KR940010173A - 웨이퍼 수납용기 및 웨이퍼 정렬장치 - Google Patents

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Abstract

여러 개의 반도체 웨이퍼를 수납하는 용기는 2개의 단벽과 2개의 측벽을 구비한다. 상기 용기에는 상기 웨이퍼를 끼우고 빼기위한 주개구와, 웨이퍼카운터가 액세스하는 부개구가 형성된다.
용기에는 간격을 두고 웨이퍼를 1매씩 지지하는 여러 개의 슬로트가 형성된다. 슬로트는 양 측벽의 내면에 형성되고 또한 용기의 안쪽을 향하여 끝이 넓어지게 개구하는 단면 V자형의 1쌍의 홈을 구비한다. 각 홈을 규정하는 한편의 면은, 단벽에 형성된 기준면이 수평면상에 위치하도록 용기가 배치되었을 때, 각 웨이퍼가 실질적으로 수평상태로 재치되는 유지면으로서 기능한다. 유지면은 제2 개구를 향하여 수속하는 수속부를 구비한다. 부개구에 인접하여 수속부에는, 웨이퍼의 측부에 맞닿는 내면을 가지는 충전체가 배설된다. 충전체의 내면은, 웨이퍼의 위치를 규제하여 웨이퍼가 각 유지면의 같은 높이의 부분에 재치되도록 한다.

Description

웨이퍼 수납용기 및 웨이퍼 정렬장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명에 관계된 웨이퍼 수납용기를 나타낸 사시도,
제8도는 제7도에 도시한 용기의 측벽 내면을 나타낸 부분 사시도,
제9도 A는 제7도에 도시한 용기의 측벽의 상세를 나타낸 단면도,
제9도 B는 제7도에 도시한 용기의 측벽의 변경예의 상세를 나타낸 단면도,
제10도는 제1 실시예에 관계된 용기의 슬로트를 나타낸 횡단평면도.

Claims (20)

  1. 실질적으로 원형인 여러 개의 웨이퍼를 수납하기 위한 웨이퍼 수납용기로서, 대향하여 배치된 제1및 제2의 단벽과, 상기 제1단벽에는 기준면이 형성되는 것과, 대향하여 배치되고, 또한 상기 제1및 제2단벽을 연결하는 제1 및 제2 측벽과, 상기 제1 및 제2 단벽과 상기 제1 및 제2 측벽에 의하여 규정되는 제2 개구과, 상기 제1 개구는 상기 웨이퍼(W)를 상기 용기(10)내에 대하여 끼우고 빼기 위한 개구로서 기능하는 것과, 상기 제1 및 제2 단벽과 상기 제1 및 제2 측벽에 의하여 규정되는 제2 개구와, 상기 제2 개구는 상기 제1 개구와 대향하여 배치되고, 또한 상기 제1 개구보다도 칫수적로 작은 것과, 상기 용기(10)내에 간격을 두고 상기 웨이펴(W)를 1매씩 지지하는 여러 개의 슬로트와 상기 슬로트는 상기 양측벽의 내면에 형성되고, 또한 상기 용기의 안 쪽을 향하여 끝이 넓어지게 개구하는 단면 V자형의 1쌍의 홈(21a)를 구비하는 것과, 각 홈(21a)을 규정하는 한 쪽의 면은, 상기 기준면이 수평면상에 위치하도록 상기 용기(10)가 배치되었을 때, 각 웨이퍼(W)가 실질적으로 수평상태로 재치되는 유지면(22)으로서 기능하는 것과, 상기 유지면(22)은 상기 제2 개구의 중심을 향하여 모이는 수속부(收束部)를 구비하는 것과. 각 슬로트(21)에 수납되는 각 웨이퍼(W)의 측부에 맞닿는 맞닿는 면과, 상기 맞닿는 면은 각 유지면(22)의 각수속부상에 배치되고, 또한 각 웨이펴(W)의 위치를 규제하여 각 웨이퍼(W)가 각 유지면(22)의 같은 높이의 부분에 재치되는 것을 구비하는 웨이펴 수납용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2측벽이 상기 제2개구의 중심을 향하여 모이는 수속벽(24)을 구비하고, 상기 유지면(22)의 상기 수속부가 상기 수속벽(24)의 내면에 형성되는 웨이퍼 수납용기.
  3. 제2항에 있어서, 상기 맞닿는 면이, 상기 용기(10)의 측벽과는 별체로서 상기 수속부상에 배설된 충전체(23)의 내면으로 이루어지는 웨이퍼 수납용기.
  4. 제2항에 있어서, 상기 맞닿는 면이, 상기 용기의 측벽의 내면의 일부로 이루어지는 웨이퍼 수납용기.
  5. 실질적으로 원형인 여러 개의 웨이퍼를 수납하기 위한 웨이퍼 수납용기로서, 대향하여 배치된 제1 및 제2단벽과 상기 제1단벽에는 기준면이 형성되는 것과, 대향하여 배치되고, 또한 상기 제1 및 제2단벽을 연결하는 제1 및 제2 측벽과, 상기 제1 및 제2 단벽과, 상기 제1 및 제2 측벽에 의하여 규정되는 제1 개구와, 상기 제1개구는 상기 웨이퍼를 상기 용기내에 대하여 끼우고 빼기 위한 개구로서 기능하는 것과, 상기 제1 및 제2 단벽과 상기 제1 및 제2측벽에 의하여 규정되는 제2개구와, 상기 제2개구는 상기 제1개구와 대향하여 배치되고, 또한 상기 제1 개구보다도 칫수적으로 작은 것과, 상기 용기 내에 간격을 두고 상기 웨이퍼를 1매씩 지지하는 여러 개의 슬로트와, 상기 슬로트는 상기 양 측벽의 내면에 형성되고, 또한 상기 용기의 안쪽을 향하여 끝이 넓어지게 개구하는 단면 V자형이 1쌍의 홈을 구비하는 것과, 각 홈을 규정하는 한편의 면은 상기 기준면이 수평면상에 위치하도록 상기 용기가 배치되었을 때, 각 웨이퍼가 실질적으로 수평상태가 재치되는 유지면으로서 기능하는 것과, 상기 유지면은, 상기 제2 개구의 중심을 향하여 모이는 수속부를 구비하는 것과, 각 유지면상에 배설된 올림체와 상기 올림체는 각 슬로트에 수납되는 각 웨이퍼의 하면에 접촉하는 상기 기준면과 평행인 상면을 가지는 것과, 상기 올림체는 각 슬로트에 수납되는 각 웨이퍼의 중심을 끼고, 상기 제1 및 제2개구쪽에 위치하는 제1 및 제2 부분에 구비하는 것을 구비하는 웨이퍼의 수납용기.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1및 제2측벽이 상기 제2개구의 중심을 향하여 모이는 수속벽을 구비하고, 상기 유지면의 상기 수속부가 상기 수속벽의 내면에 형성되는 웨이퍼의 수납용기.
  7. 제6항에 있어서, 상기 올림체의 상기 용기의 안쪽에 면하는 측면이 경사면으로서 형성되는 웨이퍼의 수납용기.
  8. 제7항에 있어서, 상기 올림체의 상기 제1 및 제2부분이 연속적으로 형성되는 웨이퍼의 수납용기.
  9. 제7항에 있어서, 상기 올림체의 상기 제1 및 제2부분이 분리하여 형성되는 웨이퍼의 수납용기.
  10. 실질적으로 원형인 여러 개의 웨이퍼를 수납하기 위한 웨이퍼 수납용기로서, 대향하여 배치된 제1및 제2단벽과 상기 제1단벽에는 기준면이 형성되는 것과, 대향하여 배치되고, 또한 상기 제1및 제2단벽을 연결하는 제1 및 제2 측벽과, 상기 제1 및 제2 단벽과 상기 제1 및 제2 측벽에 의하여 규정되는 제1 개구와, 상기 제1 개구는 상기 웨이퍼를 상기 용기내에 대하여 끼우고 빼기 위한 개구로서 기능하는 것과, 상기 제1 및 제2단벽과 상기 제1 및 제2 측벽에 의하여 규정되는 제2개구와, 상기 제2개구는 상기 제1개구와 대향하여 배치되고 또한 상기 제1개구보다도 칫수적으로 작은 것과, 상기 용기내에 간격을 두고 상기 웨이퍼를 1매씩 지지하는 여러 개의 슬로트와, 상기 슬로트는, 상기 양 측벽의 내면에 형성되고 또한 상기 용기의 안쪽을 향하여 끝이 넓어지게 개구하는 단면 V자형의 1쌍의 홈을 구비하는 것과, 각 홈을 규정하는 한편의 면은, 상기 기준면이 수평면상에 위치하도록 상기 용기가 배치되었을 때, 각 웨이퍼가 실질적으로 수평상태로 재치되는 유지면으로서 기능하는 것과, 상기 유지면은 상기 제2개구의 중심을 향하여 모이는 수속부를 구비하는 것과, 상기 기준면과 수평인 면에 대한 상기 유지면이 이루는 각도는 약 1~3°이고, 상기 유지면과 대향하는 상기 홈의 다른편의 면의 이루는 각도는 약 9∼15°로 설정되는 것을 구비하는 웨이퍼 수납용기.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1 및 제2측벽이 상기 제2개구의 중심을 향하여 모이는 수속벽을 구비하고, 상기 유지면의 상기 수속부가 상기 수속벽의 내면에 형성되는 웨이퍼 수납용기.
  12. 용기내에 수납된 실질적으로 원형인 여러 개의 웨이퍼를 동시에 정렬시키는 장치로서, 대향하여 배치된 제1 및 제2단벽과, 상기 제1 단벽에는 제1기준면이 형성되는 것과, 대향하여 배치되고 또한 상기 제1 및 제2단벽을 연결하는 제1 및 제2측벽과, 상기 제1 및 제2 단벽과 상기 제1 및 제2측벽에 의하여 규정되는 제1 개구와, 상기 제1 개구는 상기 웨이퍼를 상기 용기내에 대하여 끼우고 빼기 위한 개구로서 기능하는 것과, 상기 제1 및 제2 단벽과 상기 제1 및 제2단벽에 의하여 규정되는 제2개구와, 상기 제2개구는 상기 제1 개구와 대향하여 배치되고 또한 상기 제1 개구보다도 칫수적으로 작은 것과, 상기 제2개구를 끼고 배설된 틀체와, 상기 틀체의 단면에 제2 기준면이 형성되는 것과, 상기 용기 내에 간격을 두고 상기 웨이퍼를 1매씩 지지하는 여러 개의 슬로트와, 상기 슬로트는, 상기 양 측벽의 내면에 형성되고, 또한 상기 용기의 안쪽을 향하여 끝이 넓어지게 개구하는 단면 V자형의 1쌍의 홈을 구비하는 것과, 각 홈을 규정하는 한 쪽의 면은, 상기 제1 기준면이 수평면상에 위치하도록 상기 용기가 배치되었을 때, 각 웨이퍼가 실질적으로 수평상태로 재치되는 유지면으로서 기능하는 것과, 상기 유지면은. 상기 제2 개구와 중심을 향하여 모이는 수소구를 구비하는 것을 구비하는 용기와, 상기 제2 기준면과 접촉하고, 이것이 수평면상에 위치하도록 상기 용기를 재치하는 제1판과, 상기 제1판에 대하여 직각으로 배설된 제2 판과, 상기 제1 판상에 상기 용기가 재치되었을 때, 상기 제2 판은 상기 제1 기준면에 대향하는 것과, 상기 제1 및 제2판을 일체적으로 실질적으로 90°회전 시키고, 상기 용기를 상기 제1판에 재치된 상태로부터, 상기 제2판에 재치되고 또한 상기 제1기준면이 수평면상에 위치하는 상태로 하는 자세 변환수단과, 상기 제2개구로부터 상기 용기내에 침입하고, 상기 웨이펴의 측부에 맞닿아서 여러 개의 상기 웨이퍼를 동시에 상기 제1개구쪽으로 이동시키는 규제수단과, 상기 규제수단은 여러 개의 상기 웨이퍼의 측부와 1 수평면에서 접촉하는 장치를 구비하는 웨이퍼 정 렬장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 규제수단이, 상기 제1판에 의하여 상기 용기가 지지된 상태에서 상기 제2 개구로부터 상기 용기내에 침입하는 웨이퍼 정렬장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 자세변환 수단이, 상기 제1 및 제2판과 함께 상기 규제수단을 일체적으로 실질적으로 90°회전시키는 웨이퍼 정렬장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 제1 판상에 상기 용기의 위치를 결정하는 가이드가 배설되는 웨이퍼 정렬장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 규제수단이 상기 웨이퍼의 측부에 맞닿는 끝단면을 가지는 1쌍의 규제부재를 구비하는 웨이퍼 정렬장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 규제부재를 상기 웨이퍼에 대하여 접근하거나 떨어지도록 구동하는 수다을 더욱 구비하는 웨이퍼 정렬장치.
  18. 제16항에 있어서, 상기 규제부재가 상기 제1판에 대하여 상대적으로 고정되는 웨이퍼 정렬장치.
  19. 제16항에 있어서, 상기 1쌍의 규제부재의 사이에 통로가 형성되고, 상기 제1 판상에 상기 용기가 재치되었을때, 상기 통로를 통하여 상기 웨이퍼의 매수를 계측하는 카운터가 상기 웨이퍼에 액세스하는 웨이퍼 정렬장치.
  20. 제12항에 있어서, 상기 규제수단이, 상기 제1 기준면이 수평면상에 위치하는 상태가 된 후에 상기 제2 개구로부터 상기 용기내에 침입하는 웨이퍼 정렬장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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