JP5498398B2 - ウエハ分離装置、ウエハ分離搬送装置、ウエハ分離方法、ウエハ分離搬送方法及び太陽電池用ウエハ分離搬送方法 - Google Patents
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Description
1a…シリコン端材
1b…シリコン端材
2…シリコンブロック
3…ワイヤソー
4…ワイヤ
5…ワイヤガイド
6…ワイヤ繰出しプーリ
7…ワイヤ巻取りプーリ
8…ワイヤ巻取り装置
9…取付体
10…支持板
11…ウエハ分離搬送装置
12…カセット
12a…下方開口
13…カセット支持体
13a…下方開口
14…昇降装置
15…回動装置
16…液槽
17…ノズル
18…微細気泡発生装置
19…取出体
20…搬送体
21…移動装置
22…カバー
23…シャフト
24…中間支持体
25…ガイドレール
26…ガイド板
27…固定シャフト
28…固定基板
29…支持基板
29a…下板
29b…上板
29c…縦板
30…軸支持部
31…駆動モータ
32…駆動プーリ
33…回転軸
34…従動プーリ
35…無端ベルト
36…回動アーム
37…ローラ体
38…搬送支持プレート
39…欠陥判定装置
40…搬送ベルトコンベア
41…分岐装置
42…回収装置
43…筺体
44…サーボモータ
45…駆動プーリ
46…従動プーリ
47…ベルト
48…ボールねじ
49…昇降体
50…ウエハ回収箱
51…ガイドレール
52…ガイド突起
53…連結部
61…予備洗浄槽(予備洗浄装置)
62…搬送装置
Claims (20)
- 枚葉化された多数枚のウエハを密着状態の縦置きで収納すると共に少なくとも上下に開放するカセットと、該カセットを着脱可能支持し且つ少なくとも上下に開放するカセット支持体と、該カセット支持体を前記カセットと一体に昇降させる昇降装置と、該昇降装置が下降した際に前記カセット支持体が前記カセットと一体に浸される液体を収容した液槽と、該液槽内に設置されて前記カセット支持体の下方から多数枚のウエハに向って微細気泡を噴出するノズルと、該ノズルから噴出される微細気泡を発生させる微細気泡発生装置と、を備えていることを特徴とするウエハ分離装置。
- 枚葉化された多数枚のウエハを密着状態の縦置きで収納すると共に少なくとも上下に開放するカセットと、該カセットを着脱可能支持し且つ少なくとも上下に開放するカセット支持体と、該カセット支持体を前記カセットと一体に昇降させる昇降装置と、該昇降装置に設置されて前記カセットに収納されたウエハを縦置き状態と横置き状態とに切り換えるように前記カセット支持体を前記カセットと一体に回動させる回動装置と、前記昇降装置が下降した際に前記カセット支持体が前記カセットと一体に浸される液体を収容した液槽と、該液槽内に設置されて前記カセット支持体の下方から多数枚のウエハに向って微細気泡を噴出するノズルと、該ノズルから噴出される微細気泡を発生させる微細気泡発生装置と、前記液槽内から上昇された横置き状態のウエハを最上位から取り出す取出体と、該取出体で取り出した最上位のウエハを搬送する搬送体と、を備えていることを特徴とするウエハ分離搬送装置。
- 前記搬送体は、その搬送経路上流側付近に配置されて搬送過程にあるウエハの欠陥を判定する欠陥判定装置と、該欠陥判定装置よりも搬送経路下流側に配置されて欠陥が存在していると判定されたウエハを搬送ルートとは別の廃棄ルートへと分岐させる分岐装置と、前記欠陥判定装置によって欠陥が存在していないと判定されたウエハを回収する回収装置と、を備えていることを特徴とする請求項2に記載のウエハ分離搬送装置。
- 前記ノズル又は前記カセット支持体をウエハの隣接方向に沿って移動させる移動装置を備えていることを特徴とする請求項1に記載のウエハ分離装置又は請求項2又は請求項3に記載のウエハ分離搬送装置。
- 前記液槽内に浸っている状態で前記カセット支持体の下面を除く五面を覆うカバーを備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかに記載のウエハ分離装置又はウエハ分離搬送装置。
- 前記微細気泡発生装置は、マイナスに帯電された微細気泡を前記ノズルから噴出させることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れかに記載のウエハ分離装置又はウエハ分離搬送装置。
- 前記微細気泡発生装置は、シリコンインゴットを枚葉化する際に用いられたワイヤソーによって切断された際の溝幅以下の直径の微細気泡を前記ノズルから噴出させることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載のウエハ分離装置又はウエハ分離搬送装置。
- 前記微細気泡発生装置は、シリコンインゴットを枚葉化する際に用いられたワイヤソーのワイヤ径以下の直径の微細気泡を前記ノズルから噴出させることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載のウエハ分離装置又はウエハ分離搬送装置。
- 前記微細気泡発生装置は、100μm以下の直径の微細気泡を前記ノズルから噴出させることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載のウエハ分離装置又はウエハ分離搬送装置。
- 前記微細気泡発生装置は、平均20μm以下の直径の微細気泡を前記ノズルから噴出させることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れかに記載のウエハ分離装置又はウエハ分離搬送装置。
- 前記液槽内から上昇された横置き状態のウエハを最上位から取り出す取出体と、該取出体で取り出した最上位のウエハを搬送する搬送体とを備え、
前記カセットには、シリコンインゴットを枚葉化する際に用いられたワイヤソーの走行方向と前記取出体及び前記搬送体によるウエハ取出・搬送方向とが同じとなるように、枚葉化された多数枚のウエハが密着状態の縦置きで収納されることを特徴とする請求項2乃至請求項10の何れかに記載のウエハ分離搬送装置。 - 前記昇降装置に設置されて前記カセットに収納されたウエハを縦置き状態と横置き状態とに切り換えるように前記カセット支持体を前記カセットと一体に回動させる回動装置を備え、
前記回動装置は、前記カセット支持体を起立された際に、前記カセットに収納した縦置き状態でのウエハ上縁部が前記液槽の縦内壁面に近接するように前記カセット支持体を支持していることを特徴とする請求項2乃至請求項11の何れかに記載のウエハ分離搬送装置。 - 枚葉化された多数枚のウエハを少なくとも上下に開放するカセット内に密着状態の縦置きで収納する収納ステップと、少なくとも上下に開放するカセット支持体に前記カセットを装着支持させる装着支持ステップと、昇降装置を用いて前記カセット支持体を前記カセットと一体に下降させて縦置き状態のウエハを液槽内の液体に浸す下降ステップと、前記カセット支持体の下方から縦置き状態のウエハに向けて微細気泡発生装置で発生させた微細気泡を噴出して多数枚の各ウエハ内に微細気泡を侵入停滞させる微細気泡噴出ステップと、を備えていることを特徴とするウエハ分離方法。
- 枚葉化された多数枚のウエハを少なくとも上下に開放するカセット内に密着状態の縦置きで収納する収納ステップと、少なくとも上下に開放するカセット支持体に前記カセットを装着支持させる装着支持ステップと、昇降装置を用いて前記カセット支持体を前記カセットと一体に下降させて縦置き状態のウエハを液槽内の液体に浸す下降ステップと、前記カセット支持体の下方から縦置き状態のウエハに向けて微細気泡発生装置で発生させた微細気泡を噴出して多数枚の各ウエハ間に微細気泡を侵入停滞させる微細気泡噴出ステップと、回動装置を用いて多数枚の各ウエハ間に微細気泡を侵入停滞させたままのカセット支持体を前記カセットと一体に回動させて多数枚のウエハを横置きとする回動ステップと、前記昇降装置を用いてウエハを横置き状態としたまま前記カセット支持体を前記カセットと一体に上昇させて最上位に位置するウエハを前記液槽の少なくとも液面よりも上方へと引き上げる上昇ステップと、液面よりも上方に引き上げられた最上位のウエハを取り出す取り出しステップと、取り出し後のウエハを搬送する搬送ステップと、を備えていることを特徴とするウエハ分離搬送方法。
- 剥離後の枚葉化された多数枚のウエハを少なくとも上下に開放するカセット内に密着状態の縦置きで収納する収納ステップと、少なくとも上下に開放するカセット支持体に前記カセットを装着支持させる装着支持ステップと、昇降装置を用いて前記カセット支持体を前記カセットと一体に下降させて縦置き状態のウエハを予備洗浄する予備洗浄ステップと、予備洗浄後の前記カセットを取り出して搬送する取出・搬送ステップと、搬送した前記カセットを液槽内の液体に浸す下降ステップと、前記カセット支持体の下方から縦置き状態のウエハに向けて微細気泡発生装置で発生させた微細気泡を噴出して多数枚の各ウエハ間に微細気泡を侵入停滞させる微細気泡噴出ステップと、回動装置を用いて多数枚の各ウエハ間に微細気泡を侵入停滞させたままのカセット支持体を前記カセットと一体に回動させて多数枚のウエハを横置きとする回動ステップと、前記昇降装置を用いてウエハを横置き状態としたまま前記カセット支持体を前記カセットと一体に上昇させて最上位に位置するウエハを前記液槽の少なくとも液面よりも上方へと引き上げる上昇ステップと、液面よりも上方に引き上げられた最上位のウエハを取り出す取り出しステップと、取り出し後のウエハを搬送する搬送ステップと、を備えていることを特徴とするウエハ分離搬送方法。
- シリコンインゴットを支持板と一体に多数枚に切断する切断ステップと、切断後のシリコンインゴットを支持板から剥離して枚葉化する剥離ステップと、剥離後の枚葉化された多数枚のウエハを少なくとも上下に開放するカセット内に密着状態の縦置きで収納する収納ステップと、少なくとも上下に開放するカセット支持体に前記カセットを装着支持させる装着支持ステップと、昇降装置を用いて前記カセット支持体を前記カセットと一体に下降させて縦置き状態のウエハを液槽内の液体に浸す下降ステップと、前記カセット支持体の下方から縦置き状態のウエハに向けて微細気泡発生装置で発生させた微細気泡を噴出して多数枚の各ウエハ間に微細気泡を侵入停滞させる微細気泡噴出ステップと、回動装置を用いて多数枚の各ウエハ間に微細気泡を侵入停滞させたままのカセット支持体を前記カセットと一体に回動させて多数枚のウエハを横置きとする回動ステップと、前記昇降装置を用いてウエハを横置き状態としたまま前記カセット支持体を前記カセットと一体に上昇させて最上位に位置するウエハを前記液槽の少なくとも液面よりも上方へと引き上げる上昇ステップと、液面よりも上方に引き上げられた最上位のウエハを取り出す取り出しステップと、取り出し後のウエハを搬送する搬送ステップと、搬送されたウエハを太陽電池製造装置に移送する移送ステップと、を備えていることを特徴とする太陽電池用ウエハ分離搬送方法。
- 前記搬送ステップで搬送されたウエハをウエハ回収箱に自動回収する回収ステップと、回収後のウエハ回収箱を多軸ロボットアームを用いて次工程へと自動搬送する次工程搬送ステップと、を備えていることを特徴とする請求項14又は請求項15に記載のウエハ分離搬送方法又は請求項16に記載の太陽電池用ウエハ分離搬送方法。
- 前記移送ステップは、P型ウエハ又はN型ウエハを製造するためのテクスチャ処理を施すための化学エッチング装置に向けてウエハを移送することを特徴とする請求項16に記載の太陽電池用ウエハ分離搬送方法。
- 前記微細気泡噴出ステップでは、前記ノズル又は前記カセット支持体をウエハの隣接方向に沿って移動させることを特徴とする請求項13に記載のウエハ分離方法又は請求項14又は15に記載のウエハ分離搬送方法又は請求項16又は請求項17に記載の太陽電池用ウエハ分離搬送方法。
- 前記微細気泡噴出ステップの開始前に、前記液槽内に浸っている状態の前記カセット支持体の下面を除く五面をカバーで覆うことを特徴とする請求項13乃至請求項18の何れかに記載のウエハ分離方法又はウエハ分離搬送方法又は太陽電池用ウエハ分離搬送方法。
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