KR101616765B1 - 웨이퍼 분리 장치, 웨이퍼 분리 반송 장치, 웨이퍼 분리 방법, 웨이퍼 분리 반송 방법 및 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

염가이고 또한 소형이면서, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 웨이퍼 분리 장치를 제공한다. 매엽화된 다수 장의 웨이퍼 (W) 를 밀착 상태의 세로 배치로 수납함과 함께 적어도 상하로 개방하는 카세트 (12) 와, 카세트 (12) 를 착탈 가능하게 지지하고 또한 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체 (13) 와, 카세트 지지체 (13) 를 카세트 (12) 와 일체로 승강시키는 승강 장치 (14) 와, 승강 장치 (14) 가 하강하였을 때에 카세트 지지체 (13) 가 카세트 (12) 와 일체로 침지되는 액체를 수용한 액조 (16) 와, 액조 (16) 내에 설치되어 카세트 지지체 (13) 의 하방으로부터 다수 장의 웨이퍼 (W) 를 향해 미세 기포를 분출시키는 노즐 (17) 과, 노즐 (17) 로부터 분출되는 미세 기포를 발생시키는 미세 기포 발생 장치 (18) 를 구비하고 있다.

Description

웨이퍼 분리 장치, 웨이퍼 분리 반송 장치, 웨이퍼 분리 방법, 웨이퍼 분리 반송 방법 및 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법{WAFER SEPARATING APPARATUS, WAFER SEPARATING/TRANSFERRING APPARATUS, WAFER SEPARATING METHOD, WAFER SEPARATING/TRANSFERRING METHOD AND SOLAR CELL WAFER SEPARATING/TRANSFERRING, METHOD}
본 발명은, 매엽화된 분리 전의 웨이퍼를 분리하는 웨이퍼 분리 장치, 웨이퍼 분리 반송 장치, 웨이퍼 분리 방법, 웨이퍼 분리 반송 방법 및 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법에 관한 것이다.
(특허문헌 1) 일본 공개특허공보 평09-237770호
(특허문헌 2) 일본 공개특허공보 평11-214336호
(특허문헌 3) 일본 공개특허공보 평11-233461호
최근, 화석 연료 자원의 고갈 등의 에너지 문제 및 지구 온난화 등의 환경 문제에 관한 의식의 고양으로부터, 태양 전지의 수요가 급속히 늘고 있다.
이 때, 태양 전지의 셀이 될 수 있는 실리콘은, 순도 99.9999 ％ 이상으로, 비저항 0.5 Ω㎝ 이상이라는 고순도의 것이 요구되고 있고, 반도체 산업에서 사용되는 고순도 실리콘 또는 IC 나 LSI 등의 기판을 제조하였을 때에 발생하는 규격외품이 원료로서 이용되었다.
그러나, 특히 태양 전지에 있어서는, 한 변이 5 인치인 사각형형의 실리콘 웨이퍼를 54 장 정도 사용하여 1 장의 태양 전지 모듈을 제조하기 때문에, 그 사용량은 IC 나 LSI 등의 실리콘 웨이퍼의 사용량에 비해 방대한데다, 반도체용 고순도 실리콘은 고가이며, 또한 규격외품의 발생량은 적기 때문에, 태양 전지용 실리콘 재료로서의 공급량에는 한계가 있다는 문제가 발생하였다.
또, 지금까지는 전자 디바이스용 실리콘의 규격외품의 발생량이 태양 전지의 수요량보다 앞서 있었기 때문에 문제는 없었지만, 최근에는 태양 전지의 수요량이 전자 디바이스용 실리콘의 규격외품의 발생량을 상회하고 있어, 태양 전지용 실리콘의 원료 부족이 심각한 문제가 되고 있다.
한편, 태양 전지용 실리콘 웨이퍼의 표면은, 조면 (粗面) 인 편이 표면적을 확보할 수 있는 점에서, 실리콘 잉곳을 와이어 쏘로 절단한 후에 매엽화된 웨이퍼는, 반도체용 웨이퍼와 같이 표면을 경면 마무리로 연마 가공하는 경우는 없다.
따라서, 반도체용 웨이퍼의 제조 공정에서는, 매엽화된 웨이퍼를 다음 공정 (표면 마무리 공정 등) 의 기계로 반송하기 위해서 고가이고 대형인 분리·반송 장치를 사용하고 있지만, 태양 전지용 웨이퍼의 제조 공정에서는, 제품 단가에도 영향을 미치는 고가이고 대형인 분리·반송 장치는 사용하지 않고, 1 장마다 수작업으로 분리하고 있는 것이 실정이었다.
한편으로, 상기 서술한 태양 전지용 실리콘의 원료 부족의 문제 및 원료 단가의 문제 등을 고려하면, 태양 전지용 웨이퍼에 있어서도, 반도체용 웨이퍼와 마찬가지로 박육화되고 있어, 태양 전지용 웨이퍼의 제조 공정에서 1 장마다 수작업으로 분리하던 것에서는 파손 등이 발생하기 쉬워지게 되기 때문에, 저렴하고 소형인 분리 장치의 요구가 높아지고 있다.
그런데, 대략 원주 형상으로 형성된 잉곳을 지지판에 첩착 (貼着) 한 상태에서 와이어 쏘에 의해 슬라이스한 다수 장의 웨이퍼는, 지지판에 첩착된 기둥 형상 집합 상태인 채로 슬러리나 절삭분 등을 제거하기 위해서 예비 세정 장치에 의해 예비 세정하고, 그 예비 세정된 웨이퍼를 지지판으로부터 박리하여 매엽화하기 위해서 박리 장치에 의해 지지판으로부터 박리한 후, 분리·반송 장치에 의해 1 장마다 분리된 후에 다음 공정으로 반송되고 있다.
이 때, 웨이퍼에 부착된 슬러리나 절삭분 등은, 예비 세정 장치에 의해 발생된 기포를 사용하여 제거하는 초음파 세정 기술이 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 ∼ 3 참조).
초음파 세정에서는, 실리콘 잉곳의 측면이나 양단면의 세정에는 효과를 발휘하지만, 절단된 웨이퍼 사이의 심부에까지 분사된 세정액이 도달하는 것은 곤란하고, 웨이퍼 표면에 부착된 슬러리나 절삭분 등을 완전하게 제거할 수 없어, 세정 효과가 저하된다는 문제가 있다.
그래서, 예비 세정 후의 웨이퍼는, 박리 장치에 의해 지지판으로부터 박리 (매엽화) 할 때, 아세트산 등의 용액 중에 침치하여 지지판으로부터 웨이퍼를 박리함과 동시에 2 차 세정을 실시함으로써 잔존한 슬러리나 절삭분 등을 제거하고 있다.
그런데, 2 차 세정 후의 매엽화된 각 웨이퍼는, 반송시에는 가로 방향의 적층 상태 (중첩 상태) 로 밀착되어 있기 때문에, 최상위에서 정지하고 있는 웨이퍼를 그 하부 (직하) 의 웨이퍼로부터 분리하는 초기의 저항은, 동(動)마찰 저항에 비해 큰 정(靜)마찰 저항이기 때문에, 확실한 분리 동작을 실시하는 것이 어렵다는 문제가 있었다.
그래서, 상기 서술한 특허문헌 1 에는, 분리·반송 장치에 있어서의 슈터의 내측 하부에, 물을 상방으로 분출하는 2 개의 분출 노즐을 배치하고, 이 분출 노즐로부터 슈터와 적층 웨이퍼 사이의 간극을 통하여 압력수를 내뿜음으로써, 최상위의 웨이퍼가 슈터의 상면에 반송되었을 때에 내뿜어진 압력수에 의해 약간 들어 올리는 결과, 최상위의 웨이퍼와 그 직하의 웨이퍼의 밀착력을 약하게 하여 웨이퍼의 분리 동작을 원활히 실시하는 취지가 개시되어 있다.
그러나, 상기 서술한 분리·반송 장치에 있어서는, 박육화되고 있는 웨이퍼에 압력수를 뿌렸을 때에, 웨이퍼가 결락되어 버릴 우려가 있는데다, 차층의 웨이퍼가 최상위의 웨이퍼보다 반송 방향 하류측에 위치한 경우에는, 그 차위의 웨이퍼도 최상위의 웨이퍼와 함께 부상해 버려, 분리되지 않은 채로 함께 반송되어 버릴 우려가 있다는 문제가 발생하였다.
그래서, 본 발명은, 상기 사정을 고려하여, 염가이고 또한 소형이면서, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 웨이퍼 분리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 분리 장치는, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 밀착 상태의 세로 배치로 수납함과 함께 적어도 상하로 개방하는 카세트와, 그 카세트를 착탈 가능하게 지지하고 또한 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체와, 그 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 승강시키는 승강 장치와, 그 승강 장치가 하강하였을 때에 상기 카세트 지지체가 상기 카세트와 일체로 침지되는 액체를 수용한 액조와, 그 액조 내에 설치되어 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 다수 장의 웨이퍼를 향해 미세 기포를 분출시키는 노즐과, 그 노즐로부터 분출되는 미세 기포를 발생시키는 미세 기포 발생 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 분리 장치에 의하면, 염가이고 또한 소형이면서, 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있다.
본 발명의 웨이퍼 분리 반송 장치는, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 밀착 상태의 세로 배치로 수납함과 함께 적어도 상하로 개방하는 카세트와, 그 카세트를 착탈 가능하게 지지하고 또한 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체와, 그 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 승강시키는 승강 장치와, 그 승강 장치에 설치되어 상기 카세트에 수납된 웨이퍼를 세로 배치 상태와 가로 배치 상태로 전환하도록 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시키는 회전 운동 장치와, 상기 승강 장치가 하강하였을 때에 상기 카세트 지지체가 상기 카세트와 일체로 침지되는 액체를 수용한 액조와, 그 액조 내에 설치되어 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 다수 장의 웨이퍼를 향해 미세 기포를 분출시키는 노즐과, 그 노즐로부터 분출되는 미세 기포를 발생시키는 미세 기포 발생 장치와, 상기 액조 내로부터 상승된 가로 배치 상태의 웨이퍼를 최상위로부터 취출하는 취출체와, 그 취출체로 취출한 최상위의 웨이퍼를 반송하는 반송체를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 염가이고 또한 소형이면서, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있다.
또, 청구항 3 에 기재된 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 반송체는, 그 반송 경로 상류측 부근에 배치되어 반송 과정에 있는 웨이퍼의 결함을 판정하는 결함 판정 장치와, 그 결함 판정 장치보다 반송 경로 하류측에 배치되어 결함이 존재하고 있다고 판정된 웨이퍼를 반송 루트와는 다른 폐기 루트로 분기시키는 분기 장치와, 상기 결함 판정 장치에 의해 결함이 존재하고 있지 않다고 판정된 웨이퍼를 회수하는 회수 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 3 에 기재된 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 분리 후의 웨이퍼에 어떠한 결함이 발생하였을 경우에, 그 반송 과정에서 없앨 (제거할) 수 있다.
또, 청구항 4 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 노즐 또는 상기 카세트 지지체를 웨이퍼의 인접 방향을 따라 이동시키는 이동 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 4 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 각 웨이퍼 사이를 향하여 고르게 미세 기포를 분출시킬 수 있다.
또, 청구항 5 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 액조 내에 침지되어 있는 상태에서 상기 카세트 지지체의 하면을 제외한 5 면을 덮는 커버를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 5 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 각 웨이퍼 사이로의 미세 기포의 침입을 촉진시킬 수 있다.
청구항 6 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 미세 기포 발생 장치는, 마이너스로 대전된 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 6 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 와이어 쏘에 의한 절단 후의 웨이퍼 사이가 플러스로 대전되어 있는 경우에, 웨이퍼 사이로 미세 기포를 인입하도록 침입시킬 수 있다.
청구항 7 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 미세 기포 발생 장치는, 실리콘 잉곳을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘에 의해 절단되었을 때의 홈폭 이하의 직경의 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 7 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 웨이퍼 사이에 형성되는 홈의 홈폭은 와이어 쏘의 와이어 직경 이상으로 되는 것이 일반적이기 때문에, 이 홈폭 이하의 기포 직경의 미세 기포를 분출시킴으로써, 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입시키는 것이 가능해진다.
청구항 8 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 미세 기포 발생 장치는, 실리콘 잉곳을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘의 와이어 직경 이하의 직경의 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 8 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 웨이퍼 사이에 형성되는 홈의 홈폭은 와이어 쏘의 와이어 직경 이상으로 되는 것이 일반적이기 때문에, 와이어 직경을 기준으로 하여 그 이하의 기포 직경의 미세 기포를 분출시킴으로써, 웨이퍼 사이에 미세 기포를 보다 확실하게 침입시키는 것이 가능해진다.
청구항 9 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 미세 기포 발생 장치는, 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 9 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 와이어 쏘에 구비되는 와이어의 와이어 직경이 100 ∼ 150 ㎛ 인 점에서, 그 최소 직경을 기준으로 한 기포 직경의 미세 기포를 발생시킴으로써, 특별한 설정 변경 등을 하지 않고 웨이퍼 사이에 미세 기포를 확실하게 침입시키는 것이 가능해진다.
청구항 10 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 미세 기포 발생 장치는, 평균 20 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 10 에 기재된 웨이퍼 분리 장치 또는 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 웨이퍼 사이에 침입한 미세 기포의 수를 대량화함으로써, 기체층의 체적을 늘릴 수 있어, 보다 확실한 분리를 실현할 수 있다. 또한, 실제의 미세 기포의 기포 직경은, 어느 정도의 대소 오차가 발생해 버리기 때문에, 그 평균치를 기포 직경의 발생 기준으로 함으로써, 기포 직경을 규정할 수 있다.
청구항 11 에 기재된 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 카세트에는, 실리콘 잉곳을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘의 주행 방향과 상기 취출체 및 상기 반송체 에 의한 웨이퍼 취출·반송 방향이 동일해지도록, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼가 밀착 상태의 세로 배치로 수납되는 것을 특징으로 한다.
청구항 11 에 기재된 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 와이어 쏘를 사용한 절단시에 와이어 주행 방향을 따라 생기는 절단 흠집 방향과 웨이퍼 반송 방향을 동일하게 함으로써, 반송시에 와이어 반송 방향과 교차하는 흠집의 발생을 억제할 수 있다.
청구항 12 에 기재된 웨이퍼 분리 반송 장치는, 상기 회전 운동 장치는, 상기 카세트 지지체가 기립되었을 때에, 상기 카세트에 수납된 세로 배치 상태에서의 웨이퍼 상연부 (上緣部) 가 상기 액조의 세로 내벽면에 근접하도록 상기 카세트 지지체를 지지하고 있는 것을 특징으로 한다.
청구항 12 에 기재된 웨이퍼 분리 반송 장치에 의하면, 카세트 지지체를 기립시켜 웨이퍼를 가로 배치로 하였을 때에, 웨이퍼 사이에 침입한 미세 기포에 의해 각 웨이퍼가 예측할 수 없이 움직이게 되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 웨이퍼 분리 방법은, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 내에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 분리 방법에 의하면, 염가이고 또한 소형이면서, 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있다.
본 발명의 웨이퍼 분리 반송 방법은, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계와, 회전 운동 장치를 사용하여 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시킨 상태의 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시켜 다수 장의 웨이퍼를 가로 배치로 하는 회전 운동 단계와, 상기 승강 장치를 사용하여 웨이퍼를 가로 배치 상태로 한 채로 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 상승시켜 최상위에 위치하는 웨이퍼를 상기 액조의 적어도 액면보다 상방으로 끌어올리는 상승 단계와, 액면보다 상방으로 끌어올려진 최상위의 웨이퍼를 취출하는 취출 단계와, 취출 후의 웨이퍼를 반송하는 반송 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 분리 반송 방법에 의하면, 염가이고 또한 소형이면서, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있다.
본 발명의 웨이퍼 분리 반송 방법은, 박리 후의 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 예비 세정하는 예비 세정 단계와, 예비 세정 후의 상기 카세트를 취출하여 반송하는 취출·반송 단계와, 반송한 상기 카세트를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계와, 회전 운동 장치를 사용하여 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시킨 상태의 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시켜 다수 장의 웨이퍼를 가로 배치로 하는 회전 운동 단계와, 상기 승강 장치를 사용하여 웨이퍼를 가로 배치 상태로 한 채로 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 상승시켜 최상위에 위치하는 웨이퍼를 상기 액조의 적어도 액면보다 상방으로 끌어올리는 상승 단계와, 액면보다 상방으로 끌어올려진 최상위의 웨이퍼를 취출하는 취출 단계와, 취출 후의 웨이퍼를 반송하는 반송 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 분리 반송 방법에 의하면, 절단 후의 웨이퍼를 예비 세정한 후에, 분리 반송에 제공할 수 있을 뿐만 아니라, 예비 세정으로부터 분리 반송에 이르는 작업 공정의 완전 자동화도 가능하게 할 수 있다.
본 발명의 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법은, 실리콘 잉곳을 지지판과 일체로 다수 장으로 절단하는 절단 단계와, 절단 후의 실리콘 잉곳을 지지판으로부터 박리하여 매엽화하는 박리 단계와, 박리 후의 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계와, 회전 운동 장치를 사용하여 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시킨 상태의 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시켜 다수 장의 웨이퍼를 가로 배치로 하는 회전 운동 단계와, 상기 승강 장치를 사용하여 웨이퍼를 가로 배치 상태로 한 채로 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 상승시켜 최상위에 위치하는 웨이퍼를 상기 액조의 적어도 액면보다 상방으로 끌어올리는 상승 단계와, 액면보다 상방으로 끌어올려진 최상위의 웨이퍼를 취출하는 취출 단계와, 취출 후의 웨이퍼를 반송하는 반송 단계와, 반송된 웨이퍼를 태양 전지 제조 장치에 이송하는 이송 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법에 의하면, 염가이고 또한 소형이면서, 태양 전지용 웨이퍼의 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 반송 단계에서 반송된 웨이퍼를 웨이퍼 회수 상자에 자동 회수한 후에, 그 회수 후의 웨이퍼 회수 상자를 다축 로봇 아암을 사용하여 다음 공정으로 자동 반송할 수도 있다.
청구항 18 에 기재된 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법은, 상기 이송 단계는, P 형 웨이퍼 또는 N 형 웨이퍼를 제조하기 위한 텍스처 처리를 실시하기 위한 화학 에칭 장치를 향하여 웨이퍼를 이송하는 것을 특징으로 한다.
청구항 19 에 기재된 웨이퍼 분리 방법 또는 웨이퍼 분리 반송 방법 또는 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법은, 상기 미세 기포 분출 단계에서는, 상기 노즐 또는 상기 카세트 지지체를 웨이퍼의 인접 방향을 따라 이동시키는 것을 특징으로 한다.
청구항 20 에 기재된 웨이퍼 분리 방법 또는 웨이퍼 분리 반송 방법 또는 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법은, 상기 미세 기포 분출 단계의 개시 전에, 상기 액조 내에 침지되어 있는 상태의 상기 카세트 지지체의 하면을 제외한 5 면을 커버로 덮는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 분리 장치는, 염가이고 또한 소형이면서, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 세트 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 정면 방향의 단면도이다.
도 2 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 기포 분출 상태 (웨이퍼 분리 상태) 의 웨이퍼 분리 반송 장치의 정면 방향의 단면도이다.
도 3 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 반송 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 설명도이다.
도 4 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 세로 배치 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 측면 방향의 단면도이다.
도 5 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 가로 배치 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 설명도이다.
도 6 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 나타내고, (A) 는 웨이퍼와 기포의 관계를 나타내는 주요부의 확대 단면도, (B) 는 기포의 설명도이다.
도 7 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 반송 장치의 설명도이다.
도 8 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 나타내고, 웨이퍼 절단으로부터 분리·반송에 이르는 작업 루틴의 플로우도이다.
도 9 는, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 나타내고, 반송 작업 루틴의 플로우도이다.
도 10 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 나타내고, 예비 세정을 포함한 경우의 장치 레이아웃의 설명도이다.
도 11 는, 실리콘 잉곳의 성형 과정을 나타내는 설명도이다.
도 12 는, 실리콘 잉곳의 와이어 쏘 절단 상태를 나타내는 설명도이다.
도 13 은, 실리콘 잉곳의 분리 전 (배치) 상태를 나타내는 설명도이다.
부호의 설명
1 : 실리콘 잉곳
1a : 실리콘 단재
1b : 실리콘 단재
2 : 실리콘 블록
3 : 와이어 쏘
4 : 와이어
5 : 와이어 가이드
6 : 와이어 조출 풀리
7 : 와이어 권취 풀리
8 : 와이어 권취 장치
9 : 설치체
10 : 지지판
11 : 웨이퍼 분리 반송 장치
12 : 카세트
12a : 하방 개구
13 : 카세트 지지체
13a : 하방 개구
14 : 승강 장치
15 : 회전 운동 장치
16 : 액조
17 : 노즐
18 : 미소 기포 발생 장치
19 : 취출체
20 : 반송체
21 : 이동 장치
22 : 커버
23 : 샤프트
24 : 중간 지지체
25 : 가이드 레일
26 : 가이드 판
27 : 고정 샤프트
28 : 고정 기판
29 : 지지 기판
29a : 하판
29b : 상판
29c : 종판
30 : 축지지부
31 : 구동 모터
32 : 구동 풀리
33 : 회전축
34 : 종동 풀리
35 : 무단 벨트
36 : 회전 운동 아암
37 : 롤러체
38 : 반송 지지 플레이트
39 : 결함 판정 장치
40 : 반송 벨트 컨베이어
41 : 분기 장치
42 : 회수 장치
43 : 케이싱
44 : 서보 모터
45 : 구동 풀리
46 : 종동 풀리
47 : 벨트
48 : 볼 나사
49 : 승강체
50 : 웨이퍼 회수 상자
51 : 가이드 레일
52 : 가이드 돌기
53 : 연결부
61 : 예비 세정조 (예비 세정 장치)
62 : 반송 장치
다음으로, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치에 대해, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태는 본 발명의 웨이퍼 분리 장치에 있어서의 바람직한 구체예로서, 예를 들어, 수치 한정이나 재료 한정 등의 기술적으로 바람직한 여러 가지의 한정을 부여하고 있는 경우도 있지만, 본 발명의 기술 범위는, 특별히 본 발명을 한정하는 기재가 없는 한, 이들 양태에 한정되는 것은 아니다.
먼저, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치에 대해, 도 11 ∼ 도 13 에 기초하여, 단결정 실리콘 웨이퍼의 분리 전에 이르는 제조 공정의 일례를 설명한다.
즉, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 단결정 실리콘 웨이퍼는 먼저, CZ 법 (인상법) 등에 의해 제조된 도시 좌우 양단 (성장시 상하) 에 대략 원추형의 실리콘 단재를 일체로 구비한 대략 원통형형의 실리콘 잉곳 (1) (도 11 상단 참조) 을, 그 각 실리콘 단재 (1a, 1b) 를 잘라낸 후에 필요에 따라 적당한 치수 (길이) 로 잘라내고 (도 11 중단 참조), 이어서 밴드 쏘 등을 사용하여 원주체로부터 단면이 대략 사각형인 각주체 (경우에 따라 각 모서리부를 모따기) 의 실리콘 블록 (2) 을 얻는다 (도 11 하단 참조).
즉, 태양 전지용 실리콘 웨이퍼의 제조에 있어서는, 실리콘 블록 (2) 의 단면 형상은, 직사각형 또는 대략 직사각형인 것이 바람직하고, 실리콘 잉곳 (1) 으로부터 잘라낸 것인 것이 바람직하다.
다음으로, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 와이어 쏘 (3) 를 사용하여, 실리콘 블록 (2) 을 다수 장으로 절단한다.
이 와이어 쏘는, 복수의 홈을 따라 절단용의 와이어 (4) 를 나선 형상으로 감은 복수 개 (예를 들어, 3 개) 의 와이어 가이드 (5) 를 회전시켜, 와이어 (4) 를 주행시키고, 오일과 지립의 혼합액인 슬러리를 슬러리 노즐 (도시 생략) 로부터 토출시킴과 함께, 그 상태에서 와이어 (4) 와 실리콘 블록 (2) 사이에 절삭 이송을 부여하여 실리콘 블록 (2) 을 다수 장으로 절단한다.
또한, 도 12 중, 6 은 와이어 조출 풀리, 7 은 와이어 권취 풀리, 8 은 와이어 권취 장치이다.
또, 와이어 (4) 에 의한 실리콘 블록 (2) 을 절단할 때에는, 예를 들어, 블록 승강 지지 장치 (도시 생략) 에 형성된 스테인리스 등의 설치체 (9) 에 유리 등의 지지판 (10) 을 장착하고, 이 지지판 (10) 의 하면에 접착제 (도시 생략) 를 개재하여 실리콘 블록 (2) 의 상면을 접착 고정시킨다. 또, 와이어 (4) 에 의한 절단시에는, 절단 후의 각 웨이퍼의 매엽화가 용이해지도록, 지지판 (10) 의 하측 일부까지 절단 홈을 넣는다.
그 후, 설치체 (9) 로부터 지지판 (10) 을 떼어내면, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 지지판 (10) 에 첩착된 기둥 형상 집합 상태의 절단 홈이 들어간 실리콘 블록 (2) 을 얻을 수 있다.
이 실리콘 블록 (2) 은, 지지판 (10) 에 첩착된 기둥 형상 집합 상태인 채로 슬러리나 절삭분 등을 제거하기 위해서 예비 세정 장치 (도시 생략) 에 의해 예비 세정한 후, 2 차 세정에 의해 실리콘 블록 (2) 으로부터 지지판 (10) 을 박리하여 매엽화한다.
이하, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치 반송을 도 1 내지 도 7 을 참조하여 설명한다.
도 1 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 세트 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 정면 방향의 단면도, 도 2 는 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 기포 분출 상태 (웨이퍼 분리 상태) 의 웨이퍼 분리 반송 장치의 정면 방향의 단면도, 도 3 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 반송 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 설명도, 도 4 는 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 세로 배치 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 측면 방향의 단면도, 도 5 는 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 가로 배치 상태의 웨이퍼 분리 반송 장치의 설명도, 도 6 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 나타내고, (A) 는 웨이퍼와 기포의 관계를 나타내는 주요부의 확대 단면도, (B) 는 기포의 설명도, 도 7 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 반송 장치의 설명도, 도 8 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 나타내고, 웨이퍼 절단으로부터 분리·반송에 이르는 작업 루틴을 나타내는 플로우도이다.
도 1 내지 도 5 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 구비한 웨이퍼 분리 반송 장치 (11) 는, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼 (W) 를 밀착 상태의 세로 배치로 수납함과 함께 적어도 상하로 개방하는 카세트 (12) 와, 카세트 (12) 를 착탈 가능하게 지지하고 또한 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체 (13) 와, 카세트 지지체 (13) 를 카세트 (12) 와 일체로 승강시키는 승강 장치 (14) 와, 승강 장치 (14) 에 설치되어 카세트 (12) 에 수납된 웨이퍼 (W) 를 세로 배치 상태와 가로 배치 상태로 전환하도록 카세트 지지체 (13) 를 카세트 (12) 와 일체로 회전 운동시키는 회전 운동 장치 (15) 와, 승강 장치 (14) 가 하강하였을 때에 카세트 지지체 (13) 가 카세트 (12) 와 일체로 침지되는 액체를 수용한 액조 (16) 와, 액조 (16) 내에 설치되어 카세트 지지체 (13) 의 하방으로부터 다수 장의 웨이퍼 (W) 를 향해 미세 기포를 분출시키는 노즐 (17) 과, 노즐 (17) 로부터 분출되는 미세 기포를 발생시키는 미세 기포 발생 장치 (18) 와, 액조 (16) 내로부터 상승된 가로 배치 상태의 웨이퍼 (W) 를 최상위로부터 취출하는 취출체 (19) 와, 취출체 (19) 로 취출한 최상위의 웨이퍼 (W) 를 반송하는 반송체 (20) 를 구비하고 있다.
이와 같은 구성의 웨이퍼 분리 반송 장치 (11) 에 의하면, 염가이고 또한 소형이면서, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 (W) 의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 (W) 의 파손 등의 발생을 억제할 수 있다.
이 때, 웨이퍼 분리 반송 장치 (11) 는, 노즐 (17) 또는 카세트 지지체 (13) 를 웨이퍼 (W) 의 인접 방향을 따라 이동시키는 이동 장치 (21) 를 형성함으로써, 각 웨이퍼 (W) 사이를 향하여 고르게 미세 기포를 분출시킬 수 있다.
또, 액조 (16) 내에 침지되어 있는 상태에서 카세트 지지체 (13) 의 하면을 제외한 5 면을 덮는 커버 (22) 를 형성함으로써, 각 웨이퍼 (W) 사이로의 미세 기포의 침입을 촉진시킬 수 있다.
또한, 미세 기포 발생 장치 (18) 는, 마이너스로 대전된 미세 기포를 노즐 (17) 로부터 분출시킴으로써, 와이어 쏘 (3) 에 의한 절단 후의 웨이퍼 (W) 사이가 플러스로 대전되어 있는 경우에, 웨이퍼 (W) 사이로 미세 기포를 인입하도록 침입시킬 수 있다.
또, 미세 기포 발생 장치 (18) 는, 와이어 쏘 (3) 에 의해 절단되었을 때의 홈폭 이하의 직경의 미세 기포를 노즐 (17) 로부터 분출시키는 것이 바람직하고, 실리콘 잉곳 (1) 을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘 (3) 에 사용되고 있는 와이어 (4) 의 와이어 직경 이하의 직경의 미세 기포를 노즐 (17) 로부터 분출시키는 것이보다 바람직하며, 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 노즐 (17) 로부터 분출시키는 것이 보다 더 바람직하고, 평균 20 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 노즐 (17) 로부터 분출시키는 것이 최선이다.
또한, 카세트 (12) 에는, 실리콘 잉곳 (1) 을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘 (3) 의 주행 방향과 취출체 (19) 및 반송체 (20) 에 의한 웨이퍼 (W) 취출·반송 방향이 동일해지도록, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼 (W) 가 밀착 상태의 세로 배치로 수납되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 웨이퍼 분리 반송 장치 (11) 의 구체적인 구성을 설명한다.
카세트 (12) 는, 다수 장의 웨이퍼 (W) 를 수납할 수 있고 또한 노즐 (17) 로부터 분사된 미세 기포를 통과시키기 위한 하방 개구 (12a) 가 형성되어 있으면, 특별히, 강도를 확보한 후에 형상이나 재질 등은 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 웨이퍼 (W) 의 수납이 가능해지도록, 상방으로도 개구하고 있음과 함께, 후술하는 웨이퍼 (W) 의 취출시에 취출체 (19) 가 가로 배치 최상위에 위치하는 웨이퍼 (W) 와 접촉할 수 있도록, 웨이퍼 (W) 의 높이 (세로 배치시) 보다 낮게 설정되어 있다.
카세트 지지체 (13) 는, 카세트 (12) 의 착탈 및 지지를 할 수 있고 또한 노즐 (17) 로부터 분사된 미세 기포를 통과시키기 위한 하방 개구 (13a) 가 형성되어 있으면, 특별히, 강도를 확보한 후에 형상이나 재질 등은 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 카세트 (12) 의 수납이 가능해지도록, 상방으로도 개구하고 있음과 함께, 후술하는 취출시에 취출체 (19) 가 가로 배치 최상위에 위치하는 웨이퍼 (W) 와 접촉할 수 있도록, 웨이퍼 (W) 의 높이 (세로 배치시) 보다 낮게 설정되어 있다.
승강 장치 (14) 는, 도시를 생략하는 승강 구동 장치 (예를 들어, 솔레노이드) 의 구동에 의해 신장하는 샤프트 (23) 와, 샤프트 (23) 의 상단에 고정된 중간 지지체 (24) 와, 액조 (16) 의 측벽에 상하 방향을 따라 연장 고정된 가이드 레일 (25) 과, 중간 지지체 (24) 에 형성되어 가이드 레일 (25) 에 안내되는 가이드 판 (26) 과, 중간 지지체 (24) 로부터 세워 설치된 고정 샤프트 (27) 와, 고정 샤프트 (27) 의 상단에 고정된 고정 기판 (28) 과, 고정 기판 (28) 에 고정된 단면 크랭크 형상의 지지 기판 (29) 과, 지지 기판 (29) 의 하판 (29a) 에 고정된 축지지부 (30) 를 구비하고 있다.
또한, 가이드 레일 (25) 과 가이드 판 (26) 은, 고정 샤프트 (27) 에 의해 회전 운동 장치 (15) 그리고 카세트 (12) 를 외팔보 상태로 지지하는 점에서, 그 중량 밸런스 (도 1 의 지면 좌우 방향) 를 고려한 위치에서 슬라이드하도록 설정되어 있다.
또, 지지 기판 (29) 은, 고정 기판 (28) 의 상면에 고정되어 선단이 액조 (16) 의 내측으로 돌출되는 상판 (29b) 과, 상판 (29b) 의 선단으로부터 하방으로 연장되는 종판 (29c) 과, 종판 (29c) 의 하단으로부터 액조 (16) 의 내방측을 향하여 직각으로 굴곡하는 수평인 하판 (29a) 을 일체로 구비하고, 이들 각 판 (29a, 29b, 29c) 에 의해 단면이 대략 크랭크 형상으로 형성되어 있다.
회전 운동 장치 (15) 는, 상판 (29b) 에 고정되어 그 출력축이 액조 (16) 의 내측을 향하여 돌출된 구동 모터 (31) 와, 구동 모터 (31) 에 형성된 구동 풀리 (32) 와, 축지지부 (30) 를 관통하는 회전축 (33) 과, 회전축 (33) 의 일단에 형성된 종동 풀리 (34) 와, 각 풀리 (32, 34) 사이에 회전 운동 이동 가능하게 장설된 무단 벨트 (35) 와, 회전축 (33) 의 타단에 형성된 회전 운동 아암 (36) 을 구비하고, 이 회전 운동 아암 (35) 에 카세트 지지체 (13) 가 고정되어 있다. 또, 구동 모터 (31) 의 구동에 의해, 회전 운동 아암 (35) 을 회전 운동시킴으로써, 카세트 (12) 가 카세트 지지체 (13) 와 일체로 회전 운동하고, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 그 도복 (倒伏) 상태 (수평 상태) 시에 카세트 (12) 에 수납된 각 웨이퍼 (W) 가 세로 배치로 되고, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 그 기립 상태 (수직 상태) 시에 카세트 (12) 에 수납된 웨이퍼 (W) 가 가로 배치로 된다.
또, 회전 운동 아암 (35) 은, 그 기립 상태시에, 카세트 (12) 에 수납된 웨이퍼 (W) 의 상연부 (세로 배치시) 가 액조 (16) 의 내벽면에 대략 밀착되는 위치에까지 접근할 수 있도록 설정되어 있다. 또한, 그 기립시에 웨이퍼 (W) 의 상연부 (세로 배치시) 가 액조 (16) 의 내벽면에 대략 밀착되는 위치에까지 접근시키면, 후술하는 웨이퍼 (W) 사이에 침입한 미세 기포 B 에 의해 각 웨이퍼 (W) 가 예측할 수 없이 움직이게 되는 것을 억제할 수 있다.
액조 (16) 는, 그 내부에 순수 등의 액체가 수납되고, 승강 장치 (14) 의 하강에 의해 카세트 (12) 에 수납된 웨이퍼 (W) 가 완전히 침지되는 깊이를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 액조 (16) 의 깊이는, 승강 장치 (14) 가 하사점에 위치한 상태로 카세트 지지체 (13) 를 기립시킨 상태에 있어서도, 웨이퍼 (W) 가 완전히 침지되어 있는 깊이 (적어도 액위) 로 설정되어 있다. 또, 액조 (16) 내에 수납되는 액체는, 후술하는 미세 기포가 웨이퍼 (W) 사이에 어느 정도의 시간 머물 필요가 있는 것을 고려하여, 휘발성을 제외하고 적절히 선택할 수 있는 것으로, 예를 들어, 2 차 세정을 겸한 경우에는 2 차 세정액 등을 사용할 수 있다.
노즐 (17) 은, 액조 (16) 의 최심부 부근에 설치되고, 미세 기포 발생 장치 (18) 에서 발생된 미세 기포를 분출시킬 수 있으면, 그 수 등은 특별히 한정되는 것은 아니다.
미세 기포 발생 장치 (18) 는, 예를 들어, 펌프나 믹서 (모두 도시 생략) 등을 구비하고, 그 압력 설정을 실시함으로써 발생시키는 미세 기포의 기포 직경을 변경 조절할 수 있는 공지된 것이 사용되고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는 100 ㎛ 이하가 되고, 엄밀하게는, 도 6 의 (A) 에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼 (W) 사이에 침입한 미세 기포 B 의 평균 기포 직경이 20 ㎛ 부근인, 소위 나노 버블을 발생시킬 수 있으면, 그 구조 등은 특별히 한정되는 것은 아니다.
이 때, 미세 기포 발생 장치 (18) 는, 도 6 의 (B) 에 나타내는 바와 같이, 그 기포 내 주위가 마이너스 (-) 로 대전되어 있다.
이로써, 예를 들어, 예비 세정 또는 2 차 세정시에 제거되는 슬러리 등이 플러스로 대전되어 있기 때문에, 이 슬러리가 2 차 세정 후에도 잔존해 버리는 경우를 포함하여, 웨이퍼 (W) 의 사이 등이 플러스로 대전되어 있는 경우가 많은 것으로서, 마이너스로 대전된 미세 기포를 끌어당김 효과에 의해 효율적으로 웨이퍼 (W) 사이에 침입시킬 수 있다.
취출체 (19) 에는, 도시를 생략하는 구동 모터 등의 구동에 의해 회전 (도 1 의 반시계 회전 방향) 하는 롤러체 등이 사용되고 있고, 그 재질 등은, 탄성을 구비하고 또한 마찰 저항이 비교적 높은 것이 사용되고 있다 (예를 들어, 우레탄). 또, 취출체 (19) 는, 본 실시형태에서는, 하나의 롤러체로 이루어지는데, 웨이퍼 (W) 의 반송폭을 고려한 위치 그리고 수로 설정할 수 있다.
반송체 (20) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 취출체 (19) 를 회전 구동시키는 구동 모터를 겸용 또는 별도 설치에 의해, 서로 역방향으로 회전함으로써 웨이퍼 (W) 를 닙반송하는 상하 한 쌍의 롤러체 (37) 와, 롤러체 (37) 의 반송 방향 하류측에 인접 배치된 반송 지지 플레이트 (38) 와, 반송 지지 플레이트 (38) 의 상방에 배치된 결함 판정 장치 (39) 와, 반송 지지 플레이트 (38) 의 반송 방향 하류측에 인접 배치된 복수의 반송 벨트 컨베이어 (40) 와, 반송 벨트 컨베이어 (40) 의 임의의 위치에서 결함 판정 장치 (39) 에 의해 웨이퍼 (W) 에 결함이 존재하고 있다고 판정된 웨이퍼 (W) 를 폐기 회수하는 분기 장치 (41) 와, 결함이 발생하지 않은 웨이퍼 (W) 를 회수하는 회수 장치 (42) 를 구비하고 있다. 또한, 반송 지지 플레이트 (38) 및 반송 벨트 컨베이어 (40) 에는, 탄성을 구비하고 또한 마찰 저항이 비교적 높은 것이 사용되고 있다 (예를 들어, 우레탄). 또, 분기 장치 (41) 는, 예를 들어, 반송 벨트 컨베이어 (40) 의 일부를 하방으로 기울여 (도 8 의 2 점 쇄선 형태) 반송 경로를 일시적으로 절단하고, 그 반송 방향 하류측의 경로 절단 부위에서 폐기 회수한다. 이 때, 폐기 회수된 웨이퍼 (W) 는, 재이용에 제공된다.
결함 판정 장치 (39) 는, CCD 카메라에 의한 화상 처리에 의해 크랙 (금이나 균열 등) 이나 결손이 발생하고 있지 않은지를 판정한다.
회수 장치 (42) 는, 케이싱 (43) 과, 케이싱 (43) 에 형성된 서보 모터 (44) 와, 서보 모터 (44) 의 출력축에 형성된 구동 풀리 (45) 와, 케이싱 (43) 에 회전 가능하게 지지된 종동 풀리 (46) 와, 각 풀리 (45, 46) 에 회전 운동 이동 가능하게 형성된 벨트 (47) 와, 종동 풀리 (46) 를 관통하여 종동 풀리 (46) 의 회전에 의해 상하 방향으로 변위하는 볼 나사 (48) 와, 볼 나사 (48) 의 일단이 연결된 승강체 (49) 와, 승강체 (49) 에 착탈 가능하게 장착된 웨이퍼 회수 상자 (50) 를 구비하고 있다.
웨이퍼 회수 상자 (50) 의 전면은 개방되어 있고, 세정 후의 웨이퍼 (W) 를 1 장마다 분리 상태로 수납할 수 있도록, 슬릿 등의 파티션 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 또, 승강체 (49) 의 배면에는, 케이싱 (43) 에 형성된 가이드 레일 (51) 과 걸어맞추는 가이드 돌기 (52) 가 형성되어 있다. 또한, 승강체 (49) 의 상면에는, 볼 나사 (48) 의 일단이 회전 가능하게 연결되는 연결부 (53) 가 형성되어 있다.
이로써, 반송 벨트 컨베이어 (40) 에 의해 반송된 웨이퍼 (W) 는, 웨이퍼 회수 상자 (50) 의 상방으로부터 순차, 분리 상태로 회수·수납되고, 서보 모터 (44) 의 인칭 구동에 의해 순차 상방으로 웨이퍼 회수 상자 (50) 가 변위되면서, 각 파티션마다 웨이퍼 (W) 가 회수·수납된다.
이 때, 웨이퍼 반송 방향 최하류에 배치된 반송 벨트 컨베이어 (40) 의 하류단은, 웨이퍼 회수 상자 (50) 의 내부에 면하고 있는 것이 바람직하다.
또한, 구동 풀리 (45) 와 종동 풀리 (46) 는, 그 직경을 바꿈으로써, 기어비와 동일한 조정을 실시한다. 또, 서보 모터 (44), 종동 풀리 (46), 벨트 (47), 볼 나사 (48) 는, 솔레노이드 등을 사용해도 된다.
이동 장치 (21) 는, 노즐 (17) 을 웨이퍼 (W) 의 인접 방향을 따라 수평으로 이동시키는 것으로, 예를 들어, 5.0 ㎜/sec 의 속도로 이동시킨다. 또한, 이 이동 장치 (21) 는, 노즐 (17) 을 이동시키는 대신에, 카세트 (12) 를 웨이퍼 (W) 의 인접 방향을 따라 수평으로 이동시켜도 된다.
커버 (22) 는, 카세트 지지체 (13) 의 하방을 제외하는 5 면을 대략 간극없이 덮는 것으로, 노즐 (17) 로부터 분출된 미세 기포를 커버 (22) 내에 가둠으로써, 각 웨이퍼 (W) 사이로의 미세 기포의 침입을 촉진시키는 것이다. 또한, 커버 (22) 의 재질이나 형상 등은 특별히 한정되는 것은 아니다. 또, 승강 장치 (14) 에 의해 카세트 (12) 를 승강시키고 있는 동안이나, 카세트 지지체 (13) 가 회전 운동 기립되어 있는 상태에서는 벗겨진다.
상기의 구성에 있어서, 웨이퍼 (W) 는, 실리콘 잉곳 (1) 을 지지판 (10) 과 일체로 다수 장으로 절단하는 절단 단계 (단계 S1) 와, 절단 후의 실리콘 잉곳 (1) 을 지지판 (10) 으로부터 박리하여 매엽화하는 박리 단계 (단계 S2) 와, 박리 후의 매엽화된 다수 장의 웨이퍼 (W) 를 적어도 상하로 개방하는 카세트 (12) 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계 (단계 S3) 와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체 (13) 에 카세트 (12) 를 장착 지지시키는 장착 지지 단계 (단계 S4) 와, 승강 장치 (14) 를 사용하여 카세트 지지체 (13) 를 카세트 (12) 와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼 (W) 를 액조 (16) 내의 액체에 침지하는 하강 단계 (단계 S5) 와, 카세트 지지체 (13) 의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼 (W) 를 향하여 미세 기포 발생 장치 (18) 에서 발생시킨 미세 기포를 노즐 (17) 로부터 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 (W) 사이에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계 (단계 S6) 와, 회전 운동 장치 (15) 를 사용하여 다수 장의 각 웨이퍼 (W) 사이에 미세 기포를 침입 정체시킨 상태의 카세트 지지체 (13) 를 카세트 (12) 와 일체로 회전 운동시켜 다수 장의 웨이퍼 (W) 를 가로 배치로 하는 회전 운동 단계 (단계 S7) 와, 승강 장치 (14) 를 사용하여 웨이퍼 (W) 를 가로 배치 상태로 한 채로 카세트 지지체 (13) 를 카세트 (12) 와 일체로 상승시켜 최상위에 위치하는 웨이퍼 (W) 를 액조 (16) 의 적어도 액면보다 상방으로 끌어올리는 상승 단계 (단계 S8) 와, 액면보다 상방으로 끌어올려진 최상위의 웨이퍼 (W) 를 취출하는 취출 단계 (단계 S9) 와, 취출 후의 웨이퍼 (W) 를 반송하는 반송 단계 (단계 S10) 와, 반송된 웨이퍼 (W) 를 태양 전지 제조 장치에 이송하는 이송 단계 (단계 S11) 를 경유함으로써, 예를 들어, P 형 웨이퍼 (W) 또는 N 형 웨이퍼 (W) 를 제조하기 위한 텍스처 처리를 실시하기 위한 화학 에칭 장치를 향하여 웨이퍼 (W) 를 이송하는 것처럼, 태양 전지용 웨이퍼로서 제조 공정으로 이어질 수 있다.
즉, 단계 S1 에서 와이어 쏘 (3) 를 사용하여 실리콘 잉곳 (1) 을 절단한 후에는, 와이어 쏘 (3) 로부터 지지체 (10) 로 지지된 상태의 절단이 끝난 실리콘 잉곳 (1) 이, 공지된 예비 세정 장치 그리고 2 차 세정 장치를 경유함으로써 슬러리 등이 제거됨과 함께, 지지체 (10) 가 제거되어, 웨이퍼 (W) 가 매엽화된다 (단계 S2).
그 매엽화된 각 웨이퍼 (W) 는, 지금까지 수작업으로 세정·박리·분리 작업이 실시되었을 때에 사용되던 카세트 (12) 등을 사용하여, 그 카세트 (12) 내에 밀착된 상태인 채로 다수 장의 웨이퍼 (W) 가 수납되고 (단계 S3), 공장 등에 따라 웨이퍼 분리 반송 장치 (11) 에까지 넘겨진 후에, 그 카세트 (12) 를 카세트 지지체 (13) 에 장착 지지시킨다 (단계 S4).
그 후에, 솔레노이드 등을 구동시켜 카세트 지지체 (13) 를 하강시켜 미리 액체가 수납된 액조 (16) 에 웨이퍼 (W) 가 완전히 잠기는 하사점에까지 하강시킨다 (단계 S5).
다음으로, 미세 기포 발생 장치 (18) 를 구동시켜, 노즐 (17) 로부터 평균으로 기포 직경 20 ㎛ 의 미세 기포를 분출시키고, 노즐 (17) 을 소정의 속도로 이동시키면서 각 웨이퍼 (W) 사이에, 그 평균 기포 직경 20 ㎛ 의 미세 기포 (나노 버블) B 를 침입시킨다 (단계 S6).
또한, 모든 웨이퍼 (W) 사이에 미세 기포 B 가 침입되었다면, 구동 모터 (31) 를 구동시켜 무단 벨트 (35) 의 회전 운동 이동에 의해 회전축 (33) 을 회전시키고, 회전 운동 아암 (36) 의 회전 운동에 연동하여 카세트 지지체 (13) 를 기립시킨다 (단계 S7).
이 후, 최상위에 위치하는 웨이퍼 (W) 가 액조 (16) 의 상연부보다 상방에 위치한 소정 취출 위치에까지 카세트 지지체 (13) 를 상승시키고, 그 소정 취출 위치에서 정지한다 (단계 S8).
그러면, 최상위에 위치한 웨이퍼 (W) 에 취출체 (19) 가 접하고, 취출체 (19) 의 회전에 의해 최상위에 위치하는 웨이퍼 (W) 가 취출되고 (단계 S9), 그대로 반송체 (20) 에 의해 닙반송되고 (단계 S10), 회수 장치 (42) 로 이송된다 (단계 S11).
또한, 이 단계 S9 ∼ S11 은, 다음 단 이후의 순차 최상위에 위치하는 웨이퍼 (W) 에 대해서도 실시되고, 필요에 따라 (예를 들어, 3 장마다 등) 승강 장치 (14) 가 카세트 지지체 (13) 를 상승시킨다.
또한, 단계 S11 의 이송 처리시에는, 결함 판정 장치 (39) 에 의해 웨이퍼 (W) 의 결함이 판정되고 (단계 S12), 결함이 발생하고 있는 경우에는 그 결함 웨이퍼 (W) 는 분기 장치 (41) 에 의해 분기 (제거) 되고 (단계 S13), 결함이 발생하지 않은 웨이퍼 (W) 는 회수 장치 (42) 에 의해 웨이퍼 회수 상자 (50) 에 순차 회수된다 (단계 S14).
또한, 본 실시형태에 있어서는, 와이어 쏘 (3) 에 의해 다수 장으로 절단된 웨이퍼 (W) 를 직접 분리·반송하였지만, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 본 발명에 나타낸 미세 기포 발생 장치 (18) 와 동등의 것을 예비 세정조 (예비 세정 장치) (61) 로서 이용하여, 단계 S1 로부터 단계 S3 까지를 경유한 카세트 (12) 에 수납된 웨이퍼 (W) 를 예비 세정한 후에, 하나 이상의 반송 장치 (62) 를 경유하여 분리 반송하도록 구성할 수도 있다.
또, 웨이퍼 회수 상자 (50) 로 회수한 후의 웨이퍼 (W) 를, 웨이퍼 회수 상자 (50) 마다 다축 로봇 아암 (도시 생략) 으로 자동 이송하여 다음 공정 (마무리 세정이나 경면 가공) 의 장치로 이어질 수도 있다.
이와 같이, 본 발명에 관련된 웨이퍼 분리 장치에 의하면, 지지체 (10) 로부터 박리된 후의 다수 장의 각 웨이퍼 (W) 사이에 미세 기포 B 를 침입시킴으로써, 각 웨이퍼 (W) 사이의 들러붙음을 억제하여, 효율적으로 분리 작업을 실시할 수 있다.
또, 미세 기포 B 가 각 웨이퍼 (W) 사이에 침입하고 있는 것만으로 분리 상태로 되어 있기 때문에, 강인한 분리 (예를 들어, 압력수 분사 등) 에 의한 파손 등의 발생을 억제할 수 있다.
그런데, 상기 실시형태에서는, 본 발명에 관련된 웨이퍼 분리 장치를 단결정 실리콘 웨이퍼에 적용하여 설명하였지만, 다결정 실리콘 웨이퍼에 대한 적용도 할 수 있다.
이 때, 다결정 실리콘 웨이퍼는, 예를 들어, 밴드 쏘 등을 사용하여 사각형형의 다결정 실리콘 잉곳을 사각형형의 다결정 실리콘 블록으로 잘라낸 후에, 치수 형성이나 에칭 등의 마무리 공정에 제공한 후, 상기 서술한 와이어 쏘 등에 의해 절단된다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 염가이고 또한 소형이면서, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼의 분리 성능을 향상시킴과 함께, 분리·반송시에 있어서의 웨이퍼 파손 등의 발생을 억제할 수 있는 웨이퍼 분리 장치를 제공할 수 있다.

Claims (20)

  1. 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 밀착 상태의 세로 배치로 수납함과 함께 적어도 상하로 개방하는 카세트와, 그 카세트를 착탈 가능하게 지지하고 또한 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체와, 그 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 승강시키는 승강 장치와, 그 승강 장치가 하강하였을 때에 상기 카세트 지지체가 상기 카세트와 일체로 침지되는 액체를 수용한 액조와, 그 액조 내에 설치되어, 다수 장의 각 웨이퍼 내에 미세 기포를 침입 시키도록, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 다수 장의 웨이퍼를 향해 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 분출시키는 노즐과, 그 노즐로부터 분출되는 미세 기포를 발생시키는 미세 기포 발생 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 장치.
  2. 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 밀착 상태의 세로 배치로 수납함과 함께 적어도 상하로 개방하는 카세트와, 그 카세트를 착탈 가능하게 지지하고 또한 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체와, 그 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 승강시키는 승강 장치와, 그 승강 장치에 설치되어, 다수 장의 각 웨이퍼 내에 미세 기포를 침입 시키도록, 상기 카세트에 수납된 웨이퍼를 세로 배치 상태와 가로 배치 상태로 전환하도록 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시키는 회전 운동 장치와, 상기 승강 장치가 하강하였을 때에 상기 카세트 지지체가 상기 카세트와 일체로 침지되는 액체를 수용한 액조와, 그 액조 내에 설치되어 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 다수 장의 웨이퍼를 향해 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 분출시키는 노즐과, 그 노즐로부터 분출되는 미세 기포를 발생시키는 미세 기포 발생 장치와, 상기 액조 내로부터 상승된 가로 배치 상태의 웨이퍼를 최상위로부터 취출하는 취출체와, 그 취출체로 취출한 최상위의 웨이퍼를 반송하는 반송체를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 반송 장치.
  3. 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 2 항에 있어서,
    상기 반송체는, 그 반송 경로 상류측 부근에 배치되어 반송 과정에 있는 웨이퍼의 결함을 판정하는 결함 판정 장치와, 그 결함 판정 장치보다 반송 경로 하류측에 배치되어 결함이 존재하고 있다고 판정된 웨이퍼를 반송 루트와는 다른 폐기 루트로 분기시키는 분기 장치와, 상기 결함 판정 장치에 의해 결함이 존재하고 있지 않다고 판정된 웨이퍼를 회수하는 회수 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 반송 장치.
  4. 청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 노즐을 웨이퍼의 인접 방향을 따라 이동시키거나 상기 카세트 지지체를 웨이퍼와 일체로 웨이퍼의 인접 방향을 따라 이동시키는 이동 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 웨이퍼 분리 장치.
  5. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 액조 내에 침지되어 있는 상태에서 상기 카세트 지지체의 하면을 제외한 5 면을 덮는 커버를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 장치.
  6. 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 미세 기포 발생 장치는, 마이너스로 대전된 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 장치.
  7. 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 미세 기포 발생 장치는, 실리콘 잉곳을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘에 의해 절단되었을 때의 홈폭 이하의 직경의 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 장치.
  8. 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 미세 기포 발생 장치는, 실리콘 잉곳을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘의 와이어 직경 이하의 직경의 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 장치.
  9. 삭제
  10. 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1 항에 있어서,
    상기 미세 기포 발생 장치는, 평균 20 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 상기 노즐로부터 분출시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 장치.
  11. 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 2 항에 있어서,
    상기 카세트에는, 실리콘 잉곳을 매엽화할 때에 사용된 와이어 쏘의 주행 방향과 상기 취출체 및 상기 반송체에 의한 웨이퍼 취출·반송 방향이 동일해지도록, 매엽화된 다수 장의 웨이퍼가 밀착 상태의 세로 배치로 수납되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 반송 장치.
  12. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 2 항에 있어서,
    상기 회전 운동 장치는, 상기 카세트 지지체가 기립되었을 때에, 상기 카세트에 수납된 세로 배치 상태에서의 웨이퍼 상연부가 상기 액조의 세로 내벽면에 근접하도록 상기 카세트 지지체를 지지하고 있는 것을 특징으로 웨이퍼 분리 반송 장치.
  13. 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 노즐을 통해 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 내에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 방법.
  14. 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계와, 회전 운동 장치를 사용하여 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시킨 상태의 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시켜 다수 장의 웨이퍼를 가로 배치로 하는 회전 운동 단계와, 상기 승강 장치를 사용하여 웨이퍼를 가로 배치 상태로 한 채로 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 상승시켜 최상위에 위치하는 웨이퍼를 상기 액조의 적어도 액면보다 상방으로 끌어올리는 상승 단계와, 액면보다 상방으로 끌어올려진 최상위의 웨이퍼를 취출하는 취출 단계와, 취출 후의 웨이퍼를 반송하는 반송 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 반송 방법.
  15. 박리 후의 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 예비 세정하는 예비 세정 단계와, 예비 세정 후의 상기 카세트를 취출하여 반송하는 취출·반송 단계와, 반송한 상기 카세트를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계와, 회전 운동 장치를 사용하여 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시킨 상태의 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시켜 다수 장의 웨이퍼를 가로 배치로 하는 회전 운동 단계와, 상기 승강 장치를 사용하여 웨이퍼를 가로 배치 상태로 한 채로 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 상승시켜 최상위에 위치하는 웨이퍼를 상기 액조의 적어도 액면보다 상방으로 끌어올리는 상승 단계와, 액면보다 상방으로 끌어올려진 최상위의 웨이퍼를 취출하는 취출 단계와, 취출 후의 웨이퍼를 반송하는 반송 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 반송 방법.
  16. 실리콘 잉곳을 지지판과 일체로 다수 장으로 절단하는 절단 단계와, 절단 후의 실리콘 잉곳을 지지판으로부터 박리하여 매엽화하는 박리 단계와, 박리 후의 매엽화된 다수 장의 웨이퍼를 적어도 상하로 개방하는 카세트 내에 밀착 상태의 세로 배치로 수납하는 수납 단계와, 적어도 상하로 개방하는 카세트 지지체에 상기 카세트를 장착 지지시키는 장착 지지 단계와, 승강 장치를 사용하여 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 하강시켜 세로 배치 상태의 웨이퍼를 액조 내의 액체에 침지하는 하강 단계와, 상기 카세트 지지체의 하방으로부터 세로 배치 상태의 웨이퍼를 향하여 미세 기포 발생 장치에서 발생시킨 100 ㎛ 이하의 직경의 미세 기포를 분출시켜 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시키는 미세 기포 분출 단계와, 회전 운동 장치를 사용하여 다수 장의 각 웨이퍼 사이에 미세 기포를 침입 정체시킨 상태의 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 회전 운동시켜 다수 장의 웨이퍼를 가로 배치로 하는 회전 운동 단계와, 상기 승강 장치를 사용하여 웨이퍼를 가로 배치 상태로 한 채로 상기 카세트 지지체를 상기 카세트와 일체로 상승시켜 최상위에 위치하는 웨이퍼를 상기 액조의 적어도 액면보다 상방으로 끌어올리는 상승 단계와, 액면보다 상방으로 끌어올려진 최상위의 웨이퍼를 취출하는 취출 단계와, 취출 후의 웨이퍼를 반송하는 반송 단계와, 반송된 웨이퍼를 태양 전지 제조 장치에 이송하는 이송 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법.
  17. 청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 반송 단계에서 반송된 웨이퍼를 웨이퍼 회수 상자에 자동 회수하는 회수 단계와, 회수 후의 웨이퍼 회수 상자를 다축 로봇 아암을 사용하여 다음 공정으로 자동 반송하는 다음 공정 반송 단계를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 반송 방법.
  18. 청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 16 항에 있어서,
    상기 이송 단계는, P 형 웨이퍼 또는 N 형 웨이퍼를 제조하기 위한 텍스처 처리를 실시하기 위한 화학 에칭 장치를 향하여 웨이퍼를 이송하는 것을 특징으로 하는 태양 전지용 웨이퍼 분리 반송 방법.
  19. 청구항 19은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 13 항에 있어서,
    상기 미세 기포 분출 단계에서는, 상기 노즐을 웨이퍼의 인접 방향을 따라 이동시키거나 상기 카세트 지지체를 웨이퍼와 일체로 웨이퍼의 인접 방향을 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 방법.
  20. 청구항 20은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 13 항에 있어서,
    상기 미세 기포 분출 단계의 개시 전에, 상기 액조 내에 침지되어 있는 상태의 상기 카세트 지지체의 하면을 제외한 5 면을 커버로 덮는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리 방법.
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