다. 또는 용액으로서는 상술한 환원제 용액만을 준비하여, 여기에 직접 금속염을 첨가하여도, 혹은 상술한 금속염 용액만을 준비하여, 여기에 직접 수산화알칼리 및 히드라진을 첨가하여도 된다.

이와 같이 여러 종류의 변형예를 생각할 수 있지만, 요약하면, 금속염을 히드라진에 의해 환원함으로써, 금속염에 함유되는 금속으로 이루어지는 금속분말을 석출시킨다는 원하는 환원반응을 일으키기 위해, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에, 가성알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물, 및 금속염을, 각각의 적어도 일부가 용해되어 있는 상태에서 존재시키는 공정을 구비하고 있으면 된다.

이하, 금속분말의 제조방법에 관한 본 발명에 따른 바람직한 실시예 및 비교예를 기재한다.

실시예 1

수산화나트륨 2g과 80% 히드라진수화물 5g을 에탄올 100㎖에 용해하여 환원제 용액을 제조하였다. 한편, 염화니켈 5g을 에탄올 100㎖에 용해하여 금속염 용액을 조제하였다.

계속해서, 상기 양쪽의 용액 온도를 60℃로 하면서, 환원제 용액중에, 금속염 용액을 투입하였다. 이에 의해, 니켈분말의 침전을 생성시킨 후, 니켈분말을 분리·회수하고, 증류수 및 아세톤으로 각각 차례로 세정하고, 계속해서 오븐 속에서 건조하였다.

이와 같이 하여 얻어진 니켈 분말을, 주사형 전자 현미경으로 관찰한 바, 40∼60nm의 구형(球刑)의 니켈 분말이 얻어져 있는 것이 확인되었다.

실시예 2

수산화칼륨 7.5g과 80% 히드라진수화물 40g을 메탄올 100㎖에 용해하여 환원제 용액을 조제하였다. 한편, 질산구리 10g을 메탄올 100㎖와 증류수 10㎖의 혼합액에 용해하여 금속염 용액을 조제하였다.

계속해서, 상기 양쪽 용액의 온도를 50℃로 하면서 환원제 용액을 교반하고, 아울러, 여기에 금속염 용액을 투입하였다. 이에 의해 구리분말의 침전을 생성시킨 후, 구리분말을 분리·회수하고, 증류수 및 아세톤으로 각각 차례로 세정하고, 계속해서 실온에서 건조하였다.

이렇게 하여 얻어진 구리분말을 주사형 전자 현미경으로 관찰한 바, 60∼80nm의 구형 구리분말이 얻어져 있는 것이 확인되었다.

비교예 1

수산화알칼리로서의 수산화나트륨을 사용하지 않는 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 조건에서 니켈분말을 얻기 위한 조작을 실시하였지만, 환원반응이 일어나지 않고, 니켈분말의 침전은 얻을 수 없었다. 수산화알칼리가 존재하지 않는 상태에서는, 히드라진에 의한 환원반응이 진행되지 않기 때문이다.

비교예 2

에탄올 대신 이온교환수만을 용매로서 사용한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 조건에서 니켈 분말을 얻기 위한 조작을 실시하였다.

얻어진 니켈 분말을 주사형 전자 현미경으로 관찰한 바, 실시예 1의 경우보다 입자 크기가 큰 400∼500nm의 구형 니켈 분말이 얻어져 있는 것이 확인되었다. 반응용매로서 물만을 사용하면 니켈 이온의 용해도가 높아지고, 그 결과, 니켈의 석출 속도가 낮아지기 때문이다.

본 발명에 관한 금속분말의 제조방법에 따르면, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에, 수산화알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물, 및 금속염을, 각각의 적어도 일부가 용해되어 있는 상태에서 존재시키고, 이 상태에서, 수산화알칼리에 의한 수산화물 이온을 공급하면서 히드라진 또는 히드라진수화물에 의해 금속염을 환원하고, 그에 따라, 금속염에 함유되는 금속으로 이루어지는 금속분말을 석출시키는 것이 행해진다.

이와 같이, 본 발명에 관한 금속분말의 제조방법에서는, 환원제로서 히드라진 또는 히드라진수화물을 사용하기 때문에, 이 환원제에 의한 불순물의 혼입이 실질적으로 없는 금속분말을 얻을 수 있다.

또한, 상술한 히드라진 또는 히드라진수화물이나 금속염을 용해하기 위한 용매로서 알코올을 함유하는 용매를 사용하기 때문에, 물만을 용매로서 사용하는 경우에 비해 금속이온의 용해도를 낮출 수 있고, 그 때문에, 금속의 석출 속도를 높일 수 있으며, 결과적으로 석출하는 금속분말의 입자 크기를 작게 할 수 있어, 입자 크기가 100nm 이하이고, 아울러 입자 크기의 변화율이 작은 금속분말을 얻을 수 있다.

본 발명에 관한 금속분말의 제조방법에서, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에 수산화알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물을 용해시킴으로써 얻어지는 환원제 용액을 준비함과 함께, 적어도 알코올을 함유하는 용매중에 금속염을 용해시킴으로써 얻어지는 금속염 용액을 준비하고, 이들 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합하게 한다면, 상술한 바와 같은 용매중에 수산화알칼리와, 히드라진 또는 히드라진수화물, 및 금속염을 존재시킨 상태를 얻기 위한 조작을 보다 용이하게 할 수 있다.

또한 상술한 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합할 때, 환원제 용액에 금속염 용액을 적하하도록 한다면, 환원반응을 안정되게 일으키기 위한 제어를 보다 용이하게 행할 수 있으므로, 안정된 품질을 가지고 금속분말을 제조하는 것이 용이해진다.

또한, 상술한 바와 같은 환원제 용액을 준비하는 경우, 이 환원제 용액중의 수산화알칼리의 농도 및/또는 종류를 변화시킴으로써, 석출하는 금속분말의 입자 크기를 제어할 수 있으므로, 얻고자 하는 금속분말의 입자 크기의 제어를 비교적 용이하게 행할 수 있다.

또한, 본 발명에 관한 금속분말의 제조방법에서, 용매로서, 알코올과 물의 혼합액을 사용하면, 이 혼합액중의 알코올 농도를 변화시킴으로써, 석출하는 금속분말의 입자 크기를 제어할 수 있으므로, 이에 의해서도, 얻고자 하는 금속분말의 입자 크기의 제어를 비교적 용이하게 행할 수 있다.

본 발명에 관한 금속분말은, 상술한 바와 같은 제조방법에 의해 얻어진 것이기 때문에, 환원제에 의한 불순물의 혼입이 실질적으로 없고, 또한, 입자 크기가 100nm 이하이므로, 이와 같은 금속분말을 함유시킴으로써, 적층세라믹 전자부품의 내부도체를 형성하기 위한 도전성 페이스트를 제공한다면, 적층세라믹 전자부품의 박층화에 유리하게 대응할 수 있다.

Claims (15)

1. 적어도 알코올을 함유하는 용액중에, 수산화알칼리, 히드라진 또는 히드라진수화물, 및 금속염을, 각각의 적어도 일부가 용해되어 있는 상태로 존재시키는 공정을 구비하는 금속분말의 제조방법으로서,

   상기 공정에서, 상기 금속염을 상기 히드라진 또는 히드라진수화물에 의해 환원함으로써, 상기 금속염에 함유되는 금속으로 이루어지는 금속분말을 석출시키는 것을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 용매중에 수산화알칼리와 히드라진 또는 히드라진수화물과 금속염을 존재시키는 공정은,

   적어도 알코올을 함유하는 용매중에 수산화알칼리와 히드라진 또는 히드라진수화물을 용해시킴으로써 얻어지는 환원제 용액을 준비하는 공정;

   적어도 알코올을 함유하는 용매중에 금속염을 용해시킴으로써 얻어지는 금속염 용액을 준비하는 공정; 및

   상기 환원제 용액과 상기 금속염 용액을 혼합하는 공정; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 환원제 용액과 금속염 용액을 혼합하는 공정은, 상기 환원제 용액에 상기 금속염 용액을 적하하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 환원제 용액중의 수산화알칼리의 농도 및/또는 종류를 변화시킴으로써, 석출하는 금속분말의 입자 크기를 제어하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 환원제 용액중의 수산화알칼리의 농도 및/또는 종류를 변화시킴으로써, 석출하는 금속분말의 입자 크기를 제어하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 용매는 알코올과 물의 혼합액임을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 알코올과 물의 혼합액중의 알코올 농도를 변화시킴으로써, 석출하는 금속분말의 입자 크기를 제어하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 금속염에 함유되는 금속원소는 Au, Ag, Pd, Cu, Ni, Co, Fe 및 Mn으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 한 종임을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 금속염은 염화물, 황산염 및 질산염으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 한 종임을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 알코올은 1가 알코올임을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
11. 제 1 항에 있어서, 상기 수산화알칼리는 수산화칼륨, 수산화나트륨, 수산화칼슘, 수산화바륨 및 수산화암모늄으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 한 종임을 특징으로 하는 금속분말의 제조방법.
12. 제 1 항에 기재된 제조방법에 의해 얻을 수 있는 금속분말.
13. 제 12 항에 있어서, 입자 크기가 100nm 이하임을 특징으로 하는 금속분말.
14. 제 12 항에 기재된 금속분말을 함유하는 것을 특징으로 하는 도전성 페이스트.
15. 제 14 항에 있어서, 모놀리식 세라믹 전자 부품의 내부도체를 형성하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 도전성 페이스트.