CN209785894U - 卡匣旋转设备和卡匣 - Google Patents

Abstract

本揭示提供一种卡匣旋转设备和卡匣。卡匣旋转设备包含：一平台；一卡匣，放置在所述平台上方，用于承载一基板；以及一转动元件，通过其一转轴可绕轴转动地设置在所述平台上且与所述卡匣的边缘接触，其中所述转动元件的转动可带动所述卡匣沿着其边缘旋转，使得所述基板在所述平台上方绕着垂直于所述基板的板面的一中心轴进行绕轴转动，并且使所述基板在所述卡匣内移动。

Description

卡匣旋转设备和卡匣

技术领域

本揭示涉及一种旋转设备，特别是涉及一种卡匣旋转设备和适用于所述卡匣旋转设备的卡匣。

背景技术

现有的湿式蚀刻或洗净工艺是通过将多个基板插放在卡匣内，再将卡匣放入装有蚀刻液或清洗液的槽体内，以进行批次性的基板蚀刻或洗净处理。然而，由于放置在卡匣内的基板会与卡匣的卡槽的槽壁接触，使得工艺液体无法接触到基板与卡匣相接处的表面，而导致基板的局部区域无法与工艺液体充分反应。因此，基板在经过蚀刻处理之后，会在基板的表面与卡匣对应接触的区域产生痕迹，导致蚀刻均匀度不良。

再者，对于非圆形基板(例如矩形基板)来说，由于形状上的限制，非圆形基板无法在槽体内沿着其边缘转动。因此，非圆形基板尤其容易产生因为与卡匣保持接触而导致蚀刻不均匀的问题。

有鉴于此，有必要提出一种卡匣旋转设备和适用于所述卡匣旋转设备的卡匣，以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容

为解决上述现有技术的问题，本揭示的目的在于提供一种卡匣旋转设备和适用于所述卡匣旋转设备的卡匣，通过卡匣旋转设备来驱使卡匣转动，以带动放置在卡匣内的基板会在一定范围内移动，进而可避免基板的一特定区域始终维持在与卡匣相接触的位置。

为达成上述目的，本揭示提供一种卡匣旋转设备，包含：一平台；一卡匣，放置在所述平台上方，用于承载一基板；以及一转动元件，通过其一转轴可绕轴转动地设置在所述平台上且与所述卡匣的边缘接触，其中所述转动元件的转动可带动所述卡匣沿着其边缘旋转，使得所述基板在所述平台上方绕着垂直于所述基板的板面的一中心轴进行绕轴转动，并且使所述基板在所述卡匣内移动。

本揭示其中之一优选实施例中，所述卡匣旋转设备还包含：一支架，设置在所述平台上方；以及一基座，用于承载所述卡匣，其中所述基座可拆装地设置在所述支架上，用于将所述卡匣保持在所述平台上方。

本揭示其中之一优选实施例中，所述卡匣的所述边缘和所述转动元件的表面分别包含彼此啮合的齿轮啮合部。

本揭示其中之一优选实施例中，所述卡匣包含：一对档板，彼此平行且间隔设置，其中所述对档板之间定义一用于放置所述基板的容置空间，以及其中所述转动元件与所述对档板的边缘接触；以及多个限位杆，设置在所述对档板之间，用于将所述基板保持在所述容置空间内，以及其中每一所述限位杆上形成有一卡槽，用于提供所述基板插放于其内。

本揭示其中之一优选实施例中，当所述基板插放在所述卡匣内时，至少一所述限位杆的所述卡槽的槽底壁与所述基板的外侧边相隔一距离。

本揭示其中之一优选实施例中，所述多个限位杆彼此间隔设置并且形成一可供所述基板进出所述容置空间的通道口，以及其中所述卡匣还包含一止挡件，所述止挡件的相对两端分别与所述对档板对应连接，并且所述止挡件可拆装地设置在所述通道口，用于限制所述基板通过所述通道口。

本揭示还提供一种卡匣，包含：一对圆形档板，彼此平行且间隔设置，其中所述对圆形档板之间定义一用于放置一基板的容置空间；以及多个限位杆，分别设置在所述对圆形档板之间的不同位置，其中每一限位杆的相对两端分别与所述对圆形档板对应连接，以将所述基板保持在所述容置空间内，以及其中每一所述限位杆上形成有一卡槽，用于提供所述基板插放于其内，并且在一平面上，由所述多个限位杆的各自的卡槽所围绕形成的空间大于所述基板的面积，使得所述基板可在所述卡匣内移动。

本揭示其中之一优选实施例中，当所述基板插放在所述卡匣内时，至少一所述限位杆的所述卡槽的槽底壁与所述基板的外侧边相隔一距离。

本揭示其中之一优选实施例中，所述多个限位杆彼此间隔设置并且形成一可供所述基板进出所述容置空间的通道口，以及其中所述卡匣还包含一止挡件，所述止挡件的相对两端分别与所述对圆形档板对应连接，并且所述止挡件可拆装地设置在所述通道口，用于限制所述基板通过所述通道口。

本揭示其中之一优选实施例中，所述对圆形档板的边缘包含一齿轮啮合部。

相较于先前技术，本揭示通过将卡匣设计为可旋转的构型，并通过卡匣旋转设备来驱使卡匣转动，进而带动放置在卡匣内的基板旋转，使得基板会在一定范围内移动，以确保基板的表面的任一个区域不会始终维持在与卡匣相接触的位置。并且，当卡匣旋转设备设置在湿式工艺的系统中，且卡匣被放置在装有工艺液体的处理槽内时，通过转动元件带动卡匣转动，使得基板在平台上方绕着垂直于基板的板面的中心轴进行绕轴转动。藉此设计，基板会在卡匣的卡槽内的一定范围内移动，以确保工艺液体可以碰触到基板表面的每一个区域。

附图说明

图1显示本揭示的第一优选实施例的卡匣旋转设备的零件爆炸图；

图2显示图1的卡匣旋转设备的组装图；

图3显示本揭示的第一优选实施例的卡匣的零件爆炸图；

图4显示图3的卡匣组装并且旋转180度后沿着A-A割面线的局部剖面图；以及

图5显示本揭示的第二优选实施例的卡匣旋转设备的局部放大图。

具体实施方式

为了让本揭示的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本揭示优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

请参照图1和图2，图1显示本揭示的第一优选实施例的卡匣旋转设备1的零件爆炸图，以及图2显示图1的卡匣旋转设备1的组装图。卡匣旋转设备1适用于设置在湿式工艺的系统中。并且，本揭示的卡匣旋转设备1可将承载于其上的卡匣移动至湿工艺的处理槽中，并且驱动卡匣绕轴转动以带动卡匣内的基板在卡匣限定的范围内进行多方向的移动，以确保基板表面的每一区域皆可与处理槽内的工艺液体接触并反应完全。

如图1和图2所示，卡匣旋转设备1包含平台11、转动元件12、连接杆13、支架14、基座15、和卡匣16。平台11装设在连接杆13上，且平台11的承载面大致平行于水平面。转动元件12大致呈圆柱状，且转动元件12的内部设置有转轴121。在本揭示中，转动元件12通过其转轴121可绕轴转动地设置在平台11上。也就是说，转动元件12装设在平台11上的特定位置，且可在平台11上可绕着转轴121进行转动。在本实施例中，转动元件12的数量为2个，惟不局限于此。支架14组装在连接杆13上，且设置在平台11上方的相隔一距离的位置。优选地，支架14大致平行于平台11。基座15可拆装地设置在支架14上。具体来说，如图1所示，支架14包含一对平行的长杆141以及基座15包含一对长形的组装部151。又，如图2所示，当基座15设置在支架14上时，基座15的组装部151会抵靠在支架14的长杆141上。卡匣16是放置在平台11的上方。具体来说，基座15是用于承载卡匣16。即，通过将卡匣16设置在基座15上，并且将基座15连同卡匣16一起设置在支架14上，使得卡匣16可被确实地保持在平台11的上方。

请参照图3，其显示本揭示的第一优选实施例的卡匣16的零件爆炸图。卡匣16可用于承载至少一片基板10。优选地，卡匣16可承载多片基板10，以利于对所述多个基板10进行批次性的处理。卡匣16包含第一档板161、第二档板162、第一限位杆1631、第二限位杆1632、第三限位杆1633、第四限位杆1634(参照图4)、和止挡件165。优选地，第一档板161和第二档板162为圆形，且选用刚性材料。第一档板161和第二档板162彼此平行且间隔设置，第一档板161和第二档板162之间定义有用于放置基板10的容置空间167。第一限位杆1631、第二限位杆1632、第三限位杆1633、和第四限位杆1634分别设置在第一档板161和第二档板162之间的不同位置。在本实施例中，由于卡匣16承载的基板10为方形，故限位杆的数量优选为四个。在其他实施例中可以根据采用的基板形状而决定限位杆的数量，惟不局限于此。每一限位杆1631-1634的相对两端分别与第一档板161和第二档板162对应连接，以将基板10保持在容置空间167内。并且，每一限位杆1631-1634上形成有一排卡槽，以用于提供基板10插放于对应的一组卡槽之内。基板10放置在卡匣16内的具体结构关系将于后详述。

如图3所示，第一限位杆1631、第二限位杆1632、第三限位杆1633、和第四限位杆1634彼此间隔设置并且形成可供基板10进出容置空间167的通道口168。止挡件165可拆装地设置在第一档板161和第二档板162上，并且设置在对应于在通道口168的位置。具体来说，止挡件165包含相对的第一端1651和第二端1652。组装时，止挡件165的第一端1651穿过第一档板161上的通孔1611并朝第二档板162的方向前进，最终止挡件165的第一端1651会组装固定在第二档板162上，并且止挡件165的第二端1652会因通孔1611的孔径的限制而无法穿过通孔1611，进而保持在第一档板161上。藉此设计，当止挡件165组装在第一档板161和第二档板162上之后，止挡件165会限制基板10无法通过通道口168。

请参照图2和图4，其中图4显示图3的卡匣16组装并且旋转180度后沿着A-A割面线的局部剖面图。如图2所示，当卡匣16通过基座15放置在平台11的上方时，转动元件12会与卡匣16的边缘160接触。并且，当转动元件12绕其转轴121转动时，转动元件12会带动卡匣16沿着其边缘160旋转，进而使得基板10在平台上方绕着垂直于基板10的板面的中心轴17(如图4所示)进行绕轴转动。在本实施例中，转动元件12沿着逆时针方向绕轴转动，进而驱动卡匣16沿着顺时针方向绕轴转动，惟不局限与此。如图4所示，当卡匣16旋转180度后，基板10会从与抵靠在第三限位杆1633和第四限位杆1634的位置转变成抵靠在止挡件165的位置。具体来说，在一平面上，由第一限位杆1631、第二限位杆1632、第三限位杆1633、第四限位杆1634的各自的卡槽所围绕形成的空间18会大于基板10的面积。藉此设计，当基板10插放在卡匣16内时，至少一限位杆的卡槽的槽底壁会与基板10的外侧边相隔一距离。举例来说，基板10包含第一侧边101、第二侧边102、第三侧边103、和第四侧边104，其中当卡匣16位在如图3所示的位置时，基板10的第三侧边103会抵靠在第三限位杆1633的第三卡槽1643的第三槽底壁1663和抵靠在第四限位杆1634的第四卡槽1644的第四槽底壁1664，并且基板10的第一侧边101会与第一限位杆1631的第一卡槽1641的第一槽底壁1661和/或第二限位杆1632的第二卡槽1642的第二槽底壁1662相隔一距离。又，举例来说，当卡匣16旋转180度而到达如图4所示的位置时，基板10的第一侧边101会抵靠在止挡件165，并且基板10的第三侧边103会与第三限位杆1633的第三卡槽1643的第三槽底壁1663和与第四限位杆1634的第四卡槽1644的第四槽底壁1664相隔一距离D。因此，当基板10随着卡匣16转动时，基板10会在卡匣16的卡槽内的一定范围内移动，以确保基板10的表面的任一个区域不会始终维持在与卡匣相接触的位置。因此，当卡匣旋转设备1设置在湿式工艺的系统中并且卡匣16被放置在装有工艺液体的处理槽内时，通过转动元件12带动卡匣16转动，使得基板10在平台11上方绕着垂直于基板10的板面的中心轴17进行绕轴转动。藉此设计，基板10会在卡匣16的卡槽内的一定范围内移动，以确保工艺液体可以碰触到基板10表面的每一个区域。

请参照图5，其显示本揭示的第二优选实施例的卡匣旋转设备2的局部放大图。第二优选实施例的卡匣旋转设备2的结构大致相同于第一优选实施例的卡匣旋转设备1的结构，两者差别在于，第二优选实施例的卡匣旋转设备2的设置在平台21上转动元件22的外表面形成有第一齿轮啮合部222，并且放置在基座25上的卡匣26的边缘260形成有第二齿轮啮合部269。具体来说，第二齿轮啮合部269是形成在卡匣26的一对圆形档板的边缘260。转动元件22的第一齿轮啮合部222和卡匣26的第二齿轮啮合部269彼此啮合。藉此设计，可确保卡匣26会随着转动元件22的转动而同步移动。

综上所述，本揭示通过将卡匣设计为可旋转的构型，并通过卡匣旋转设备来驱使卡匣转动，进而带动放置在卡匣内的基板旋转，使得基板会在一定范围内移动，以确保基板的表面的任一个区域不会始终维持在与卡匣相接触的位置。并且，当卡匣旋转设备设置在湿式工艺的系统中，且卡匣被放置在装有工艺液体的处理槽内时，通过转动元件带动卡匣转动，使得基板在平台上方绕着垂直于基板的板面的中心轴进行绕轴转动。藉此设计，基板会在卡匣的卡槽内的一定范围内移动，以确保工艺液体可以碰触到基板表面的每一个区域。

以上仅是本揭示的优选实施方式，应当指出，对于本领域技术人员，在不脱离本揭示原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本揭示的保护范围。

Claims (10)

1.一种卡匣旋转设备，其特征在于，包含：

一平台；

一卡匣，放置在所述平台上方，用于承载一基板；以及

一转动元件，通过其一转轴可绕轴转动地设置在所述平台上且与所述卡匣的边缘接触，其中所述转动元件的转动可带动所述卡匣沿着其边缘旋转，使得所述基板在所述平台上方绕着垂直于所述基板的板面的一中心轴进行绕轴转动，并且使所述基板在所述卡匣内移动。

2.如权利要求1的卡匣旋转设备，其特征在于，所述卡匣旋转设备还包含：

一支架，设置在所述平台上方；以及

一基座，用于承载所述卡匣，其中所述基座可拆装地设置在所述支架上，用于将所述卡匣保持在所述平台上方。

3.如权利要求1的卡匣旋转设备，其特征在于，所述卡匣的所述边缘和所述转动元件的表面分别包含彼此啮合的齿轮啮合部。

4.如权利要求1的卡匣旋转设备，其特征在于，所述卡匣包含：

一对档板，彼此平行且间隔设置，其中所述对档板之间定义一用于放置所述基板的容置空间，以及其中所述转动元件与所述对档板的边缘接触；以及

多个限位杆，设置在所述对档板之间，用于将所述基板保持在所述容置空间内，以及其中每一所述限位杆上形成有一卡槽，用于提供所述基板插放于其内。

5.如权利要求4的卡匣旋转设备，其特征在于，当所述基板插放在所述卡匣内时，至少一所述限位杆的所述卡槽的槽底壁与所述基板的外侧边相隔一距离。

6.如权利要求4的卡匣旋转设备，其特征在于，所述多个限位杆彼此间隔设置并且形成一可供所述基板进出所述容置空间的通道口，以及其中所述卡匣还包含一止挡件，所述止挡件的相对两端分别与所述对档板对应连接，并且所述止挡件可拆装地设置在所述通道口，用于限制所述基板通过所述通道口。

7.一种卡匣，其特征在于，包含：

一对圆形档板，彼此平行且间隔设置，其中所述对圆形档板之间定义一用于放置一基板的容置空间；以及

多个限位杆，分别设置在所述对圆形档板之间的不同位置，其中每一限位杆的相对两端分别与所述对圆形档板对应连接，以将所述基板保持在所述容置空间内，以及其中每一所述限位杆上形成有一卡槽，用于提供所述基板插放于其内，并且在一平面上，由所述多个限位杆的各自的卡槽所围绕形成的空间大于所述基板的面积，使得所述基板可在所述卡匣内移动。

8.如权利要求7的卡匣，其特征在于，当所述基板插放在所述卡匣内时，至少一所述限位杆的所述卡槽的槽底壁与所述基板的外侧边相隔一距离。

9.如权利要求7的卡匣，其特征在于，所述多个限位杆彼此间隔设置并且形成一可供所述基板进出所述容置空间的通道口，以及其中所述卡匣还包含一止挡件，所述止挡件的相对两端分别与所述对圆形档板对应连接，并且所述止挡件可拆装地设置在所述通道口，用于限制所述基板通过所述通道口。

10.如权利要求7的卡匣，其特征在于，所述对圆形档板的边缘包含一齿轮啮合部。