KR101865533B1

KR101865533B1 - 소켓

Info

Publication number: KR101865533B1
Application number: KR1020187002902A
Authority: KR
Inventors: 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2016-06-17
Filing date: 2017-03-14
Publication date: 2018-06-07
Also published as: DE112017003002T5; CN113030522A; CN108401443A; WO2017217043A1; US20190128922A1; JP6627655B2; US10598695B2; CN108401443B; JP2017223630A; KR20180014860A

Abstract

소켓(1)이 일단부에 제1 접점(4)을 갖고 타단부에 제2 접점(5)을 갖는 접촉자(2)를 제1, 제2 접점(4, 5) 각각이 노출된 상태에서 수납 유지 가능한 수납 오목부(20)를 각각 갖는 한 쌍의 하우징(10, 10)과, 한 쌍의 하우징(10, 10)의 한쪽 하우징의 수납 오목부(20)와, 한 쌍의 하우징(10, 10)의 다른 쪽 하우징의 수납 오목부(20)가 쌍을 이루도록 인접해서 배치되도록, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 서로 독립해서 위치 결정하는 위치 결정 부재(30)를 구비한다.

Description

소켓

본 발명은 소켓에 관한 것이다.

카메라 또는 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행하여진다. 이러한 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 또는, 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행하여진다.

이러한 접촉자를 수납하는 소켓으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 소켓은, 등간격으로 배치되고, 또한 각각이 접촉자를 수납 가능한 복수 쌍의 슬릿을 구비하고 있다.

일본 특허 공개 제2011-196844호 공보

그러나, 상기 소켓에서는, 쌍을 이루는 슬릿의 간격이 미리 정해져 있기 때문에, 예를 들어 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 가공에 오차가 있었을 경우, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자에 맞춰서, 접촉자를 정확하게 위치 결정할 수 없을 우려가 있다.

그래서, 본 발명은, 접촉자를 정확하게 위치 결정할 수 있는 소켓을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 일 형태의 소켓은,

각각이, 일단부에 제1 접점을 갖고 타단부에 제2 접점을 갖는 접촉자를 상기 제1, 제2 접점의 각각이 노출된 상태에서 수납 유지 가능한 수납 오목부를 갖는 한 쌍의 하우징과,

상기 한 쌍의 하우징의 한쪽 하우징의 상기 수납 오목부와, 상기 한 쌍의 하우징의 다른 쪽 하우징의 상기 수납 오목부가, 쌍을 이루도록 인접해서 배치되도록, 상기 한 쌍의 하우징을 서로 독립해서 위치 결정하는 위치 결정 부재,

를 구비한다.

상기 형태의 소켓에 의하면, 각각이 접촉자를 수납 유지 가능하고, 또한 쌍을 이루는 수납 오목부가, 한 쌍의 하우징에 따로따로 배치되고, 한 쌍의 하우징이 위치 결정 부재에 의해 서로 독립해서 위치 결정되므로, 가령, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 가공에 오차가 있는 경우에도, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자에 맞춰서 접촉자를 정확하게 위치 결정할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 소켓을 사용한 검사 유닛을 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판에 설치한 상태를 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 도 1의 소켓의 하우징의 정면 방향에서 본 사시도이다.
도 4는 도 1의 소켓의 하우징의 배면 방향에서 본 사시도이다.
도 5는 도 1의 소켓의 하우징의 정면도이다.
도 6은 도 5의 VI-VI선을 따른 단면도이다.
도 7은 도 1의 소켓의 베이스 하우징의 정면 방향에서 본 사시도이다.
도 8은 도 1의 소켓의 베이스 하우징의 배면 방향에서 본 사시도이다.
도 9는 도 1의 소켓의 베이스 하우징의 배면도이다.
도 10은 도 9의 X-X선을 따른 단면도이다.
도 11은 도 1의 소켓의 조립 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 도 11에 이어지는, 도 1의 소켓의 조립 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 도 12에 이어지는, 도 1의 소켓의 조립 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 도 13에 이어지는, 도 1의 소켓의 조립 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 15는 도 1의 소켓의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 16은 도 15의 소켓의 평면도이다.
도 17은 도 15에 이어지는, 도 1의 소켓의 다른 예를 설명하기 위한 단면도이다.
도 18은 도 17의 소켓의 평면도이다.
도 19는 본 발명의 제2 실시 형태의 소켓을 사용한 검사 유닛을 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판에 설치한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 20은 본 발명의 제3 실시 형태의 소켓을 사용한 검사 유닛을 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판에 설치한 상태를 도시하는 단면도이다.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를 첨부 도면에 따라서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 또는 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 그러한 용어의 사용은 도면을 참조한 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 그러한 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 또는 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것이 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하고 있지는 않다.

(제1 실시 형태)

본 발명의 제1 실시 형태의 소켓(1)은, 절연성을 갖고, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 접촉자의 일례인 프로브 핀(2)을 수납 유지한 상태에서 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판(90)에 설치된다. 이 소켓(1)은, 프로브 핀(2)과 함께 검사 유닛(100)을 구성하고 있다.

소켓(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 절연성의 하우징(10, 10)과, 위치 결정 부재의 일례인 절연성의 베이스 하우징(30)을 구비하고 있다.

각 하우징(10)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 예를 들어 박판 형상으로 도전성을 갖는 프로브 핀(2)의 길이 방향 양단의 제1 접점(4) 및 제2 접점(5)이 노출된 상태에서, 프로브 핀(2)을 수납 유지 가능한 수납부 오목부(20)를 갖고 있다. 이 수납 오목부(20)는, 예를 들어 가늘고 긴 직사각형의 평면 형상을 갖고 있다.

각 하우징(10)의 수납 오목부(20)는, 1개여도 되지만, 예를 들어 복수개의 수납 오목부(20)가 일렬로 배치되어 있고, 한 쌍의 하우징(10)의 수납 오목부(20)의 배열 방향이 서로 평행하게 구성되어 있어도 된다. 즉, 한 쌍의 하우징(10, 10)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 각 하우징(10)의 복수개의 수납 오목부(20)가 쌍을 이루도록 인접하고, 또한 각 복수개의 수납 오목부의 배열 방향이 서로 평행하게 배치되도록, 베이스 하우징(30)에 의해 위치 결정되어 있다.

각 프로브 핀(2)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 탄성부(3)와, 탄성부(3)의 일단부에 설치된 제1 접점(4)과, 탄성부(3)의 타단부에 설치된 한 쌍의 제2 접점(5)으로 구성되어 있다. 제1 접점(4)은, 탄성부(3)의 상단의 폭 방향의 일단부로부터 상측으로 돌출되어 있다. 또한, 한 쌍의 제2 접점(5)은, 탄성부(3)의 하단의 폭 방향의 양단부로부터 하측으로 돌출되어 있다.

또한, 이하의 설명에서, 평면에서 보면 인접하는 수납 오목부(20)의 배열 방향을 X 방향이라 하고, 이 X 방향에 직교하는 방향을 Y 방향이라 한다. 또한, X, Y 방향에 직교하는 소켓(1)의 높이 방향을 Z 방향이라 한다.

각 하우징(10)은, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 수납 오목부(20)의 열방향(X 방향)과는 직교하는 방향으로 연장되고, 또한 도 3에서는 Y 방향 좌측을 향하는 방향이 하행 방향의 계단 형상으로 형성되고, 프로브 핀 수납 유지부로서 기능하는 고단부(11)와, 위치 결정부로서 기능하는 저단부(12)로 구성되어 있다.

고단부(11)에는, 복수의 수납 오목부(20)가 설치되어 있다. 각 수납 오목부(20)는, 도 3 내지 도 6에 도시한 바와 같이, X 방향을 따라서 간격을 두고 열을 이루도록 배치되어 있다. 각 수납 오목부(20)의 Z 방향 하측에는, 각 수납 오목부(20)의 프로브 핀 삽입 개구로서 기능하고, 또한 고단부(11)의 Z 방향 하측의 면에 개구되는 개구부(21)가 설치되어 있다. 또한, 각 수납 오목부(20)의 Z 방향 상측에는, 각 수납 오목부(20)의 저면을 관통하고, 또한 고단부(11)의 Z 방향 상측의 면에 개구되는 슬롯(22)이 형성되어 있다.

각 수납 오목부(20)의 개구부(21)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(2)을 수납 오목부(20)의 외부로부터 수납 오목부(20)의 내부에 삽입 가능하게 되어 있다. 또한, 프로브 핀(2)을 수납 오목부(20)에 수납한 상태에서는, 개구부(21)로부터 제2 접점(5)의 각각이 하우징(10)의 외부에 노출되도록 되어 있다.

각 수납 오목부(20)의 슬롯(22)은, 프로브 핀(2)의 제2 접점(4)을 수납 오목부(20)의 내부로부터 삽입 가능하게 되어 있다. 프로브 핀(2)을 제1 접점(4)부터 순서대로 개구부(21)를 통해서 수납 오목부(20)에 수납하면, 프로브 핀(2)의 제1 접점(4)이 수납 오목부(20)를 지나서 슬롯(22)으로부터 하우징(10)의 외부에 노출되고, 탄성부(3)가 수납 오목부(20)의 저면에 지지되도록 되어 있다.

즉, 각 수납 오목부(20)는, 프로브 핀(2)의 제1 접점(4) 및 제2 접점(5)이 하우징(10)의 외부에 노출된 상태에서 각 프로브 핀(2)을 수납 가능하면서 또한 유지 가능하게 되어 있다.

또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 각 수납 오목부(20)의 Y 방향의 길이는 개구부(21)의 Y 방향의 길이와 동일하고, 슬롯(22)의 Y 방향의 길이는, 각 수납 오목부(20)의 Y 방향의 길이보다 짧게 되어 있다.

저단부(12)는, 수납 오목부(20)의 열 방향(X 방향)을 따라 간격을 두고 배치된 유지 구멍부(13)와 위치 결정 구멍부(14)를 갖고 있다.

유지 구멍부(13)는, 저단부(12)의 X 방향의 중앙에 설치되어 있다. 이 유지 구멍부(13)는, Z 방향에서 본 평면으로 보아 원 형상을 갖고, Z 방향으로 관통하고 있다. 유지 구멍부(13)의 Z 방향의 상단에는, 도 4에 도시한 바와 같이, 플랜지부(15)가 설치되어 있다. 이 플랜지부(15)에 의해, 유지 구멍부(13)의 Z 방향 상단의 개구의 직경(R1)(도 3에 도시함)이, Z 방향 하단의 개구의 직경(R2)(도 4에 도시함)보다도 작게 되어 있다. 이러한 치수 구성으로 함으로써, 예를 들어 나사 등의 체결 부재를 하우징(10)의 Z 방향의 하측의 면(도 4에 도시하는 면)으로부터 유지 구멍부(13)에 삽입했을 때, 체결 부재의 나사축부에 대하여 돌출된 나사 머리가, 유지 구멍부(13)로부터 하우징(10)의 외부로 돌출되는 것을 회피할 수 있다.

위치 결정 구멍부(14)는, 유지 구멍부(13)의 X 방향의 양측에 각각 설치되어 있다. 각 위치 결정 구멍부(14)는, Z 방향에서 본 평면으로 보아 유지 구멍부(13)보다도 직경이 작은 원 형상을 갖고, Z 방향으로 관통하고 있다.

또한, 유지 구멍부(13) 및 한 쌍의 위치 결정 구멍부(14)는, 그것들의 중심을 연결한 직선이 수납 오목부(20)의 열 방향, 즉, X 방향과 대략 평행해지도록 배치되어 있다.

베이스 하우징(30)은, 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 대략 사각형의 판 형상으로, X 방향으로 연장되는 Y 방향의 중심선(CL)에 대하여 대칭의 형상을 갖고 있다.

베이스 하우징(30)의 중앙에는, 유지 오목부(31)가 설치되어 있다. 이 유지 오목부(31)는, 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이, Z 방향에서 본 평면으로 보아 대략 직사각 형상을 갖고, Y 방향이 길이 방향으로 되게 배치되어 있다.

유지 오목부(31)의 중앙에는, 베이스 하우징(30)을 Z 방향으로 관통하는 개구부(32)가 설치되어 있다. 이 개구부(32)는, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 베이스 하우징(30)으로 유지했을 때, 각 하우징(10)의 고단부(11)가 위치하도록 되어 있다.

또한, 유지 오목부(31) 및 개구부(32)의 X 방향을 따른 양측면의 X 방향의 양단부에는, Z 방향에서 본 평면으로 보아 반원 형상의 절결(36)이 형성되어 있다. 이 절결(36)에는, 하우징(10)의 탈착에 사용하는 공구가 삽입 가능하게 되어 있어, 한 쌍의 하우징(10, 10)의 유지 오목부(31)에의 탈착을 용이하게 하고 있다.

또한, 유지 오목부(31)의 개구부(32)의 Y 방향의 양측에는, Y 방향으로 간격을 두고, 또한 X 방향을 따라서 간격을 두고 배치된 유지 구멍부(33) 및 위치 결정 구멍부(34)가 설치되어 있다. 유지 구멍부(33)는, X 방향의 중앙에 배치되고, 위치 결정 구멍부(34)는, 유지 구멍부(33)의 X 방향의 양측에 배치되어 있다.

유지 구멍부(33)는, Z 방향에서 본 평면으로 보아 원 형상을 갖고, Z 방향으로 관통하고 있다. 이 유지 구멍부(33)는, 하우징(10)의 유지 구멍부(13)의 Z 방향 상단의 직경(R1)과 동일한 직경이며, 하우징(10)을 베이스 하우징(30)에 위치 결정했을 때, 하우징(10)의 유지 구멍부(13)와 동축이 되도록 설치되어 있다. 베이스 하우징(30)은, 이 유지 구멍부(33)와, 하우징(10)의 유지 구멍부(13)를 통해서, 나사 등의 체결 부재에 의해 하우징(10)을 유지한다.

위치 결정 구멍부(34)는, Z 방향에서 본 평면으로 보아 원 형상을 갖고, Z 방향으로 관통하고 있다. 이 위치 결정 구멍부(34)는, 하우징(10)의 위치 결정 구멍부(14)와 동일한 직경이며, 하우징(10)을 베이스 하우징(30)에 위치 결정했을 때, 하우징(10)의 위치 결정 구멍부(14)와 동축이 되도록 설치되어 있다. 이 위치 결정 구멍부(34)와, 하우징(10)의 위치 결정 구멍부(14)는, 후술하는 위치 결정용 핀(40)(도 11 참조)이 각각에 삽입됨으로써, 하우징(10)이 베이스 하우징(30)에 위치 결정된다.

베이스 하우징(30)의 Z 방향에서 본 평면에서 보았을 때 각 코너부에는, 베이스 하우징(30)을 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판(90)에 대하여 위치 결정하는 베이스 위치 결정부로서의 관통 구멍(35)이 형성되어 있다. 이들 4개의 관통 구멍(35)을 통해서, 베이스 하우징(30)이 기판(90)에 위치 결정된다.

계속해서, 도 11 내지 도 14를 참조하여, 소켓(1)을 사용한 검사 유닛(100)의 조립 방법을 설명한다.

먼저, 도 11에 도시한 바와 같이, 베이스 하우징(30)의 위치 결정 구멍부(34) 각각에, 위치 결정용 핀(40)의 일단부를 삽입하고, 그 타단부를 유지 오목부(31) 내에 돌출시켜 둔다. 그리고, 고단부(11)의 슬롯(22)이 개구되어 있는 면을 개구부(32)에 대향시키고, 위치 결정 구멍부(14) 각각을 위치 결정용 핀(40)에 대향시킨 상태에서, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 순서대로 유지 오목부(31) 내에 수용한다.

이때, 하우징(10)의 위치 결정 구멍부(14)와 베이스 하우징(30)의 위치 결정 구멍부(34)를 통해서, 위치 결정용 핀(40)에 의해, 하우징(10)을 베이스 하우징(30)에 위치 결정하여, 임시 고정한다. 즉, 한 쌍의 하우징(10, 10)은, 베이스 하우징(30)에 의해, 한쪽 하우징의 수납 오목부(20)와 다른 쪽 하우징의 수납 오목부(20)가 쌍을 이루도록 인접하고, 또한 한 쌍의 하우징(10, 10)의 수납 오목부(20)의 배열 방향이 서로 평행(대략 평행을 포함함)하게 되도록, 서로 독립해서 위치 결정된다.

한 쌍의 하우징(10, 10)이 유지 오목부(31) 내에 수용되면, 베이스 하우징(30)에 대한 한 쌍의 하우징(10, 10)의 위치 결정을 조정한다. 하우징(10)의 위치 결정 구멍부(14)와 베이스 하우징(30)의 위치 결정 구멍부(34) 각각은, 도 2에 도시한 바와 같이, 위치 결정용 핀(40)을 삽입한 상태에서, 위치 결정용 핀(40)에 대하여 약간의 간극(17, 37)을 갖고 있다. 이 간극(17, 37)에 의해, 한 쌍의 하우징(10, 10) 및 베이스 하우징(30) 각각의 위치를 독립해서 이동시켜, 베이스 하우징(30)에 대한 한 쌍의 하우징(10, 10)의 위치 결정을 조정할 수 있다.

또한, 하우징(10)의 위치 결정 구멍부(14)와 위치 결정용 핀(40) 사이의 간극(17), 및 베이스 하우징(30)의 위치 결정 구멍부(34)와 위치 결정용 핀(40) 사이의 간극(37)은, 어느 한쪽만 형성한 경우라도 베이스 하우징(30)에 대하여 한 쌍의 하우징(10, 10)을 위치 결정 조정할 수 있다.

베이스 하우징(30)에 대한 한 쌍의 하우징(10, 10)의 위치 결정의 조정이 완료되면, 도 12에 도시한 바와 같이, 베이스 하우징(30)에 대한 한 쌍의 하우징(10, 10)의 조정된 위치 결정 상태에서, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 베이스 하우징(30)에 고정하고, 소켓(1)의 조립을 종료한다. 한 쌍의 하우징(10, 10)과 베이스 하우징(30) 사이의 고정은, 하우징(10)의 유지 구멍부(13)와 베이스 하우징(30)의 유지 구멍부(33)를 통해서, 나사 등의 체결 부재(60)에 의해 행하여진다.

한 쌍의 하우징(10, 10)이 유지 오목부(31)에 수용되면, 도 12에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 베이스 하우징(30)에 고정하고, 소켓(1)의 조립이 종료된다. 한 쌍의 하우징(10, 10)과 베이스 하우징(30) 사이의 고정은, 하우징(10)의 유지 구멍부(13)와 베이스 하우징(30)의 유지 구멍부(33)를 통해서, 나사 등의 체결 부재(60)에 의해 행하여진다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 소켓(1)의 높이 방향(Z 방향)의 양면은, 한 쌍의 하우징(10, 10)과 베이스 하우징(30) 사이에 단차가 없는 편평한 상태로 되어 있다.

소켓(1)의 조립이 종료되면, 도 13에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(2)을 제1 접점(4)으로부터 수납 오목부(20) 내에 삽입하고, 필요로 하는 모든 수납 오목부(20) 내에 프로브 핀(2)을 수납하여, 검사 유닛(100)의 조립을 종료한다.

조립된 검사 유닛(100)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판(90)에 대하여, 프로브 핀(2)의 제2 접점(5)이 기판(90)의 단자(91)에 맞닿도록 위치 결정된다. 검사 유닛(100)과 검사 장치 또는 검사 대상물 사이의 위치 결정은, 도 14에 도시한 바와 같이, 검사 유닛(100)의 4개의 관통 구멍(35)과 기판(90)에 설치된 4개의 위치 결정용 구멍부(92)를 통해서 행하여진다.

이와 같이, 제1 실시 형태의 소켓(1)에서는, 각각이 프로브 핀(2)을 수납 유지 가능하고, 또한 쌍을 이루는 수납 오목부(20)가, 한 쌍의 각각 별도의 하우징(10, 10)에 배치되고, 그 한 쌍의 하우징(10, 10)이 베이스 하우징(30)에 대하여 서로 독립해서 위치 결정된다. 이 때문에, 가령, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 가공에 오차가 있는 경우에도, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자에 맞춰서, 베이스 하우징(30)에 대한 각각의 하우징(10, 10)의 위치 결정을 조정하면 되어, 프로브 핀(2)을 정확하게 위치 결정할 수 있다.

또한, 1개의 베이스 하우징(30)에 의해 한 쌍의 하우징(10, 10)이 각각 독립해서 위치 결정되고, 또한 일체적으로 유지되므로, 한 쌍의 하우징(10, 10)이 높은 정밀도로 위치 결정된 상태에서, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 포함하는 소켓(1)을 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판(90) 등에 용이하게 설치할 수 있다.

또한, 각 하우징(10)에 있어서, 복수개의 수납 오목부(20)가 간격을 두고 열을 이루도록 배치되어 있다. 이에 의해, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 다양한 형태에 대응할 수 있다.

또한, 베이스 하우징(30)에 관통 구멍(35)을 형성하고 있으므로, 베이스 하우징(30)을 검사 장치 또는 검사 대상물에 대하여 정확하게 위치 결정할 수 있다.

또한, 제1 실시 형태의 소켓(1)에서는, 베이스 하우징(30)은, 저단부(12)의 Y 방향의 길이 W가 상이한 복수 쌍의 하우징(10, 10)을 위치 결정하여, 유지할 수 있다. 예를 들어, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 저단부(12)의 Y 방향의 길이가 W1인 하우징(10)을 사용함으로써 쌍을 이루는 프로브 핀(2)의 (Y 방향의) 피치를 협소 피치(P1)로 할 수 있다. 또한, 도 17 및 도 18에 도시한 바와 같이, 저단부(12)의 Y 방향의 길이가 W2(단, W1>W2)인 하우징(10)을 사용함으로써, 쌍을 이루는 프로브 핀(2)의 (Y 방향의) 피치를 도 15 및 도 16의 피치(P1)보다도 넓은 피치(P2)로 할 수 있다. 즉, 하우징(10)의 형상(특히, 길이 치수)을 변경하기만 하면, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 다양한 형태에 적용할 수 있다.

또한, 하우징(10)의 형상 외에도, 프로브 핀(2)의 제1, 제2 접점(4, 5)의 형상을 변경함으로써, 적용 가능한 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 형태의 범위를 확장할 수 있다. 이 때문에, 베이스 하우징(30)을 범용화할 수 있으므로, 소켓(1) 및 검사 유닛(100)의 생산성을 향상시킬 수 있다.

(제2 실시 형태)

도 19에 도시한 바와 같이, 제2 실시 형태의 소켓(101)은, 위치 결정 부재의 다른 예로서의 기판 설치 핀(130)을 사용하여, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판(90)에 위치 결정하면서 직접 설치하고 있는 점에서, 제1 실시 형태의 소켓(1)과는 상이하다.

또한, 이 제2 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 붙여서 설명을 생략하고, 제1 실시 형태와 상이한 점에 대해서 설명한다.

기판 설치 핀(130)은, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 기판(90)에 대하여 위치 결정하고, 또한 유지할 수 있는 임의의 체결 부재를 사용할 수 있다. 즉, 위치 결정 부재의 다른 예로서는, 한 쌍의 하우징(10, 10)의 한쪽 하우징의 수납 오목부(20)와, 다른 쪽 하우징의 수납 오목부(20)가, 쌍을 이루도록 인접하고, 또한 각 복수개의 수납 오목부(20)의 배열 방향이 서로 평행하게 배치되도록, 한 쌍의 하우징(10, 10)을 서로 독립해서 위치 결정할 수 있는 것이면 된다.

(제3 실시 형태)

도 20에 도시한 바와 같이, 제3 실시 형태의 소켓(201)은, 한 쌍의 하우징(10, 10)의 각 수납 오목부(20)를 덮고, 각 프로브 핀(2)을 각 수납 오목부(20) 내에서 유지할 수 있는 절연성의 덮개(50)를 구비하고 있는 점에서, 제1 실시 형태의 소켓(1)과는 상이하다.

또한, 이 제3 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 첨부해서 설명을 생략하고, 제1 실시 형태와 상이한 점에 대해서 설명한다.

덮개(50)는, 베이스 하우징(30)의 유지 오목부(31)를 덮고, 또한 각 하우징(10)의 복수개의 수납 오목부(20)를 덮도록 설치되어 있다. 이 덮개(50)에는, 프로브 핀(2)의 제2 접점(5)을 하우징(10)의 외부에 노출시키기 위한 구멍부(51)가 설치되어 있다.

이렇게 각 하우징(10)의 수납 오목부(20)를 덮는 덮개(50)를 설치함으로써, 프로브 핀(2)이 수납 오목부(20)로부터 빠지는 것을 방지할 수 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 태양에 대해서 설명한다.

본 발명의 제1 형태의 소켓은,

를 구비한다.

제1 형태의 소켓에 의하면, 각각이 접촉자를 수납 유지 가능하고, 또한 쌍을 이루는 수납 오목부가, 한 쌍의 각각 별도로 하우징에 배치되고, 한 쌍의 하우징이 위치 결정 부재에 의해 서로 독립해서 위치 결정되므로, 가령, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 가공에 오차가 있는 경우에도, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자에 맞춰서 접촉자를 정확하게 위치 결정할 수 있다.

본 발명의 제2 형태의 소켓은,

상기 위치 결정 부재가, 상기 한 쌍의 하우징을 서로 독립해서 위치 결정하고, 또한 일체적으로 유지하는 1개의 유지 오목부를 갖는 베이스 하우징이다.

제2 형태의 소켓에 의하면, 1개의 베이스 하우징에 의해 한 쌍의 하우징이 각각 독립해서 위치 결정되고, 또한 일체적으로 유지되므로, 한 쌍의 하우징이 높은 정밀도로 위치 결정된 상태에서, 한 쌍의 하우징을 포함하는 소켓을 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판(90) 등에 용이하게 설치할 수 있다.

본 발명의 제3 형태의 소켓은,

상기 한 쌍의 하우징을 제1 한 쌍의 하우징으로 하고,

상기 한 쌍의 하우징과는, 쌍을 이루는 상기 수납 오목부의 간격이 상이하고, 또한 상기 제1 한 쌍의 하우징이 위치 결정 유지되는 상기 베이스 하우징의 상기 1개의 유지 오목부에 위치 결정 유지 가능한 제2 한 쌍의 하우징을 더 구비하고,

상기 제1 한 쌍의 하우징과 상기 제2 한 쌍의 하우징 중에서 선택된 1개의 상기 한 쌍의 하우징이 상기 베이스 하우징의 상기 1개의 유지 오목부에 위치 결정 유지된다.

제3 형태의 소켓에 의하면, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 다양한 형태에 적용할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 소켓은,

상기 베이스 하우징이, 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판의 단자에 대하여 상기 각 하우징의 상기 수납 오목부 내에 유지되는 상기 접촉자를 위치 결정하는 베이스 위치 결정부를 갖고 있다.

제4 형태의 소켓에 의하면, 베이스 하우징을 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자에 대하여, 각 하우징의 수납 오목부 내에 유지되는 접촉자를 정확하게 위치 결정할 수 있다.

본 발명의 제5 형태의 소켓에서는,

상기 수납 오목부를 덮고, 또한 상기 접촉자를 상기 수납 오목부 내에서 유지하는 덮개를 더 구비한다.

제5 형태의 소켓에 의하면, 접촉자가 수납 오목부로부터 빠지는 것을 방지할 수 있다.

본 발명의 제6 형태의 소켓에서는,

상기 한 쌍의 하우징 각각이, 간격을 두고 배치된 복수의 상기 수납 오목부를 갖고,

상기 한 쌍의 하우징에 있어서, 상기 복수의 수납 오목부의 배열 방향이 서로 평행이 되도록 배치되어 있다.

제6 형태의 소켓에 의하면, 검사 장치 또는 검사 대상물의 단자의 다양한 형태에 적용할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명은 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련해서 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정이 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.

[산업상 이용 가능성]

본 발명의 소켓은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

1, 101, 201 : 소켓 2 : 프로브 핀
3 : 탄성부 4 : 제1 접점
5 : 제2 접점 10 : 하우징
11 : 고단부 12 : 저단부
13 : 유지 구멍부 14 : 위치 결정 구멍부
15 : 플랜지부 17 : 간극
20 : 수납 오목부 21 : 개구부
22 : 슬롯 30 : 베이스 하우징
31 : 유지 오목부 32 : 개구부
33 : 유지 구멍부 34 : 위치 결정 구멍부
35 : 관통 구멍 36 : 절결
37 : 간극 40 : 위치 결정용 핀
50 : 덮개 51 : 구멍부
60 : 체결 부재 90 : 기판
91 : 단자 92 : 위치 결정용 구멍부
100 : 검사 유닛 130 : 기판 설치 핀
R1, R2 : 유지 구멍부(13)의 개구 직경
CL : 베이스 하우징(30)의 중심선
P1, P2 : 한 쌍의 프로브 핀(2)사이의 피치
W, W1, W2 : 저단부(12)의 길이

Claims

각각이, 일단부에 제1 접점을 갖고 타단부에 제2 접점을 갖는 접촉자를 상기 제1, 제2 접점 각각이 노출된 상태에서 수납 유지 가능한 수납 오목부를 갖는 한 쌍의 하우징과,
상기 한 쌍의 하우징의 한쪽 하우징의 상기 수납 오목부와, 상기 한 쌍의 하우징의 다른 쪽 하우징의 상기 수납 오목부가, 쌍을 이루도록 인접해서 배치되도록, 상기 한 쌍의 하우징을 서로 독립해서 위치 결정하는 위치 결정 부재,
를 구비하고,
상기 위치 결정 부재가, 상기 한 쌍의 하우징을 서로 독립해서 위치 결정하고, 또한 일체적으로 유지하는 1개의 유지 오목부를 갖는 베이스 하우징이며,
상기 한 쌍의 하우징을 제1 한 쌍의 하우징으로 하고,
상기 제1 한 쌍의 하우징과는, 쌍을 이루는 상기 수납 오목부의 간격이 상이하고, 또한 상기 제1 한 쌍의 하우징이 위치 결정 유지되는 상기 베이스 하우징의 상기 1개의 유지 오목부에 위치 결정 유지 가능한 제2 한 쌍의 하우징을 더 구비하고,
상기 제1 한 쌍의 하우징과 상기 제2 한 쌍의 하우징 중에서 선택된 1개의 상기 한 쌍의 하우징이 상기 베이스 하우징의 상기 1개의 유지 오목부에 위치 결정 유지되는, 소켓.
제1항에 있어서,
상기 베이스 하우징이, 검사 장치 또는 검사 대상물의 기판의 단자에 대하여 상기 각 하우징의 상기 수납 오목부 내에 유지되는 상기 접촉자를 위치 결정하는 베이스 위치 결정부를 갖고 있는, 소켓.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수납 오목부를 덮고, 또한 상기 접촉자를 상기 수납 오목부 내에서 유지하는 덮개를 더 구비하는, 소켓.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 한 쌍의 하우징 각각이, 간격을 두고 배치된 복수의 상기 수납 오목부를 갖고,
상기 한 쌍의 하우징에 있어서, 상기 복수의 수납 오목부의 배열 방향이 서로 평행해지도록 배치되어 있는, 소켓.
제3항에 있어서,
상기 한 쌍의 하우징 각각이, 간격을 두고 배치된 복수의 상기 수납 오목부를 갖고,
상기 한 쌍의 하우징에 있어서, 상기 복수의 수납 오목부의 배열 방향이 서로 평행해지도록 배치되어 있는, 소켓.
삭제