KR20110062827A

KR20110062827A - 웨이퍼 분리장치

Info

Publication number: KR20110062827A
Application number: KR1020090119667A
Authority: KR
Inventors: 곽노권
Original assignee: 한미반도체 주식회사
Priority date: 2009-12-04
Filing date: 2009-12-04
Publication date: 2011-06-10

Abstract

본 발명은 얇게 슬라이스된 복수개의 웨이퍼들이 적층된 웨이퍼 스택(stack)이 수조 내에 재치된 상태에서 상기 웨이퍼 스택으로부터 웨이퍼를 하나씩 분리하여 다른 공정 위치로 반송하는 웨이퍼 분리장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 분리장치는 물이 채워진 수조와; 상기 수조 내부에 담겨지고, 복수개의 웨이퍼가 수직 상태로 적층된 웨이퍼 스택이 재치되는 웨이퍼 캐리어와; 상기 수조 내의 물을 가열하여 상기 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층(水層)이 형성되도록 하는 히터를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명에 따르면, 히터에 의해 수조 내의 물이 가열되면서 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기가 팽창하여 웨이퍼들 사이 공간의 외부로 배출되고, 웨이퍼들 사이가 수층으로 된다. 따라서, 웨이퍼를 분리할 때 상기 수층이 윤활 작용을 하여 웨이퍼의 분리가 매우 원활하게 이루어지게 된다.

웨이퍼, 분리, 수조, 히터

Description

웨이퍼 분리장치{Wafer Splitter}

본 발명은 웨이퍼 분리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 얇게 슬라이스된 복수개의 웨이퍼들이 적층된 웨이퍼 스택(stack)이 수조 내에 재치된 상태에서 상기 웨이퍼 스택으로부터 웨이퍼를 하나씩 분리하여 다른 공정 위치로 반송하는 웨이퍼 분리장치에 있어서, 수조 내의 물을 가열하여 웨이퍼 사이의 공기를 팽창시켜 웨이퍼와 웨이퍼 사이가 물로 이루어진 수층(水層)이 되도록 하고, 이 수층이 웨이퍼 분리시 윤활작용을 하여 웨이퍼 분리가 매우 원활하고 확실하게 이루어질 수 있도록 한 웨이퍼 분리장치에 관한 것이다.

미세 전자공학에 있어서 반도체 재료로 구성된 웨이퍼는 미세 전자 부품의 생산을 위한 기판으로서 사용된다. 적절한 재료로는 예컨대 Ⅱ/Ⅵ 화합물 반도체, Ⅲ/Ⅴ 화합물 반도체, 또는 게르마늄이나 특히 유용한 실리콘과 같은 원소 반도체이다.

반도체 웨이퍼는 먼저 원기둥 형태의 단결정 반도체 잉곳을 수 cm 내지 수십 cm에 이르는 길이의 잉곳 부재로 절단한 후, 이들 잉곳 부재를 두께가 얇은 웨이퍼로 슬라이싱함으로써 제조된다.

상기와 같이 얇게 슬라이스된 반도체 웨이퍼들은 수조 내에 담겨져 세정 등의 소정의 처리가 된 다음 하나씩 분리되어 후공정 위치로 반송된다.

그런데, 상기 반도체 웨이퍼들은 복수개가 적층된 상태(이를 웨이퍼 스택이함)로 수조 내에 담겨져 있으며, 수압에 의해 서로 밀착된 상태를 유지하기 때문에 웨이퍼 스택의 일측 끝단부에서부터 웨이퍼를 하나씩 분리할 때 끝단에 위치하는 웨이퍼가 다른 웨이퍼로부터 쉽게 분리되지 않아 작업이 중단되거나, 한번에 2장 이상의 웨이퍼가 분리되어 후공정에서 별도의 처리를 수행해야 하므로 작업 효율 및 생산성이 저하되는 문제가 발생하게 된다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 복수개의 웨이퍼들이 적층된 웨이퍼 스택이 수조 내에 담겨진 상태에서 상기 웨이퍼 스택에서 웨이퍼를 한 장씩 분리하는 공정을 수행함에 있어서, 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이의 공간에 존재하는 공기를 팽창시켜 공간 외부로 배출시킴으로써 웨이퍼 사이의 공간을 물로 이루어진 수층(水層)(layer of water)이 되도록 하고, 상기 수층이 웨이퍼 분리시 윤활 작용을 하여 웨이퍼 분리가 원활하고 확실하게 이루어질 수 있도록 한 웨이퍼 분리장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 물이 채워진 수조와; 상기 수조 내부에 담겨지고, 복수개의 웨이퍼가 수직 상태로 적층된 웨이퍼 스택이 재치되는 웨이퍼 캐리어와; 상기 수조 내의 물을 가열하여 상기 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층(水層)이 형성되도록 하는 히터를 포함하여 구성된 웨이퍼 분리장치를 제공한다.

여기서, 상기 히터는 수조 내의 물을 10~90℃ 의 온도범위로 가열하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 물이 채워진 수조와; 상기 수조 내부에 담겨지고, 복수개의 웨이퍼가 수직 상태로 적층된 웨이퍼 스택이 재치되는 웨이퍼 캐리어와; 상기 수조 내의 물을 가열하여 상기 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존 재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층(水層)이 형성되도록 하는 히터와; 상기 캐리어의 일측에 설치되어, 캐리어에 재치된 웨이퍼 스택의 일측 단부로 유체를 분사하여 웨이퍼 스택의 일단부에 위치한 웨이퍼를 다른 웨이퍼들로부터 분리하는 분리용 노즐과; 상기 웨이퍼 스택의 일단부에 위치한 웨이퍼를 흡착한 후 수직 방향을 따라 상향 이송하는 픽커를 포함하여 구성된 웨이퍼 분리장치가 제공된다.

본 발명의 또 다른 한 형태에 따르면, 물이 채워진 수조와; 상기 수조 내부에 담겨지고, 복수개의 웨이퍼가 수평 상태로 적층된 웨이퍼 스택이 재치되는 웨이퍼 캐리어와; 상기 수조 내의 물을 가열하여 상기 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층(水層)이 형성되도록 하는 히터를 포함하여 구성된 웨이퍼 분리장치가 제공된다.

이러한 본 발명에 따르면, 히터에 의해 수조 내의 물이 가열되면서 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기가 팽창하게 되어 웨이퍼 사이의 공간이 벌어지면서 공기가 상기 공간 외부로 배출되고, 이에 따라 모세관 현상 등에 의해 웨이퍼 사이의 공간이 물로 이루어진 층, 즉 수층(水層)(layer of water)이 형성된다. 따라서, 웨이퍼를 분리할 때 웨이퍼 사이의 수층이 윤활 작용을 하여 웨이퍼의 분리가 원활하게 이루어진다.

이와 동시에, 수조 내의 물의 온도가 상승함에 따라 물의 표면 장력 및 점성이 낮아지게 된다. 따라서, 웨이퍼 분리가 더욱 원활하게 이루어져 웨이퍼 미분리 혹은 한번에 다수의 웨이퍼가 분리됨에 따른 문제를 방지할 수 있는 효과가 있다.

특히, 웨이퍼의 구경이 300㎜ 이상으로 대구경화되고 있는 추세에 있는데, 본 발명과 같이 히터에 의해 수조 내의 물을 가열함으로써 웨이퍼와 웨이퍼 사이가 수층이 되도록 하여 웨이퍼 분리가 원활해지게 하면 직경이 300㎜ 또는 450㎜ 인 대구경 웨이퍼도 쉽고 확실하게 분리시킬 수 있다.

이와 더불어, 두께가 매우 얇고(150~220㎛) 취성이 높은 태양광 웨이퍼(PV wafer)의 경우에도 쉽고 확실하게 분리할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 히터에 의해 물이 가열되면 웨이퍼의 연성이 증가하게 된다. 따라서, 픽커가 웨이퍼를 진공 흡착할 때 충격에 의한 웨이퍼 파손이나 손상 가능성이 현저히 줄어드는 이점도 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 웨이퍼 분리장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 웨이퍼 분리장치의 구성을 개략적으로 나타낸 것으로, 이 첫번째 실시예의 웨이퍼 분리장치는 물이 채워진 수조(10)와, 상기 수조(10) 내부에 설치되며 복수개의 웨이퍼(W)들이 수직하게 세워진 상태로 적층된 웨이퍼 스택(WS)이 재치되는 캐리어(20)와, 상기 수조(10) 내의 물을 가열하여 웨이퍼 스택(WS)의 웨이퍼(W)들 사이 공간이 수층이 되도록 하는 히터(50)를 포함하여 구성된다.

도면에 도시하지는 않았으나, 상기 캐리어(20)의 외측에는 수조(10)의 내외 측으로 이동 가능하게 구성되어, 상기 웨이퍼 스택(WS)의 후단부에서부터 웨이퍼(W)를 한 장씩 진공 흡착하여 후공정 위치로 이송하는 픽커가 설치되어 있다. 여기서, 상기 픽커(미도시)에 의한 웨이퍼(W)의 이송 방향은 픽커(미도시)에 흡착된 웨이퍼의 표면과 평행을 이루는 것이 바람직하다.

또한, 상기 캐리어(20)의 상단부에는 상기 픽커(미도시)에 의해 웨이퍼 스택(WS)에서 웨이퍼(W)가 분리될 때, 픽커에 흡착된 웨이퍼(W)와 대향하고 있는 바로 앞의 웨이퍼(W)가 함께 딸려 나와 이송되는 것을 방지하기 위하여 픽커에 흡착된 웨이퍼와 대향한 웨이퍼의 상단부가 걸려지는 스토퍼(25)가 설치되는 것이 바람직하다.

상기 히터(50)는 수조(10)의 하단부 내측에 설치되어 수조(10) 내의 물을 설정된 온도범위, 예컨대 10~90℃ 의 온도범위로 가열함으로써 웨이퍼 스택(WS)의 웨이퍼(W) 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼(W) 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층이 형성되도록 함으로써 웨이퍼 분리가 원활하고 확실하게 이루어지도록 한다. 이를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 2에 도시된 웨이퍼의 확대 영상 및 특정 구간의 표면 높이 그래프를 통해 알 수 있는 바와 같이, 잉곳에서 슬라이스된 웨이퍼(W)의 표면은 매우 미세하게 우툴두툴하다. 따라서, 복수개의 웨이퍼(W)들을 서로 밀착시켜 적층하여 수조(10) 내부에 투입하더라도 웨이퍼(W) 사이의 표면에 공기가 존재하게 된다.

이 때, 상기 히터(50)로 수조(10) 내의 물을 가열하게 되면, 도 3에 도시한 것과 같이 웨이퍼(W)들 사이에 존재하는 공기가 열에 의해 팽창하여 웨이퍼(W)들에 서로에 대해 밀어내는 힘을 발생시키게 된다. 이 때, 웨이퍼 스택(WS)의 최종 단부에 위치하는 웨이퍼(W)의 외면에는 아무런 지지체가 없기 때문에 이 최종 웨이퍼(W)는 공기의 힘에 의해 외측으로 밀려나 웨이퍼(W)의 사이 공간이 벌어지게 되고, 팽창된 공기는 부력에 의해 웨이퍼 사이 공간 외부로 배출된다. 그 결과, 이전의 공기가 차지하고 있던 공간이 벌어진 틈을 통해 유입되는 물로 대체되고, 웨이퍼 사이 공간은 물로 이루어진 수층이 형성되면서 웨이퍼(W)들이 서로 이격된다.

이 상태에서 픽커(미도시)를 이용하여 웨이퍼 스택(WS)의 후단부에 위치한 웨이퍼(W)를 진공 흡착하여 수직 상승하면, 웨이퍼(W) 사이의 수층이 윤활 작용을 하여 웨이퍼(W) 분리가 원활하게 이루어지게 되는 것이다.

이와 더불어, 상기 히터(50)에 의해 물이 가열되면서 물 분자의 운동이 활발해져 물의 점성이 낮아짐과 더불어 표면장력도 함께 낮아지게 된다. 따라서, 웨이퍼(W)의 분리가 더욱 원활하게 이루어질 수 있다.

또한, 물이 가열되어 수온이 상승하게 되면, 웨이퍼(W)들의 연성은 증가하게 된다. 이는 상기 픽커(미도시)가 웨이퍼(W)를 진공 흡착할 때 충격에 의한 웨이퍼(W) 파손 가능성을 줄여주는 부가적인 효과도 제공한다.

이러한 히터(50)에 의해 웨이퍼 분리를 원활하게 하는 작용은 웨이퍼 스택(WS)이 수평 상태로 적재된 경우에도 동일하게 작용한다.

즉, 도 4에 도시된 두번째 실시예에서와 같이, 웨이퍼 스택(WS)이 수조(10) 내의 캐리어(20)에 수평하게 재치되고, 웨이퍼 스택(WS)의 최상단 웨이퍼(W)가 수평하게 반출되는 구조의 웨이퍼 분리장치에 있어서도 수조(10) 내부에 히터(50)를 설치하여, 웨이퍼(W) 사이의 공기를 팽창시켜 웨이퍼(W)와 웨이퍼(W) 사이의 공간을 벌어지게 함과 동시에 웨이퍼(W) 사이 공간에 수층이 형성되도록 하고, 웨이퍼 분리시 상기 수층이 윤활 작용을 하도록 하여 웨이퍼 분리가 원활하게 이루어지도록 할 수 있을 것이다.

이 두번째 실시예에서 상기 웨이퍼 스택(WS)의 최상단에 위치하는 웨이퍼(W)의 분리는 전술한 실시예와 같이 별도의 픽커(미도시)에 의해서 이루어질 수도 있지만, 웨이퍼 스택(WS)의 상단에 유체를 분사하는 웨이퍼 분리용 노즐(30)을 설치하여 상기 웨이퍼 스택(WS)의 최상단에 위치하는 웨이퍼(W)를 상기 분리용 노즐(30)에서 분사되는 유체의 힘으로 분리시킴과 동시에 캐리어 일측의 이송수단(미도시)으로 이동시킬 수도 있을 것이다.

물론, 이 두번째 실시예의 웨이퍼 분리장치 역시 웨이퍼 스택(WS)에서 웨이퍼(W)가 분리될 때, 분리 대상 웨이퍼(W)와 대향하고 있는 바로 아래의 웨이퍼(W)가 함께 딸려 나와 이송되는 것을 방지하기 위한 스토퍼(25)가 캐리어(10)의 일측에 설치되는 것이 바람직하다.

그리고, 전술한 실시예들은 상기 히터(50)가 수조(10)의 하단부 내측에 설치되어 물을 가열하는 것으로 예시하였지만, 이와 다르게 히터(50)를 캐리어(20)의 일측부에 설치하거나, 수조(10)의 벽면에 부착되게 설치할 수도 있을 것이다.

다음으로, 도 5를 참조하여 본 발명의 세번째 실시예에 따른 웨이퍼 분리장치의 구성 및 작동에 대해 설명한다.

도 5를 참조하면, 세번째 실시예에 따른 웨이퍼 분리장치는 수조(10) 내부에 설치되는 캐리어(20)와, 상기 캐리어(20) 내에서 일정 각도로 경사지게 설치되어 웨이퍼 스택(WS)이 일정 각도(θ)로 경사진 상태로 재치되도록 지지하는 경사지지판(21)과, 상기 캐리어(20)에 재치된 웨이퍼 스택(WS)의 후단부 상측에서 물을 분사하여 웨이퍼 스택(WS)의 후단부에 위치하는 웨이퍼(W)를 다른 웨이퍼들로부터 분리시키는 분리용 노즐(30)과, 상기 경사지지판(21)의 반대편에 설치되어 웨이퍼 스택(WS)의 끝단에서 분리되는 최종 웨이퍼(W)를 지지하는 전도방지부(22)(顚倒防止部)와, 상기 웨이퍼 스택(WS)의 일단부에서부터 한 장씩 분리되는 웨이퍼(W)를 진공 흡착하여 후공정 위치로 이송하는 픽커(40) 및, 상기 수조(10) 내의 물을 가열하여 웨이퍼 스택(WS)의 웨이퍼(W)들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층이 형성되도록 하는 히터(50)를 포함하여 구성된다.

도면에 나타내지는 않았으나, 상기 수조(10)의 상측에는 캐리어(20)를 수평 방향으로 임의의 위치로 이동시키는 캐리어 구동유닛이 설치된다. 상기 캐리어 구동유닛은 풀리와 벨트 및 모터로 이루어진 선형운동시스템, 볼스크류 및 모터로 이루어진 선형운동시스템 등 공지의 선형운동시스템을 이용하여 구성될 수 있다.

상기 웨이퍼 스택(WS)은 캐리어(20) 내의 경사지지판(21)에 의해 수직 방향에 대해 일정 각도(θ)만큼 기울어진 상태로 재치된다.

그리고, 상기 전도방지부(22)에는 웨이퍼 스택(WS) 쪽으로 물을 분사하는 분사노즐(미도시)이 구성됨이 바람직하다.

또한, 상기 캐리어(20)의 일측에는 웨이퍼 스택(WS)의 최종 웨이퍼(W)가 웨이퍼분리용 노즐(14)에 의해 분리될 수 있는 위치로 이동했는지를 감지하는 센서 (미도시)가 설치된다.

상기 픽커(40)는 캐리어(20)의 외측에서 수직 및 수평 이동 가능하게 설치되며, 웨이퍼 스택(WS)의 후단부에 위치한 웨이퍼(W)를 진공 흡착하여 수직 방향 또는 수직 방향에 대해 일정 각도(θ)만큼 기울어진 방향으로 상향 이동하여 웨이퍼(W)를 수조 외부로 반출한다. 이 때, 상기 픽커(40)에 의한 웨이퍼(W)의 이송 방향은 픽커(40)에 흡착된 웨이퍼의 표면과 평행을 이루는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 캐리어(20)의 상단부에는 상기 픽커(40)에 의해 웨이퍼(W)가 반출될 때, 픽커(40)에 흡착된 웨이퍼(W)와 대향하고 있는 웨이퍼가 함께 딸려 나오면서 이송되는 것을 방지하기 위한 스토퍼(25)가 설치되는 것이 바람직하다.

이 세번째 실시예의 히터(50) 역시 전술한 실시예들의 히터(50)와 마찬가지로 수조(10)의 하단부 내측에 설치되어 수조(10) 내의 물을 설정된 온도범위, 예컨대 10~90℃ 의 온도범위로 가열함으로써 웨이퍼 스택(WS)의 웨이퍼(W) 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼(W) 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층이 형성되도록 함으로써 웨이퍼 분리가 원활하고 확실하게 이루어지도록 한다.

이하, 상기와 같이 구성된 세번째 실시예에 따른 웨이퍼 분리장치의 작동에 대해 상세히 설명한다.

캐리어(20) 내측에 웨이퍼 스택(WS)을 재치하고 캐리어 구동유닛을 가동시키면, 캐리어(20)가 전도방지부(22) 쪽으로 이동한다. 상기 캐리어(20)는 웨이퍼 스택(WS)의 끝단에 위치한 웨이퍼가 분리용 노즐(30)의 하측에 위치하게 되면 정지한다. 이 때, 상기 웨이퍼 스택(WS)은 경사지지판(21)에 의해 비스듬하게 세워진 상 태를 유지한다.

이 상태에서 상기 분리용 노즐(30)에서 물이 분사되고, 분사된 물은 웨이퍼 스택(WS)의 후단부에 위치한 웨이퍼(W)들 사이로 파고들면서 웨이퍼(W)의 후단부에 위치한 웨이퍼들을 기립시키면서 분리시킨다. 상기 웨이퍼 스택(WS)에서 분리되는 웨이퍼(W)는 전도방지부(22)에 의해 반대편으로 쓰러지지 않고 지지되면서 수직한 상태로 된다.

이어서, 세퍼레이팅부(10)의 전도방지부(22) 상측에서 픽커(20)가 수직 하강한 다음 수평하게 전진하여 전도방지부(22)에 지지되어 있는 최후단부의 웨이퍼(W)를 진공흡착한 다음, 수직 상승하여 수조(10) 밖으로 반출한다. 이 때, 전술한 것처럼 수조 내의 물은 히터(50)에 의해 가열되고, 웨이퍼(W)들 사이의 공기가 팽창되면서 빠져나가 웨이퍼 사이 공간이 수층(水層)으로 이루어져 있으므로, 수층이 충분한 윤활 작용을 하여 웨이퍼가 원활하게 분리될 수 있게 된다.

또한, 수조(10) 내의 물의 온도가 상승하여 웨이퍼(W)의 연성이 증가한 상태이므로 상기 픽커(40)가 웨이퍼(W)를 흡착할 때 웨이퍼(W)가 쉽게 깨지거나 손상되지 않고 픽커(40)에 진공 흡착될 수 있다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 히터(50)가 수조(10) 내의 물을 설정 온도범위로 가열하여 웨이퍼(W) 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 공간 외부로 배출시킴으로써 웨이퍼 사이를 수층으로 만들고, 상기 수층이 웨이퍼 분리시 윤활작용을 하여 웨이퍼 스택(WS)에서 최종 웨이퍼(W)가 원활하고 확실하게 분리될 수 있는 이점을 얻을 수 있다.

특히, 최근들어 웨이퍼의 구경이 300㎜나 450㎜ 등으로 대구경화되고 있는데, 본 발명에서와 같이 히터(50, 150)를 이용하여 웨이퍼와 웨이퍼 사이를 수층으로 하여 웨이퍼 분리가 원활해지도록 함으로써 대구경의 웨이퍼도 쉽게 분리시킬 수 있다.

전술한 본 발명에 따른 웨이퍼 분리장치의 실시예는 단지 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시 목적으로 제시된 것으로 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 첨부된 특허청구범위에 기재된 기술 사상의 범주 내에서 다양한 변경 및 실시가 가능할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 분리장치의 첫번째 실시예의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도

도 2는 웨이퍼의 표면을 확대하여 나타낸 확대 영상

도 3은 도 1의 웨이퍼 분리장치의 히터에 의해 웨이퍼 사이의 공기가 팽창하는 현상을 개략적으로 나타낸 확대 단면도

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 분리장치의 두번째 실시예의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도

도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 분리장치의 세번째 실시예의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 수조 20 : 캐리어

30 : 분리용 노즐 40 : 픽커

50 : 히터 W : 웨이퍼

WS : 웨이퍼 스택(wafer stack)

Claims

물이 채워진 수조와;

상기 수조 내부에 담겨지고, 복수개의 웨이퍼가 수직 상태로 적층된 웨이퍼 스택이 재치되는 웨이퍼 캐리어와;

상기 수조 내의 물을 가열하여 상기 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층(水層)이 형성되도록 하는 히터를 포함하여 구성된 웨이퍼 분리장치.
제1항에 있어서, 상기 히터는 수조 내의 물을 10~90℃ 의 온도범위로 가열하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 스택은 수직방향에서 일정 각도(θ) 만큼 기울어진 상태로 상기 캐리어에 재치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐리어의 외측에 이동 가능하게 설치되어, 상기 캐리어에 재치된 웨이퍼 스택의 일단부에 위치한 웨이퍼를 흡 착한 후 수직 방향 또는 수직방향에서 일정 각도(θ)만큼 기울어진 상태로 상향 이송하는 픽커를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제4항에 있어서, 상기 픽커에 의한 웨이퍼의 이송 방향은 상기 픽커에 흡착된 웨이퍼의 표면과 평행을 이루는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제4항에 있어서, 상기 픽커에 흡착된 웨이퍼와 대향하고 있는 웨이퍼의 이송을 방지하기 위한 스토퍼를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
물이 채워진 수조와;

상기 수조 내부에 담겨지고, 복수개의 웨이퍼가 수직 상태로 적층된 웨이퍼 스택이 재치되는 웨이퍼 캐리어와;

상기 수조 내의 물을 가열하여 상기 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층(水層)이 형성되도록 하는 히터와;

상기 캐리어의 일측에 설치되어, 캐리어에 재치된 웨이퍼 스택의 일측 단부 로 유체를 분사하여 웨이퍼 스택의 일단부에 위치한 웨이퍼를 다른 웨이퍼들로부터 분리하는 분리용 노즐과;

상기 웨이퍼 스택의 일단부에 위치한 웨이퍼를 흡착한 후 수직 방향을 따라 상향 이송하는 픽커를 포함하여 구성된 웨이퍼 분리장치.
제7항에 있어서, 상기 캐리어의 일측 단부에 설치되어 상기 웨이퍼 스택의 일단부에서 분리되는 웨이퍼가 쓰러지지 않도록 지지하는 전도방지부(顚倒防止部)를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 웨이퍼 스택은 수직방향에서 일정 각도(θ)만큼 기울어진 상태로 상기 캐리어에 재치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제9항에 있어서, 상기 픽커에 의한 웨이퍼의 이송 방향은 상기 픽커에 흡착된 웨이퍼의 표면과 평행을 이루는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
물이 채워진 수조와;

상기 수조 내부에 담겨지고, 복수개의 웨이퍼가 수평 상태로 적층된 웨이퍼 스택이 재치되는 웨이퍼 캐리어와;

상기 수조 내의 물을 가열하여 상기 웨이퍼 스택의 웨이퍼들 사이에 존재하는 공기를 팽창시켜 웨이퍼들 사이 공간이 벌어짐과 동시에 수층(水層)이 형성되도록 하는 히터를 포함하여 구성된 웨이퍼 분리장치.
제11항에 있어서, 상기 히터는 수조 내의 물을 10~90℃ 의 온도범위로 가열하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 캐리어의 상측에 설치되어, 캐리어에 재치된 웨이퍼 스택의 상단부로 유체를 분사하여 웨이퍼 스택의 상단부에 위치한 웨이퍼를 다른 웨이퍼들로부터 분리하는 분리용 노즐을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 캐리어의 상측에 이동 가능하게 설치되어, 상기 캐리어에 재치된 웨이퍼 스택의 상단부에 위치한 웨이퍼를 흡착 또는 파 지한 후 수평 방향을 따라 일측으로 이송하는 픽커를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제13항에 있어서, 상기 분리용 노즐은 분리 역할을 수행함과 더불어 분리된 웨이퍼들을 수평 방향을 따라 일측으로 이송하는 역할도 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제14항에 있어서, 상기 픽커에 흡착된 웨이퍼와 대향하고 있는 웨이퍼의 이송을 방지하기 위한 스토퍼를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.
제15항에 있어서, 상기 분리된 웨이퍼와 대향하고 있는 웨이퍼의 이송을 방지하기 위한 스토퍼를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 분리장치.