JP2008545268A - シリコンウエハ間の引力の低減 - Google Patents
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Abstract
Description
2 第1の接着剤の層
3 ガラスシート
4 薄片(シリコンウエハ)
5 第2の接着剤の層
6 スペーサー
8 上側表面
9 下側表面
Claims (26)
- ソーイングの後で接着剤の溶解の前に、ウエハ間にスペーサーを導入するステップを有することを特徴とするウエハ間の引力を減らすための方法。
- 前記スペーサーは流体に分散された多数の物体から成ることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 粒子が実質的に球形、半球形、または管状であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記流体は液体または気体であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記流体は、90%に等しいか、それより高い水分含有量をもつ液体であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記流体はウエハ洗浄溶剤から成ることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記スペーサーは1から180マイクロメートルのサイズをもつことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 異なるか、または類似のサイズをもったスペーサーを同時に導入する段階を有することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 異なるか、または類似のサイズをもったスペーサーを連続的に導入する段階を有することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記物体の濃度は0.1g/cm3から3g/cm3の範囲にあることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記物体の濃度は0.5g/cm3から1.5g/cm3の範囲にあることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 以下のステップ:
1)請求項1から12のいずれか1項に記載の方法を用いて、ウエハのスタックにおけるウエハ引力を低減するステップ、
2)終端ウエハをスタックから除去するステップ、
3)スタックにおける次のウエハに対してステップ1〜2を繰り返すこと
を有することを特徴とするウエハシンギュレーション方法。 - 終端ウエハをスタックから除去する前に、スタックにおけるスペーサーのない終端ウエハを洗浄することを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 終端ウエハの1つの表面を洗浄する段階を有することを特徴とする請求項13に記載のウエハシンギュレーション方法。
- 終端ウエハの両方の表面を洗浄する段階を有することを特徴とする請求項13に記載のウエハシンギュレーションプロセス。
- ウエハ間への導入に適合させられ、かつスペーサーを有することを特徴とする、ウエハ間の密着力を減らすための薬剤。
- 流体と、該流体に分散された物体の形態にあるスペーサーとを有することを特徴とする請求項16に記載の薬剤。
- 物体が実質的に球形、半球形、フレーク形状、または管状であることを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 前記流体は液体または気体であることを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 前記流体は、90%に等しいか、それより高い水分含有量をもつ液体であることを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 前記流体はウエハ洗浄溶剤から成ることを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 前記スペーサーは1から180マイクロメートルの直径の粒子をもつことを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 異なる直径をもったスペーサーを同時に導入することを有することを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 異なる直径をもったスペーサーを有することを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 前記スペーサーの濃度は0.1g/cm3から3g/cm3の範囲にあることを特徴とする請求項17に記載の薬剤。
- 前記スペーサーの濃度は0.5g/cm3から1.5g/cm3の範囲にあることを特徴とする請求項17に記載の方法。
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