TWI740175B - 卡匣旋轉設備和卡匣 - Google Patents

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Abstract

本揭示提供一種卡匣旋轉設備和卡匣。卡匣旋轉設備包含：一平台；一卡匣，放置在該平台上方，用於承載一基板；以及一轉動元件，藉由其一轉軸可繞軸轉動地設置在該平台上且與該卡匣之邊緣接觸，其中該轉動元件的轉動可帶動該卡匣沿著其邊緣旋轉，使得該基板在該平台上方繞著垂直於該基板之板面的一中心軸進行繞軸轉動，並且使該基板在該卡匣內移動。

Description

卡匣旋轉設備和卡匣
本揭示是關於一種旋轉設備，特別是關於一種卡匣旋轉設備和適用於該卡匣旋轉設備之卡匣。
現有的濕式蝕刻或洗淨製程是藉由將複數個基板插放在卡匣內，再將卡匣放入裝有蝕刻液或清洗液的槽體內，以進行批次性的基板蝕刻或洗淨處理。然而，由於放置在卡匣內的基板會與卡匣的卡槽的槽壁接觸，使得製程液體無法接觸到基板與卡匣相接處的表面，而導致基板的局部區域無法與製程液體充分反應。因此，基板在經過蝕刻處理之後，會在基板的表面與卡匣對應接觸的區域產生痕跡，導致蝕刻均勻度不良。
再者，對於非圓形基板(例如矩形基板)來說，由於形狀上的限制，非圓形基板無法在槽體內沿著其邊緣轉動。因此，非圓形基板尤其容易產生因為與卡匣保持接觸而導致蝕刻不均勻的問題。
有鑑於此，有必要提出一種卡匣旋轉設備和適用於該卡匣旋轉設備之卡匣，以解決習知技術中存在的問題。
為解決上述習知技術之問題，本揭示之目的在於提供一種卡匣旋轉設備和適用於該卡匣旋轉設備之卡匣，藉由卡匣旋轉設備來驅使卡匣轉動，以帶動放置在卡匣內的基板會在一定範圍內移動，進而可避免基板之一特定區域始終維持在與卡匣相接觸的位置。
為達成上述目的，本揭示提供一種卡匣旋轉設備，包含：一平台；一卡匣，放置在該平台上方，用於承載一基板；以及一轉動元件，藉由其一轉軸可繞軸轉動地設置在該平台上且與該卡匣之邊緣接觸，其中該轉動元件的轉動可帶動該卡匣沿著其邊緣旋轉，使得該基板在該平台上方繞著垂直於該基板之板面的一中心軸進行繞軸轉動，並且使該基板在該卡匣內移動。
於本揭示其中之一較佳實施例中，該卡匣旋轉設備還包含：一支架，設置在該平台上方；以及一基座，用於承載該卡匣，其中該基座可拆裝地設置在該支架上，用於將該卡匣保持在該平台上方。
於本揭示其中之一較佳實施例中，該卡匣之該邊緣和該轉動元件之表面分別包含彼此嚙合的齒輪嚙合部。
於本揭示其中之一較佳實施例中，該卡匣包含：一對檔板，彼此平行且間隔設置，其中該對檔板之間定義一用於放置該基板之容置空間，以及其中該轉動元件與該對檔板之邊緣接觸；以及複數個限位桿，設置在該對檔板之間，用於將該基板保持在該容置空間內，以及其中每一該限位桿上形成有一卡槽，用於提供該基板插放於其內。
於本揭示其中之一較佳實施例中，當該基板插放在該卡匣內時，至少一該限位桿之該卡槽之槽底壁與該基板之外側邊相隔一距離。
於本揭示其中之一較佳實施例中，該複數個限位桿彼此間隔設置並且形成一可供該基板進出該容置空間之通道口，以及其中該卡匣還包含一止擋件，該止擋件之相對兩端分別與該對檔板對應連接，並且該止擋件可拆裝地設置在該通道口，用於限制該基板通過該通道口。
本揭示還提供一種卡匣，包含：一對圓形檔板，彼此平行且間隔設置，其中該對圓形檔板之間定義一用於放置一基板之容置空間；以及複數個限位桿，分別設置在該對圓形檔板之間的不同位置，其中每一限位桿之相對兩端分別與該對圓形檔板對應連接，以將該基板保持在該容置空間內，以及其中每一該限位桿上形成有一卡槽，用於提供該基板插放於其內，並且在一平面上，由該複數個限位桿之各自的卡槽所圍繞形成的空間大於該基板的面積，使得該基板可在該卡匣內移動。
於本揭示其中之一較佳實施例中，當該基板插放在該卡匣內時，至少一該限位桿之該卡槽之槽底壁與該基板之外側邊相隔一距離。
於本揭示其中之一較佳實施例中，該複數個限位桿彼此間隔設置並且形成一可供該基板進出該容置空間之通道口，以及其中該卡匣還包含一止擋件，該止擋件之相對兩端分別與該對圓形檔板對應連接，並且該止擋件可拆裝地設置在該通道口，用於限制該基板通過該通道口。
於本揭示其中之一較佳實施例中，該對圓形檔板之邊緣包含一齒輪嚙合部。
相較於先前技術，本揭示藉由將卡匣設計為可旋轉的構型，並藉由卡匣旋轉設備來驅使卡匣轉動，進而帶動放置在卡匣內的基板旋轉，使得基板會在一定範圍內移動，以確保基板之表面的任一個區域不會始終維持在與卡匣相接觸的位置。並且，當卡匣旋轉設備設置在濕式製程的系統中，且卡匣被放置在裝有製程液體的處理槽內時，藉由轉動元件帶動卡匣轉動，使得基板在平台上方繞著垂直於基板之板面的中心軸進行繞軸轉動。藉此設計，基板會在卡匣的卡槽內的一定範圍內移動，以確保製程液體可以碰觸到基板表面的每一個區域。
爲了讓本揭示之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂，下文將特舉本揭示較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
請參照第1圖和第2圖，第1圖顯示本揭示之第一較佳實施例之卡匣旋轉設備1之零件爆炸圖，以及第2圖顯示第1圖之卡匣旋轉設備1之組裝圖。卡匣旋轉設備1適用於設置在濕式製程的系統中。並且，本揭示之卡匣旋轉設備1可將承載於其上的卡匣移動至濕製程的處理槽中，並且驅動卡匣繞軸轉動以帶動卡匣內的基板在卡匣限定的範圍內進行多方向的移動，以確保基板表面的每一區域皆可與處理槽內的製程液體接觸並反應完全。
如第1圖和第2圖所示，卡匣旋轉設備1包含平台11、轉動元件12、連接桿13、支架14、基座15、和卡匣16。平台11裝設在連接桿13上，且平台11的承載面大致平行於水平面。轉動元件12大致呈圓柱狀，且轉動元件12的內部設置有轉軸121。在本揭示中，轉動元件12藉由其轉軸121可繞軸轉動地設置在平台11上。也就是說，轉動元件12裝設在平台11上的特定位置，且可在平台11上可繞著轉軸121進行轉動。在本實施例中，轉動元件12的數量為2個，惟不侷限於此。支架14組裝在連接桿13上，且設置在平台11上方之相隔一距離的位置。較佳地，支架14大致平行於平台11。基座15可拆裝地設置在支架14上。具體來說，如第1圖所示，支架14包含一對平行的長桿141以及基座15包含一對長形的組裝部151。又，如第2圖所示，當基座15設置在支架14上時，基座15的組裝部151會抵靠在支架14的長桿141上。卡匣16是放置在平台11的上方。具體來說，基座15是用於承載卡匣16。即，藉由將卡匣16設置在基座15上，並且將基座15連同卡匣16一起設置在支架14上，使得卡匣16可被確實地保持在平台11的上方。
請參照第3圖，其顯示本揭示之第一較佳實施例之卡匣16之零件爆炸圖。卡匣16可用於承載至少一片基板10。較佳地，卡匣16可承載複數片基板10，以利於對該等基板10進行批次性的處理。卡匣16包含第一檔板161、第二檔板162、第一限位桿1631、第二限位桿1632、第三限位桿1633、第四限位桿1634(參照第4圖)、和止擋件165。較佳地，第一檔板161和第二檔板162為圓形，且選用剛性材料。第一檔板161和第二檔板162彼此平行且間隔設置，第一檔板161和第二檔板162之間定義有用於放置基板10之容置空間167。第一限位桿1631、第二限位桿1632、第三限位桿1633、和第四限位桿1634分別設置在第一檔板161和第二檔板162之間的不同位置。在本實施例中，由於卡匣16承載的基板10為方形，故限位桿的數量較佳為四個。在其他實施例中可以根據採用的基板形狀而決定限位桿的數量，惟不侷限於此。每一限位桿1631~1634之相對兩端分別與第一檔板161和第二檔板162對應連接，以將基板10保持在容置空間167內。並且，每一限位桿1631~1634上形成有一排卡槽，以用於提供基板10插放於對應的一組卡槽之內。基板10放置在卡匣16內的具體結構關係將於後詳述。
如第3圖所示，第一限位桿1631、第二限位桿1632、第三限位桿1633、和第四限位桿1634彼此間隔設置並且形成可供基板10進出容置空間167之通道口168。止擋件165可拆裝地設置在第一檔板161和第二檔板162上，並且設置在對應於在通道口168的位置。具體來說，止擋件165包含相對的第一端1651和第二端1652。組裝時，止擋件165之第一端1651穿過第一檔板161上的通孔1611並朝第二檔板162的方向前進，最終止擋件165之第一端1651會組裝固定在第二檔板162上，並且止擋件165之第二端1652會因通孔1611之孔徑的限制而無法穿過通孔1611，進而保持在第一檔板161上。藉此設計，當止擋件165組裝在第一檔板161和第二檔板162上之後，止擋件165會限制基板10無法通過通道口168。
請參照第2圖和第4圖，其中第4圖顯示第3圖之卡匣16組裝並且旋轉180度後沿著A-A割面線之局部剖面圖。如第2圖所示，當卡匣16藉由基座15放置在平台11的上方時，轉動元件12會與卡匣16之邊緣160接觸。並且，當轉動元件12繞其轉軸121轉動時，轉動元件12會帶動卡匣16沿著其邊緣160旋轉，進而使得基板10在平台上方繞著垂直於基板10之板面的中心軸17(如第4圖所示)進行繞軸轉動。在本實施例中，轉動元件12沿著逆時針方向繞軸轉動，進而驅動卡匣16沿著順時針方向繞軸轉動，惟不侷限與此。如第4圖所示，當卡匣16旋轉180度後，基板10會從與抵靠在第三限位桿1633和第四限位桿1634的位置轉變成抵靠在止擋件165的位置。具體來說，在一平面上，由第一限位桿1631、第二限位桿1632、第三限位桿1633、第四限位桿1634之各自的卡槽所圍繞形成的空間18會大於基板10的面積。藉此設計，當基板10插放在卡匣16內時，至少一限位桿之卡槽之槽底壁會與基板10之外側邊相隔一距離。舉例來說，基板10包含第一側邊101、第二側邊102、第三側邊103、和第四側邊104，其中當卡匣16位在如第3圖所示的位置時，基板10的第三側邊103會抵靠在第三限位桿1633之第三卡槽1643之第三槽底壁1663和抵靠在第四限位桿1634之第四卡槽1644之第四槽底壁1664，並且基板10的第一側邊101會與第一限位桿1631之第一卡槽1641之第一槽底壁1661和/或第二限位桿1632之第二卡槽1642之第二槽底壁1662相隔一距離。又，舉例來說，當卡匣16旋轉180度而到達如第4圖所示的位置時，基板10的第一側邊101會抵靠在止擋件165，並且基板10的第三側邊103會與第三限位桿1633之第三卡槽1643之第三槽底壁1663和與第四限位桿1634之第四卡槽1644之第四槽底壁1664相隔一距離D。因此，當基板10隨著卡匣16轉動時，基板10會在卡匣16的卡槽內的一定範圍內移動，以確保基板10之表面的任一個區域不會始終維持在與卡匣相接觸的位置。因此，當卡匣旋轉設備1設置在濕式製程的系統中並且卡匣16被放置在裝有製程液體的處理槽內時，藉由轉動元件12帶動卡匣16轉動，使得基板10在平台11上方繞著垂直於基板10之板面的中心軸17進行繞軸轉動。藉此設計，基板10會在卡匣16的卡槽內的一定範圍內移動，以確保製程液體可以碰觸到基板10表面的每一個區域。
請參照第5圖，其顯示本揭示之第二較佳實施例之卡匣旋轉設備2之局部放大圖。第二較佳實施例之卡匣旋轉設備2之結構大致相同於第一較佳實施例之卡匣旋轉設備1之結構，兩者差別在於，第二較佳實施例之卡匣旋轉設備2之設置在平台21上轉動元件22之外表面形成有第一齒輪嚙合部222，並且放置在基座25上的卡匣26之邊緣260形成有第二齒輪嚙合部269。具體來說，第二齒輪嚙合部269是形成在卡匣26的一對圓形檔板之邊緣260。轉動元件22之第一齒輪嚙合部222和卡匣26之第二齒輪嚙合部269彼此嚙合。藉此設計，可確保卡匣26會隨著轉動元件22的轉動而同步移動。
綜上所述，本揭示藉由將卡匣設計為可旋轉的構型，並藉由卡匣旋轉設備來驅使卡匣轉動，進而帶動放置在卡匣內的基板旋轉，使得基板會在一定範圍內移動，以確保基板之表面的任一個區域不會始終維持在與卡匣相接觸的位置。並且，當卡匣旋轉設備設置在濕式製程的系統中，且卡匣被放置在裝有製程液體的處理槽內時，藉由轉動元件帶動卡匣轉動，使得基板在平台上方繞著垂直於基板之板面的中心軸進行繞軸轉動。藉此設計，基板會在卡匣的卡槽內的一定範圍內移動，以確保製程液體可以碰觸到基板表面的每一個區域。
以上僅是本揭示的較佳實施方式，應當指出，對於所屬領域技術人員，在不脫離本揭示原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視爲本揭示的保護範圍。
1、2:卡匣旋轉設備 10:基板 101:第一側邊 102:第二側邊 103:第三側邊 104:第四側邊 11、21:平台 12、22:轉動元件 222:第一齒輪嚙合部 121:轉軸 13:連接桿 14:支架 141:長桿 15、25:基座 151:組裝部 16、26:卡匣 160、260:邊緣 161:第一檔板 1611:通孔 162:第二檔板 1631:第一限位桿 1632:第二限位桿 1633:第三限位桿 1634:第四限位桿 1641:第一卡槽 1642:第二卡槽 1643:第三卡槽 1644:第四卡槽 165:止擋件 1651:第一端 1652:第二端 1661:第一槽底壁 1662:第二槽底壁 1663:第三槽底壁 1664:第四槽底壁 167:容置空間 168:通道口 269:第二齒輪嚙合部 17:中心軸 18:空間 A-A:割面線 D:距離
第1圖顯示本揭示之第一較佳實施例之卡匣旋轉設備之零件爆炸圖； 第2圖顯示第1圖之卡匣旋轉設備之組裝圖； 第3圖顯示本揭示之第一較佳實施例之卡匣之零件爆炸圖； 第4圖顯示第3圖之卡匣組裝並且旋轉180度後沿著A-A割面線之局部剖面圖；以及 第5圖顯示本揭示之第二較佳實施例之卡匣旋轉設備之局部放大圖。
1:卡匣旋轉設備
10:基板
11:平台
12:轉動元件
121:轉軸
13:連接桿
14:支架
141:長桿
15:基座
151:組裝部
16:卡匣

Claims (5)

  1. 一種卡匣旋轉設備，包含：一平台；一卡匣，放置在該平台上方，用於承載一基板；以及一轉動元件，藉由其一轉軸可繞軸轉動地設置在該平台上且與該卡匣之邊緣接觸，其中該轉動元件的轉動可帶動該卡匣沿著其邊緣旋轉，使得該基板在該平台上方繞著垂直於該基板之板面的一中心軸進行繞軸轉動，並且該基板隨著該卡匣的轉動而在該卡匣內移動，使得該基板之表面的任一個區域不會始終維持在與該卡匣相接觸的位置，其中該卡匣之該邊緣和該轉動元件之表面分別包含彼此嚙合的齒輪嚙合部。
  2. 如請求項1之卡匣旋轉設備，其中該卡匣旋轉設備還包含：一支架，設置在該平台上方；以及一基座，用於承載該卡匣，其中該基座可拆裝地設置在該支架上，用於將該卡匣保持在該平台上方。
  3. 如請求項1之卡匣旋轉設備，其中該卡匣包含：一對檔板，彼此平行且間隔設置，其中該對檔板之間定義一用於放置該基板之容置空間，以及其中該轉動元件與該對檔板之邊緣接觸；以及複數個限位桿，設置在該對檔板之間，用於將該基板保持在該容置空間內，以及其中每一該限位桿上形成有一卡槽，用於提供該基板插放於其內。
  4. 如請求項3之卡匣旋轉設備，其中當該基板插放在該卡匣內時，至少一該限位桿之該卡槽之槽底壁與該基板之外側邊相隔一距離。
  5. 如請求項3之卡匣旋轉設備，其中該複數個限位桿彼此間隔設置並且形成一可供該基板進出該容置空間之通道口，以及其中該卡匣還包含一止擋件，該止擋件之相對兩端分別與該對檔板對應連接，並且該止擋件可拆裝地設置在該通道口，用於限制該基板通過該通道口。
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